JP4159738B2 - ビームスキャン式レーザマーキング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、パルス励起レーザ光を走査させて、被マーキング面に文字等のパターンをマーキングするビームスキャン式レーザマーキング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、CW励起Qスイッチパルス発振で得られるレーザ光を、スキャンミラー及び収束レンズ系を用いてマーキング面に集光して走査させることによって、被マーキング面に多数のドット群により2Dコードや所要の文字などからなる各種の情報をマーキングするビームスキャン式レーザマーキング装置が知られている。
【0003】
図5は、例えば特開平8−150484号公報にも開示されている一般的なビームスキャン式レーザマーキング装置の概略構成を示している。
レーザ発振器1は、超音波Qスイッチ素子2を備えており、超音波Qスイッチ素子2は制御装置4から送られるRFパワーの繰り返し周波数であるQスイッチ制御信号に同期して駆動回路3を介してCW励起Qスイッチパルス発振してレーザ光を出射する。レーザ発振器1から出射されたレーザ光は、一対のガルバノメータ4x,4yに取り付けられたスキャンミラー5x,5yで反射されてfθレンズ6を通って被マーキング面に集光される。スキャンミラー5x,5yは、それぞれ紙面に直角な軸、紙面に平行で斜め45°の軸の回りを往復回転駆動され被マーキング面上を走査する。こうして、マーキング面上には所望のパターンがマーキングされる。
【0004】
ところで、近年、例えば特開平4−137744号公報にも開示されているごとく、連続パルスレーザ光を走査させることにより形成されるドットマークは穴径が30μm、深さが0.5〜1.5μmと、従来のドットマーク形態よりも微小化されてきており、最近では、例えば特開平11−162800号公報や特開2000−223382号公報に記載されているように穴径が1〜15μm、深さが0.5〜1.5μmのドットマーク、或いは同一数値範囲のスカート径をもち中央が隆起する特異な形態であって、その隆起高さが0.01〜0.5μmという極めて微小化されたドットーマークが出現している。
【0005】
しかして、ビームスキャン式レーザマーキング装置の基本構造は上述のとおりであり、特に従来のごとく大きな形態をもつドットマークの形成であれば不具合が生じないことから、fθレンズを通して集光するパルスレーザ光を一対のスキャンミラーによりx軸,y軸の2軸方向に振りながら刻印する収束レンズ系及びスキャニング構造に格別の改良が加えられていないのが現状である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
図3は、従来の収束レンズ系及びスキャニング構造からなる収束光学系を示している。従来の収束レンズ系は、既述したとおり単一のfθレンズ6から構成され、図示せぬ第2スキャンミラーで反射するパルスレーザ光は、第1スキャンミラー5xで再度反射してfθレンズ6に入射する。fθレンズ6を通過したレーザ光は集束されてマーキング面MS上に集光し、ドットマークが形成される。
【0007】
第1スキャンミラー5xの回転軸上に前記fθレンズ6の前側焦点位置を一致させると共に、fθレンズ6の光軸上に第1スキャンミラー5xの中心位置が来るように同ミラー5xを配している。従って、第1スキャンミラー5xの振り角がθ(rad)のとき、第1スキャンミラー5xの中心に入射する光の反射光はfθレンズ6を通ると光軸に平行な光路上を進行し、同ミラー5xの中心に入射する光と平行な入射光は、後側焦点を通り光軸に直交する平面上に結像する、所謂、テレセントリックな配置関係におかれている。
【0008】
この結像面上における光軸から結像位置までの距離hは、次式
h=fb’・(2θ)
で与えられ、前記第1スキャンミラー5xの振り角θにより決まる。
【0009】
従って、第1スキャンミラーの振り角θに僅かな変動δθが生じると、前記結像位置における光軸と直交する方向に像がずれ量δh(=fb’・(2δθ))で結像の変動が生じる。一方、前記第1スキャンミラー5xの配置位置が、図4に示すように、fθレンズ6の前側焦点位置から光軸方向にずれると、結像位置が前記結像面を挟んで光軸に沿った前後にずれると、テレセントリック性が崩れ、刻印面に対して主光線が垂直でなくなる。このことは、刻印面がデフォーカスした場合に、ドット間隔が変化してしまい、その結果、設計値からのずれ量が大きくなることを意味する。
【0010】
従って、前記fθレンズ6の前側焦点位置から光軸方向に対するずれが大きくなればなるほど、テレセントリック性が崩れ、同時に結像面上における結像位置の前記ずれ量δhも大きくなって、焦点深度が小さくなってしまい、レーザマーカとしてはマーキング操作時の操作性を著しく低下させることになる。
なお、以上の説明では、fθレンズ6に対向する第1スキャンミラー5xについて述べたが、レーザ光をy軸方向に走査させる第2スキャンミラー5yについても同様の現象が生じる。
【0011】
こうしたずれの現象は、比較的大きな形態をもつドットマークの形成では影響が少ない。その理由は、ドット形態が大きい分だけ、そのドット間のピッチも大きくなり、スキャンミラーを駆動するガルバノメータによる駆動制御が比較的高精度になされることとが相まって、例えばガルバノメータの加工精度や設置時の位置決め精度に基づくずれの影響が容易に吸収されるがためである。
【0012】
これに対して、既述したような微小なドットマークにあっては、そのドット間のピッチも必然的に極めて微小となり、上記ずれの影響をまともに受け、設定されたピッチが崩れてしまい、以降の視認性にも大きな影響を与えるため、マーキング面におけるドットマークの形成位置に対する更に高精度な制御が要求される。
【0013】
一般に、ガルバノメータにおける性能は、指令電圧に対するスキャンミラーの振り角θの直線性と温度ドリフト(ゲインドリフト)によって決定される。高性能なガルバノメータであっても、公差による直線性の変動、或いは温度変化による振り角θの変動は避けられない。例えば、現状の高性能なガルバノメータであっても、スキャンミラーの振り角θの変動δθは30μrad程度が生じている。
【0014】
一方、fθレンズの入射側には2軸に振られる一対のスキャンミラーを設置しなければならず、またレーザ発振器から出射されるレーザ光の光径と前記スキャンミラーの寸法などを考慮すると、fθレンズの前側焦点距離fbは最低でも30mmはなくてはならない。この場合、上記結像面上における結像のずれ量δhは、
δh=30×2×30×10-6=1.8×10-3mm=1.8μm
となる。
【0015】
いま、仮に既述したようにドット径が5μmの微小なドットマークを半導体ウェハの所定領域に形成しようとすれば、前述の結像面上における結像のずれ量δh(1.8μm)は、実にドット径の36%に相当する。通常、ドットマーク間のピッチはドット径と同等に設定されている。すなわち、前記ずれ量δh(1.8μm)の場合には、隣り合うドットマーク間のピッチが3.2μmとなり、これ以上に狭まると、以降の読取り時における視認性が失われてしまう。ドット径が更に小さくなると、ますます読み取ることが不可能となる。
【0016】
また、仮に上記特開平4−137744号公報に記載されているように、従来の一般的なドット径よりも小さい30μmの場合についてみると、結像面上における結像の上記ずれ量δh(1.8μm)によるピッチの変動は僅かに6%に過ぎず、微小ではあるものの、視認性は十分に確保される。
【0017】
本発明の目的は、特に極めて微小なドットマークの形成に適し、必然的に発生するスキャンミラーの取付誤差、その駆動装置の公差や温度変化による結像面上における結像のずれ量を容認した上で、それらの影響を吸収できるビームスキャン式レーザマーキング装置を提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、スキャンミラーと、その駆動装置の性能限界を踏まえると共に、回動するスキャンミラーとfθレンズとの干渉を回避して、しかも上記目的を達成できる技術の開発をすべく多様な検討と試験を繰り返した。
【0019】
結像面における結像のずれ量δhは、上述のごとくfθレンズの後側焦点距離fb’とスキャンミラーの振り角θの変動量δθに比例する。従って、結像のずれ量δhを少なくしようとすれば、fθレンズの後側焦点距離fb’を極力小さくすると共に、スキャンミラーの振り角θの変動量δθをも更に小さくする必要がある。
【0020】
しかるに、既述したとおりこの種のレーザマーキング装置にあっては更なる小型化が進んでおり、前記スキャンミラー及びfθレンズが配される光学系の部分も当然にコンパクトでなければならない。
【0021】
上記目的は請求項1に係る発明によって効果的に達成される。
請求項1に係る発明は、レーザ発振器から出射されるレーザ光をスキャンミラーにより所望のパターンで走査させ、収束レンズ系を通して被マーキング面にマーキングを行うビームスキャン式レーザマーキング装置にあって、前記収束レンズ系が3以上の収束系レンズから構成され、最もスキャンミラー側に配されるfθレンズの焦点距離を、それに対向して配される第1スキャンミラーと干渉しない距離に設定し、第1スキャンミラーの中心を同レンズの前側焦点位置に一致して配しており、前記収束レンズ系は、互いがテレセントリックな関係に順次配されてなり、前記収束レンズ系の前記第1スキャンミラーから最も遠くに配されるfθレンズの後側焦点位置をマーキング面に合致させてなり、前記第1スキャンミラーと所要の距離をもって離間して配される第2スキャンミラーとの間の同一光路上に、2枚のfθレンズがアフォーカル系に配されてなることを特徴としている。
【0022】
レーザ発振器から出射されるレーザ光は、例えば光軸調整ミラーで反射し、ビームエキスハンダによりビーム径が拡大されて、平行光となって第2スキャンミラー及び第1スキャンミラーで反射し、3以上のfθレンズをアフォーカル系に配された収束レンズ系へと平行光として入射する。第1スキャンミラーで反射した平行光は、収束レンズ系に入射し、先ず第1スキャンミラーに対向して配された第1fθレンズにより集束されて、その後側の焦点位置近傍に第1の中間像が結像される。
【0023】
この場合、前記第1fθレンズの前側焦点距離は第1スキャンミラーとの干渉を避けるため、必要最小限の距離に設定されている。そのため、第1fθレンズによる結像位置のずれ量は、既述した式によりある程度大きなものとなる。この第1中間像から発せられるレーザ光は、第2fθレンズに入射して平行光となって出射し、第3fθレンズに入射する平行光からなる光束は、同第3fθレンズにより、その後側焦点位置の近傍で集束され第2の中間像を結像する。このとき、前記第3fθレンズの焦点距離を小さく設定しておけば、第2の中間像は第1中間像よりも縮小され、その結像位置のずれ量は第1中間像のずれ量よりも小さくなる。
【0024】
いま、この第2中間像のずれ量δh2が、所定の最終的な微小寸法に設定されたドットマークの視認性を損なわない値であるときは、この第2中間像をマーキング面上に直接結像させてマーキングを実行する。しかし、ドットマークのドット径が、例えば5μm以下と極めて小さい場合には、第2中間像のずれ量δh2によっても視認性が損なわれる。そのときは、前記収束レンズ系に、更に第4、第5のfθレンズを追加して配するようにする。
【0025】
これらの第1〜第5〜第nの順で配される複数のfθレンズは、それぞれの隣接するfθレンズの前側焦点位置と後側焦点位置とを順次合致させて配されるアフォーカル系に構成し、テレセントリックの関係を同時に満足させる必要がある。
【0026】
請求項1に係る発明は、既述したとおり、前記第1スキャンミラーと所要の距離をもって離間して配される第2スキャンミラーとの間の同一光路上に、2枚のfθレンズをアフォーカル系に配していることをも特徴の一つとしている。
【0027】
第1スキャンミラーは、同ミラーに対向して配される収束レンズ系の光軸に対して45°の傾斜角をもって配されており、例えばその回動軸線を中心としてx軸方向に往復回動する。また、第2スキャンミラーは、前記第1スキャンミラーのレーザ光入射側に、同第1スキャンミラーと反射面を対向させて平行に配され、例えば収束レンズ系の光軸と平行な回動軸線を中心にy軸方向に往復回動する。従って、これらの第1及び第2スキャンミラーは離間して配する必要があるが、このことは第2スキャンミラーと収束レンズ系の第1fθレンズとの間に不要な離間距離を余儀なくされることを意味する。その結果、刻印面がデフォーカスしたばあいのドット間隔のずれ量が大きくなってしまう。
【0028】
本発明は、こうした刻印面におけるデフォーカスによるドット間隔のずれを抑えてドットマークを正確に形成するものである。すなわち、第1スキャンミラーと第2スキャンミラーとの間の同一光軸上に2枚のfθレンズをアフォーカル系に配する。このように、2枚のfθレンズを配することにより、平行光からなる光束で第2スキャンミラーに入射されたレーザ光は、そのまま平行光として第2スキャンミラー側に配されたfθレンズを通り、第1スキャンミラー側に配されたfθレンズにその前側焦点から放射される拡大光が入射する。
【0029】
この入射光は同fθレンズを通って再び平行光として第1スキャンミラーに入射して、同ミラーで反射し、テレセントリックに配された収束レンズ系の第1fθレンズへと入射される。こうして入射するレーザ光は第1及び第2のスキャンミラーの間の光学的な離間距離を短縮することができ、最終的なマーキング面上に、請求項1の上記収束レンズ系と相まって、結像点からの最小のずれ量δhをもって結像させることができるようになる。
【0030】
【発明の実施形態】
以下、本発明の好適な実施形態を図面を参照して具体的に説明する。
図1は本発明の基本構成である第1スキャンミラーと収束レンズ系による代表的な結像機構を示している。なお、本発明にあって、前記収束レンズ系に配されるfθレンズの数は、その縮小比により3枚以上とすることもある。また、同図にあっては第1スキャンミラーと物体側に対向して配される第2スキャンミラーの図示は省略している。
【0031】
同図において、第1スキャンミラー5xの結像側には、第1〜第3のfθレンズ6〜8がその光軸上に配されている。いま、第1スキャンミラー5xが前記光軸に対して略45°の傾斜角をもって配され、その交差線を中心として倒伏方向(X軸方向)に、図示せぬガルバノメータにより往復回動する。この第1スキャンミラー5xの前記交差線は第1fθレンズ6の前側焦点位置fb1に合致させている。
【0032】
前記第1〜第3のfθレンズ6〜8が、本発明における収束レンズ系を構成しており、第1fθレンズ6の後側焦点位置fb’1と第2fθレンズ7の前側焦点位置fb2とを合致させ、更に第2fθレンズ7の後側焦点位置fb’2と第3fθレンズ8の前側焦点位置fb3とを合致させて、全体をアフォーカル系で且つテレセントリックの関係に配している。結像面であるマーキング面MSを前記第3fθレンズ8の後側焦点位置fb’3に合わせてある。
【0033】
本実施形態では、前記第1及び第2fθレンズ6,7は同一の焦点距離とし、第3θレンズ8の焦点距離をそれらよりも短く設定しているが、必ずしも、第1及び第2fθレンズ6,7を同一の焦点距離としなくてもよい。しかし、いずれにしても第1〜第3のfθレンズ6〜8の間では収束レンズ系を構成する必要がある。
【0034】
いま、図示せぬレーザ発振器から出射されたパルスレーザ光は、同じく図示せぬ光軸調整ミラーやビームエキスパンダなどを通して、図示せぬ第2のガルバノメータにより制御駆動される第2スキャンミラーにより反射して、第1スキャンミラー5xへと入射する。第1スキャンミラー5xに入射したレーザ光は同ミラー5xで反射して第1fθレンズ6に入射する。このときレーザ光の主光線は第1fθレンズ6の前側焦点を通って同レンズ6に入射し、光軸に平行な光となって進み、第1fθレンズ6の他の部分に入射するレーザ光は同レンズ6の後側焦点位置fb’1の近傍に結像(中間像A1)し、その結像点から第2fθレンズ7へと入射する。
【0035】
このときの中間像A1の光軸上からのずれ量δh1はfb’1・2δθとなり、第1スキャンミラー5xの設置位置の位置精度とガルバノメータの交差などにより決まる。また、この中間像A1は第2fθレンズ7の前側焦点位置fb2の近傍に結像されるため、同レンズ7を通過する光束は平行光となって第3fθレンズ8へと入射する。この第2及び第3fθレンズ7,8もアフォーカル系に配されるため、こうして第3fθレンズ8に入射する光束は、マーキング面に最終像A2を結像する。
【0036】
このときの最終像A2の結像位置からの光軸に対するずれ量δh2は、(fb’3/fb2)・fb’1・2δθとなり、上記中間像A1の(fb’3/fb2)となる。ここで、fb’3<fb2であるから、結果的に中間像A1のずれ量δh1をfb’3/fb2だけ縮小したことになる。
【0037】
このように、本実施形態によれば、第1スキャンミラー5xに対向させて配される収束レンズ系を、上述のごとく配しているため、途中に中間像を結像させたのちに収束系レンズを通して、その結像位置からの光軸に対するずれ量δhを最終的に小さくするため、ガルバノメータやスキャンミラーなどの特性限界があったとしても、それらの公差などによる影響を少なくして、所望のマーキング面上に所望の微小寸法のドットマークを正確に形成することができる。
【0038】
図2は本発明の代表的な全体の構成例を示している。この構成例によれば、上記収束レンズ系から遠くに配される第2スキャンミラー5yとスキャンミラー側のfθレンズ6との間に生じるデフォーカスを極力少なくしようとするものである。すなわち、y軸方向に往復回動する第2スキャンミラー5yの反射光は、90°の位相差をもってx軸方向に往復回動する第1スキャンミラー5xを介して収束レンズ系の最もスキャンミラー側に配されるfθレンズ6へと入射されるため、前記fθレンズ6と第2スキャンミラー5yの配置位置との間の離間距離が遠ざかれば遠ざかるほど、第1及び/又は第2スキャンミラー5x,5yの往復回動位置がfθレンズ6の前側焦点距離から大きくずれやすくなり、fθレンズ6のテレセントリックな光学系のずれも大きくなる。また、第1及び/又は第2スキャンミラー5x,5yの振り角θ1,θ2のずれ量が拡大する。
【0039】
このため、本実施形態では、図2に示すように第1スキャンミラー5xと第2スキャンミラー5yとの間の光通路上に2枚のfθレンズ9,10をアフォーカル系に配して、デフォーカス時の影響及びテレセントリック性の崩れを低減させて、マーキング面における結像の位置ずれを極力小さなものとしている。
【0040】
以上の説明からも明らかなように、本発明のビームスキャン式レーザマーキング装置によれば、収束レンズ系に最もスキャンミラー側に配されるfθレンズの焦点距離をレーザ光の入射側に対向して配される第1スキャンミラーとの干渉が回避できる距離に設定すると共に、収束レンズ系を複数のfθレンズをもって互いにテレセントリック性を確保するアフォーカル系に配し、第1及び第2スキャンミラーの駆動時における振り角の公差などを踏まえた上で、第1fθレンズにより、通常のずれ量をもって結像される中間像を一旦作りだし、次いで第2fθレンズを通して焦点距離の小さい縮小レンズである第3fθレンズにより縮小された結像をマーキング面に形成する。
【0041】
その結果、第1fθレンズにより最初に生じた結像位置に対する結像のずれ量も縮小されるようになり、ずれ量の影響の少ないドットマークが形成でき、特に微小なドット形態を有するドットマークであっても、そのドットマーク間のピッチへの影響が少なくなり、以降の視認性が十分に確保できる。
【0042】
また、第1及び第2スキャンミラーの配置のずれや、振り角などのずれに対しても、両ミラー間に2枚のfθレンズをアフォーカル系に配することにより、そのずれ量を極力小さくすることができるため、テレセントリック性が確保され、更に結像の位置ずれが少なくなる。
【0043】
以上は、本発明の典型的な実施の形態を説明したものであり、本発明は既述したとおり特許請求の範囲に記載した範囲において多様な変更が可能であることは理解すべきであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のビームスキャン式レーザマーキング装置における代表的な基本構成例となる収束光学系の概略構成とその機能の説明図である。
【図2】 その全体構成例を示す収束光学系の概略構成とその機能の説明図である。
【図3】従来の同収束光学系の概略構成とその第1スキャンミラーの振り角による影響を示す機能説明図である。
【図4】同じく従来の収束光学系の第1スキャンミラーの配置ずれによる影響を示す機能説明図である。
【図5】一般のビームスキャン式レーザマーキング装置の概略構成を示す説明図である。
【符号の説明】
1 レーザ発振器
2 超音波Qスィッチ
3 駆動回路
4 制御装置
4x 第1ガルバノメータ
4y 第2ガルバノメータ
5x 第1スキャンミラー
5y 第2スキャンミラー
6 第1fθレンズ
7 第2fθレンズ
8 第3fθレンズ
9,10 fθレンズ
Claims (2)
- レーザ発振器から出射されるレーザ光をスキャンミラーにより所望のパターンで走査させ、収束レンズ系を通して被マーキング面にマーキングを行うビームスキャン式レーザマーキング装置にあって、
前記収束レンズ系が3以上の収束系レンズから構成され、
スキャンミラー側に近く配されるfθレンズの焦点距離を、それに対向して配される第1スキャンミラーと干渉しない距離に設定すると共に、第1スキャンミラーの中心を同レンズの前側焦点位置に一致して配し、
前記収束レンズ系は、互いがテレセントリックな関係に順次配されてなり、
前記収束レンズ系の前記第1スキャンミラーから最も遠くに配されるfθレンズの後側焦点位置をマーキング面に合致させてなり、
前記第1スキャンミラーと所要の距離をもって離間して配される第2スキャンミラーとの間の同一光路上に、2枚のfθレンズがアフォーカル系に配されてなる、
ことを特徴とするビームスキャン式レーザマーキング装置。 - 前記第1スキャンミラーと所要の距離をもって離間して配される第2スキャンミラーとの間の同一光路上に、2枚のfθレンズがアフォーカル系に配されてなることを特徴とする請求項1記載のビームスキャン式レーザマーキング装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000338848A JP4159738B2 (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | ビームスキャン式レーザマーキング装置 |
US09/984,916 US20020057481A1 (en) | 2000-11-07 | 2001-10-31 | Beam scanning type laser marking device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000338848A JP4159738B2 (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | ビームスキャン式レーザマーキング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002144054A JP2002144054A (ja) | 2002-05-21 |
JP4159738B2 true JP4159738B2 (ja) | 2008-10-01 |
Family
ID=18813999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000338848A Expired - Fee Related JP4159738B2 (ja) | 2000-11-07 | 2000-11-07 | ビームスキャン式レーザマーキング装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20020057481A1 (ja) |
JP (1) | JP4159738B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005018040A (ja) * | 2003-06-02 | 2005-01-20 | Seiko Epson Corp | 走査装置、レーザプロジェクタ、及び光学装置 |
US6924458B2 (en) * | 2003-07-17 | 2005-08-02 | Great Computer Corp. | Auxiliary focusing tool for laser marker |
US20100214638A1 (en) * | 2007-08-06 | 2010-08-26 | Stephen Hastings | Method and apparatus for three-dimensional targeting using galvano motor scanning apparatus |
JP5447909B2 (ja) * | 2008-04-25 | 2014-03-19 | 株式会社日本製鋼所 | 薄膜材料の結晶化方法及びその装置 |
CN104238071B (zh) * | 2013-06-24 | 2016-12-28 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种F‑theta光学镜头及激光加工系统 |
DE102013215442A1 (de) * | 2013-08-06 | 2015-02-12 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zur Materialbearbeitung mit einem Laserstrahl |
WO2019003343A1 (ja) * | 2017-06-28 | 2019-01-03 | ホヤ レンズ タイランド リミテッド | 眼鏡レンズの製造方法、眼鏡レンズの製造システム、眼鏡レンズ |
JP2020196023A (ja) * | 2019-05-31 | 2020-12-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | レーザ加工装置、レーザ加工方法ならびに素子チップの製造方法 |
US11500070B2 (en) * | 2019-09-04 | 2022-11-15 | Lumentum Operations Llc | Optical device having two scanning components, one configured to compensate for field distortion |
WO2023238175A1 (ja) * | 2022-06-06 | 2023-12-14 | 株式会社ニコン | 集光光学系、fθ光学系、光加工装置、および光計測装置 |
-
2000
- 2000-11-07 JP JP2000338848A patent/JP4159738B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-10-31 US US09/984,916 patent/US20020057481A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20020057481A1 (en) | 2002-05-16 |
JP2002144054A (ja) | 2002-05-21 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110725 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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