CN116601105A - 振动发电元件及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种振动发电元件，其具备：固定电极，其固定于基座部；可动电极，其能够相对于所述固定电极移动；以及弹性支承部，其一端固定于所述基座部，并且另一端固定于所述可动电极，且弹性地支承所述可动电极，其中，所述弹性支承部包括：多个弹性结构体，其分别具有连结部、一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述可动电极且在与所述可动电极振动的第一方向正交的第二方向上延伸的第一弹性部、以及一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述基座部且在所述第二方向上延伸的第二弹性部，且分别配置于所述可动电极的所述第一方向的两侧；以及连接部件，其将所述多个弹性结构体所包含的所述连结部相互连接。
Description
技术领域
本发明涉及一种振动发电元件及其制造方法。
背景技术
作为从环境振动收获能量的能量收集技术之一，已知有使用作为MEMS(MicroElectro Mechanical Systems：微机电系统)振动元件的振动发电元件从环境振动进行发电的方法。
在振动发电元件中，利用悬臂那样的弹性支承部支承可动电极，可动电极相对于固定电极振动，由此进行发电(参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2020-114150号公报
发明内容
发明所要解决的课题
在现有的振动发电元件中，如果以增大发电量为目的而提高驻极体的带电电压，则作用于可动电极和固定电极之间的静电力的影响增强，从而存在支承可动电极的弹性支承部容易产生变形的课题。若弹性支承部的变形变大，则可动电极吸附于固定电极而无法发电。
用于解决课题的方案
本发明的第一方案的振动发电元件具备：固定电极，其固定于基座部；可动电极，其能够相对于所述固定电极移动；以及弹性支承部，其一端固定于所述基座部并且另一端固定于所述可动电极，且弹性地支承所述可动电极，其中，所述弹性支承部包括：多个弹性结构体，其分别具有连结部、一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述可动电极且在与所述可动电极振动的第一方向正交的第二方向上延伸的第一弹性部、以及一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述基座部且在所述第二方向上延伸的第二弹性部，且分别配置于所述可动电极的所述第一方向的两侧；以及连接部件，其将所述多个弹性结构体所包含的所述连结部相互连接。
本发明的第二方案的振动发电元件的制造方法是用于制造第一方案的振动发电元件的制造方法，其具备：第一工序，准备设置有第一层、第二层以及第三层的基板；第二工序，从所述基板的所述第一层侧对所述第一层的一部分进行蚀刻，形成除了所述固定电极、所述可动电极以及所述连接部件以外的所述弹性支承部；第三工序，从所述基板的所述第三层侧对所述第三层的一部分进行蚀刻，形成所述基座部以及所述连接部件；以及第四工序，在所述第二工序以及所述第三工序结束后，对所述第二层的一部分进行蚀刻，至少进行所述固定电极与所述连接部件的分离。
发明效果
根据本发明，关于MEMS振动发电元件的弹性支承部，能够抑制由电极间的静电力引起的变形。
附图说明
图1是说明振动发电元件的一例的俯视图。
图2的(a)是将图1中由虚线Q包围的附近放大的图，图2的(b)是从负Y方向朝正方向观察图2的(a)的A-A截面的示意图。
图3是例示振动发电元件的制造顺序的流程图。
图4的(a)至图4的(d)是表示制造阶段的生成物的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。
图1是说明振动发电元件1的一例的俯视图。在图1以及之后的几个图中，在被称为笛卡尔坐标系的右手系的正交坐标系中，表示X方向、Y方向以及Z方向的朝向。X方向、Y方向以及Z方向是相互正交的方向，X方向以及Y方向是与后面详述的可动电极在发电时振动的平面平行的方向，Z方向是与上述振动的平面正交的方向。
振动发电元件1的材质为Si，例如使用SOI(Silicon On Insulator：绝缘体上硅)基板通过一般的MEMS加工技术形成。本实施方式的振动发电元件1是一边为10～数10mm左右的微小的发电元件。这样的发电元件例如用于通过在工厂内运转的压缩机等的机械振动(环境振动)来发电，并向监控用的传感器、无线终端等供给电力这样的用途。
本实施方式中使用的SOI基板如参照图4的(a)后述的那样，是在Z方向上层叠有作为下层的Si的支承层、作为中层的SiO2的牺牲层、以及作为上层的Si的活性层的三层构造的基板。
另外，振动发电元件1不限于SOI基板，也可以使用Si基板等形成。
在图1中，振动发电元件1具备：基座部2；四个固定电极3，其固定在基座部2以及与基座部2相同地形成于支承层的区域26上；可动电极4，其与固定电极3对应地设置；四个弹性结构体5，其弹性地支承可动电极4；以及两个固定部6a，其固定在基座部2上并支承四个弹性结构体5。在图1中，SOI基板的支承层设置于下层，基座部2形成于支承层。四个固定电极3、可动电极4、四个弹性结构体5以及两个固定部6a均形成于上层的活性层。
可动电极4经由四个弹性结构体5与图示左右两端的两个固定部6a连接。在各固定电极3设置有电极焊盘35，在图示右端侧的固定部6a也设置有电极焊盘65。
(固定电极及可动电极)
四个固定电极3分别具有沿X方向延伸的固定梳齿30沿Y方向排列多个的梳齿列。可动电极4具有与四个固定电极3对应的四个可动梳齿组4a。四个可动梳齿组4a分别形成沿X方向延伸的可动梳齿40沿Y方向排列多个的梳齿列。形成于固定电极3的多个固定梳齿30和与该固定电极3对应的可动梳齿组4a的多个可动梳齿40配置为，在静止状态(中立状态)下在X方向上具有预定的啮合长度，在Y方向上隔着预定的间隙相互啮合。
(弹性支承部)
弹性支承部50由四个弹性结构体5构成。可动电极4的图示右端部由四个弹性结构体5中的右侧两个弹性结构体5支承，可动电极4的图示左端部由四个弹性结构体5中的左侧两个弹性结构体5支承。
各弹性结构体5具备由作为第一弹性部的MEMS弹性结构51b以及51c和作为第二弹性部的MEMS弹性结构51a以及51d构成的四个MEMS弹性结构。弹性结构体5所具备的四个MEMS弹性结构51a～51d分别与构成弹性结构体5的结合部52连接(固定)。
例如，在图示左上的弹性结构体5所具备的四个MEMS弹性结构51a～51d的情况下，配置于内侧的两个MEMS弹性结构51b以及51c的图示下端侧固定于可动电极4，并且图示上端侧固定于结合部52。
另外，四个MEMS弹性结构51中的配置于左端的MEMS弹性结构51a的图示下端侧固定于在基座部2上固定的图示左端侧的固定部6a，并且图示上端侧固定于结合部52。
另外，四个MEMS弹性结构51中的配置于右端的MEMS弹性结构51d的图示下端侧固定于图示左上的固定部6b，该图示左上的固定部6b固定在与基座部2相同地形成于支承层的区域26上，并且图示上端侧固定于结合部52。
具有这样固定的四个MEMS弹性结构51a～51d的弹性结构体5作为弹簧发挥功能。即，经由弹性结构体5被支承的可动电极4利用四个MEMS弹性结构51a～51d中的配置于内侧的两个MEMS弹性结构51b以及51c相对于被固定的结合部52在X方向上位移，另一方面，结合部52利用四个MEMS弹性结构51a～51d中的图示左右两端的两个MEMS弹性结构51a以及51d相对于被固定的基座部2(区域26)在X方向上位移。
关于图示右上、左下、右下的各弹性结构体5所具备的各四个MEMS弹性结构51a～51d，也成为与上述图示左上的弹性结构体5所具备的四个MEMS弹性结构51a～51d同样的构造。
在固定梳齿30以及可动梳齿40的至少一方形成有驻极体，通过可动电极4的振动，固定梳齿30与可动梳齿40的啮合长度变化而进行发电。
此外，也可以在固定梳齿30以及可动梳齿40分别形成驻极体。另外，在本说明书中，可动电极4是指被弹性结构体5保持，通过弹性结构体5的变形而与可动梳齿40一体地在振动方向(X方向)上振动的部件。
可动电极4和基座部2如上述那样通过作为弹簧发挥功能的弹性结构体5构成弹簧/质量共振系统。当来自外部的振动施加于振动发电元件1时，由于共振(正弦波振动的情况)、瞬态响应(脉冲振动的情况)，各弹性结构体5的MEMS弹性结构51a～51d变形，可动电极4在X方向上振动。当可动梳齿40相对于固定梳齿30振动时，产生感应电流，将其从电极焊盘35和65取出到外部，从而作为发电元件来利用。
本实施方式的振动发电元件1例如在固定电极3的固定梳齿30的表面通过公知的驻极体形成处理生成驻极体膜。驻极体膜是指固定梳齿30的表面的SiO2膜变化为具有双电层的状态的状态。在形成有驻极体膜的固定梳齿30的Si基板上产生正电荷，并且在SiO2膜的与Si基板的界面附近构成负电荷。
(带电电压)
在本实施方式中，在驻极体形成处理的过程中从外部对可动电极4与固定电极3之间施加直流电压V0的情况下，将使上述的可动梳齿40与固定梳齿30之间的Y方向的间隙的电场为零的电压V0定义为带电电压。即，双电层的电位差与带电电压一致，并且也与在驻极体形成处理中从外部电源施加的电压V0相等。
(吸合现象)
在图示的振动发电元件1中，发电时可动电极4振动的方向为X方向。上述带电电压越高，振动发电元件1越能够增大发电量。另一方面，上述带电电压越高，在可动梳齿40与固定梳齿30之间越产生使电极相互吸引的静电引力。如上所述，相互啮合的固定梳齿30和与该固定梳齿30对应的可动梳齿40在静止状态(中立状态)下在Y方向上具有预定的间隙。Y方向是在发电时可动电极4振动的平面中与振动方向(X方向)正交的方向。
若静电引力过大，则可动梳齿40吸附于固定梳齿30而妨碍可动电极4的振动，成为无法发电的状态。这样的现象被称为吸合现象，产生吸合现象的带电电压被称为吸合电压Vp。
为了克服上述的可动梳齿40以及固定梳齿30之间的静电引力而避免固定梳齿30以及可动梳齿40之间的吸附，优选提高具有MEMS弹性结构51a～51d的弹性结构体5的Y方向的反作用力，换言之，提高弹性结构体5的Y方向上的弹簧常数。因此，在本实施方式中，以抑制在弹性结构体5中连接有四个MEMS弹性结构51a～51d的结合部52产生的变形为目的，将连接部件25作为加强部件固定于弹性结构体5的结合部52。连接部件25将配置在图示上侧的左右两个弹性结构体5的各结合部52相互连接(固定)。并且，在配置于图示下侧的左右两个弹性结构体5上也固定连接部件25，从而将图示下侧的左右两个结合部52相互连接(固定)。
(连接部件)
对连接部件25的详细情况进行说明。图2的(a)是将图1中由虚线Q包围的附近放大的图。图2的(b)是从负Y方向朝正方向观察图2的(a)的A-A截面的示意图。单点划线A～A是与X轴平行且通过连接部件25的直线。
在图2的(a)和图2的(b)中，连接部件25、基座部2和区域26形成于支承层。另外，弹性结构体5、固定电极3以及可动电极4形成于活性层。连接部件25将在图1中配置于图示上侧的左右两个弹性结构体5的各结合部52机械地连接。
弹性结构体5的结合部52中的在俯视时(即在Z方向上观察时)与连接部件25重叠的区域从负Z方向经由牺牲层38而与连接部件25机械地固定。
连接部件25中的在俯视观察时与固定电极3交叉的区域(由虚线包围的E部)在Z方向上分离间隔g。固定电极3与连接部件25之间的Z方向的间隔g为1～5μm左右，相当于牺牲层的厚度。
由于这样构成，因此通过连接部件25连接的左右两个弹性结构体5均被连接部件25加强，抑制在各结合部52产生的变形。
此外，在固定电极3的E部设置有沿Z方向贯通固定电极3的多个蚀刻用的孔H。孔H也被称为释放孔。释放孔的数量和形状也可以不是图示的数量和圆形状，形状可以是椭圆形状，也可以是矩形状。
与上述的连接部件25同样的连接部件也设置于相对于在振动发电元件1中通过可动电极4的重心O的与X轴平行的直线P1，与连接部件25的位置具有线对称的关系的位置。即，在图1中配置于图示下侧的左右两个弹性结构体5的结合部52也设置有将两个结合部52相互连接的连接部件25。
(Y方向的弹簧常数)
若例示如以上那样构成的振动发电元件1的弹性结构体5的Y方向上的弹簧常数ky，则如下所述。
ky＝5N/10μm＝500kN/m…(1)
为了进行比较，若例示未设置连接部件25的情况下的弹性结构体5的Y方向上的弹簧常数ky(p)，则如下所述。
ky(p)＝5N/13μm＝384kN/m…(2)
通过设置连接部件25，与未设置的情况相比，能够将弹性结构体5的Y方向上的弹簧常数ky提高约30％。
(吸合电压)
通常，在振动发电元件1中产生吸合现象的吸合电压Vp、即产生吸合现象的带电电压由下式(3)表示。
Vp＝√(ky×α)…(3)
其中，ky是弹性结构体5的Y方向上的弹簧常数，α是由梳齿(固定梳齿30以及可动梳齿40)的尺寸决定的常数。
由上式(3)可知，由于吸合电压Vp与√(ky)成比例地变大，因此提高弹性结构体5的Y方向上的弹簧常数ky与提高吸合电压Vp有关。若例示将上式(1)的弹簧常数ky代入式(3)的情况下的吸合电压Vp，则约为714V。另外，为了进行比较，若例示将上式(2)的弹簧常数ky(p)代入式(3)的情况下的吸合电压Vp，则约为625V。
通常，为了防止振动发电元件1的吸合现象的发生，将上述带电电压设定得比上述吸合电压Vp低。然后，通过公知的驻极体形成处理(例如，日本特开2014-50196号公报所记载的形成处理)，在固定电极3的固定梳齿30的表面生成驻极体膜。
具体而言，例如设定安全率2倍，生成能够得到714÷2＝357V的带电电压的驻极体膜。换言之，在驻极体形成处理的过程中，从外部向可动电极4与固定电极3之间施加直流电压V0＝357V。
(振动发电元件的制造方法)
以下，参照图3以及图4对振动发电元件1的制造方法的一个例子进行说明。图3是例示振动发电元件1的制造顺序的流程图。图4的(a)～图4的(d)是表示制造阶段的生成物的示意图。图4的(a)～图4的(d)分别与图2的(b)的A-A剖视图中例示的范围对应，为了易于理解，用阴影线表示活性层和支承层的截面。
(工序1)
在图3的步骤S10中，作业者或制造装置准备图4的(a)所示的SOI基板。
(工序2)
在图3的步骤S20中，作业者或制造装置针对SOI基板的上层即活性层，在图4的(b)所图示的范围内形成弹性结构体5的结合部52及固定电极3等的图案，并且在图4的(b)未图示的范围内形成固定电极3、可动电极4、弹性结构体5及固定部6a等的图案，因此通过使用了SF6或CF4等含有氟的气体的RIE(Reactive Ion Etching，反应离子蚀刻)进行蚀刻。
具体而言，在活性层整个面形成未图示的抗蚀剂之后，局部地除去抗蚀剂而形成开口部。在开口部还包括蚀刻用的孔H(释放孔)的开口。例如，通过包括曝光和显影等的光刻工序来进行抗蚀剂的去除。
然后，将残留的抗蚀剂作为蚀刻掩模对活性层进行蚀刻，由此如图4的(b)所示，形成在Z方向上贯通活性层的图案。然后，通过SPM(Sulfuric acid Peroxide Mixture，硫酸过氧化氢混合物)清洗除去残留的抗蚀剂等。
此外，在本实施方式中，对在工序2中采用干式蚀刻的例子进行说明，但也可以在工序2中采用湿式蚀刻。
(工序3)
在步骤S30中，作业者或制造装置针对SOI基板的下层即支承层，在图4的(c)所图示的范围内形成基座部2的区域20及连接部件25等的图案，并且在图4的(c)未图示的范围内形成基座部2的区域20及区域26等的图案，因此与步骤S20的情况同样地通过RIE进行蚀刻。
具体地，在支承层的整个表面上形成未图示的抗蚀剂之后，部分地去除抗蚀剂以形成开口部。抗蚀剂的除去与活性层的情况同样地通过光刻工序进行。
然后，将残留的抗蚀剂作为蚀刻掩模对支承层进行蚀刻，由此如图4的(c)所示那样形成在Z方向上贯通支承层的图案。之后，通过SPM清洗除去残留的抗蚀剂等。
另外，在本实施方式中，对在工序3中采用干式蚀刻的例子进行说明，但也可以在工序3中采用湿式蚀刻。
(工序4)
在步骤S40中，作业者或制造装置通过使用BHF(缓冲氢氟酸)的湿式蚀刻来去除SOI基板的中层即牺牲层。通过BHF，对通过上述的工序2以及工序3而使牺牲层的上侧(活性层侧)以及下侧(支承层侧)中的至少一方露出的区域的牺牲层进行蚀刻，从而如图4的(d)所示那样仅残留活性层或者仅残留支承层。在上述的工序2以及工序3之后，上侧(活性层侧)以及下侧(支承层侧)均未露出的区域的牺牲层在湿式蚀刻后也残留而维持机械地固定活性层和支承层的状态(牺牲层38)。
在此，即使在工序2以及工序3之后牺牲层的上侧(活性层侧)以及下侧(支承层侧)双方均未露出，与在作为上层的活性层上设置有蚀刻用的孔H(释放孔)的区域相对应的牺牲层也会经由释放孔而被蚀刻。在本实施方式中，与E部对应的牺牲层等经由释放孔而被蚀刻。通过这样的蚀刻方法，固定电极3中的与E部对应的区域与连接部件25分离，并且在未图示的范围内固定电极3也与连接部件25分离。
此外，在本实施方式中，对在工序4中采用湿式蚀刻的例子进行说明，但也可以在工序4中采用干式蚀刻。
(工序5)
通过上述工序1至工序4所例示的步骤，形成未形成驻极体的振动发电元件1的MEMS加工体。在作为工序5的步骤S50中，作业者或制造装置通过公知的驻极体形成处理，在固定电极3和/或可动电极4上形成驻极体。
通过以上说明的工序1至工序5，制造振动发电元件1。
根据以上说明的实施方式，能够得到以下的作用效果。
(1)振动发电元件1具备：固定电极3，其固定于基座部2；可动电极4，其能够相对于固定电极3移动；以及弹性支承部50，其一端固定于基座部2并且另一端固定于可动电极4，弹性地支承可动电极4。而且，弹性支承部50分别具有：多个弹性结构体5，分别具有结合部52、一端固定于结合部52并且另一端固定于可动电极4且在与可动电极4振动的X方向正交的Y方向上延伸的作为第一弹性部的MEMS弹性结构51b和51c、和一端固定于结合部52并且另一端固定于基座部2(区域26)且沿Y方向延伸的作为第二弹性部的MEMS弹性结构51a、51d，且分别配置于可动电极4的X方向的两侧；以及连接部件25，将多个弹性结构体5所包含的结合部52相互连接。
由于这样构成，所以在抵抗可动梳齿40以及固定梳齿30间的静电引力而避免固定梳齿30以及可动梳齿40间的吸附的状况下，与不设置连接部件25的情况相比，抑制了在弹性结构体5的固定有多个MEMS弹性结构51a～51d的结合部52产生的变形。其结果是，弹性结构体5的Y方向上的弹簧常数ky提高，能够承受更大的静电引力。换言之，能够提高振动发电元件1的吸合电压Vp。因此，能够增大振动发电元件1的发电量。
(2)在上述(1)的振动发电元件1中，连接部件25与固定电极3在从与X方向以及Y方向正交的Z方向观察时交叉，并且在Z方向上分离。
由于这样构成，因此能够以不与发电时振动的可动电极4接触的方式设置连接部件25。
(3)在上述振动发电元件1中，连接部件25与基座部2相同由支承层的材质构成。
由于这样构成，因此能够得到具有与支承层同等强度的连接部件25。
(4)在上述(1)至(3)的振动发电元件1中，除了固定电极3、可动电极4以及连接部件25以外的弹性支承部50形成于设有活性层、牺牲层以及支承层的SOI基板的活性层，基座部2以及连接部件25形成于SOI基板的支承层。
由于这样构成，因此能够将各构件适当地设置于活性层或支承层。
(5)在上述(4)的振动发电元件1中，连接部件25经由牺牲层38固定于多个弹性结构体5所包含的结合部52。
由于这样构成，因此能够得到与多个弹性结构体5的结合部52适当地固定的连接部件25。
(6)在上述的振动发电元件1的制造方法中，具备：第一工序，准备设置有作为第一层的活性层、作为第二层的牺牲层以及作为第三层的支承层的SOI基板；第二工序，从SOI基板的活性层侧对活性层的一部分进行蚀刻，形成除了固定电极3、可动电极4以及连接部件25以外的弹性支承部50；第三工序，从SOI基板的支承层侧对支承层的一部分进行蚀刻，形成基座部2以及连接部件25；以及第四工序，在第二工序以及第三工序结束后，对牺牲层的一部分进行蚀刻，至少进行固定电极3与连接部件25的分离。
由于这样构成，因此能够将用于抑制在弹性支承部50的弹性结构体5中固定有多个MEMS弹性结构51a～51d的结合部52产生的变形的连接部件25适当地固定于结合部52。
(7)在上述(6)的振动发电元件1的制造方法中，多个弹性结构体5的各结合部52以及连接部件25经由在第四工序中残留的牺牲层38一体地形成。
由于这样构成，因此能够将连接部件25适当地固定于结合部52。
(8)在上述(7)的振动发电元件1的制造方法中，在第四工序中，在通过第二工序去除了活性层的区域、通过第三工序去除了支承层的区域、以及固定电极3与连接部件25对置的对置区域中分别去除牺牲层。
由于这样构成，因此能够适当地形成各部分。
(变形例)
在以上说明的实施方式中，作为基板，使用了具有Si的支承层、SiO2的牺牲层和Si的活性层的基板(SOI基板)，但基板不限于SOI基板。基板只要是层叠有作为活性层的第一层、作为牺牲层的第二层、以及作为支承层的第三层、且第二层的耐蚀刻特性与第一层及第三层的耐蚀刻特性不同的基板即可。其中，第二层或第三层也可以是由绝缘性的材料构成的层。
作为一个例子，基板也可以是在蓝宝石的第三层上形成有SiO2的第二层以及Si的第一层的基板。作为其他例子，也可以在金属的第三层上形成氧化金属的第二层和金属的第一层。
另外，在上述的蚀刻工艺中使用的气体等是一个例子，也可以使用其他气体。
以上，对各种实施方式及变形例进行了说明，但本发明并不限定于这些内容。实施方式中的各种部分的数量和形状等是例示，也可以是其他任意的数量和任意的形状。
另外，各实施方式和变形例可以分别单独应用，也可以组合使用。
在本发明的技术思想的范围内考虑的其他方式也包含在本发明的范围内。
符号说明
1—振动发电元件；2—基座部；3—固定电极；4—可动电极；5—弹性结构体；6a、6b—固定部；20、26、E—区域；25—连接部件；38—牺牲层；50—弹性支承部；51a～51d—MEMS弹性结构；52—结合部。
Claims (8)
1.一种振动发电元件，其具备：
固定电极，其固定于基座部；
可动电极，其能够相对于所述固定电极移动；以及
弹性支承部，其一端固定于所述基座部，并且另一端固定于所述可动电极，且弹性地支承所述可动电极，
所述振动发电元件的特征在于，
所述弹性支承部包括：
多个弹性结构体，其分别具有连结部、一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述可动电极且在与所述可动电极振动的第一方向正交的第二方向上延伸的第一弹性部、以及一端固定于所述连结部并且另一端固定于所述基座部且在所述第二方向上延伸的第二弹性部，且分别配置于所述可动电极的所述第一方向的两侧；以及
连接部件，其将所述多个弹性结构体所包含的所述连结部相互连接。
2.根据权利要求1所述的振动发电元件，其特征在于，
从与所述第一方向以及所述第二方向正交的第三方向观察，所述连接部件与所述固定电极交叉，并且在所述第三方向上分离。
3.根据权利要求1或2所述的振动发电元件，其特征在于，
所述连接部件由与所述基座部相同的材质构成。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的振动发电元件，其特征在于，
除了所述固定电极、所述可动电极以及所述连接部件以外的弹性支承部形成于设置有第一层、第二层以及第三层的基板的所述第一层，所述基座部以及所述连接部件形成于所述基板的所述第三层。
5.根据权利要求4所述的振动发电元件，其特征在于，
所述连接部件经由所述第二层固定于所述多个弹性结构体所包含的所述连结部。
6.一种振动发电元件的制造方法，是用于制造权利要求1至5中任一项所述的振动发电元件的制造方法，其特征在于，具备：
第一工序，准备设置有第一层、第二层以及第三层的基板；
第二工序，从所述基板的所述第一层侧对所述第一层的一部分进行蚀刻，形成除了所述固定电极、所述可动电极以及所述连接部件以外的所述弹性支承部；
第三工序，从所述基板的所述第三层侧对所述第三层的一部分进行蚀刻，形成所述基座部以及所述连接部件；以及
第四工序，在所述第二工序以及所述第三工序结束后，对所述第二层的一部分进行蚀刻，至少进行所述固定电极与所述连接部件的分离。
7.根据权利要求6所述的振动发电元件的制造方法，其特征在于，
所述多个弹性结构体的各连结部以及所述连接部件经由在所述第四工序中残留的所述第二层而一体地形成。
8.根据权利要求7所述的振动发电元件的制造方法，其特征在于，
在所述第四工序中，在通过所述第二工序去除了所述第一层的区域、通过所述第三工序去除了所述第三层的区域、以及所述固定电极与所述连接部件对置的对置区域中分别去除所述第二层。
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