JP2008166484A - 可変容量素子及びそれを用いた可変フィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】可動時に容量値の差が小さく、また連続的に容量値を可変することができる素子を提供することを目的としている。
【解決手段】基板4と、基板4上に配置した複数の信号線路導体1,2と、複数の信号線路導体1,2上を可動する可動電極部とを備え、可動電極部は複数の導体電極5,6を配置した誘電体3を有し、導体電極5,6の少なくとも1つは、誘電体3を介して信号線路導体1,2と常時対向させ、導体電極5,6の他の少なくとも1つは、誘電体3を介して信号線路導体1,2と対向させたり対向させなかったりしているものである。
【選択図】図1
【解決手段】基板4と、基板4上に配置した複数の信号線路導体1,2と、複数の信号線路導体1,2上を可動する可動電極部とを備え、可動電極部は複数の導体電極5,6を配置した誘電体3を有し、導体電極5,6の少なくとも1つは、誘電体3を介して信号線路導体1,2と常時対向させ、導体電極5,6の他の少なくとも1つは、誘電体3を介して信号線路導体1,2と対向させたり対向させなかったりしているものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、携帯電話等の通信機器やパソコンやPDAなどの電子機器に用いる可変容量素子およびそれを用いた可変フィルタに関するものである。
以下、携帯電話等の小型無線情報通信機器に用いる従来の可変容量素子について図面を参照しながら説明する。
図10は従来の可変容量素子の構成図である。
基板13上にそれぞれの端部が所定の間隔20をおいて配置された第1および第2電極12,14を備えている。第1電極12の端部を含む基板13と反対側の表面領域には絶縁膜15が設けられ、第2電極14の端部を含む基板と反対側の表面領域には接触電極16が設けられている。第1および第2電極12,14との間の間隔20上に、接触電極16および絶縁膜15の少なくとも一部分と上面から見たときにオーバーラップするように、接触電極18および浮遊電極17からなる積層体が設けられている。浮遊電極17は基板13から遠い側に、接触電極18は基板13に近い側に設けられている。接触電極18および浮遊電極17の積層体は、基板13上に指示部を介して設けられた圧電型アクチュエータによって駆動される。
浮遊電極17が可動した状態では、浮遊電極17と電気的に接続された接触電極18が接触電極16と接し、電気的に短絡された状態となるとともに、接触電極18が絶縁膜15と接する。このため第1電極12と第2電極14が、絶縁膜15からなる容量を介して接続された状態になる。一方、浮遊電極17が可動しない状態では、第1電極12と浮遊電極18の間に、絶縁膜15からなる容量と、絶縁膜15と接触電極18の間の空間が形成する容量とが、直列に接続された状態となる。また、第2電極14と浮遊電極17の間には、接触電極16と接触電極18の間の空間が形成する容量が挿入された状態となる。したがって、浮遊電極17が可動しない状態では、第1電極12と第2電極14の間に、合計三つの容量が直列に接続された状態となる。
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
特開2006−261480号公報
上記構成の可変容量素子は、空間を介した容量と絶縁体10を介した容量を直列に接続して構成しているが、直列に接続した場合、容量は互いの容量の逆数の和で表される。空気の比誘電率は1であるため、非常に小さい容量値しか得ることができない。したがって、浮遊導体12が可動して絶縁膜10と接触した場合と浮遊導体11が可動しない場合とでの容量値の差が非常に大きく、また離散的にしか容量値を変動することができないという問題点を有していた。
本発明は上記問題点を解決し、可動時に容量値の差が小さく、また連続的に容量値を可変することができる素子を提供することを目的としている。
上記問題点を解決するために本発明は、特に、基板と、前記基板上に配置した複数の信号線路導体と、複数の前記信号線路導体上を可動する可動電極部とを備え、前記可動電極部は複数の導体電極を配置した誘電体を有し、前記導体電極の少なくとも1つは、前記誘電体を介して前記信号線路導体と常時対向させ、前記導体電極の他の少なくとも1つは、前記誘電体を介して前記信号線路導体と対向させたり対向させなかったりすることを特徴とする構成である。
上記構成により、導体電極の他の少なくとも1つは、誘電体を介して信号線路導体と対向させたり対向させなかったりするので、対向させた場合と対向させない場合において、静電容量が変化するため可変容量素子を形成できる。また、対向させない場合は、スイッチのOFFと同じ状態であり、対向させた場合は、スイッチのONと同じ状態であり、スイッチとしても用いることができる。
以下、本発明の一実施の形態について図面を参照しながら説明する。
図1は本発明の一実施の形態における可変容量素子の構成図(上面図およびA−A〜C−C断面図)、図2、図3は同可変容量素子の可動状態を示す構成図(上面図およびA−A〜C−C断面図)である。
図1において、可変容量素子は、シリコンからなる基板4上に平行に配置した信号線路導体1,2と、誘電体3とその上部に設けた導体電極5,6を備えている。
信号線路導体1,2は平行に配置されており、信号線路導体1と信号線路導体2の入力部は互いに相対した方向に設けてあり、他端はともに開放されている。信号線路導体1,2の材料としては、例えば、金、白金、銅、アルミニウム、銀、パラジウム、チタン、クロム、タングステンからなる群より選択される一種の金属もしくは二種以上を組み合わせた合金から形成している。金、白金で形成した場合ならば、損失劣化を抑えるという観点から線路幅は100μm、厚みは0.2μm以上であることが好ましい。また、信号線路導体1,2の間隔は、線路間アイソレーションを確保するために1μm以上離れていることが望ましい。
この2本の信号線路導体1,2の上面に誘電体3を配置し、上面からみて信号線路導体1,2と重なるように誘電体3上に導体電極5,6を配置した可動電極部を設けている。この可動電極部は2本の信号線路1,2のうちのどちらかの一方の信号入力部からもう一方の信号入力部に向かって可動する。この可動は、どちらか一方の信号線路導体1,2のみ可動電極部が接触した状態となり、信号線路導体1,2は電気的に非接触となる。続いてもう一方の信号線路導体1,2の開放側から、徐々に可動電極部が接触し、連続的に接触面積が変化する。最後に、可動電極部はどちらの信号線路導体1,2とも完全に接触した状態となる。すなわち、導体電極5,6の少なくとも1つは、誘電体3を介して信号線路導体1,2と常時対向させ、導体電極5,6の他の少なくとも1つは、誘電体3を介して信号線路導体1,2と対向させたり対向させなかったりしているものである。この可動状態を図2、図3に示す。
例えば、誘電体3をPZT、導体電極5,6を白金で形成すると、PZTに直流電圧を与えることで、圧電効果により可動させることができる。図4に示すように、印加電極9A,9B,9C,9Dのように両持ち梁の構造で配置すればよい。もちろん、片持ち梁でもかまわない。また、他にも、図5のように導体電極5,6同一平面状に櫛型電極10A,10Bを形成し、それらと噛み合うように櫛型電極10C,10D,10E,10Fを配置して、10Aと10C、10Dの間に、また10Bと10E、10Fの間に電位差を加えることで、静電力により可動させることもできる。この場合も片持ち梁でもかまわない。
これにより、容量値は面積に比例するため連続的に容量値を可変させることができる。さらに、信号線路1,2が電気的に非接触の状態と接触の状態を作り出すことができるため、スイッチとしても使用することができる。
なお、図6に示すように誘電体3と信号線路導体1,2との間の摩擦を防ぐために空隙を設けてもよい。その際、大きな容量値を得るために空隙は50nm以下が望ましい。これを保持するには、図7に示すように表面に凹凸11を設けた絶縁体8を配置すればよい。両持ち梁構造の場合は絶縁体8はなくてもよい。
なお、大きな容量値を得るために誘電体をBST(チタン酸バリウムストロンチウム)、STO(チタン酸ストロンチウム)、BTO(チタン酸バリウム)、SrTa2O6(タンタル酸ストロンチウム)、Sr2Ta2O7(タンタル酸ストロンチウム)、ZnO(酸化亜鉛)、HfO2(酸化ハフニウム)、Ta2O5(酸化タンタル)などに代表される高誘電体や、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、PZTN(Nb添加PZT)、PLZT(チタン酸ジルコン酸ランタン鉛)、PLT(チタン酸ランタン鉛)、PTN(Nb添加PT)、SBT(タンタル酸ストロンチウム・ビスマス)、SBTN(Nb添加SBT)、AIN(窒化アルミニウム)などに代表される強誘電体を用いることが望ましい。
なお、図8に示すようにキャパシタ7に用いれば、図9に示すように可変フィルタとして構成することができる。
以上のように本発明にかかる可変容量素子およびそれを用いた可変フィルタは、携帯電話等の通信機器やパソコンやPDAなどの電子機器に用いることができる。
1,2 信号線路導体
3 誘電体
4 基板
5,6 導体電極
7 キャパシタ
8 絶縁体
9A 印加電極
9B 印加電極
9C 印加電極
9D 印加電極
10A 櫛型電極
10B 櫛型電極
10C 櫛型電極
10D 櫛型電極
10E 櫛型電極
10F 櫛型電極
11 凹凸
3 誘電体
4 基板
5,6 導体電極
7 キャパシタ
8 絶縁体
9A 印加電極
9B 印加電極
9C 印加電極
9D 印加電極
10A 櫛型電極
10B 櫛型電極
10C 櫛型電極
10D 櫛型電極
10E 櫛型電極
10F 櫛型電極
11 凹凸
Claims (12)
- 基板と、前記基板上に配置した複数の信号線路導体と、複数の前記信号線路導体上を可動する可動電極部とを備え、前記可動電極部は複数の導体電極を配置した誘電体を有し、前記導体電極の少なくとも1つは、前記誘電体を介して前記信号線路導体と常時対向させ、前記導体電極の他の少なくとも1つは、前記誘電体を介して前記信号線路導体と対向させたり対向させなかったりすることを特徴とする可変容量素子。
- 前記誘電体と前記信号線路導体との間に空隙を設けたことを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記誘電体はBST、STO、BTO、SrTa2O6、Sr2Ta2O7、ZnO、HfO2、Ta2O5からなる群より選択される一種の高誘電体であることを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記誘電体はPZT、PZTN、PLZT、PLT、PTN、SBT、SBTN、BTO、AINからなる群より選択される一種の強誘電体であることを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記信号線路導体及び前記導体電極は金、白金、銅、アルミニウム、銀、パラジウム、チタン、クロム、タングステンからなる群より選択される一種の金属もしくは二種以上を組み合わせた合金からなることを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記可動電極部を静電力で可動させることを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記可動電極部を圧電効果で可動させることを特徴とする請求項1記載の可変容量素子。
- 前記可動電極部を形状記憶効果で可動させることを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記信号線路導体及び導体電極を幅100μm、厚み0.20μm以上で構成することを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記信号線路導体の間隔を1μm以上とすることを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記誘電体と前記信号線路導体との間に50nm以下の空隙を設けたことを特徴とする請求項1に記載の可変容量素子。
- 請求項1に記載の可変容量素子を用いた可変フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006354275A JP2008166484A (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 可変容量素子及びそれを用いた可変フィルタ |
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JP2006354275A JP2008166484A (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 可変容量素子及びそれを用いた可変フィルタ |
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Family Applications (1)
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JP2006354275A Pending JP2008166484A (ja) | 2006-12-28 | 2006-12-28 | 可変容量素子及びそれを用いた可変フィルタ |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2008166484A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013051297A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Murata Mfg Co Ltd | 可変容量装置 |
WO2019111636A1 (ja) * | 2017-12-04 | 2019-06-13 | Tdk株式会社 | 誘電体材料の検出方法、検出装置、検出プログラムおよび誘電体組成物 |
-
2006
- 2006-12-28 JP JP2006354275A patent/JP2008166484A/ja active Pending
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WO2019111636A1 (ja) * | 2017-12-04 | 2019-06-13 | Tdk株式会社 | 誘電体材料の検出方法、検出装置、検出プログラムおよび誘電体組成物 |
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