JP2006261480A - 可変容量素子および可変容量装置ならびに可変容量装置を用いた携帯電話 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板8に間隔をおいて固定された第1および第2電極1、2,4と、可動電極3,5と、基板上に設けられた支持部13上に支持され、可動電極を駆動するアクチュエータ14と、を備え、可動電極は、アクチュエータによって駆動されたときは第2電極と電気的接触の状態となり、駆動されないときには第2電極と電気的非接触の状態となり、可動電極は第1電極と常に電気的に非接触の状態にある。
【選択図】 図1
Description
1) 抵抗が小さい(Q値が大きい)
2) 容量比が大きい
本発明の第1実施形態による可変容量素子を図1乃至図4を参照して説明する。図1は本実施形態による可変容量素子の上面図、図2は図1に示す切断線A−Aで切断したときの断面図、図3は図1に示す切断線B−Bで切断したときの断面図である。
次に、本発明の第2実施形態による可変容量素子を図5および図6を参照して説明する。図5は本実施形態の可変容量素子の上面図、図6は図5に示す切断線B−Bで切断したときの断面図である。本実施形態の可変容量素子は、第1実施形態の可変容量素子において、片持ち梁を構成している圧電型アクチュエータ14を、浮遊電極3および接触電極5の積層体の両側に設けられた圧電型アクチュエータ14A、14Bに置き換えた構成となっている。圧電型アクチュエータ14Aは基板8上に設けられた支持部13Aによって、圧電型アクチュエータ14Bは基板上に設けられた支持部13Bによって支持されている。圧電型アクチュエータ14A、14Bはそれぞれ、圧電膜11と、この圧電膜11の上面に設けられた上部電極10と、圧電膜11の下面に設けられた下部電極12との積層体からなっている。圧電型アクチュエータ14A、14Bはそれぞれ、その下面および上面に絶縁膜7が設けられているとともに、接触電極5および浮遊電極3の積層体との間に絶縁膜7が設けられた構成となっている。したがって、圧電型アクチュエータ14A、14Bと、接触電極5および浮遊電極3の積層体とは両持ち梁を構成する。すなわち、圧電型アクチュエータ14A、14Bを駆動することにより、接触電極5および浮遊電極3からなる積層体は基板8側に変位する。なお、第1実施形態と同様に、接触電極5および浮遊電極3の積層体は、第1および第2電極1、2との間の間隔30上に、接触電極4および絶縁膜6の少なくとも一部分と上面から見たときにオーバーラップするように配置された構成となっている。
次に、本発明の第3実施形態による可変容量素子を図7乃至図9を参照して説明する。図7は本実施形態による可変容量素子の上面図、図8は図7に示す切断線A−Aで切断したときの断面図、図9は図7に示す切断線B−Bで切断したときの断面図である。
次に、本発明の第4実施形態による可変容量素子を図11乃至図13を参照して説明する。図11は本実施形態による可変容量素子の上面図、図12は図11に示す切断線A−Aで切断したときの断面図、図13は図11に示す切断線B−Bで切断したときの断面図である。
次に、本発明の第5実施形態による可変容量素子を図14乃至図16を参照して説明する。図14は本実施形態による可変容量素子の上面図、図15は図14に示す切断線A−Aで切断したときの断面図、図16は図14に示す切断線B−Bで切断したときの断面図である。
本発明の第6実施形態による携帯電話を図17乃至図20を参照して説明する。本実施形態の携帯電話は地上デジタル放送視聴機能を搭載しており、図17に本実施形態の携帯電話のブロック図を示す。
アンテナ効率=放射抵抗/(放射抵抗+損失抵抗)
と表される。アンテナを小型化すると放射抵抗が小さくなるため、損失抵抗が小さくならない限りアンテナ効率が低下する。例えば、整合回路の可変容量としてPINダイオードを採用すると、損失抵抗が大きいためアンテナ効率が低下してしまう。これに対し、MEMSは損失抵抗が小さく、1Ω以下に抑えることも可能である。したがって整合回路部にMEMS可変容量を採用すれば、小型アンテナを実現することができる。携帯電話の筐体内にアンテナを内蔵することも可能となる。
2 第2電極
3 浮遊電極
4 接触電極
5 接触電極
6 絶縁膜
7 絶縁膜
8 基板
10 上部電極
11 圧電膜
12 下部電極
13 支持部
14 圧電アクチュエータ
Claims (5)
- 基板に間隔をおいて固定された第1および第2電極と、
可動電極と、
前記基板上に設けられた支持部上に支持され、前記可動電極を駆動するアクチュエータと、
を備え、
前記可動電極は、前記アクチュエータによって駆動されたときは前記第2電極と電気的接触の状態となり、駆動されないときには前記第2電極と電気的非接触の状態となり、
前記可動電極は前記第1電極と常に電気的に非接触の状態にあるように構成されたことを特徴とする可変容量素子。 - 前記第1電極の表面が絶縁膜で覆われていることを特徴とする請求項1記載の可変容量素子。
- 前記第1電極の膜厚が前記第2電極の膜厚よりも薄いことを特徴とする請求項1または2記載の可変容量素子。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の可変容量素子が複数個並列に接続されていることを特徴とする可変容量装置。
- 請求項4記載の可変容量装置を有する整合回路を備えたこととを特徴とする携帯電話。
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