JP2005094568A - マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法および周波数フィルタ - Google Patents
マイクロ電気機械システムの共振器およびその駆動方法および周波数フィルタ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】信号を入力する入力電極11と、不平衡入力信号を平衡出力信号で出力する出力電極(第1出力電極12、第2出力電極13)と、入力電極11、第1出力電極12、第2出力電極13に対して空間21を介して対向する振動子14とを備えたマイクロ電気機械システムの共振器(MEMS共振器1)であって、第1出力電極12は入力電極11の位相と180度異なる位相の位置に配置され、第2出力電極13は入力電極11の位相と同位相の位置に配置されるものである。
【選択図】図1
Description
Claims (10)
- 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えたマイクロ電気機械システムの共振器において、
前記出力電極は不平衡で入力して平衡で出力する電極からなる
ことを特徴とするマイクロ電気機械システムの共振器。 - 前記出力電極は前記入力電極の一方側に間隔を置いて設けた第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記第1出力電極は前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は入力電極の位相と同位相の位置に配置される
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロ電気機械システムの共振器。 - 前記第1出力電極は前記第2出力電極の両側に設けられている
ことを特徴とする請求項2記載のマイクロ電気機械システムの共振器。 - 前記出力電極は第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記入力電極は複数の入力電極からなり、
前記第1出力電極は前記複数の入力電極と同数設けられていて前記第1出力電極と前記複数の入力電極とは交互にかつ前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は前記入力電極と前記第1出力電極の配列の最も端に設けられた前記第1出力電極の前記入力電極とは反対側に配置されかつ前記入力電極の位相と同位相の位置に配置される
ことを特徴とする請求項1記載のマイクロ電気機械システムの共振器。 - 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えたマイクロ電気機械システムの共振器の駆動方法において、
不平衡で入力して平衡で出力する
ことを特徴とするマイクロ電気機械システムの共振器の駆動方法。 - 前記出力電極は前記入力電極の一方側に間隔を置いて設けた第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記第1出力電極は前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は入力電極の位相と同位相の位置に配置される
ことを特徴とする請求項5記載のマイクロ電気機械システムの共振器の駆動方法。 - 前記第1出力電極は前記第2出力電極の両側に設けられている
ことを特徴とする請求項6記載のマイクロ電気機械システムの共振器の駆動方法。 - 前記出力電極は第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記入力電極は複数の入力電極からなり、
前記第1出力電極は前記複数の入力電極と同数設けられていて前記第1出力電極と前記複数の入力電極とは交互にかつ前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は前記入力電極と前記第1出力電極の配列の最も端に設けられた前記第1出力電極の前記入力電極とは反対側に配置されかつ前記入力電極の位相と同位相の位置に配置される
ことを特徴とする請求項5記載のマイクロ電気機械システムの共振器の駆動方法。 - 信号を入力する入力電極と、
信号を出力する出力電極と、
前記入力電極および前記出力電極に対して空間を介して対向する振動子と
を備えたマイクロ電気機械システムの共振器において、
前記出力電極は不平衡で入力して平衡で出力する電極からなる
マイクロ電気機械システムの共振器を備えた
ことを特徴とする周波数フィルタ。 - 前記出力電極は前記入力電極の一方側に間隔を置いて設けた第1出力電極と第2出力電極とからなり、
前記第1出力電極は前記入力電極の位相と180度異なる位相の位置に配置され、
前記第2出力電極は入力電極の位相と同位相の位置に配置される
ことを特徴とする請求項9記載の周波数フィルタ。
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