JP4183313B2 - ブレーク溝の加工方法及び加工装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、多数のチップキャリアが形成されたセラミックグリーンシートに、各チップキャリアの境界線に沿って刃物でブレーク溝を形成するブレーク溝の加工方法及び加工装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、セラミック製の小型のチップキャリアを量産する場合は、図2に示すように、1枚のセラミックグリーンシート11に、キャビティ12を有するチップキャリア13を多数形成し、各チップキャリア13の境界線(シール凸部14の中心線)に沿って刃物15でV字形のブレーク溝16を形成する。その後、このセラミックグリーンシート11を焼成し、最後的に、ブレーク溝16に沿って折り割ることで、個々のチップキャリア13に分割するようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、チップキャリア13に搭載する半導体チップは、近年、益々、小型化され、それに伴って、チップキャリア13も益々小型化され、キャビティ12周囲のシール凸部14の幅も益々狭くなってきている。このように幅の狭いシール凸部14に刃物15でV字形のブレーク溝16を形成する場合、図2(a)に示すように、刃物15がシール凸部14に押し込まれるに従って、シール凸部14のブレーク溝16の両側部分がキャビティ12側(矢印A方向)に傾くように変形する。この後、刃物15を抜くと、図2(b)に示すように、シール凸部14のブレーク溝16の両側部分が自身の弾性力により元の方向(矢印B方向)に戻る、いわゆるスプリングバックが生じ、ブレーク溝16の幅が狭くなってしまう。この状態で、焼成すると、図2(c)に示すように、ブレーク溝16が溶着してしまうことがあり、ブレークしにくくなるという欠点があった。
【0004】
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、焼成前のブレーク溝のスプリングバックを防止できて、焼成時のブレーク溝の溶着を防止でき、ブレーク性を向上できるブレーク溝の加工方法及び加工装置を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の請求項1,4では、チップキャリアのキャビティ内に嵌合治具を嵌め込んで該キャビティ周囲のシール凸部を側方から該嵌合治具で支えながら、該シール凸部に上方から刃物でブレーク溝を形成する。この加工方法では、刃物でブレーク溝を形成する際に、シール凸部を側方から嵌合治具で支えるため、シール凸部のブレーク溝の両側部分がキャビティ側に傾くことを嵌合治具によって防止できる。このため、焼成前のブレーク溝のスプリングバックが発生しなくなり、焼成時のブレーク溝の溶着を防止できる。
【0006】
ところで、チップキャリアが小型化されるに従って、チップキャリアのキャビティと、これに嵌め込む嵌合治具との寸法精度や位置決め精度を高める必要がある。また、寸法精度や位置決め精度のばらつきによって、嵌合治具のエッジがシール凸部に衝突するおそれがあるため、嵌合治具を金属等で形成すると、嵌合治具のエッジでシール凸部を傷付けてしまうおそれがある。
【0007】
この対策として、請求項2のように、嵌合治具は、ゴムで形成された弾性変形可能なものを使用することが好ましい。ゴム製の嵌合治具は、チップキャリアのキャビティに嵌め込みやすいように小さめに形成しても、この嵌合治具をキャビティ内に嵌め込んで上方から圧縮変形させれば、キャビティ周囲のシール凸部の側面に嵌合治具の側面を密着させることができ、ブレーク溝の形成時にシール凸部のブレーク溝の両側部分がキャビティ側に傾くことを嵌合治具によって防止できる。従って、ゴム製の嵌合治具を用いれば、寸法精度や位置決め精度のばらつきを圧縮変形により吸収でき、寸法精度や位置決め精度の設計基準を緩和できると共に、嵌合治具のエッジでシール凸部を傷付けてしまうことも防止できる。
【0008】
ところで、刃物で形成するブレーク溝の開き角度が小さすぎると、ブレーク溝のスプリングバックが発生しなくても、焼成時にブレーク溝が溶着するおそれがある。
この対策として、請求項3のように、刃物は、刃先の角度が30°以上のものを使用することが好ましい。これにより、刃物で形成するブレーク溝の開き角度が30°以上となり、上述した嵌合治具によるブレーク溝のスプリングバック防止効果と相俟って、焼成時のブレーク溝の溶着を確実に防止できる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図1に基づいて説明する。セラミックグリーンシート21には、キャビティ22を有するチップキャリア23が多数形成されている。各キャビティ22の周囲を取り囲むシール凸部24の幅は、例えば1.6mm以下、より好ましくは0.8〜1.2mmに形成されている。
【0010】
次に、このセラミックグリーンシート21にブレーク溝25を形成するブレーク溝加工装置20の構成を説明する。ブレーク溝加工装置20には、ブレーク溝25を形成する多数の刃物26が各シール凸部24の中心線に対応する位置に配列され、昇降機構(図示せず)に取り付けられている。各刃物26は、刃先の角度が30°以上に形成され、ゴム等の弾性材料製の刃物ガイド27内部の溝に沿って上下方向にスライドできるようになっている。ブレーク溝25を形成する際に、図1(b)に示すように、刃物ガイド27の下端面がシール凸部24の上端面に当接した状態となり、刃物ガイド27の幅がシール凸部24の幅とほぼ同一又はそれより若干大きく形成されている。
【0011】
各刃物ガイド27間には、各キャビティ22内に嵌め込まれる嵌合治具28が固定され、各嵌合治具28が刃物ガイド27と一体的に上下動するようになっている。各嵌合治具28は、ゴム又はゴムとほぼ同等の弾性を有する弾性材料で形成されている。各嵌合治具28は、刃物ガイド27の下端からの下方への突出寸法がキャビティ22の深さ寸法(シール凸部24の高さ寸法)よりも若干大きく形成され、図1(b)に示すように、刃物ガイド27の下端面がシール凸部24の上端面に当接した状態になった時に、嵌合治具28が上下方向に圧縮変形して側方に膨らむことでシール凸部24の側面に密着した状態となるようになっている。このような圧縮変形を考慮して、嵌合治具28の幅寸法は、キャビティ22の開口幅よりも圧縮変形分だけ小さく形成されている。
【0012】
次に、ブレーク溝25の加工方法を説明する。図1(a)に示すように、ブレーク溝加工装置20の下方に、多数のチップキャリア23が形成されたセラミックグリーンシート21をセットする。この後、ブレーク溝加工装置20を下降させて、各嵌合治具28を各キャビティ22内に嵌め込み、且つ刃物ガイド27の下端面をシール凸部24の上端面に当接させる。この場合、嵌合治具28は、刃物ガイド27の下端からの下方への突出寸法がキャビティ22の深さ寸法(シール凸部24の高さ寸法)よりも若干大きく形成されているため、刃物ガイド27の下端面がシール凸部24の上端面に当接した状態になった時に、嵌合治具28が上下方向に圧縮変形して側方に膨らむことでシール凸部24の側面に密着した状態となる。
【0013】
この後、図1(b)に示すように、刃物26をシール凸部24内に押し込んでシール凸部24の中心線に沿ってV字形のブレーク溝25を形成する。この際、シール凸部24が側方から嵌合治具28で支えられた状態となっているため、ブレーク溝25の形成時にシール凸部24のブレーク溝25の両側部分がキャビティ22側に傾くことが嵌合治具28によって防止され、刃物26を入れた部分のセラミック層が押し広げられてV字形のブレーク溝25が形成される。この場合、刃物26の刃先の角度が30°以上に形成されているため、ブレーク溝25の開き角度が30°以上となる。
以上のようにして、ブレーク溝25を形成した後、ブレーク溝加工装置20を上昇させ、このセラミックグリーンシート21を焼成工程に移送して焼成する。
【0014】
以上説明したブレーク溝25の加工方法によれば、キャビティ22内に嵌合治具28を嵌め込んでシール凸部24を側方から嵌合治具28で支えながら、該シール凸部24に上方から刃物26でブレーク溝25を形成するようにしたので、シール凸部24のブレーク溝25の両側部分がキャビティ22側に傾くことを嵌合治具28によって防止できる。このため、焼成前のブレーク溝25のスプリングバックが発生しなくなり、焼成時のブレーク溝25の溶着を防止できて、ブレーク性を向上できる。
【0015】
しかも、本実施形態では、嵌合治具28をゴム等の弾性材料により形成したので、嵌合治具28の圧縮変形を見込んで、該嵌合治具28をキャビティ22に嵌め込みやすいように小さめに形成することができ、寸法精度や位置決め精度の設計基準を緩和できると共に、嵌合治具28のエッジでシール凸部24を傷付けてしまうことも防止できる。しかも、嵌合治具28を圧縮変形させることで、シール凸部24の側面を嵌合治具28の側方への膨張力で押さえ付けることができ、シール凸部24の傾き防止効果を高めることができる。
但し、本発明は、嵌合治具28を金属等で形成しても良く、この場合でも、寸法精度や位置決め精度を高めることで、本発明の所期の目的を十分に達成することができる。
【0016】
また、本実施形態では、刃物26の刃先の角度を30°以上に設定したので、刃物26で形成するブレーク溝25の開き角度が30°以上となる。この結果、幅の狭い変形しやすいシール凸部24に対しても、上述した嵌合治具28によるブレーク溝25のスプリングバック防止効果と相俟って、焼成時にブレーク溝25の溶着を確実に防止できる。
但し、刃先の角度が30°以下の刃物を使用しても良く、この場合でも、嵌合治具28によるブレーク溝25のスプリングバック防止効果によって、従来よりもブレーク溝25の溶着を少なくすることができる。
【0017】
尚、本実施形態では、1.6mm以下の幅のシール凸部24にブレーク溝25を形成したが、これよりも幅の広いシール凸部にブレーク溝を形成する場合にも、本発明を適用できることは言うまでもない。
また、本実施形態では、嵌合治具28を刃物ガイド27と一体的に上下動させるようにしたが、嵌合治具のみを単独でキャビティ内に嵌め込んだ後、刃物と刃物ガイドを下降させてブレーク溝を形成するようにしても良い。
【0018】
また、本実施形態では、刃物ガイド27の下端からの嵌合治具28の突出寸法をキャビティ22の深さ寸法よりも若干大きく形成して、嵌合治具28を圧縮変形させるようにしたが、嵌合治具28の突出寸法をキャビティ22の深さ寸法と同一又はそれよりも若干短く形成して、嵌合治具28を圧縮変形させないようにしても良い。この場合、仮に、嵌合治具28とシール凸部24の側面との間に微小な隙間ができたとしても、その隙間分だけシール凸部24が傾いたところで、シール凸部24が嵌合治具28で支えられるため、従来と比較すれば、シール凸部24の傾きを少なくすることができ、ブレーク性を向上できる。
【0019】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明の請求項1,4では、チップキャリアのキャビティ内に嵌合治具を嵌め込んで該キャビティ周囲のシール凸部を側方から該嵌合治具で支えながら、該シール凸部に上方から刃物でブレーク溝を形成するようにしたので、ブレーク溝の形成時に、シール凸部のブレーク溝の両側部分がキャビティ側に傾くことを嵌合治具によって防止でき、焼成前のブレーク溝のスプリングバックを防止できて、焼成時のブレーク溝の溶着を防止でき、ブレーク性を向上できる。
【0020】
また、請求項2では、嵌合治具を、ゴムで形成したので、寸法精度や位置決め精度のばらつきを嵌合治具の圧縮変形により吸収できると共に、嵌合治具のエッジでシール凸部を傷付けてしまうことも防止できる。
【0021】
また、請求項3では、刃先の角度が30°以上の刃物を用いて、開き角度が30°以上のブレーク溝を形成するようにしたので、嵌合治具によるブレーク溝のスプリングバック防止効果と相俟って、焼成時のブレーク溝の溶着防止効果を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態におけるブレーク溝加工方法を説明する工程図
【図2】従来のブレーク溝加工方法を説明する工程図
【符号の説明】
20…ブレーク溝加工装置、21…セラミックグリーンシート、22…キャビティ、23…チップキャリア、24…シール凸部、25…ブレーク溝、26…刃物、27…刃物ガイド、28…嵌合治具。
Claims (4)
- 多数のチップキャリアが形成されたセラミックグリーンシートに、各チップキャリアの境界線に沿って刃物でブレーク溝を形成する方法において、
前記チップキャリアのキャビティ内に嵌合治具を嵌め込んで該キャビティ周囲のシール凸部を側方から該嵌合治具で支えながら、該シール凸部に上方から前記刃物でブレーク溝を形成することを特徴とするブレーク溝の加工方法。 - 前記嵌合治具は、ゴムで形成された弾性変形可能なものを使用することを特徴とする請求項1に記載のブレーク溝の加工方法。
- 前記刃物は、刃先の角度が30°以上のものを使用することを特徴とする請求項1又は2に記載のブレーク溝の加工方法。
- 多数のチップキャリアが形成されたセラミックグリーンシートに、各チップキャリアの境界線に沿ってブレーク溝を形成するブレーク溝加工装置において、
前記チップキャリアのキャビティ内に嵌め込まれて該キャビティ周囲のシール凸部を側方から支える嵌合治具と、
前記シール凸部に上方からブレーク溝を形成する刃物と
を備えていることを特徴とするブレーク溝の加工装置。
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