JP2004282150A - 移相器及びフェーズドアレイアンテナ装置 - Google Patents
移相器及びフェーズドアレイアンテナ装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】多数個のアンテナ素子2と、相対するアンテナ素子2と高周波信号処理部5とを接続する多数本のアンテナ線路3と、各アンテナ線路3に沿って配列されてこのアンテナ線路3上にバリキャップを構成する容量調整部4とから構成される。各容量調整部4が、各アンテナ線路3に沿ってそれぞれ配列され、固定端12がグランド8と接続されかつ自由端13が相対するアンテナ線路3を対向電極として容量接続が行われるように対向されるとともに接離する方向に駆動されて接続容量を可変させる可動電極11を有する複数個の容量可変型マイクロマシンキャパシタ10からなる。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、伝送線路を伝播する高周波信号の位相差調整用等に用いられる超小型の移相器及び多数のアンテナ素子を備えるとともに各アンテナ線路にそれぞれ移相器を付設して各アンテナ素子から送受信される高周波信号の位相差の調整を行うフェーズドアレイアンテナ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
フェーズドアレイアンテナ装置は、多数個のアンテナ素子を配列し、これらアンテナ素子で送受信する高周波信号の位相を調整することによって指向性を任意に変更するようにしたアンテナ装置であり、例えば衛星放送用のアンテナ等に用いられる。フェーズドアレイアンテナ装置においては、必要な電波の到来方向の利得を増大させ、不要な電波の到来方向の利得を低下させるようにして指向性を電気的に可変可能とするように構成される。なお、かかるフェーズドアレイアンテナ装置は、アダプティブアレイアンテナと呼ばれている。
【0003】
従来のフェーズドアレイアンテナ装置100(以下、単にアンテナ装置と略称する。)は、図8に示すように、適宜に配列されたアンテナ素子101a〜101n(以下、代表して説明する場合にはアンテナ素子101と総称する。)と、これら各アンテナ素子101にそれぞれ付設された位相調整用の移相器102a〜102n(以下、代表して説明する場合には移相器102と総称する。)とを備えている。アンテナ装置100においては、例えば各アンテナ素子101によって受信した高周波信号のスキャニング結果に基づいて駆動制御部103a〜103n(以下、代表して説明する場合には駆動制御部103と総称する。)から出力される制御信号によって各移相器102を駆動し、これら移相器102の作用によって各アンテナ素子101の位相調整を行って送受信特性が適宜設定されるようにする。
【0004】
各移相器102は、それぞれ一対の切替スイッチ104,105と、これら切替スイッチ104,105のスイッチング操作によって選択される互いに線路長を異にする複数のディレイライン106a〜106d(以下、代表して説明する場合にはディレイライン106と総称する。)とから構成される、いわゆるディレイライン型移相器からなる。各移相器102は、相対するアンテナ素子101と高周波信号処理部107との間を、切替スイッチ104,105を介して受信した高周波信号の電気長に応じて所定の線路長を有するディレイライン106を選択して接続する。アンテナ装置100は、受信した高周波信号のスキャニング処理により各アンテナ素子101の位相調整を、例えば電気長0°,90°,180°,270°の4段階で行うように制御する。
【0005】
各移相器102は、図9及び図10に示すようにディレイライン106が、電気長0°において選択される第1のディレイライン106aと、電気長90°において選択される第2のディレイライン106bと、電気長180°において選択される第3のディレイライン106cと、電気長270°において選択される第4のディレイライン106dとからなる。各移相器102は、第1のディレイライン106aが最短の線路長とされるとともに、第4のディレイライン106dが最長の線路長とされてなる。
【0006】
各移相器102は、図9に示すように上述した各ディレイライン106が基板108の主面上にパターン形成されるとともに、小型化を図るために切替スイッチ104,105がマイクロマシンスイッチによって構成されている。なお、これら切替スイッチ104,105については、以下マイクロマシンスイッチと称するものとする。各マイクロマシンスイッチ104,105は、いわゆるメムズ(MEMS:Micro Electro Mecanical System)スイッチと称される極小サイズのスイッチ体であり、基板108の主面上に成膜技術によって形成される。
【0007】
マイクロマシンスイッチ104,105は、相対する各駆動制御部103から出力される制御信号に基づく駆動電圧が印加されると、静電気力によってそれぞれの可動電極109,110が駆動されるとともにその動作状態が保持されるように構成される。なお、マイクロマシンスイッチ104,105は、制御信号に基づいてそれぞれの可動電極109,110が同期して駆動される。
【0008】
マイクロマシンスイッチ104,105は、この状態で逆バイアス駆動電圧が印加されることにより、可動電極109,110が初期位置へと復帰する。マイクロマシンスイッチ104,105は、図10に示すように、それぞれの可動電極109,110が、一端をコモン電極111,112と接続されるとともに、他端がセグメント電極113a〜113d(以下、代表して説明する場合にはセグメント電極113と総称する。),114a〜114d(以下、代表して説明する場合にはセグメント電極114と総称する。)と選択的に接続される。
【0009】
第1のマイクロマシンスイッチ104は、図10に示すように、コモン電極111がアンテナ素子101と接続されとともに各セグメント電極113が相対するディレイライン106の一端と接続される。第2のマイクロマシンスイッチ105は、コモン電極112が高周波信号処理部107と接続されとともに各セグメント電極114が相対するディレイライン106の他端と接続される。したがって、各移相器102は、それぞれ各駆動制御部103から出力される制御信号に基づいて、マイクロマシンスイッチ104,105が駆動されて最適長のディレイライン106を選択して接続し、このディレイライン106を介してアンテナ素子101と高周波信号処理部107とを接続する。
【0010】
アンテナ装置100においては、受信した高周波信号のスキャニング処理により、各アンテナ素子101で受信した高周波信号の強度の合成が最大となるようにそれぞれ最適長のディレイライン106が選択されて接続が行われる。アンテナ装置100は、例えば第1のアンテナ素子101aに接続するよるディレイライン106の電気長が0°であることを識別すると、第1の移相器102aがマイクロマシンスイッチ104a,105aを介して第1のディレイライン106aを選択する動作を行う。また、アンテナ装置100は、例えば第2のアンテナ素子101bに接続するよるディレイライン106の電気長が90°であることを識別すると、第2の移相器102bがマイクロマシンスイッチ104b,105bを介して第2のディレイライン106bを選択する動作を行う。アンテナ装置100においては、以下同様にして各アンテナ素子101に対応してそれぞれ最適長のディレイライン106が選択されて接続が行われる。
【0011】
アンテナ装置100においては、上述したように各移相器102においてディレイライン106を適宜切替えて各アンテナ素子101と高周波信号処理部107との間の線路長が切り替えられることにより、各アンテナ素子101によって受信した高周波信号について最適な位相調整が行われて高利得化を図るようにする。アンテナ装置100は、上述したように各移相器102内に超小型のマイクロマシンスイッチ104,105を用いたことにより、高利得化が図られるとともにスイッチ部位の小型化が図られるようになる。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
従来のアンテナ装置100においては、上述したように受信した高周波信号の電気長に応じてディレイライン106を選択して接続する切替スイッチとして超小型で高精度のマイクロマシンスイッチ104,105を用いたことにより、小型化や精度の向上が図られるようになる。しかしながら、アンテナ装置100においては、上述したように各移相器102がそれぞれ冗長な線路長を有する複数本のディレイライン106を基板108にプリント形成して構成することから、マイクロマシンスイッチ104,105を用いてスイッチ部の小型化を図っても装置全体についてさほどの小型化が達成されないといった問題があった。
【0013】
また、アンテナ装置100においては、上述した各移相器102が各アンテナ素子101にそれぞれ付設されることから、アンテナ素子101の数が増えるにしたがって、ますます装置全体が大型化するといった問題があった。さらに、アンテナ装置100においては、各アンテナ素子101の指向性を高めて高精度化を図るためにディレイライン106を増やすことにより、ますます小型化の実現が困難となる。アンテナ装置100においては、基板108上に多数本のディレイライン106を引き回した構成或いはそれらのパターン精度等により、アレイ特性の精度が低下するといった問題があった。
【0014】
したがって、本発明は、上述した従来の移相器の問題を解決して小型化と精度の向上を図った移相器を提供することを目的に提案されたものである。また、本発明は、かかる移相器を備えることにより小型化と高精度の送受信特性を有するフェーズドアレイアンテナ装置を提供することを目的に提案されたものである。
【0015】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成する本発明にかかる移相器は、伝送線路と、固定端側がグランドと接続されかつ自由端側が伝送線路を対向電極として静電容量を付加するようにそれぞれ対向されるとともに接離する方向に駆動されることによって静電容量を可変させる可動電極を有する複数個のマイクロマシンキャパシタとから構成される。移相器は、各マイクロマシンキャパシタが上記伝送線路に沿って配列されるとともに選択的に駆動されることによって伝送線路に付加する静電容量を変化させることにより、伝送線路の位相調整特性を設定する。
【0016】
以上のように構成された本発明にかかる移相器によれば、伝送路に沿って配列したマイクロマシンキャパシタによって静電容量を付加するとともに、これらマイクロマシンキャパシタを選択的に駆動することによって伝送路に付加する静電容量を任意にかつ多段に調整することが可能となる。移相器によれば、伝送路の静電容量が調整されることにより、この伝送線路を伝搬する高周波信号の位相速度を適宜変化させて位相調整が行われるようにする。移相器によれば、伝送路に沿って静電容量を付加する複数個のマイクロマシンキャパシタを配置したことから、伝送路自体が位相調整特性を奏するようになる。移相器によれば、位相調整を行うための冗長な線路長を有する複数本のディレイラインを不要として小型化が図られるとともに、これらディレイラインの引き回しやパターン精度のバラツキ等も無くライン特性の向上が図られるようになるとともに高精度の位相制御が行われるようになる。
【0017】
また、上述した目的を達成する本発明にかかるフェーズドアレイアンテナ装置は、多数個のアンテナ素子と、一端を各アンテナ素子のいずれか1個と接続されるとともに他端を高周波信号の送受信回路部と共通接続された多数本のアンテナ線路と、各アンテナ線路に沿ってそれぞれ配列されてこのアンテナ線路上にバリキャップを構成する容量調整部とから構成される。フェーズドアレイアンテナ装置は、各容量調整部が、それぞれ相対する各アンテナ線路に沿って配列した各マイクロマシンキャパシタを選択的に駆動されてアンテナ線路に付加する静電容量を変化させて位相調整特性を設定し、このアンテナ線路を伝搬するアンテナ素子から送信或いは受信される高周波信号の位相調整を行う。
【0018】
以上のように構成された本発明にかかるフェーズドアレイアンテナ装置によれば、例えば各アンテナ素子によって受信した高周波信号のスキャニングが行われることにより、このスキャニング結果に基づいてこれら高周波信号間の位相差を調整させる制御信号が各容量調整部に対して供給される。フェーズドアレイアンテナ装置によれば、各容量調整部において、制御信号に基づいてアンテナ線路に対して可動電極が選択されて駆動される。フェーズドアレイアンテナ装置によれば、各アンテナ素子によって受信された高周波信号が静電容量を異にする各アンテナ線路を伝搬する間に位相速度が適宜変化されて位相調整が行われるようになる。フェーズドアレイアンテナ装置によれば、各アンテナ線路に沿って複数個のマイクロマシンキャパシタからなる容量調整部を配置したことから、各アンテナ線路毎にそれぞれ位相調整特性が奏せられるようにするとともに静電容量を任意にかつ多段に調整することが可能となる。したがって、フェーズドアレイアンテナ装置によれば、各アンテナ線路毎に冗長な線路長を有する複数本のディレイラインが設けられた移相器を不要とすることによって小型化が図られるとともに、これらディレイラインの引き回しやパターン精度のバラツキ等も無くなることで各アンテナ線路を伝搬する高周波信号についてそれぞれ高精度の位相制御が行われるようになる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。実施の形態として図1に示したフェーズドアレイアンテナ装置1(以下、単にアンテナ装置1と略称する。)も、適宜に配列して設けた多数個のアンテナ素子2a〜2n(以下、代表して説明する場合にはアンテナ素子2と総称する。)を有し、例えば衛星放送用アンテナ等に用いられる。アンテナ装置1は、各アンテナ素子2とそれぞれ接続されて信号等が伝送される各アンテナ線路3a〜3n(以下、代表して説明する場合にはアンテナ線路3と総称する。)に沿ってそれぞれ設けられるとともに、相対するアンテナ線路3上にそれぞれバリキャップを構成する詳細を後述する容量調整器4a〜4n(以下、代表して説明する場合には容量調整器4と総称する。)を備えている。
【0020】
アンテナ装置1は、各容量調整器4によって相対するアンテナ線路3の静電容量をそれぞれ調整して各アンテナ線路3内をそれぞれ伝搬される高周波信号の位相速度を変化させることにより、各アンテナ素子2によって受信した各高周波信号の位相や各アンテナ素子2への給電位相を調整する。アンテナ装置1は、各アンテナ線路3が一端側を各アンテナ素子2と接続されるとともに、他端側が高周波信号処理部5と接続されている。アンテナ装置1は、後述するように各容量調整器4をそれぞれ駆動することにより相対するアンテナ線路3に対して接続する静電容量を調整させる駆動制御部6a〜6n(以下、代表して説明する場合には駆動制御部6と総称する。)を備えている。
【0021】
アンテナ装置1は、例えば各アンテナ素子2によって受信した高周波信号のスキャニング処理が行われて各高周波信号の位相差がそれぞれ検出され、この検出結果に基づいて各駆動制御部6から相対する容量調整器4に対してそれぞれ所定の制御信号が出力されてアンテナ線路3間の位相調整を行うようにする。アンテナ装置1においては、これによって受信した高周波信号の強度の合成が最大の利得を得るようにする。アンテナ装置1においては、詳細を後述するように各容量調整器4がそれぞれ駆動されることにより、相対するアンテナ線路3に位相速度を変化させる静電容量を付加して受信した高周波信号の位相差に応じた調整が行われるようにする。
【0022】
アンテナ装置1は、例えばSi基板やガラス基板等の誘電体からなる基板7を備えており、この基板7の主面上に平面導波路からなる各アンテナ線路3や他の信号線路或いは電極やランド等がパターン形成されるとともに各容量調整器4が形成される。なお、基板7については、例えばセラミック材や低誘電率で耐熱性や耐薬品性に優れた特性を有するポリイミド等の誘電絶縁材を用いてもよい。基板7は、主面上に各アンテナ線路3や後述する各容量調整器4を微細ピッチで精密に形成するため、平坦化された主面を有している。
【0023】
なお、アンテナ装置1は、詳細を後述する容量調整器4を備えることによって小型化が図られることから、例えばパーソナルコンピュータやモバイル機器或いは各種の電子機器等の本体機器に設けられたスロットに装填されて無線通信機能を付加するカード型無線モジユールへの展開を可能とする。アンテナ装置1は、基板7の主面上に各アンテナ素子2をパターン形成するとともに高周波信号処理部5を構成する高周波信号処理用RFモジュールや駆動制御部6を構成するLSI或いは他の回路部等を構成する各種の電子部品やIC素子、フィルタ素子等が実装されてカード型無線モジユールを構成する。
【0024】
アンテナ装置1は、各アンテナ線路3が、図2に示すようにその長さ方向に沿って絶縁を保持されてグランドパターン8が形成されることによりコプレーナ線路として基板7の主面上に形成される。アンテナ装置1は、各アンテナ線路3がかかるコプレーナ線路に限定されず、例えば誘電体からなる基板7の裏面側にグランドパターンを形成し、主面上に線路パターン形成することによってマイクロストリップ線路として構成されるようにしてもよい。なお、アンテナ装置1は、この場合にアンテナ線路3の側方に各容量調整器4の固定電極がパターン形成されるとともに、これら固定電極とグランドパターンとがスルーホールを介してそれぞれ接続される。
【0025】
基板7には、その主面上に、各アンテナ線路3に対してそれぞれその長さ方向に沿って詳細を後述するように各容量調整器4を駆動するためのそれぞれ複数個からなる駆動電極9a〜9m(以下、代表して説明する場合には駆動電極9と総称する。)がn組形成されている。各駆動電極9は、駆動制御部6とそれぞれ接続されており、上述したスキャニング処理による高周波信号の位相差に基づく制御信号が供給されることによって静電気力により容量調整器4を駆動する。
【0026】
各容量調整器4は、図2及び図3に示すように、それぞれが各アンテナ線路3に沿って基板7の主面上に形成されたそれぞれ複数個からなる容量可変型マイクロマシンキャパシタ10a〜10m(以下、代表して説明する場合にはマイクロマシンキャパシタ10と総称する。)をn組有している。なお、各容量調整器4は、各アンテナ線路3に対して形成されるマイクロマシンキャパシタ10が同数である必要は無く、また全てが同形に形成される必要も無いが、以下の説明では便宜上同数、同形として説明する。
【0027】
各マイクロマシンキャパシタ10は、各アンテナ線路3やグランドパターン8が形成された基板7の主面上に成膜技術によって極小サイズに形成されたいわゆるメムズ・キャパシタ(MEMS capacitor:Micro Electro Mecanical System capacitor)からなる。各マイクロマシンキャパシタ10は、各アンテナ線路3やグランドパターン8或いは信号線路等を形成した基板7上に誘電絶縁層を介して金属層を形成し、これら誘電絶縁層や金属層に対して所定のパターニングを行うフォトリソグラフ処理や不要な誘電絶縁層或いは金属層を除去するエッチング処理等を施して形成される。
【0028】
各マイクロマシンキャパシタ10は、それぞれに可動電極11a〜11m(以下、代表して説明する場合には可動電極11と総称する。)を備える。各可動電極11は、それぞれ一端側がグランドパターン8に接続固定されて支点部12a〜12m(以下、代表して説明する場合には支点部12と総称する。)を構成するとともに、図2破線で示すように各アンテナ線路3に対して直交するようにして延長されて他方側がアンテナ線路3を挟んで形成された図示しないグランドパターンと接続固定されることによって両持ち可動片を構成している。
【0029】
各可動電極11は、図4及び図5に示すように、それぞれの各アンテナ線路3と直交して対向する部位が自然状態において所定の対向間隔h1に保持される。各可動電極11は、対向部位がアンテナ線路3を対向電極として、その対向空間部にアンテナ線路3に静電容量を付加する容量部13a〜13m(以下、代表して説明する場合には容量部13と総称する。)を構成する。各可動電極11は、例えば自然状態で容量部13とアンテナ線路3との対向間隔が最大となるようにし、この部位においてアンテナ線路3の静電容量が最小となるようにする。
【0030】
各可動電極11は、容量部13によって相対するアンテナ線路3に対して静電容量を付加するようにするとともに、制御信号によって接離する方向に駆動されることによりこの静電容量を調整してこのアンテナ線路3を伝搬する高周波信号の位相速度を変化させる。各可動電極11は、それぞれの各駆動電極9と対向する部位が自然状態において所定の対向間隔d1に保持されることによって、電極部14a〜14m(以下、代表して説明する場合には電極部14と総称する。)を構成する。
【0031】
以上のように構成された各マイクロマシンキャパシタ10は、相対する各駆動制御部6から出力される制御信号に基づく駆動電圧が各駆動電極9に印加されると、この駆動電極9と電極部14との間に静電気力が発生する。各マイクロマシンキャパシタ10は、この静電気力によってそれぞれの可動電極11が支点部12を支点として駆動電極9側へと変位動作する。各マイクロマシンキャパシタ10は、この可動電極11の変位動作によって、図5に示すように容量部13とアンテナ線路3との対向間隔がh1からh2へと変化することでアンテナ線路3に対して所定の静電容量を付加する。
【0032】
各マイクロマシンキャパシタ10は、それぞれが各駆動電極9に印加する駆動電圧の大きさにより、可動電極11がその電極部14と駆動電極9との対向間隔を調整することが可能である。各マイクロマシンキャパシタ10は、これによって容量部13とアンテナ線路3との対向間隔も調整されることで、アンテナ線路3に対する静電容量の付加を個々に調整可能とする。各マイクロマシンキャパシタ10は、各アンテナ線路3に対する全体の動作と個々の動作とによって、静電容量を任意にかつ多段に調整することを可能とする。
【0033】
各マイクロマシンキャパシタ10は、所定位置に変位した可動電極11が、保持電流を供給することなく保持されることで、省電力化が図られる。また、各マイクロマシンキャパシタ10は、各駆動電極9に対して逆バイアス駆動電圧を印加することにより、可動電極11が初期位置へと復帰する。各マイクロマシンキャパシタ10は、これによってアンテナ線路3の静電容量も初期状態へと復帰させる。
【0034】
アンテナ装置1においては、各アンテナ素子2によってそれぞれ受信した個々の高周波信号を相対するアンテナ線路3を介して高周波信号処理部5へと搬送して所定の処理が行われるようにする。アンテナ装置1においては、図2に示すように各アンテナ線路3毎に、その長さ方向に沿って静電容量を付加する複数個のマイクロマシンキャパシタ10を配列した容量調節器4が付設される。アンテナ装置1においては、図3に示すように各マイクロマシンキャパシタ10が容量可変型のキャパシタからなる。
【0035】
アンテナ装置1においては、上述したように各高周波信号の位相差に応じて、各アンテナ線路3毎にそれぞれ付設された容量調節器4に対して駆動制御部6から所定の制御信号が出力される。アンテナ装置1においては、各容量調節器4において、各アンテナ線路2に対して長さ方向に配列された複数個のマイクロマシンキャパシタ10が選択されて駆動される。したがって、アンテナ装置1においては、長さ方向に沿って配列された各マイクロマシンキャパシタ10のオン・オフ動作の状態に応じて、各アンテナ線路3上に異なる静電容量が付加される。アンテナ装置1においては、各アンテナ線路3が、各容量調節器4によってそれぞれ個別にかつ最適な静電容量を付加されることにより、伝搬される高周波信号の位相速度を変える位相差に応じた位相調整特性が付与される。
【0036】
また、アンテナ装置1においては、各容量調節器4において各マイクロマシンキャパシタ10が駆動制御部6から出力された所定の制御信号によって可動電極11を動作量を制御して個々に駆動される。したがって、アンテナ装置1においては、上述した各マイクロマシンキャパシタ10のオン・オフ動作と、個々の動作量の制御とにより、アンテナ線路3の静電容量を任意にかつ多段に調整する。
【0037】
アンテナ装置1においては、各アンテナ素子2によって受信された個々の高周波信号が各アンテナ線路3毎にそれぞれ位相差を異にして伝搬する。アンテナ装置1においては、上述したように各アンテナ線路3がそれぞれに付設した容量調節器4によって所定の位相調整特性を付与されていることから、各アンテナ線路3において各高周波信号の位相調整を直接行って高周波信号処理部5へと伝送する。アンテナ装置1は、従来のように冗長な複数本のディレイラインを不要とすることから、大幅な小型化が図られるようになる。アンテナ装置1は、基板7上に冗長なディレイラインを引き回すことによりノイズ特性やパターン精度のバラツキによる特性の劣化等が抑制され、高精度の位相制御を行う。
【0038】
また、アンテナ装置1においては、各アンテナ線路3に対する静電容量を任意にかつ多段に付加することから、位相調整を自在に制御することが可能となりより高精度の送受信特性が得られるようになる。
【0039】
上述したアンテナ装置1においては、複数個のマイクロマシンキャパシタ10を選択してオン・オフ動作を行うようにするとともに、各マイクロマシンキャパシタ10毎にその可動電極11の動作量を制御して各アンテナ線路3との対向間隔を変えて各アンテナ線路3の静電容量を調整するようにしたが、かかる構成に限定されるものでは無い。アンテナ装置1は、各マイクロマシンキャパシタ10が各アンテナ線路3に対して接離する2位置に切り替えられ、これらを単独或いは複数組で動作させることにより、各アンテナ線路3の静電容量を調整するようにしてもよい。
【0040】
アンテナ装置1においては、各マイクロマシンキャパシタ10の可動電極11に対向して駆動制御部6から出力された制御信号が印加される駆動電極9を設けたが、例えば各アンテナ線路3を利用して可動電極11を駆動するようにしてもよい。アンテナ装置1は、各アンテナ線路3に対して高周波信号とともに直流成分の駆動電流を供給することにより、可動電極11が相対するアンテナ線路3と接離動作される。アンテナ装置1は、各マイクロマシンキャパシタ10が駆動電極9や信号ラインを不要とすることで、より小型化が図られるようになる。
【0041】
ところで、キャパシタは、相対する電極間の対向間隔とともに、電極の対向面積や対向空間の誘電率によって静電容量が変化する。したがって、アンテナ装置1においては、例えば各マイクロマシンキャパシタ10が可動電極11の材質をそれぞれ異にして形成されるとともに、これらマイクロマシンキャパシタ10を選択的に駆動することによって各アンテナ線路3に対してそれぞれ所定の静電容量を付加するようにして位相調整特性を設定するようにしてもよい。
【0042】
図6に示したマイクロマシンキャパシタ20は、それぞれの可動電極21が、容量部23の形状を互いに異にして形成されてなる。例えば第1のマイクロマシンキャパシタ20aは、可動電極21aの容量部23aが幅広に形成されることにより、動作状態においてより大きな静電容量をアンテナ線路3に対して付加する。また、第2のマイクロマシンキャパシタ20bは、可動電極21bの容量部23bが幅狭に形成されることにより、動作状態において第1のマイクロマシンキャパシタ20aよりも小さな静電容量をアンテナ線路3に対して付加する。
【0043】
各マイクロマシンキャパシタ20は、上述したように基板7上に薄膜技術により形成されるが、パターンを異にしたマスクを用いることによって同一工程で様々な形状の容量部23を有する可動電極21が容易に形成される。したがって、アンテナ装置1においては、かかるマイクロマシンキャパシタ20を用いて、それらのいずれか1個或いは複数個を選択して駆動することにより、アンテナ線路3に付加する静電容量を広範囲にかつ微細に調整することが可能となる。
【0044】
また、アンテナ装置1においては、各マイクロマシンキャパシタ10がそれぞれの可動電極11をグランドパターン8に接続固定することによって支点部12を構成したが、例えば図7に示すようにグランドパターン8との間にそれぞれスイッチ30を介挿してアンテナ線路3に対する静電容量の付加動作をオン・オフ制御するように構成してもよい。アンテナ装置1は、各スイッチ30に、マイクロマシンキャパシタ10と同一工程で形成可能なマイクロマシンスイッチを用いることによって大幅な工程変更を要せずに対応が可能である。
【0045】
アンテナ装置1においては、例えば各マイクロマシンキャパシタ10を一括して駆動するとともに、制御信号に基づいて各スイッチ30が選択されて駆動されることによりマイクロマシンキャパシタ10とグランドパターン8との間が接続或いは開放されるようにする。アンテナ装置1においては、各スイッチ30のオン・オフ動作によってアンテナ線路3に対するマイクロマシンキャパシタ10の静電容量の付加が制御されることにより、静電容量を広範囲にかつ微細に調整することが可能となる。
【0046】
アンテナ装置1は、アンテナ線路3に沿って複数個のマイクロマシンキャパシタ10を配列してなる容量調整器4によって高周波信号の位相調整を行うようにしたが、容量調整器4はこの実施の形態に限定されるものでは無い。容量調整器4は、適宜の高周波回路基板等に備えられて、伝送線路を伝送される高周波信号等の位相を調整或いは変換する移相器としても用いられる。
【0047】
上述した実施の形態においては、アンテナ装置1を衛星放送用アンテナに適用したが、かかる適用例に限定されるものでは無いことは勿論である。アンテナ装置1は、複数個のアンテナ素子2によってそれぞれ位相差を異にして受信した高周波信号の位相制御ばかりでなく、例えば高周波信号処理部5から供給されて各アンテナ素子2から発信する高周波信号の位相制御も行うことは勿論である。
【0048】
【発明の効果】
以上詳細に説明したように本発明にかかる移相器によれば、伝送路に沿って配列した複数個のマイクロマシンキャパシタを選択的に駆動することにより伝送線路の静電容量を調整して信号の位相速度を適宜変化させて位相調整を行うようにしたことにより、伝送路自体が位相調整特性を奏するようになり、冗長な線路長を有する複数本のディレイラインが不要となって小型化が図られるとともに、これらディレイラインの引き回しやパターン精度のバラツキ等によるライン特性の向上と高精度の位相制御を行うことが可能となる。
【0049】
また、本発明にかかるフェーズドアレイアンテナ装置によれば、多数本のアンテナ素子の各アンテナ線路に対して、その線路長に沿って配列された複数個のマイクロマシンキャパシタを有する容量調整部を付設し、位相差を異にする高周波信号に対応する制御信号に基づいて各マイクロマシンキャパシタを選択的に駆動してアンテナ線路の静電容量を調整して高周波信号の位相速度を適宜変化させて位相調整を行うようにしたことにより、冗長な線路長を有する複数本のディレイラインが不要となって小型化が図られるとともに、これらディレイラインの引き回しやパターン精度のバラツキ等によるライン特性の向上と高精度の位相制御を行うことが可能となる。また、フェーズドアレイアンテナ装置によれば、アンテナ線路の静電容量を任意にかつ多段に調整することが可能であることから、より精度の高いかつ精密な位相調整が行われるようになり、送受信特性の向上が図られるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態として示すフェーズドアレイアンテナ装置の要部構成図である。
【図2】同フェーズドアレイアンテナ装置のアンテナ線路に付設される容量調整器を説明する要部構成図である。
【図3】アンテナ線路に対する容量調整器による静電容量付加の構成図である。
【図4】容量調整器に備えられるマイクロマシンキャパシタの構成を説明する要部縦断面図である。
【図5】同マイクロマシンキャパシタの動作状態を説明する要部縦断面図である。
【図6】容量部の形状を異にした容量調整器を備える他のフェーズドアレイアンテナ装置の要部構成図である。
【図7】アンテナ線路に対する容量調整器による他の静電容量付加の構成図である。
【図8】従来のフェーズドアレイアンテナ装置の要部構成図である。
【図9】同フェーズドアレイアンテナ装置に備えられる移相器の平面図である。
【図10】同移相器の構成図である。
【符号の説明】
1 フェーズドアレイアンテナ装置、2 アンテナ素子、3 アンテナ線路、4 容量調整器、5 高周波信号処理部、6 駆動制御部、7 基板、8 グランドパターン、9 駆動電極、10 マイクロマシンキャパシタ、11 可動電極、12 支点部、13 容量部、14 電極部、20 マイクロマシンキャパシタ、21 可動電極、23 容量部、30 マイクロマシンスイッチ
Claims (11)
- 伝送線路と、
固定端側がグランドと接続されかつ自由端側が上記伝送線路を対向電極として静電容量を付加するようにそれぞれ対向された可動電極を有し、この可動電極が上記伝送線路に対して接離する方向に駆動されることによって上記伝送線路上にバリキャップを構成する複数個のマイクロマシンキャパシタとから構成され、
上記各マイクロマシンキャパシタが上記伝送線路に沿って配列されるとともに選択的に駆動されて上記伝送線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記伝送線路の位相調整特性が設定されることを特徴とする移相器。 - 上記各マイクロマシンキャパシタが、上記伝送線路に対する上記可動電極の対向間隔を可変制御されて上記伝送線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記伝送線路の位相調整特性を設定することを特徴とする請求項1に記載の移相器。
- 上記各マイクロマシンキャパシタが、上記伝送線路に対して上記可動電極を単独若しくは複数組で駆動して上記伝送線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記伝送線路の位相調整特性を設定することを特徴とする請求項1に記載の移相器。
- 上記各マイクロマシンキャパシタが、それぞれ上記伝送線路との対向面積を異にする上記可動電極を備え、選択的に駆動されることによって上記伝送線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記伝送線路の位相調整特性を設定することを特徴とする請求項1に記載の移相器。
- 上記各マイクロマシンキャパシタが、それぞれ比誘電率を異にする上記可動電極を備え、選択的に駆動されることによって上記伝送線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記伝送線路の位相調整特性を設定することを特徴とする請求項1に記載の移相器。
- 上記各マイクロマシンキャパシタが、上記グランドとの間にそれぞれ設けられたマイクロマシンスイッチを選択的に駆動することによって上記伝送線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記伝送線路の位相調整特性を設定することを特徴とする請求項1に記載の移相器。
- 多数個のアンテナ素子と、
一端を上記各アンテナ素子のいずれか1個と接続されるとともに他端を高周波信号の送受信回路部と共通接続された多数本のアンテナ線路と、
上記各アンテナ線路に沿ってそれぞれ配列され、固定端側がグランドと接続されかつ自由端側がそれぞれ相対する上記アンテナ線路を対向電極として静電容量を付加するように対向された可動電極を有し、この可動電極が上記アンテナ線路に対して接離する方向に駆動されることによって上記アンテナ線路上にバリキャップを構成する複数個のマイクロマシンキャパシタからなる容量調整部とから構成され、
上記各容量調整部が、それぞれ相対する上記各アンテナ線路に沿って配列した上記各マイクロマシンキャパシタを選択的に駆動されて上記アンテナ線路に付加する静電容量を変化させて位相調整特性を設定し、このアンテナ線路を伝搬する上記アンテナ素子から送信或いは受信される高周波信号の位相調整を行うことを特徴とするフェーズドアレイアンテナ装置。 - 上記各容量調整部が、上記各マイクロマシンキャパシタの上記可動電極を相対する上記アンテナ線路に対して対向間隔を可変制御するように駆動することによって静電容量を変化させることにより、上記アンテナ線路を伝搬する高周波信号の位相調整を行うことを特徴とする請求項7に記載のフェーズドアレイアンテナ装置。
- 上記各マイクロマシンキャパシタが、それぞれ上記アンテナ線路との対向面積を異にする上記可動電極を備え、選択的に駆動されることによって上記アンテナ線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記アンテナ線路を伝搬する高周波信号の位相調整を行うことを特徴とする請求項7に記載のフェーズドアレイアンテナ装置。
- 上記各マイクロマシンキャパシタが、比誘電率を異にする複数個の上記可動電極を備え、これら可動電極を選択的に駆動することによって上記アンテナ線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記アンテナ線路を伝搬する高周波信号の位相調整を行うことを特徴とする請求項7に記載のフェーズドアレイアンテナ装置。
- 上記各マイクロマシンキャパシタが、上記グランドとの間にそれぞれ設けられたマイクロマシンスイッチを選択的に駆動することによって上記アンテナ線路に付加する静電容量を変化させることにより、上記アンテナ線路を伝搬する高周波信号の位相調整を行うことを特徴とする請求項7に記載のフェーズドアレイアンテナ装置。
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