JPH09230279A - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置Info
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- JPH09230279A JPH09230279A JP8038142A JP3814296A JPH09230279A JP H09230279 A JPH09230279 A JP H09230279A JP 8038142 A JP8038142 A JP 8038142A JP 3814296 A JP3814296 A JP 3814296A JP H09230279 A JPH09230279 A JP H09230279A
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Abstract
光偏向素子のもつ偏向周波数のばらつきを補償し、出力
画像の位置ズレが生じないようにする。 【解決手段】 光ビームを出射する光ビーム出射手段
と、バネ部と、バネ部によって支持され正弦状に振動す
る可動部と、その可動部に設けられた偏向部とを構成
し、前記偏向部により偏向作用を受けた光ビームにより
被走査媒体を走査する光偏向手段とを備えた光走査装置
において、画像データに従って変調される前記光ビーム
出射手段の変調周波数を調整可能とする変調クロック制
御手段を設けたものであり、その変調周波数を変化させ
ると一定画素数にて被走査媒体上を走査される光ビーム
の画像書き込み幅が変化し、前記光偏向手段の可動部の
偏向周波数の個体ばらつきを補償する事ができる。
Description
られてくるコード化された信号を高速に印字出力する電
子写真方式の記録装置において、レーザビーム等のビー
ムを電子計算機等からの信号に応じて偏向、変調制御す
る光走査装置に関するものである。
を担う記録装置として、電子写真方式による記録装置が
用いられている。
来の光走査装置について図5を用いて説明する。
である。
73を照射するに必要なレーザビームを形成する全ての
部材が配置されている。
とは一体のユニットとしてのレーザユニット76を構成
している。
平方向に発振するものであり、その発振されたレーザビ
ームはコリメータレンズ75に入射する。コリメータレ
ンズ75を通過したレーザビームは、コリメータレンズ
75の光軸と一致した平行ビームとなる。
ザビームは、シリンドリカルレンズ77によって、6面
の反射面を有する正六面体形状のポリゴンミラー72の
反射面上に、そのポリゴンミラー72の回転軸方向のみ
一旦集束するようにして入射される。
えられた軸に取りつけられ、定速回転するモータ78に
より駆動される。このモータの駆動により回転するポリ
ゴンミラー72によって、レーザビームはほぼ水平に掃
引されて等角速度で偏向される。
ウムを材料として形成されており、その作成の際には一
般に切削加工法が用いられる。また、モータ78の種類
としては、公知のヒステリシスシンクロナスモータ、D
Cサーボモータ等が挙げられる。これらは、磁気駆動力
により回転力を得ることからコイルの巻線や、鉄板を含
む磁気回路をモータ内に形成することが必要となるた
め、その容積は比較的大きなものとなる。
されて出射したレーザビームはfθ特性を有する結像レ
ンズ79により前記感光ドラム73上にスポット光とし
て結像される。
れたレーザビームは、画像領域を妨げない位置に設けら
れたビーム検出器ユニット80に導かれる。ビーム検出
器ユニット80は1個の反射ミラー81と小さな入射ス
リットを有するスリット板82と応答速度の速い光電変
換素子基板83から成る。そして、この光電変換素子基
板83は掃引されるレーザビームを検出すると、検出信
号を出力する。この検出信号により、感光ドラム73上
に画像データに応じた光情報を与えるための半導体レー
ザ74への入力信号のスタートタイミングが制御され
る。
光ドラム73に照射され、公知の電子写真プロセスによ
り顕像化された後、普通紙等の転写材上に転写定着され
ハードコピーとして出力される。
公昭60−57053号公報、実公平2−19783号
公報、実公平2−19784号公報、実公平2−197
85号公報に記載されているような、水晶基板を用いる
機械振動子の表面にレーザビームを反射するための反射
鏡を形成してなる光偏向素子を有する光走査装置も提案
されている。
偏向素子の偏向面(反射鏡面)を正弦的に往復振動させ
ることで、反射鏡に入射する光ビームを偏向走査するも
のである。なお、この往復振動の周波数を偏向周波数と
称する。
ポリゴンミラーを用いた方式による光走査装置では、上
述した通り、アルミニウム製のポリゴンミラーや、それ
を駆動するためのヒステリシスシンクロナスモータ、D
Cサーボモータ等を使用しているため、外形形状、重量
とも一般的に大きくなってしまい、この光走査装置を組
み込んだ記録装置の小型化に寄与し得ないという問題点
があった。
素子を用いた光走査装置では、光偏向素子を大量生産す
る際に、個々の光偏向素子が有する偏向周波数のばらつ
きが大きくなってしまう。従って、光偏向素子にて偏向
される光ビームの偏向角速度は、各光偏向素子によって
大きな個体差が出てしまうので、このような光偏向素子
を用いた光走査装置を画像を記録する記録装置に用いた
ときに、設計上の偏向角速度に従って出力される画像の
位置と、実際の光偏向素子が有する偏向角速度に従って
出力される画像の位置とが異なってしまい、原画像を正
確に再現することができないという問題点があった。
るためになされたものであり、正弦状に振動する偏向部
を用いたことで、従来の光走査装置より外形形状、重量
とも小さくしながら、さらに正弦状に振動する偏向部の
もつ偏向周波数のばらつきを補償し、結果的に、このよ
うな光走査装置を画像書込手段として用いる際、出力画
像の位置ズレを生じることのない光走査装置を提供する
ことを目的とする。
に、請求項1記載の光走査装置は、光ビームを出射する
光ビーム出射手段と、バネ部と、バネ部によって支持さ
れ正弦状に振動する可動部と、その可動部に設けられた
偏向部とを構成し、前記偏向部により偏向作用を受けた
光ビームにより被走査媒体を走査する光偏向手段とを備
えた光走査装置において、画像データに従って前記光ビ
ーム出射手段の明滅タイミングを決定するための変調ク
ロックを発生するための変調クロック発生手段と、前記
変調クロック発生手段により供出される変調クロックの
周波数を可変制御可能とし、前記可動部の振動周波数の
個体ばらつきを補償する変調周波数制御手段と、を設け
たものであり、変調クロックの周波数を変化させると一
定画素数にて被走査媒体上を走査される光ビームの画像
書き込み幅が変化し、前記光偏向手段の可動部の偏向周
波数の個体ばらつきを補償する事ができる。
の光走査装置に、前記光偏向手段の可動部の偏向周波数
の個体ばらつきを表示する表示手段を備えたものであ
り、この表示手段の表示情報に従って、光走査装置の組
立者は、変調周波数を設定すべく、変調周波数調整手段
を作用させることができる。
の光走査装置に、前記バネ部と、可動部と、偏向部は、
絶縁基板上に一体化され構成されており、絶縁基板のバ
ネ部の長手方向のねじれ回復力により、該可動部は正弦
状に振動し、この構成により、小型の光偏向手段を実現
できる。
形態を図面を参照して説明する。
査装置1を示す平面図であり、これを用いて、本実施例
の光走査装置の構成及び動作を詳細に説明する。一部は
本実施例の構成を説明するため、平面に投影した断面図
となっている。
3を照射するに必要なレーザビームを形成する全ての部
材が配置されている。
いて、半導体レーザ4とコリメートレンズ5と鏡筒7
は、筺体2の一部位である円筒開口部6に一体化されて
固定されている。
に従って強弱に変調されたレーザビームを放射し、コリ
メートレンズ5に入射させる。
れた画像データ供出器23により光走査装置1の外部か
ら供給される。
トミラー回路等からなり、半導体レーザ4に流れる電流
値をオンオフ制御する。
生成する変調クロックのオンオフタイミング毎に画像デ
ータ供出器23のもつ画像情報にしたがって画像データ
信号を変調し、LD駆動回路26にこの信号を送り出す
機能を持つ。
器(VCO)等の回路からなり、その生成する変調クロ
ックは、外部からの入力により、周波数が可変制御可能
となっている。
回路等からなり、外部からの入力によりある一定のDC
電圧を発生する。
設けられた、図示しないレーザプリンタの入力装置であ
る。
光器10の偏向周波数に対応する値が、入力されると、
これを受けて変調クロック制御器26は、その値に対応
した一定のDC電圧を発生し、後続する変調クロック発
生器24はこのDC電圧値に対応した周波数の変調クロ
ックを発生する。この変調クロックのオンオフタイミン
グ毎に、変調器25は画像データ信号を変調し、LD駆
動回路26にこの信号を送り出す。
レンズからなり、半導体レーザ4から放射されたレーザ
ビームを受けて平行なレーザ光として鏡筒7の開口から
出射させる作用をする。この様な円筒形状のレンズとし
ては、円筒軸垂直方向に屈折率分布を持ったGRINレ
ンズが知られている。
トレンズ5を、鏡筒7の外形円筒面の中心軸と、コリメ
ートレンズ5の光軸がほぼ一致するように保持する機能
を持つ。
半導体レーザ4の発光点がコリメートレンズ5の光軸に
略一致し、また半導体レーザ4の発光点がコリメートレ
ンズ5の焦点に一致するように調整される。これらを調
整することにより半導体レーザ4より放射されたレーザ
ビームはコリメートレンズ5通過後、コリメートレンズ
5の光軸と略一致した平行ビームとなり、鏡筒7の開口
により平行ビームの断面形状が所定の形状となるべく規
制されて出射される。
素子を正弦振動させるための駆動部11とからなり、筺
体2に配設されている。
図2を参照して説明する。
は、上部及び下部に一体形成されたバネ部42,43を
介して可動部44が支持されている。これら、フレーム
41、バネ部42,43及び可動部44は単一の絶縁基
板によって構成されており、またこれらの形状は、フォ
トリソグラフィ及びエッチングの技術を利用して形成さ
れる。ここで、絶縁基板としては、例えば厚さが50ミ
クロン程度の水晶基板が使用可能である。なお、フレー
ム41は必ずしも必要ではない。
パターン46とがフォトリソグラフィ及びエッチングの
技術を利用して形成されている。この反射鏡45の表面
精度は、結像時のビーム形状を乱さないようにするため
に、半導体レーザ4より出射されるレーザビームの波長
の4分の1程度とされる。また、上部及び下部のバネ部
42,43にはそれぞれコイルパターン46への導通の
ためのリード線47,48が設けられており、上部側の
リード線47にはコイルパターン46を飛び越して接続
されるジャンパ線49が設けられている。
2,43及び可動部44の形成方法や反射鏡45及びコ
イルパターン46の形成方法については、特公昭60−
57052号公報に詳細に記載されているので、ここで
の説明を省略する。
が用いられ、所定のバイアス磁界を形成するように配置
される。
0では、光偏向素子9のコイルパターン46を駆動部1
1により与えられるバイアス磁界中に配置させ、リード
線47,48及びジャンパ線49を介してコイルパター
ン46に電流を流すことにより、可動部44が上部及び
下部のバネ部42,43を軸として正弦的に往復揺動運
動する。そして、可動部44がこのような揺動運動をす
ることにより、反射鏡45にて反射されるレーザビーム
が偏向作用を受けて水平に掃引されるのである。なお、
可動部44の往復揺動する角度全幅は偏向されたレーザ
ビームの角度変化にて110度である。
レンズからなり、偏向器10による偏向作用を受けたレ
ーザビームを感光ドラム3上に結像させ、さらに感光ド
ラム3上にてレーザビームによる走査線が略等速で主走
査方向に移動するようにF・arcsinθ特性を有し
ている。
入射角がθの時、像面上での結像する位置rについて、
r=f・tanθ(fは結像レンズの焦点距離)となる
関係がある。しかし、正弦揺動する偏向器10により反
射されるレーザビームは結像レンズ12への入射角が、
時間と共に三角関数的に変化する。従って、一般の結像
レンズを用いると共に一定時間間隔で半導体レーザ4を
オンオフすることにより間欠的にレーザビームを出射さ
せて、そのビームスポット列を感光ドラム3上に結像さ
せると、それらビームスポット列の間隔は等間隔とはな
らなくなる。よって、正弦揺動する偏向器10を用いる
光走査装置1においては、上述のような現象を避けるた
めに、結像レンズ12として、r=f・arcsinθ
なる特性を有するものが用いられる。このような結像レ
ンズ12をFアークサインθレンズと称する。
ーザビームは感光ドラム3上への照射を妨げない領域内
で導光ミラー13にて光路を折り返されて、筺体2の一
部分として形成されているナイフエッジ18を通過して
ビーム検出器14に導かれる。
ド等の光電変換素子からなり、掃引されるレーザビーム
を検出するものであり、この検出を示す検出信号に応じ
て感光ドラム3上に画像信号に応じた光情報を与えるた
めの半導体レーザ4への入力信号のスタートタイミング
が制御される。
する際の偏向角速度のムラによる水平方向の信号の同期
ずれを大幅に軽減でき、質のよい画像が得られると共に
偏光器10に要求される偏向角速度の精度の許容範囲が
大きくなるものである。
設けられている。なお、従来は、薄い金属を打ち抜き加
工した矩形スリット状の部品を位置調整して筺体2にネ
ジ等で固定して配設されていた。従って、ナイフエッジ
18を筺体2の一部分として形成したことにより、部品
点数を低減できるという効果が得られる。
いるガラス繊維入りポリカーボネートにて形成され、各
構成要素を位置精度よく担持し、振動による歪が小さい
ことが必要である。
り出射されたレーザビームは感光ドラム3上への照射領
域内で折り返しミラー群6にて光路を折り返されて、筺
体2の一部位である窓17から筺体2外に射出され、感
光ドラム3上に照射され、感光ドラム3上に潜像を形成
する。感光ドラム3上の潜像は、公知の電子写真プロセ
ス等により顕像化された後普通紙または特殊紙より成る
転写材上に図示しない転写機構及び定着機構により転写
・定着されハードコピーとして出力される。
ングプロセスとフォトリソグラフィープロセスにより加
工したものからなり、この水晶基板の厚みや、材質の不
均衡、あるいはエッチングプロセスの誤差により、通常
その正弦往復振動周波数、即ち偏向周波数の誤差は±3
%程度であるため、大量生産時には個々の光偏向素子に
よる偏向周波数のばらつきが大きい。この偏向周波数の
ばらつきは、光偏向素子により偏向作用を受けたレーザ
ビームが、図3に示すように、感光ドラム3上の走査開
始位置21から走査終了位置22へ至る速度、つまりレ
ーザビームの偏向角速度のばらつきとして表れてしまう
ため、以下のような問題が起こる。
報に従って、一定クロックに従って変調したならば、各
光偏向素子毎の上述した偏向角速度のばらつきに応じ
て、走査終了位置22に書き込まれるはずの画像情報の
位置が、走査方向に±3%の範囲でずれてしまい、結果
的に、出力画像の位置ズレを生じる。
光偏向素子の偏向周波数のばらつきが800Hz±3%
であり、走査開始位置21から走査終了位置22への距
離を210mm(A4サイズの紙面に相当)としたと
き、偏向周波数800Hzにて走査開始位置21から走
査終了位置22へ解像度300dpiにて画像情報を書
き込みするような設計値にて半導体レーザ4を一定クロ
ックに従って変調すると仮定する。この時に書き込まれ
る基準データ数は2459点である。
が800Hzと比較して3%高ければ、走査終了位置2
2に書き込まれるはずの画像情報は図3の紙面左方向に
6.1mmずれた走査終了位置22aの位置に書き込ま
れてしまい、全体的に3%縮小された出力画像となって
しまう。逆に光偏向素子に固有の偏向周波数が800H
zと比較して3%低ければ、走査終了位置22に書き込
まれるはずの画像情報は図3の紙面右方向に6.1mm
ずれた走査終了位置22bの位置に書き込まれてしま
い、全体的に3%拡大された出力画像となってしまう。
一般にレーザビームプリンタにおいては、A4紙面にお
ける走査終了位置22のズレは±1.5mm程度しか許
されていないため、上述したような±6.1mmのずれ
が生じる構成は実用的であるとはいえない。
が感光ドラム3上の走査開始位置21から走査終了位置
22へ至るまでのデータ数を偏向周波数のばらつきによ
らず一定にするために、変調クロック発生器24の発生
する変調クロックの周波数を調整可能とする変調クロッ
ク制御器16が設けられている。
て、光偏向素子9の偏向周波数が設計値より3%高けれ
ば、変調クロック制御器16により、変調クロックの周
波数を同様に設計値よりも3%高くすることにより、走
査開始位置21から走査終了位置22へ至るまでのデー
タ数は偏向周波数のばらつきによらず前述した基準値2
459点となり、常に一定となる。また、変調クロック
制御器16による周波数の設定は、光走査装置の外部に
ある操作パネル15からの設定入力による。
り3%低ければ、変調クロック制御器16により、変調
クロックの周波数を同様に設計値より3%低くすること
により、走査開始位置21から走査終了位置22へ至る
までのデータ数は、設計値通りの偏向周波数を有する光
偏向素子9を使用した場合のデータ数と同一となり、偏
向周波数のばらつきによらず一定となる。
走査装置1の製造工程中に、レーザビームが走査開始位
置21から走査終了位置22へ至る速度を測定し、その
速度が基準設計値通りの偏向周波数を有する光偏向素子
9を使用した場合のレーザビームの速度と比較して何%
上下しているかを算出し、操作パネル15よりこの数値
を入力するという、比較的簡単な工程にて実現される。
走査方向と直交する方向にも、全く同様に画像の位置ズ
レを引き起こすことから、感光ドラム3の回転速度も、
偏向周波数の設計値からのズレ量と同等の比率にて調整
を行うことが必要である。
て、光偏向素子9の偏向周波数が設計値より3%高けれ
ば、感光ドラム3の回転速度を同様に設計値より3%高
く調整することにより、記録媒体である紙面上での画像
のズレは起こらない。
り3%低ければ、感光ドラム3の回転速度を設計値より
3%低い物とすることにより記録媒体である紙面上での
画像のズレは同様に起こらない。
を効率よく行うための表示手段19について、図4に基
づいて詳細に説明する。
として、手書き入力枠27が配設されており、以下の方
法に従って作業者により偏向周波数のセグメント28が
記入される。
2への距離を210mm(A4サイズの紙面に相当)と
し、出力画像の位置ズレの規格値を±1.5mmとした
とき、工場で生産されるすべての光走査装置1がこの規
格値に入っているために、偏向周波数セグメント28
は、偏向周波数の基準値からのズレ量にて次のように分
類する。
2.1〜−0.7%を2、−0.7〜+0.7%を3、+
0.7〜+2.1%を4、+2.1〜+3.5%を5、と5
分割する。この分類番号、即ちセグメント28を製造時
の作業者は、手書き入力枠27に記載すればよい。この
分類によれば、位置ズレの値は、最大±1.47mmと
なり、常に上記の規格を満たすことができる。この様
に、上記規格値を満たすための最小限の分割数を採用す
る事によって、通過速度値を生データとして書き込むよ
り、表記文字数が少なくて済み作業が簡便化するという
効果が得られる。
限定されず、バーコード印刷、ディップスイッチのオン
オフ、半導体ROMへの書き込み等、光走査装置1内に
て、偏向周波数をあるルールにのっとり表示できる方法
なら、どの様な方法を用いても構わない。
手段19によって必要な偏向周波数のセグメントが表示
されているので、このような光走査装置1を内包するレ
ーザプリンタの製造工程において、表示手段19の情報
に従って、変調周波数を簡便に調整することができるた
め、個々の光偏向素子9の偏向周波数にばらつきがあっ
ても、前述のような出力画像の位置ズレは、規格を超え
た範囲では起こらないので、原画像に忠実に画像を再生
できるという効果が、効率よく得られるものである。
るレーザプリンタの製造工程において、例えば修理等の
後の組立時など、ある光走査装置1を再度別のレーザプ
リンタに組み付ける際にも、再度偏向周波数の測定を行
う必要がなく、組立が容易になると共に、得られる出力
画像の位置ズレが生じないという効果も得られる。
包するレーザプリンタの使用者の元にて、故障等による
光走査装置1の交換の必要が生じたとき、この様な場
合、偏向周波数の測定は一般的に非常に難しい作業にな
るであろうが、表示手段19を備えた光走査装置1であ
れば、製造工場外での測定は必要なく、偏向周波数のセ
グメント値をもちい、例えばレーザプリンタへこれをパ
ネル操作等の方法で入力することによって、光走査装置
1交換後の出力画像の位置ズレを起こらなくする事がで
きるという効果も得られる。
装置1は、従来のポリゴンミラーを使用した光走査装置
よりも外形形状、重量ともに小さくし、さらに、正弦的
に揺動する反射鏡45を備えた光偏向素子9の偏向周波
数のばらつきを補償するものであり、結果的に、本実施
例の光走査装置1をレーザプリンタにおける画像の書き
込み用装置として用いるとき、出力される画像に位置ズ
レが生じないようにすることができる。
1の動作について図1を用いて説明する。
してレーザビームを発しており、このレーザビームはコ
リメートレンズ5によって平行ビームにされたのち、鏡
筒7の開口により整形作用を受けて出射される。レーザ
ビームは、偏向器10の光偏向素子9に形成されている
反射鏡45に入射される。光偏向素子9の可動部44は
駆動部11によって正弦的に揺動しているため、反射鏡
45にて反射されるレーザビームは正弦的に往復偏向作
用を受ける。光偏向素子9により偏向作用を受けたレー
ザビームは、さらに結像レンズ12としてのFアークサ
インθレンズによって感光ドラム3上に結像されるべく
収束作用を受ける。また、同時に、光偏向素子9により
偏向されたレーザビームが感光ドラム3上を等速度にて
走査されるような光路屈折作用を受ける。
ーザビームは、折り返しミラー6により光路を折り畳ま
れて感光ドラム3上に結像し、順次等速走査される。ま
た、発光されたレーザビームは画像走査範囲外にて導光
ミラー13により屈折され、ビーム検出器14に導かれ
る。ビーム検出器14がレーザビームを検出すると、そ
の検出信号を出力する。この検出信号は水平同期信号と
して用いられ、水平方向における画像の基準位置を得る
ために利用される。
た感光ドラム3上に潜像が形成され、潜像は公知の電子
写真プロセス等により顕像化された後、普通紙または特
殊紙より成る転写材上に周知の転写機構及び定着機構に
より転写・定着されハードコピーとして出力される。
ものではなく、適宜変更を加えることが可能である。
バイアス磁界を与えるための駆動部11としての永久磁
石とからなる正弦揺動共振型偏向器のみでなく、たとえ
ば、永久磁石の代わりの駆動部として積層圧電素子と機
械的変倍てこ機構を用いた正弦揺動共振型偏向器や、そ
の他の構成の電磁駆動型のガルバノミラーのうち、レー
ザビームを偏向する偏向手段の機械共振点にて偏向に作
用する素子が正弦的に揺動するような型のものにも適用
できる。
々な変更が可能である。
発明の請求項1記載の光走査装置は、バネ部と、このバ
ネ部によって支持され正弦状に振動する可動部とを構成
し、可動部に光ビームを偏向するための偏向部を設けた
光偏向手段を用いたことによって、従来の光走査装置よ
り外形形状、重量とも小さくできる。
らつきを変調クロック制御手段によって補償しているの
で、結果的に、本発明の光走査装置を被走査媒体に対し
て画像を書き込むために用いるとき、書き込まれる画像
の位置が各光走査装置毎に異なることがないという効果
を奏する。
の光走査装置に、前記光偏向手段の可動部の偏向周波数
の個体ばらつきを表示する表示手段を備えたものであ
り、この表示手段の表示情報に従って、光走査装置の組
立者は、変調周波数を設定すべく、変調周波数調整手段
を作用させることができ、組立時や、修理、交換時にお
いて、簡便な工程によっても、書き込まれる画像の位置
が各光走査装置毎に異なることがないという効果を奏す
る。
の光走査装置に、前記バネ部と、可動部と、偏向部は、
絶縁基板上に一体化され構成されており、絶縁基板のバ
ネ部の長手方向のねじれ回復力により、該可動部は正弦
状に振動し、この構成により、小型の光偏向手段を実現
できるという効果を奏する。
る。
示す平面図である。
Claims (3)
- 【請求項1】 光ビームを出射する光ビーム出射手段
と、 バネ部と、バネ部によって支持され正弦状に振動する可
動部と、その可動部に設けられた偏向部とから構成さ
れ、前記偏向部によって偏向作用を受けた光ビームによ
り被走査媒体を走査する光偏向手段とを備えた光走査装
置において、 画像データに従って前記光ビーム出射手段の明滅タイミ
ングを決定するための変調クロックを発生するための変
調クロック発生手段と、 前記変調クロック発生手段により供出される変調クロッ
クの周波数を可変制御可能とし、前記可動部の振動周波
数の個体ばらつきを補償する変調周波数制御手段と、を
備えたことを特徴とする光走査装置。 - 【請求項2】 前記光偏向手段の可動部の偏向周波数の
個体ばらつきを表示する表示手段を備えることを特徴と
する請求項1に記載の光走査装置。 - 【請求項3】 前記バネ部と、可動部と、偏向部は、絶
縁基板上に一体化され構成されることを特徴とする請求
項1に記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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