WO2022130809A1 - 振動発電素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
振動発電素子では、可動電極をカンチレバーのような弾性支持部で支持し、可動電極が固定電極に対して振動することで発電を行っている(特許文献1参照)。
本発明の第2の態様による振動発電素子の製造方法は、第1の態様による振動発電素子を製造するための製造方法であって、第1層、第2層および第3層が設けられた基板を用意する第1工程と、前記基板の前記第1層の側から前記第1層の一部をエッチングして、前記固定電極、前記可動電極、および前記接続部材を除く前記弾性支持部を形成する第2工程と、前記基板の前記第3層の側から前記第3層の一部をエッチングして、前記ベース部および前記接続部材を形成する第3工程と、前記第1工程および前記第2工程の終了後に、前記第2層の一部をエッチングして、少なくとも前記固定電極と前記接続部材との分離を行う第4工程と、を備える。
図1は、振動発電素子1の一例を説明する平面図である。図1および以降のいくつかの図では、デカルト座標系と呼ばれる右手系の直交座標系で、X方向、Y方向およびZ方向の向きを表すものとする。X方向、Y方向およびZ方向は、相互に直交する方向であり、X方向およびY方向は、後に詳述する可動電極が発電時に振動する平面と平行な方向であり、Z方向は、上記振動する平面と直交する方向である。
なお、振動発電素子1は、SOI基板に限らずSi基板等を用いて形成してもよい。
可動電極4は、図示左右両端の2個の固定部6aに、4個の弾性構造体5を介して接続されている。各固定電極3には電極パッド35が設けられ、図示右端側の固定部6aにも電極パッド65が設けられている。
4個の固定電極3の各々は、X方向に延びる固定櫛歯30がY方向に複数並ぶ櫛歯列を有している。可動電極4は、4個の固定電極3に対応する4個の可動櫛歯群4aを有している。4個の可動櫛歯群4aの各々は、X方向に延びる可動櫛歯40がY方向に複数並ぶ櫛歯列を成している。固定電極3に形成された複数の固定櫛歯30と、その固定電極3に対応する可動櫛歯群4aの複数の可動櫛歯40とは、静止状態(中立状態)においてX方向に所定の噛合長をもって、Y方向に所定の隙間を介して互いに噛合するように配置されている。
弾性支持部50は、4個の弾性構造体5によって構成されている。可動電極4の図示右端部は、4個の弾性構造体5のうちの右側2個の弾性構造体5により支持され、可動電極4の図示左端部は、4個の弾性構造体5のうちの左側2個の弾性構造体5により支持されている。
各弾性構造体5は、第1弾性部としてのMEMS弾性構造51bおよび51cと、第2弾性部としてのMEMS弾性構造51aおよび51dとからなる4個のMEMS弾性構造を備えている。弾性構造体5に備わる4個のMEMS弾性構造51a~51dは、弾性構造体5を構成する結合部52にそれぞれ接続(固定)されている。
また、4個のMEMS弾性構造51のうちの左端に配置されたMEMS弾性構造51aの図示下端側がベース部2上に固定された図示左端側の固定部6aに固定されると共に、図示上端側が結合部52に固定されている。
さらにまた、4個のMEMS弾性構造51のうちの右端に配置されたMEMS弾性構造51dの図示下端側がベース部2と同じ支持層に形成されている領域26上に固定された図示左上の固定部6bに固定されると共に、図示上端側が結合部52に固定されている。
図示右上、左下、右下の各弾性構造体5に備わる各4個のMEMS弾性構造51a~51dについても、上記図示左上の弾性構造体5に備わる4個のMEMS弾性構造51a~51dと同様の構造となっている。
なお、固定櫛歯30および可動櫛歯40のそれぞれにエレクトレットを形成してもよい。また、本明細書において、可動電極4は、弾性構造体5により保持され、弾性構造体5の変形により、可動櫛歯40と一体的に振動方向(X方向)に振動する部材をいう。
本実施形態では、エレクトレット形成処理の過程で可動電極4と固定電極3との間に外部から直流電圧V0が印加された場合に、上述した可動櫛歯40と固定櫛歯30との間のY方向の隙間の電場をゼロにするような電圧V0のことを、帯電電圧と定義する。つまり、電気二重層の電位差は帯電電圧と一致するとともに、エレクトレット形成処理において外部電源から印加する電圧V0とも等しい。
図示した振動発電素子1において、発電時に可動電極4が振動する方向はX方向である。振動発電素子1は、上記帯電電圧が高いほど発電量を大きくすることができる。一方で、上記帯電電圧が高いほど可動櫛歯40と固定櫛歯30との間に電極を引き付け合う静電引力が発生する。上述したように、互いに噛合している固定櫛歯30と、その固定櫛歯30に対応する可動櫛歯40とは、静止状態(中立状態)においてY方向に所定の隙間を有する。Y方向は、発電時に可動電極4が振動する平面において振動方向(X方向)と直交する方向である。
静電引力が大き過ぎると、可動櫛歯40が固定櫛歯30に吸着して可動電極4の振動を妨げ、発電できない状態になる。このような現象はプルイン現象と称され、プルイン現象を発生させる帯電電圧はプルイン電圧Vpと称される。
接続部材25の詳細について説明する。図2(a)は、図1のうち破線Qで囲まれる付近を拡大した図である。図2(b)は、図2(a)のA-A断面をマイナスY方向からプラス方向に見た模式図である。一点鎖線A-Aは、X軸と平行で接続部材25を通る直線である。
弾性構造体5の結合部52のうちの上面視で(すなわちZ方向に見て)接続部材25と重なる領域は、マイナスZ方向から犠牲層38を介して接続部材25と機械的に固定されている。
接続部材25のうちの上面視で固定電極3と交差する領域(破線で囲むE部)は、Z方向に間隔gだけ離れている。固定電極3と接続部材25との間のZ方向の間隔gは1~5μm程度であり、犠牲層の厚さに相当する。
以上のように構成した振動発電素子1の弾性構造体5のY方向におけるバネ定数kyを例示すると、以下のとおりである。
ky=5N/10μm=500kN/m …(1)
ky(p)=5N/13μm=384kN/m …(2)
一般に、振動発電素子1においてプルイン現象を発生させるプルイン電圧Vp、すなわちプルイン現象を発生させる帯電電圧は、次式(3)によって表される。
Vp=√(ky×α) …(3)
ただし、kyは弾性構造体5のY方向におけるバネ定数、αは櫛歯(固定櫛歯30および可動櫛歯40)の寸法で決まる定数である。
具体的には、例えば安全率2倍を設定し、714÷2=357Vの帯電電圧が得られるようなエレクトレット膜を生成する。換言すると、エレクトレット形成処理の過程で可動電極4と固定電極3との間に外部から直流電圧V0=357Vを印加する。
以下、振動発電素子1の製造方法の一例について、図3および図4を参照して説明する。図3は、振動発電素子1の製造手順を例示するフローチャートである。図4(a)~図4(d)は、製造段階の生成物を示す模式図である。図4(a)~図4(d)は、それぞれが図2(b)のA-A断面図で例示する範囲に対応しており、わかりやすくするために活性層および支持層の断面をハッチングで示す。
図3のステップS10において、作業者または製造装置は、図4(a)に示すSOI基板を用意する。
図3のステップS20において、作業者または製造装置は、SOI基板の上層である活性層に対し、図4(b)に図示した範囲において弾性構造体5の結合部52および固定電極3等のパターンを形成するとともに、図4(b)に図示していない範囲において固定電極3、可動電極4、弾性構造体5および固定部6a等のパターンを形成するため、SF6またはCF4等のフッ素を含むガスを用いたRIE(Reactive Ion Etching)によりエッチングする。
ステップS30において、作業者または製造装置は、SOI基板の下層である支持層に対し、図4(c)に図示した範囲においてベース部2の領域20および接続部材25等のパターンを形成するとともに、図4(c)に図示していない範囲においてベース部2の領域20および領域26等のパターンを形成するため、ステップS20の場合と同様にRIEによりエッチングする。
ステップS40において、作業者または製造装置は、SOI基板の中層である犠牲層を、BHF(バッファードフッ酸)を用いたウェットエッチングにより除去する。BHFにより、上述した工程2および工程3によって犠牲層の上側(活性層側)および下側(支持層側)の少なくとも一方が露出している領域の犠牲層がエッチングされ、図4(d)に示すように活性層のみまたは支持層のみが残される。上述した工程2および工程3の後に、上側(活性層側)および下側(支持層側)のいずれも露出しない領域の犠牲層は、ウェットエッチング後も残って活性層と支持層を機械的に固定する状態を維持する(犠牲層38)。
上記工程1から工程4に例示した手順により、エレクトレット未形成の振動発電素子1のMEMS加工体が形成される。工程5としてのステップS50において、作業者または製造装置は、公知のエレクトレット形成処理により、固定電極3および/または可動電極4にエレクトレットを形成する。
(1)振動発電素子1は、ベース部2に固定されている固定電極3と、固定電極3に対して移動可能な可動電極4と、一端がベース部2に固定されるとともに他端が可動電極4に固定され、可動電極4を弾性的に支持する弾性支持部50と、を備える。そして、弾性支持部50は、結合部52、一端が結合部52に固定されるとともに他端が可動電極4に固定され、可動電極4が振動するX方向と直交するY方向に延在する第1弾性部としてのMEMS弾性構造51bと51c、および、一端が結合部52に固定されるとともに他端がベース部2(領域26)に固定され、Y方向に延在する第2弾性部としてのMEMS弾性構造51aおよび51d、をそれぞれ有し、可動電極4のX方向の両側にそれぞれ配置された複数の弾性構造体5と、複数の弾性構造体5に含まれる結合部52を互いに接続する接続部材25とを含む。
このように構成したので、各部材を適切に活性層または支持層に設けることができる。
以上で説明した実施形態においては、基板として、Siの支持層と、SiO2の犠牲層と、Siの活性層とを有する基板(SOI基板)を用いるとしたが、基板はSOI基板に限られるものではない。基板は、活性層としての第1層と、犠牲層としての第2層と、支持層としての第3層とが積層され、第2層の耐エッチング特性が、第1層および第3層の耐エッチング特性と異なる基板であれば良い。このうち、第2層または第3層は、絶縁性の材料からなる層であっても良い。
Claims (8)
- ベース部に固定されている固定電極と、
前記固定電極に対して移動可能な可動電極と、
一端が前記ベース部に固定されるとともに他端が前記可動電極に固定され、前記可動電極を弾性的に支持する弾性支持部と、を備える振動発電素子であって、
前記弾性支持部は、
連結部、一端が前記連結部に固定されるとともに他端が前記可動電極に固定され、前記可動電極が振動する第1方向と直交する第2方向に延在する第1弾性部、および、一端が前記連結部に固定されるとともに他端が前記ベース部に固定され、前記第2方向に延在する第2弾性部、をそれぞれ有し、前記可動電極の前記第1方向の両側にそれぞれ配置された複数の弾性構造体と、
前記複数の弾性構造体に含まれる前記連結部を互いに接続する接続部材と、
を含む、振動発電素子。 - 請求項1に記載の振動発電素子において、
前記接続部材と前記固定電極とは、前記第1方向および前記第2方向と直交する第3方向から見て交差し、かつ、前記第3方向に離間している、振動発電素子。 - 請求項1または2に記載の振動発電素子において、
前記接続部材は、前記ベース部と同じ材質によって構成される、振動発電素子。 - 請求項1から3のいずれか一項に記載の振動発電素子において、
前記固定電極、前記可動電極、および前記接続部材を除く弾性支持部は、第1層、第2層および第3層が設けられた基板の前記第1層に形成され、
前記ベース部および前記接続部材は、前記基板の前記第3層に形成されている、振動発電素子。 - 請求項4に記載の振動発電素子において、
前記接続部材は、前記第2層を介して前記複数の弾性構造体に含まれる前記連結部に固定されている、振動発電素子。 - 請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の振動発電素子を製造するための製造方法であって、
第1層、第2層および第3層が設けられた基板を用意する第1工程と、
前記基板の前記第1層の側から前記第1層の一部をエッチングして、前記固定電極、前記可動電極、および前記接続部材を除く前記弾性支持部を形成する第2工程と、
前記基板の前記第3層の側から前記第3層の一部をエッチングして、前記ベース部および前記接続部材を形成する第3工程と、
前記第2工程および前記第3工程の終了後に、前記第2層の一部をエッチングして、少なくとも前記固定電極と前記接続部材との分離を行う第4工程と、
を備える、振動発電素子の製造方法。 - 請求項6に記載の振動発電素子の製造方法において、
前記複数の弾性構造体の各連結部および前記接続部材は、前記第4工程で残される前記第2層を介して一体に形成される、振動発電素子の製造方法。 - 請求項7に記載の振動発電素子の製造方法において、
前記第4工程は、前記第2工程により前記第1層が除去された領域と、前記第3工程により前記第3層が除去された領域と、前記固定電極および前記接続部材が対向する対向領域と、においてそれぞれ前記第2層を除去する、振動発電素子の製造方法。
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