JP4373994B2 - 可変容量装置および携帯電話 - Google Patents
可変容量装置および携帯電話 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4373994B2 JP4373994B2 JP2006152158A JP2006152158A JP4373994B2 JP 4373994 B2 JP4373994 B2 JP 4373994B2 JP 2006152158 A JP2006152158 A JP 2006152158A JP 2006152158 A JP2006152158 A JP 2006152158A JP 4373994 B2 JP4373994 B2 JP 4373994B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- piezoelectric
- movable electrode
- variable capacitance
- capacitance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 53
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 51
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 16
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 5
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 12
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 230000000875 corresponding effect Effects 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 5
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 230000001413 cellular effect Effects 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000010295 mobile communication Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01G—CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
- H01G5/00—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture
- H01G5/16—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes
- H01G5/18—Capacitors in which the capacitance is varied by mechanical means, e.g. by turning a shaft; Processes of their manufacture using variation of distance between electrodes due to change in inclination, e.g. by flexing, by spiral wrapping
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
前記可変容量素子に近接配置され、第2の圧電膜と前記第2の圧電膜を挟む第2の上下電極とを備えた第2の圧電駆動部と、前記第2の圧電駆動部の一端に電極スリットを介して設けられた第2の可動電極と、前記第2の可動電極にギャップを介し、誘電体膜を挟んで対向配置される第2の固定電極と、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との間に形成され前記第2の圧電膜の伸縮により容量を可変可能な可変容量部の予め定めた容量値からの変動を抑制するように、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との距離を調整する第2の駆動制御部と、を備えた加速度センサと、を備え、
前記第1の駆動制御部は、前記加速度センサで検出された前記変動の大きさに基づいて、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との距離を調整することを特徴とする可変容量装置が提供される。
送受信方向を切り替えるデュプレクサと、
前記デュプレクサを介して前記アンテナから送信する送信信号を生成する送信処理部と、
前記アンテナで受信され前記デュプレクサを通過した受信信号に含まれる所定周波数帯域成分を抽出する受信処理部と、
前記送信処理部および前記受信処理部に接続されベースバンド処理を行うベースバンド処理部と、を備え、
前記チューナブルアンテナ、前記送信処理部および前記受信処理部の少なくとも一つは、可変容量装置を有し、
前記可変容量装置は、
第1の圧電膜と前記第1の圧電膜を挟む第1の上下電極とを備えた第1の圧電駆動部と、前記第1の圧電駆動部の一端に電極スリットを介して設けられた第1の可動電極と、前記第1の可動電極にギャップを介し、誘電体膜を挟んで対向配置される第1の固定電極と、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との間に形成される可変容量素子の予め定めた容量値からの変動を抑制するように、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との距離を調整する第1の駆動制御部と、を備えた可変容量素子と、
前記可変容量素子に近接配置され、第2の圧電膜と前記第2の圧電膜を挟む第2の上下電極とを備えた第2の圧電駆動部と、前記第2の圧電駆動部の一端に電極スリットを介して設けられた第2の可動電極と、前記第2の可動電極にギャップを介し、誘電体膜を挟んで対向配置される第2の固定電極と、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との間に形成され前記第2の圧電膜の伸縮により容量を可変可能な可変容量部の予め定めた容量値からの変動を抑制するように、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との距離を調整する第2の駆動制御部と、を備えた加速度センサと、を備え、
前記第1の駆動制御部は、前記加速度センサで検出された前記変動の大きさに基づいて、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との距離を調整することを特徴とする携帯電話が提供される。
図1は本発明の第1の実施形態による可変容量装置の全体構造を示す図である。図1の可変容量装置は、一端側が固定され他端側が圧電膜の伸縮により上下に移動可能なMEMS構造の圧電駆動部1と、圧電駆動部1の他端側に誘電体膜2を挟んで対向配置される固定電極3a,3bと、圧電駆動部1の駆動を制御する制御回路部(駆動制御部)4とを備えている。
第2の実施形態は、制御回路部4の内部構成が第1の実施形態と異なっている。その他の構成は第1の実施形態と同様なため説明を省略する。
第3の実施形態は、ハードウェアの構成は第2の実施形態と同様であるが、制御回路部4の動作が第2の実施形態とは異なっている。
上述した第2および第3の実施形態では、可変容量素子20の容量や容量変化量を検出する例を説明したが、第1および第2の圧電膜6、7に印加される電圧や電圧変化量を検出してもよい。
第5の実施形態は、可変容量素子20を構成する圧電駆動部1とは別個に、加速度センサを設けるものである。
第6の実施形態は、第1〜第5の実施形態のいずれかで説明した可変容量装置を携帯電話の内部に設けるものである。
前述した第1〜第5実施形態、及び第1〜第5の実施形態のいずれかを用いた携帯電話の実施形態では、圧電駆動部1として、第1の圧電膜6と第1の圧電膜6の下方に配置される第2の圧電膜7と、第1の圧電膜6の上面に配置される上部電極8と、第1の圧電膜6の下面と第2の圧電膜7の上面との間に配置される中間電極10と、第2の圧電膜7の下面に配置される下部電極12と、とを備えた例で説明を行った。このように、圧電膜及び電極を複数層備えた構成は、複数層の電極それぞれに印加する電圧を制御することができるため、これによって、上下の屈曲変位を高精度に制御することが出来るという利点を有する。
2 誘電体膜
3a、3b、3c、3d 固定電極
4 制御回路部
5 電極スリット
6 第1の圧電膜
7 第2の圧電膜
8 第1の上部電極
9 第2の上部電極
10 第1の中間電極
11 第2の中間電極
12 第1の下部電極
13 第2の下部電極
15 可動電極
16 アンカー
20 可変容量素子(バリキャップ)
21 容量検出部
22 増幅器
23 コンパレータ
24 電圧増幅器
25 容量変化検出回路
26 電圧検出部
31、31a、31b 加速度センサ
32 チューナブルアンテナ
33 デュプレクサバンク
34 送信部
35 受信部
36 ベースバンド処理用IC
37 フィルタバンク
38 パワーアンプ
39 チューナブル整合回路
40 チューナブル整合回路
41 LNA
42 チューナブル整合回路
43 チューナブル整合回路
44 フィルタバンク
Claims (5)
- 第1の圧電膜と前記第1の圧電膜を挟む第1の上下電極とを備えた第1の圧電駆動部と、前記第1の圧電駆動部の一端に電極スリットを介して設けられた第1の可動電極と、前記第1の可動電極にギャップを介し、誘電体膜を挟んで対向配置される第1の固定電極と、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との間に形成される可変容量素子の予め定めた容量値からの変動を抑制するように、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との距離を調整する第1の駆動制御部と、を備えた可変容量素子と、
前記可変容量素子に近接配置され、第2の圧電膜と前記第2の圧電膜を挟む第2の上下電極とを備えた第2の圧電駆動部と、前記第2の圧電駆動部の一端に電極スリットを介して設けられた第2の可動電極と、前記第2の可動電極にギャップを介し、誘電体膜を挟んで対向配置される第2の固定電極と、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との間に形成され前記第2の圧電膜の伸縮により容量を可変可能な可変容量部の予め定めた容量値からの変動を抑制するように、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との距離を調整する第2の駆動制御部と、を備えた加速度センサと、を備え、
前記第1の駆動制御部は、前記加速度センサで検出された前記変動の大きさに基づいて、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との距離を調整することを特徴とする可変容量装置。 - 前記加速度センサは、前記容量の単位時間当たりの変化量と、前記第2の圧電膜の両面の電圧の単位時間当たりの変化量との少なくとも一方を検出することを特徴とする請求項1に記載の可変容量装置。
- 互いに異なる方向の容量および電圧の少なくとも一方の単位時間当たりの変化量を検出する複数の前記加速度センサが設けられることを特徴とする請求項1または2に記載の可変容量装置。
- 前記可変容量素子と前記加速度センサとは、同一サイズおよび同一形状であり、同一基板上に同一方向に隣接して形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の可変容量装置。
- アンテナで送受信する無線信号の周波数帯域を調整するチューナブルアンテナと、
送受信方向を切り替えるデュプレクサと、
前記デュプレクサを介して前記アンテナから送信する送信信号を生成する送信処理部と、
前記アンテナで受信され前記デュプレクサを通過した受信信号に含まれる所定周波数帯域成分を抽出する受信処理部と、
前記送信処理部および前記受信処理部に接続されベースバンド処理を行うベースバンド処理部と、を備え、
前記チューナブルアンテナ、前記送信処理部および前記受信処理部の少なくとも一つは、可変容量装置を有し、
前記可変容量装置は、
第1の圧電膜と前記第1の圧電膜を挟む第1の上下電極とを備えた第1の圧電駆動部と、前記第1の圧電駆動部の一端に電極スリットを介して設けられた第1の可動電極と、前記第1の可動電極にギャップを介し、誘電体膜を挟んで対向配置される第1の固定電極と、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との間に形成される可変容量素子の予め定めた容量値からの変動を抑制するように、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との距離を調整する第1の駆動制御部と、を備えた可変容量素子と、
前記可変容量素子に近接配置され、第2の圧電膜と前記第2の圧電膜を挟む第2の上下電極とを備えた第2の圧電駆動部と、前記第2の圧電駆動部の一端に電極スリットを介して設けられた第2の可動電極と、前記第2の可動電極にギャップを介し、誘電体膜を挟んで対向配置される第2の固定電極と、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との間に形成され前記第2の圧電膜の伸縮により容量を可変可能な可変容量部の予め定めた容量値からの変動を抑制するように、前記第2の可動電極と前記第2の固定電極との距離を調整する第2の駆動制御部と、を備えた加速度センサと、を備え、
前記第1の駆動制御部は、前記加速度センサで検出された前記変動の大きさに基づいて、前記第1の可動電極と前記第1の固定電極との距離を調整することを特徴とする携帯電話。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006152158A JP4373994B2 (ja) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | 可変容量装置および携帯電話 |
US11/755,107 US7937056B2 (en) | 2006-05-31 | 2007-05-30 | Variable capacitance device and portable phone |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006152158A JP4373994B2 (ja) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | 可変容量装置および携帯電話 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007324336A JP2007324336A (ja) | 2007-12-13 |
JP4373994B2 true JP4373994B2 (ja) | 2009-11-25 |
Family
ID=38790886
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006152158A Expired - Fee Related JP4373994B2 (ja) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | 可変容量装置および携帯電話 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7937056B2 (ja) |
JP (1) | JP4373994B2 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007024901A1 (de) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Siemens Ag | Kondensatorstruktur mit veränderbarer Kapzität und Verwendung der Kondensatorstruktur |
US7880479B2 (en) * | 2007-08-17 | 2011-02-01 | Generalplus Technology, Inc. | Capacitive sensor with alternating current power immunity |
JP4714227B2 (ja) * | 2008-01-16 | 2011-06-29 | 株式会社アドバンテスト | 圧電駆動装置、圧電駆動制御方法及び電子デバイス |
WO2009113344A1 (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-17 | 株式会社 村田製作所 | 可変容量素子 |
CN102484316B (zh) * | 2009-08-25 | 2014-04-09 | 株式会社村田制作所 | 天线装置 |
JP5338615B2 (ja) * | 2009-10-27 | 2013-11-13 | 富士通株式会社 | 可変容量デバイスおよび可変容量素子の駆動方法 |
CN102725808B (zh) * | 2010-01-28 | 2016-01-20 | 株式会社村田制作所 | 可变电容装置 |
US8373522B2 (en) * | 2010-02-03 | 2013-02-12 | Harris Corporation | High accuracy MEMS-based varactors |
WO2011096460A1 (ja) * | 2010-02-08 | 2011-08-11 | 株式会社村田製作所 | 可変容量素子 |
WO2011158708A1 (ja) * | 2010-06-17 | 2011-12-22 | 株式会社村田製作所 | 可変容量装置 |
JP5648697B2 (ja) * | 2011-01-19 | 2015-01-07 | 株式会社村田製作所 | 可変リアクタンス回路及びアンテナ装置 |
US8659207B2 (en) * | 2011-11-24 | 2014-02-25 | Htc Corporation | Electronic device and adjustment method thereof |
US9236555B2 (en) * | 2012-01-12 | 2016-01-12 | Robert Bosch Gmbh | Piezoelectric based MEMS structure |
JP5726930B2 (ja) * | 2013-02-12 | 2015-06-03 | 株式会社東芝 | Memsデバイス |
FR3005204A1 (fr) * | 2013-04-30 | 2014-10-31 | St Microelectronics Rousset | Dispositif capacitif commutable integre |
KR102324960B1 (ko) | 2015-06-25 | 2021-11-12 | 삼성전자 주식회사 | 통신 장치 및 이를 포함하는 전자 장치 |
JP6550141B2 (ja) * | 2015-10-23 | 2019-07-24 | 株式会社日立製作所 | Mems装置 |
US10141495B1 (en) * | 2016-12-16 | 2018-11-27 | National Technology & Engineering Solutions Of Sandia, Llc | Microsystems-based method and apparatus for passive detection and processing of radio-frequency signals |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09318649A (ja) * | 1996-05-30 | 1997-12-12 | Texas Instr Japan Ltd | 複合センサ |
JP2002131331A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-09 | Denso Corp | 半導体力学量センサ |
JP3712123B2 (ja) | 2002-03-25 | 2005-11-02 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 可変キャパシタ及びその製造方法 |
US6909589B2 (en) * | 2002-11-20 | 2005-06-21 | Corporation For National Research Initiatives | MEMS-based variable capacitor |
US7085122B2 (en) * | 2003-05-21 | 2006-08-01 | The Regents Of The University Of California | MEMS tunable capacitor based on angular vertical comb drives |
US7388247B1 (en) * | 2003-05-28 | 2008-06-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | High precision microelectromechanical capacitor with programmable voltage source |
US7323805B2 (en) * | 2004-01-28 | 2008-01-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Piezoelectric thin film device and method for manufacturing the same |
JP4377740B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2009-12-02 | 株式会社東芝 | 圧電駆動型mems素子およびこの圧電駆動型mems素子を有する移動体通信機 |
JP4037394B2 (ja) * | 2004-09-16 | 2008-01-23 | 株式会社東芝 | マイクロメカニカルデバイス |
JP2006093463A (ja) * | 2004-09-24 | 2006-04-06 | Toshiba Corp | 圧電mems素子及びチューナブルフィルタ |
FI20041344A (fi) * | 2004-10-15 | 2006-04-16 | Valtion Teknillinen | Anturi ja menetelmä komponenttiin kohdistuvan suureen mittaamiseksi |
JP2006203304A (ja) * | 2005-01-18 | 2006-08-03 | Hitachi Media Electoronics Co Ltd | 圧電薄膜共振器及びそれを用いた発振器並びにそれを内蔵した半導体集積回路 |
JP2007005635A (ja) * | 2005-06-24 | 2007-01-11 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
-
2006
- 2006-05-31 JP JP2006152158A patent/JP4373994B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-05-30 US US11/755,107 patent/US7937056B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7937056B2 (en) | 2011-05-03 |
US20070281646A1 (en) | 2007-12-06 |
JP2007324336A (ja) | 2007-12-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4373994B2 (ja) | 可変容量装置および携帯電話 | |
US10160635B2 (en) | MEMS device and process for RF and low resistance applications | |
EP2093778B1 (en) | Variable capacitor, matching circuit element, and mobile terminal apparatus | |
US6909589B2 (en) | MEMS-based variable capacitor | |
US7446994B2 (en) | Variable capacitor and manufacturing method thereof | |
JP2003297671A (ja) | プレート懸架構造を有するマイクロマシン加工された平行板可変コンデンサ | |
US20080061916A1 (en) | Lateral Piezoelectric Driven Highly Tunable Micro-electromechanical System (MEMS) Inductor | |
WO2004027796A9 (en) | Capacitive resonators and methods of fabrication | |
WO2007141997A1 (ja) | 高周波回路コンポーネント | |
TWI423283B (zh) | 可變電容元件及通訊裝置 | |
JP2006261480A (ja) | 可変容量素子および可変容量装置ならびに可変容量装置を用いた携帯電話 | |
US20100060386A1 (en) | Bulk acoustic wave resonator with adjustable resonance frequency and use of such a resonator in the field of telephony | |
US10298193B2 (en) | Integrated microelectromechanical system devices and methods for making the same | |
US9136822B2 (en) | Microelectromechanical system with a micro-scale spring suspension system and methods for making the same | |
US7965491B2 (en) | Variable capacitor, resonator and modulator | |
US7031137B2 (en) | Variable micro-capacitor with a high ratio and a low operating voltage | |
WO2011158708A1 (ja) | 可変容量装置 | |
JP5593903B2 (ja) | 可変容量素子 | |
JP2008166593A (ja) | Memsインダクタ、mems共振回路およびmemsインダクタの製造方法 | |
KR20090097815A (ko) | 고주파 전기 소자 | |
Teymoori et al. | Investigation and comparison of two movable plates electrostatic mems tunable capacitors | |
WO2012102119A1 (ja) | 可変容量素子 | |
WO2011158619A1 (ja) | 可変容量装置 | |
JP2009095180A (ja) | アクチュエータとその製造方法 | |
JP2010093195A (ja) | インダクタンス素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080930 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081201 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090811 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090904 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120911 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120911 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120911 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130911 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |