JP7128493B2 - 振動発電素子 - Google Patents
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- H02N1/08—Influence generators with conductive charge carrier, i.e. capacitor machines
Description
本発明の第2の態様によると、第1の態様による振動発電素子において、前記第1導通部は前記可動電極部と連続する第2層に形成され、絶縁層を介することなく前記弾性支持部と対向する第1板状部材を備え、前記第1板状部材は、前記絶縁層を介することなく前記弾性支持部と対向する片持ち梁形状の第1変形部と、前記片持ち梁形状の第1変形部の先端に接続され、前記先端から前記第1変形部の根元方向に折り返すように延在し、前記弾性支持部に付着している第1付着部と、を有し、前記第1変形部および前記第1付着部は、前記第1板状部材の厚さ方向に貫通する孔が複数形成されていることが好ましい。
本発明の第3の態様によると、第1または第2の態様による振動発電素子において、前記枠体の前記第1層と前記第2層とを電気的に接続する第2導通部を備えることが好ましい。
本発明の第4の態様によると、第3の態様による振動発電素子において、前記第2導通部は前記枠体の前記第2層に形成され、絶縁層を介することなく前記枠体の前記第1層と対向する第2板状部材を備え、前記第2板状部材は、前記絶縁層を介することなく前記枠体の前記第1層と対向する片持ち梁形状の第2変形部と、前記片持ち梁形状の第2変形部の先端に接続され、前記先端から前記第2変形部の根元方向に折り返すように延在し、前記枠体の前記第1層に付着している第2付着部と、を有し、前記第2変形部および前記第2付着部は、前記第2板状部材の厚さ方向に貫通する孔が複数形成されていることが好ましい。
本発明の第5の態様によると、第1の態様から第4の態様のいずれかによる振動発電素子において、前記固定電極部は複数の固定櫛歯を有し、前記可動電極部は、前記複数の固定櫛歯と隙間を介して噛合するように配置される複数の可動櫛歯を有し、前記弾性支持部は、前記固定櫛歯に対する前記可動櫛歯の挿入量が変化する方向に変位可能に前記可動電極部を弾性支持することが好ましい。
本発明の第6の態様によると、振動発電素子は、第1層と第2層が絶縁層を介して積層されている基板の、前記第1層に形成された固定櫛歯電極と、前記第1層に形成され、前記固定櫛歯電極に対して可動する可動櫛歯電極と、前記第2層に形成され、前記可動櫛歯電極を弾性支持する弾性支持部と、前記第1層に形成され、前記可動櫛歯電極を前記弾性支持部に機械的、かつ、電気的に接続する接続部とを備える。
振動発電素子1は、枠形状の枠体10と、枠体10に固定された4組の固定電極部11と、固定電極部11と対をなす可動電極部12と、可動電極部12を弾性的に支持する弾性支持部13と、可動電極部12を弾性支持部13に機械的、かつ電気的に接続する導通部15とを備えている。図1では、デバイス層2Cが図示表面側に設けられており、4組の固定電極部11および可動電極部12はデバイス層2Cに形成され、弾性支持部13は裏面側のハンドル層2Aに形成されている。枠体10は、BOX層2Bを介して設けられたハンドル層2Aとデバイス層2Cとで形成される。枠体10には、表面側のデバイス層2Cと裏面側のハンドル層2Aとを機械的、かつ電気的に接続する導通部14が2か所形成されている。また、可動電極部12の中央にも導通部15が同様に形成されている。各固定電極部11には電極パッド111が設けられ、導通部14にも電極パッド145が設けられている。
図2に示すように、弾性支持部13はハンドル層2Aに形成されている。この弾性支持部13は、デバイス層2Cに形成された可動電極部12が連結されて設けられる可動電極連結部130と、ハンドル層2Aに形成されている枠体10に可動電極連結部130を弾性的に支持する4組の梁部131とを備える。図1に示すデバイス層2Cの導通部15は、後述する変形部151を介して、ハンドル層2Aの可動電極連結部130に電気的に接続されている。したがって、SOI基板表面側の可動電極部12は、導通部15を介してSOI基板裏面側の可動電極連結部130に導通している。枠体10は矩形の枠形状を成し、ハンドル層2Aの弾性支持部13の4組の梁部131は、枠体10のハンドル層2Aに連結されている。
図1に示すように、4組の固定電極部11の各々は、x方向に延びる固定櫛歯110がy方向に複数並ぶ櫛歯列を有している。可動電極部12は、4組の固定電極部11に対応する4組の可動櫛歯群12Aを有している。各可動櫛歯群12Aは、x方向に延びる可動櫛歯120がy方向に複数並ぶ櫛歯列を成している。固定電極部11に形成された複数の固定櫛歯110と、その固定電極部11に対応する可動櫛歯群12Aの複数の可動櫛歯120とは、静止状態(中立状態)においてx方向に所定の噛合長をもって、隙間を介して互いに噛合するように配置されている。
図3は可動電極部12に設けられた導通部15を詳細に示す図であり、(a)は平面図、(b)はB1-B1断面図、(c)はB2-B2断面図である。導通部15は、デバイス層2Cに形成されている。導通部15は、枠部150と、変形部151と、付着部152とを備えている。変形部151の先端領域および付着部152は、ハンドル層2Aに形成された可動電極連結部130に、いわゆるスティクション現象により接触している。枠部150は、図2に示した領域S3のBOX層2Bを介してハンドル層2Aの可動電極連結部130に固定されている。変形部151の根元部分(図示左端)は枠部150に接続され、先端(図示右端)は連結部153を介して付着部152と繋がっている。付着部152は、デバイス層2Cに設けた導通部15の変形部151のたわみ変形により、その底面のほぼ全域がハンドル層2Aの可動電極連結部130に接触されている。導通部15の外観形状は、後述する図10に示されている。
図4は、枠体10のデバイス層2Cに設けられた導通部14を詳細に示す図であり、(a)は平面図、(b)はC-C断面図である。導通部14も、導通部15と同様の構造の変形部141,付着部142および連結部143を有し、変形部141および付着部142にはエッチング用の貫通孔144が複数形成されている。変形部141の根元部(図示下端)は導通部14の固定部140に接続されている。図4(b)に示すように固定部140は、図2に示す領域S2のBOX層2Bを介して枠体10のハンドル層2Aに固定されている。
図5~8は、MEMS加工による振動発電素子1の形成手順の一例を示す図である。なお、図5~8では、図1の一点鎖線L1に沿った断面を模式的に示した。図5(a)に示す工程では、MEMS加工に用いられるSOI(Silicon On Insulator)基板の表裏両面に、LP-CVDによりSiN膜201およびPoly-Si膜202を成膜する。SOI基板の各層の厚さは、例えば、ハンドル層2Aが500μm、BOX層2Bが2μm、デバイス層2Cが100μmである。
(比較例)
図11は、本実施の形態の振動発電素子1の比較例を示す図である。図11に示す振動発電素子300では、4組の弾性支持部13が可動電極部12と共にデバイス層2Cに形成されている点が図1の振動発電素子1と異なる。図11の振動発電素子では、可動電極部12を弾性支持する弾性支持部13は、デバイス層2Cに形成された固定部30に連結している。固定部30は、ハンドル層2Aに形成された枠体10上にBOX層2Bを介して固定されている。可動電極部12は、デバイス層2Cに形成された弾性支持部13および固定部30を介して電極パッド145に導通している。
また、固定櫛歯および/または可動櫛歯にエレクトレット膜を形成した振動発電素子を一例として説明したが、必要な発電量を出力できる素子であれば、エレクトレット膜は必須の構成ではない。
日本国特願2019-008337号(2019年1月22日出願)
日本国特許第5627130号公報
日本国特許第6338070号公報
Claims (6)
- 絶縁層を介して第1層と第2層とが設けられた基板の前記第2層に形成される固定電極部および可動電極部と、
前記絶縁層を介して設けられた前記第1層と前記第2層とで形成され、前記第2層において前記固定電極部を支持する枠体と、
前記第1層に形成され、前記枠体の前記第1層に連結される梁部により前記可動電極部を弾性的に支持する弾性支持部と、
前記可動電極部と前記弾性支持部とを電気的に接続する第1導通部とを備える、振動発電素子。 - 請求項1に記載の振動発電素子において、
前記第1導通部は前記可動電極部と連続する第2層に形成され、絶縁層を介することなく前記弾性支持部と対向する第1板状部材を備え、
前記第1板状部材は、
前記絶縁層を介することなく前記弾性支持部と対向する片持ち梁形状の第1変形部と、
前記片持ち梁形状の第1変形部の先端に接続され、前記先端から前記第1変形部の根元方向に折り返すように延在し、前記弾性支持部に付着している第1付着部と、を有し、
前記第1変形部および前記第1付着部は、前記第1板状部材の厚さ方向に貫通する孔が複数形成されている、振動発電素子。 - 請求項1または2に記載の振動発電素子において、
前記枠体の前記第1層と前記第2層とを電気的に接続する第2導通部を備える、振動発電素子。 - 請求項3に記載の振動発電素子において、
前記第2導通部は前記枠体の前記第2層に形成され、絶縁層を介することなく前記枠体の前記第1層と対向する第2板状部材を備え、
前記第2板状部材は、
前記絶縁層を介することなく前記枠体の前記第1層と対向する片持ち梁形状の第2変形部と、
前記片持ち梁形状の第2変形部の先端に接続され、前記先端から前記第2変形部の根元方向に折り返すように延在し、前記枠体の前記第1層に付着している第2付着部と、を有し、
前記第2変形部および前記第2付着部は、前記第2板状部材の厚さ方向に貫通する孔が複数形成されている、振動発電素子。 - 請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の振動発電素子において、
前記固定電極部は複数の固定櫛歯を有し、
前記可動電極部は、前記複数の固定櫛歯と隙間を介して噛合するように配置される複数の可動櫛歯を有し、
前記弾性支持部は、前記固定櫛歯に対する前記可動櫛歯の挿入量が変化する方向に変位可能に前記可動電極部を弾性支持する、振動発電素子。 - 第1層と第2層が絶縁層を介して積層されている基板の、前記第1層に形成された固定櫛歯電極と、
前記第1層に形成され、前記固定櫛歯電極に対して可動する可動櫛歯電極と、
前記第2層に形成され、前記可動櫛歯電極を弾性支持する弾性支持部と、
前記第1層に形成され、前記可動櫛歯電極を前記弾性支持部に機械的、かつ、電気的に接続する接続部とを備える、振動発電素子。
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Citations (4)
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---|---|---|---|---|
JP2005045976A (ja) | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電アクチュエータ |
JP2006334697A (ja) | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Seiko Epson Corp | アクチュエータおよびその製造方法 |
JP2013172605A (ja) | 2012-02-22 | 2013-09-02 | Aoi Electronics Co Ltd | 振動発電素子およびその製造方法 |
JP2016059191A (ja) | 2014-09-11 | 2016-04-21 | ソニー株式会社 | 静電型デバイス |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP5237705B2 (ja) * | 2008-06-24 | 2013-07-17 | パナソニック株式会社 | 発電デバイス |
WO2010107016A1 (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-23 | パナソニック電工株式会社 | Memsデバイス |
JP2012024897A (ja) * | 2010-07-26 | 2012-02-09 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Memsデバイス |
JP6175868B2 (ja) * | 2013-04-03 | 2017-08-09 | 株式会社豊田中央研究所 | Mems装置 |
JP5855602B2 (ja) * | 2013-05-22 | 2016-02-09 | アオイ電子株式会社 | 静電誘導型電気機械変換素子およびナノピンセット |
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JP2019008337A (ja) | 2015-10-26 | 2019-01-17 | 三郎 山内 | 物体識別システム、物体識別方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
JP6507999B2 (ja) * | 2015-11-04 | 2019-05-08 | 株式会社豊田中央研究所 | Memsセンサ |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005045976A (ja) | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Matsushita Electric Works Ltd | 静電アクチュエータ |
JP2006334697A (ja) | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Seiko Epson Corp | アクチュエータおよびその製造方法 |
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