JPH09179053A - 光走査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小型化を実現すると共に、良好な結像特性を
発揮することのできる光走査装置を提供すること。 【解決手段】 偏向器１０は、光偏向素子２０とその光
偏向素子２０を正弦振動させるための駆動部２１と偏向
器筐体２２とから構成されており、偏向器筐体２２の反
射面側下方の両端においては、筐体２と一体成型された
軸受け２０に、偏向器筐体２２と一体に形成された円筒
形の回転軸２３が取り付けられている。また、偏向器筐
体２２の背面下方には調整ねじ取付板２４と調整ねじ２
５からなる傾斜調整部２６が形成されている。そして、
調整ねじ２５を回転させることにより、偏向器筐体２２
の傾斜量を調整することができるので、反射鏡４５の反
射面の角度を調整することができ、所望の方向へレーザ
ビームを反射させることが可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、電子計算機から送
られてくるコード化された信号を高速に印字出力する電
子写真方式の記録装置において、レーザビーム等のビー
ムを電子計算機等からの信号に応じて偏向、変調制御す
る光走査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、電子計算機からの画像情報の記録
を担う記録装置として、電子写真方式による記録装置が
用いられている。

【０００３】以下、このような記録装置に用いられる従
来の光走査装置について図６を用いて説明する。

【０００４】図６は従来の光走査装置７１を示す平面図
である。

【０００５】筐体７８には、記録媒体である感光ドラム
７３を照射するに必要なレーザビームを形成する全ての
部材が配置されている。

【０００６】半導体レーザ７４とコリメータレンズ７５
とは一体のユニットとしてのレーザユニット７６を構成
している。

【０００７】この半導体レーザ７４はレーザビームを水
平方向に発振するものであり、その発振されたレーザビ
ームはコリメータレンズ７５に入射する。コリメータレ
ンズ７５を通過したレーザビームは、コリメータレンズ
７５の光軸と一致した平行ビームとなる。

【０００８】コリメータレンズ７５より出射されたレー
ザビームは、シリンドリカルレンズ７７によって、６面
の反射面を有する正六面体形状のポリゴンミラー７２の
反射面上に、そのポリゴンミラー７２の回転軸方向のみ
一旦集束するようにして入射される。

【０００９】ポリゴンミラー７２は高精度の軸受けに支
えられた軸に取りつけられ、定速回転する図示しないモ
ータにより駆動される。このモータの駆動により回転す
るポリゴンミラー７２によって、レーザビームはほぼ水
平に掃引されて等角速度で偏向される。

【００１０】なお、ポリゴンミラー７２は主にアルミニ
ウムを材料として形成されており、その作成の際には一
般に切削加工法が用いられる。また、モータの種類とし
ては、公知のヒステリシスシンクロナスモータ、ＤＣサ
ーボモータ等が挙げられる。これらは、磁気駆動力によ
り回転力を得ることからコイルの巻線や、鉄板を含む磁
気回路をモータ内に形成することが必要となるため、そ
の容積は比較的大きなものとなる。

【００１１】ポリゴンミラー７２によりほぼ水平に掃引
されて出射したレーザビームはｆθ特性を有する結像レ
ンズ７９により前記感光ドラム７３上にスポット光とし
て結像される。

【００１２】さらに、ポリゴンミラー７２により掃引さ
れたレーザビームは、画像領域を妨げない範囲で、ビー
ム検出器ユニット８０に導かれる。ビーム検出器ユニッ
ト８０は１個の反射ミラー８１と小さな入射スリットを
有するスリット板８２と応答速度の速い光電変換素子基
板８３から成る。そして、この光電変換素子基板８３が
掃引されるレーザビームの位置を検出すると、この検出
信号に基づいて、感光ドラム７３上に画像データに応じ
た光情報を与えるための半導体レーザ７４への入力信号
のスタートタイミングを制御している。

【００１３】上記のごとく画像信号に応じて変調された
レーザビームは感光ドラム７３に照射され、周知の電子
写真プロセスにより顕像化された後、普通紙等の転写材
上に転写定着されハードコピーとして出力される。

【００１４】また、特公昭６０−５７０５２号公報、特
公昭６０−５７０５３号公報、実公平２−１９７８３号
公報、実公平２−１９７８４号公報、実公平２−１９７
８５号公報に記載されているような、水晶基板を用いる
機械振動子の表面にレーザビームを反射するための反射
鏡を形成してなる光偏向素子を有する光走査装置も提案
されている。

【００１５】これら公報に記載された光走査装置は、光
偏向素子の偏向面（反射鏡面）を正弦的に往復振動させ
ることで、反射鏡に入射するレーザビームを偏向走査す
るものである。なお、この往復振動の周波数を偏向周波
数と称する。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ポリゴンミラーを用いた方式による光走査装置では、上
述した通り、アルミニウム製のポリゴンミラーや、それ
を駆動するためのヒステリシスシンクロナスモータ、Ｄ
Ｃサーボモータ等を使用しているため、外形形状、重量
とも一般的に大きくなってしまい、この光走査装置を組
み込んだ記録装置の小型化に寄与し得ないという問題点
があった。さらに、ポリゴンミラーは２面以上の鏡面を
有しているため、各面間の傾斜角度のばらつきによって
光ビームの反射角にばらつきが生じる現象、いわゆる面
倒れと称される問題が不可避であった。このため、ポリ
ゴンミラーを用いた方式ではｆθレンズ等の結像光学系
に面倒れを補償する機能を付加する必要があり、結像光
学系の高コスト化をまねいた。

【００１７】また、上記各公報に記載されているような
往復振動子で構成された光偏向素子を用いた光走査装置
では、光走査素子に形成された１面のみの反射鏡を用い
るため面倒れは発生しないものの、光偏向素子に構成さ
れた反射鏡の傾斜角度の個体差や、光偏向素子を光走査
装置の筐体に固定するときに生じる傾斜角度のばらつき
により、光偏向素子からの反射レーザビームが感光ドラ
ム上の所定の位置に結像せず、副走査方向の位置ずれを
生じることがあった。このため、ポリゴンミラー使用時
と同様に、結像光学系に面倒れを補償する機能を付加す
る必要があり、結果的に結像光学系の高コスト化の原因
となっていた。

【００１８】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、小型化を実現すると共に、良好
な結像特性を発揮することのできる光走査装置を提供す
ることを目的とする。

【００１９】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に請求項１記載の光走査装置は、光ビームを出射する光
ビーム出射手段と、絶縁基板によってバネ部と、バネ部
によって支持される可動部と、その可動部に設けられた
偏向部とを一体的に構成した光偏向素子と、前記光偏向
素子を揺動させて前記偏向部に入射した前記光ビームに
偏向作用を施す光偏向手段と、前記偏向部にて偏向され
た前記光ビームを被走査媒体上に結像させるための結像
光学系とを備えた光走査装置であって、前記偏向部にて
偏向される前記光ビームの進行方向を調整するための調
整手段を有するものである。

【００２０】請求項１に記載の光走査装置によれば、偏
向部にて偏向される光ビームの進行方向を調整するため
の調整手段を有しているので、偏向された光ビームは面
倒れが発生することもなく結像光学系を介して正確に被
走査媒体上に結像される。

【００２１】請求項２に記載の光走査装置は、請求項１
に記載の光走査装置において、前記光偏向素子と前記光
偏向手段とを保持する第一の筐体と、前記光ビーム出射
手段と前記第一の筐体と前記結像光学系とを保持する第
二の筐体とを備え、前記第二の筐体には、前記第一の筐
体を取り付ける際の取付角度を調整するための角度調整
手段を有するものである。

【００２２】請求項２に記載の光走査装置によれば、第
一の筐体の第二の筐体に対する取付角度が調整されるの
で、第一の筐体に保持されている光偏向素子の偏向部に
て偏向された光ビームは面倒れが発生することもなく結
像光学系を介して正確に被走査媒体上に結像される。

【００２３】請求項３に記載の光走査装置は、請求項１
に記載の光走査装置において、前記光偏向素子と前記光
偏向手段とを保持する筐体を有し、その筐体は、さら
に、前記光偏向素子の取付角度を調整するための角度調
整手段を有するものである。

【００２４】請求項３に記載の光走査装置によれば、光
偏向素子の筐体に対する取付角度が調整されるので、光
偏向素子の偏向部にて偏向された光ビームは面倒れが発
生することもなく結像光学系を介して正確に被走査媒体
上に結像される。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下、本発明を具体化した一実施
例を図面を参照して説明する。

【００２６】図１は、レーザプリンタに適用される光走
査装置１を示す平面図であり、これを用いて、本実施例
の光走査装置の構成及び動作を詳細に説明する。なお、
この図面の一部は、本実施例の構成を説明するために平
面に投影した断面図となっている。

【００２７】筐体２には、被走査媒体である感光ドラム
３を照射するに必要なレーザビームを形成する全ての部
材が配置されている。

【００２８】図中に斜線が施してある筺体２の一部にお
いて、半導体レーザ４とコリメートレンズ５と鏡筒７
は、筺体２の一部位である円筒開口部６に一体化されて
固定されている。

【００２９】半導体レーザ４は、外部から入力される画
像信号に従って強弱に変調されたレーザビームを放射
し、コリメートレンズ５に入射させる。

【００３０】コリメートレンズ５は、円筒形状のガラス
レンズからなり、半導体レーザ４から放射されたレーザ
ビームを受けて平行なレーザ光として鏡筒７の開口から
出射させる作用をする。この様な円筒形状のレンズとし
ては、円筒軸垂直方向に屈折率分布を持ったＧＲＩＮレ
ンズが知られている。

【００３１】鏡筒７は、樹脂成型品からなり、コリメー
トレンズ５を、鏡筒７の外形円筒面の中心軸と、コリメ
ートレンズ５の光軸がほぼ一致するように保持する機能
を持つ。

【００３２】半導体レーザ４とコリメートレンズ５は、
半導体レーザ４の発光点がコリメートレンズ５の光軸に
略一致し、また半導体レーザ４の発光点がコリメートレ
ンズ５の焦点に一致するように調整される。これらを調
整することにより半導体レーザ４より放射されたレーザ
ビームはコリメートレンズ５通過後、コリメートレンズ
５の光軸と略一致した平行ビームとなり、鏡筒７の開口
により平行ビームの断面形状が所定の形状となるべく規
制されて出射される。

【００３３】図２は本発明の光走査装置に用いる光偏向
器１０を筐体２に取り付けた部分の詳細図である。

【００３４】偏向器１０は、光偏向素子２０とその光偏
向素子２０を正弦振動させるための駆動部２１と偏向器
筐体２２とから構成されており、偏向器筐体２２の反射
面側下方の両端においては、筐体２と一体成型された軸
受け２０に、偏向器筐体２２と一体に形成された円筒形
の回転軸２３が取り付けられている。また、偏向器筐体
２２の背面下方には調整ねじ取付板２４と調整ねじ２５
からなる傾斜調整部２６が形成されている。そして、調
整ねじ２５を回転させて、その調整ねじ２５の先端部２
５ａの調整ねじ取付板２４下方への突出量を調整するこ
とにより、偏向器筐体２２の傾斜量を調整することがで
きるので、偏向器筐体２２に設けられている後述する反
射鏡４５の反射面の角度を調整することができ、所望の
方向へレーザビームを反射させることが可能となる。

【００３５】本実施例の光偏向素子２０の構成につい
て、図４を参照して説明する。

【００３６】光偏向素子２０を構成するフレーム４１に
は、上部及び下部に一体形成されたバネ部４２，４３を
介して可動部４４が支持されている。これら、フレーム
４１、バネ部４２，４３及び可動部４４は単一の絶縁基
板によって構成されており、またこれらの形状は、フォ
トリソグラフィ及びエッチングの技術を利用して形成さ
れる。ここで、絶縁基板としては、例えば厚さが５×１
０^-5ｍ程度の水晶基板が使用可能である。なお、フレー
ム４１は必ずしも必要ではない。

【００３７】また、可動部４４には反射鏡４５とコイル
パターン４６とがフォトリソグラフィ及びエッチングの
技術を利用して形成されている。この反射鏡４５の表面
精度は、結像時のビーム形状を乱さないようにするため
に、半導体レーザ４より出射されるレーザビームの波長
の１／４程度とされる。また、上部及び下部のバネ部４
２，４３にはそれぞれコイルパターン５への導通のため
のリード線４７，４８が設けられており、上部側のリー
ド線４７にはコイルパターン５を飛び越して接続される
ジャンパ線４９が設けられている。

【００３８】なお、上述したフレーム４１、バネ部４
２，４３及び可動部４４の形成方法や反射鏡４５及びコ
イルパターン４６の形成方法については、特公昭６０−
５７０５２号公報に詳細に記載されているので、ここで
の説明を省略する。

【００３９】また、駆動部１１としては例えば永久磁石
が用いられ、所定のバイアス磁界を形成するように配置
される。

【００４０】このように構成された本実施例の偏向器１
０では、光偏向素子２０のコイルパターン４６を駆動部
１１により与えられるバイアス磁界中に配置させ、リー
ド線４７，４８及びジャンパ線４９を介してコイルパタ
ーン４６に電流を流すことにより、可動部４４が上部及
び下部のバネ部４２，４３を軸として正弦的に往復揺動
運動する。そして、可動部４４がこのような揺動運動を
することにより、反射鏡４５にて反射されるレーザビー
ムが偏向作用を受けて水平に掃引されるのである。

【００４１】なお、可動部４４の往復揺動する角度全幅
は偏向面角度変化にて１１０度であるが、実効的に画像
情報を持つ範囲を走査する光振れ角の全幅はこれより小
さく、例えば９０度程度に設定される。また、往復振動
の周波数（偏向周波数）は解像度３００ｄｐｉ、印字速
度６枚／分においては、８００Ｈｚ程度に設定される。

【００４２】結像レンズ１２は、１枚玉のプラスチック
レンズからなり、偏向器２０による偏向作用を受けたレ
ーザビームを感光ドラム３上に結像させ、さらに感光ド
ラム３上にてレーザビームによる走査線が略等速で主走
査方向に移動するようにＦ・ａｒｃｓｉｎθ特性を有し
ている。

【００４３】一般の結像レンズでは、光線のレンズへの
入射角がθの時、像面上での結像する位置ｒについて、
ｒ＝ｆ・ｔａｎθ（ｆは結像レンズの焦点距離）となる
関係がある。しかし、本実施例のように、正弦揺動する
偏向器１０により反射されるレーザビームは結像レンズ
１２への入射角が、時間と共に三角関数的に変化する。
従って、一般の結像レンズを用いると共に一定時間間隔
で半導体レーザ４をＯＮすることにより間欠的にレーザ
ビームを出射させて、そのビームスポット列を感光ドラ
ム３上に結像させると、それらビームスポット列の間隔
は等間隔とはならなくなる。よって、本実施例のように
正弦揺動する偏向器１０を用いる光走査装置１において
は、上述のような現象を避けるために、結像レンズ１２
として、ｒ＝ｆ・ａｒｃｓｉｎθなる特性を有するもの
が用いられる。このような結像レンズ１２をＦアークサ
インθレンズと称する。

【００４４】そして、結像レンズ１２より出射されたレ
ーザビームは感光ドラム３上への照射を妨げない領域内
で導光ミラー１３にて光路を折り返されて、筺体２の一
部分として形成されているナイフエッジ１８を通過して
ビーム検出器１４に導かれる。

【００４５】ビーム検出器１４はｐｉｎフォトダイオー
ド等の光電変換素子からなり、掃引されるレーザビーム
を検出するものであり、この検出を示す検出信号に応じ
て感光ドラム３上に画像信号に応じた光情報を与えるた
めの半導体レーザ４への入力信号のスタートタイミング
を制御している。

【００４６】これにより偏向器１０の可動部４４が揺動
する際の偏向角速度のムラによる水平方向の信号の同期
ずれを大幅に軽減でき、質のよい画像が得られると共に
偏光器１０に要求される偏向角速度の精度の許容範囲が
大きくなるものである。

【００４７】また、ビーム検出器１４は、半導体レーザ
４と同一の一枚の基板１５平面上に配設されている。こ
のため、ビーム検出器１４と半導体レーザ４を駆動する
ための駆動回路との間の電気信号の経路を短くすること
ができるので、回路系が周囲電気ノイズによって誤動作
を起こす可能性を低くすることができる。さらに、ビー
ム検出器１４と半導体レーザ４とが同一の一枚の基板１
５平面上に配設されており、両者の駆動回路が基板１５
上に共存しているため、基板１５の枚数が低減でき、基
板間を結線するハーネス１６の本数を同時に低減するこ
ともできるという効果を合わせもっている。

【００４８】基板１５はネジ６０により筺体２に固定さ
れており、ハーネス１６伝い、または、直接の外力によ
り、基板１５が力を受けて半導体レーザ４が筺体２から
抜けてしまったり、その位置がずれてしまったりするこ
とを防いでいる。

【００４９】ナイフエッジ１８は筐体２の一部分として
一体成型にて設けられたている。なお、従来は、薄い金
属を打ち抜き加工した矩形スリット状の部品を位置調整
して筺体２にネジ等で固定して配設されていた。従っ
て、本実施例のように、ナイフエッジ１８を筺体２の一
部分として形成したことにより、部品点数を低減できる
という効果が得られる。

【００５０】また、この筐体２は一般に広く用いられて
いるガラス繊維入りポリカーボネートにて形成され、各
構成要素を位置精度よく担持し、振動による歪が小さい
ことが必要である。

【００５１】上記のごとく偏向され、結像レンズ１２よ
り出射されたレーザビームは感光ドラム３上への照射領
域内でオリカエシミラー群１９にて光路を折り返され
て、筺体２の一部位である窓１７から筺体２外に射出さ
れ、感光ドラム３上に照射され、公知の電子写真プロセ
ス等により顕像化された後、普通紙またはＯＨＰフィル
ム等の特殊紙より成る転写材上に図示しない転写機構及
び定着機構により転写・定着され、ハードコピーとして
出力される。

【００５２】次いで、この様に構成された光走査装置１
がもたらす効果について、図１、図２及び図３を用いて
詳細に説明する。

【００５３】往復正弦揺動する光偏向素子２０を用いた
光走査装置では、一般に一面のみの反射鏡４５を使用す
るため、従来のポリゴンミラーを用いた光走査装置にお
けるｆθレンズのような、面倒れを補正する機能が付加
された結像レンズを使用する必要がなく、結像光学系の
設計の許容度が広くなり、コストダウン及び小型化が可
能となる。しかし、結像光学系に面倒れを補正するため
の機能を付加しないことにより次のような弊害が生じ
る。

【００５４】すなわち、往復正弦揺動する光偏向素子２
０の反射鏡４５の反射面の個体間のばらつきや、光偏向
素子２０の筐体２への取付角度のばらつきに起因して、
反射鏡４５にて反射されたレーザビームの結像レンズ１
２への入射角度が適正角度を逸脱することがあった。図
４を参照してさらに具体的に説明する。図４は、光偏向
素子２０の反射鏡４５によって反射されたレーザビーム
が結像レンズ１２によって結像効果を施され、感光ドラ
ム３上に結像される様子を示す。反射鏡４５で反射され
たレーザビームが適正な角度で結像レンズ１２に入射す
れば、感光ドラム３の適正位置３１に結像されるが、前
述した原因によりレーザビームの反射鏡４５への入射角
が適正角度からわずかにずれるだけで、レーザビームの
結像位置は適正位置から外れた位置３２にずれる。さら
に、結像されるレーザビームの波面収差も悪化する。そ
して、これを防止するためには、光偏向素子２０の反射
鏡４５面の角度を製造及び取付段階において、±０．５
°以内の精度に保証する必要があり、作製方法及び材料
が限定され、部品のコストアップにつながった。

【００５５】これに対して本実施の形態の光走査装置に
おいては、光偏向素子２０及び駆動部２１としての永久
磁石を包括的に保持する偏向器筐体２２に、上述した回
転軸２３と調整ねじ取付部２４と調整ねじ２５とからな
る傾斜調整部２６を設け、光走査装置１をレーザプリン
タに取り付ける段階で、レーザビームを走査しつつ偏向
器筐体２２の筐体２に対する取付角度（反射鏡４５の傾
斜角度）を調整可能であるため、個々の光偏向素子２０
のばらつきにかかわらず、感光ドラム３上の適正位置３
１にレーザビームが結像される。つまり、調整ねじ２５
を回転させることにより、偏向器筐体２２が回転軸２３
を中心として図２に示す矢印方向へ揺動し、感光ドラム
３上の適正位置３１にレーザビームが走査された位置で
接着剤により調整ねじ２５の位置を固定するという、簡
単な作業により反射鏡４５の傾斜角度の調整が可能とな
り、また、適切な結像特性が発揮される。さらに、感光
ドラム３上における波面収差の補正を防止するという効
果も得られる。

【００５６】ついで、上述の通り構成された光走査装置
１の動作について図１を用いて説明する。

【００５７】半導体レーザ４は画像信号に基づいて変調
され、点滅してレーザビームを発しており、このレーザ
ビームはコリメートレンズ５によって平行ビームにされ
たのち、鏡筒７の開口により整形作用を受けて出射され
る。レーザビームは、偏向器１０の光偏向素子２０に形
成されている反射鏡４５に入射される。光偏向素子２０
の可動部４４は駆動部１１によって正弦的に揺動してい
るため、反射鏡４５にて反射されるレーザビームは正弦
的に往復偏向作用を受ける。光偏向素子２０により偏向
作用を受けたレーザビームは、さらに結像レンズ１２と
してのＦアークサインθレンズによって感光ドラム３上
に結像されるべく収束作用を受ける。また、同時に、光
偏向素子２０により偏向されたレーザビームが感光ドラ
ム３上を等速度にて走査されるような光路屈折作用を受
ける。

【００５８】結像レンズ１２により収束作用を受けたレ
ーザビームは、オリカエシミラー１９により光路を折り
畳まれて感光ドラム３上に結像し、順次等速走査され
る。また、発光されたレーザビームは画像走査範囲外に
て導光ミラー１３により屈折され、ビーム検出器１４に
導かれる。ビーム検出器１４がレーザビームを検出する
と、その検出信号を出力する。この検出信号は水平同期
信号として用いられ、水平方向における画像の基準位置
を得るために利用される。

【００５９】そして、画像情報による光走査作用を受け
た感光ドラム３は公知の電子写真プロセス等により顕像
化された後、普通紙または特殊紙より成る転写材上に周
知の転写機構及び定着機構により転写・定着されハード
コピーとして出力される。

【００６０】尚、本発明は上述した実施の形態に限定さ
れるものではなく、適宜変更を加えることが可能であ
る。

【００６１】例えば、図５に示すように、光偏向素子２
０と駆動部２１とを保持する偏向器筐体３３に対して光
偏向素子２０を取り付ける際の取付角度を調整するよう
に構成しても、上記と同様の効果が得られる。すなわ
ち、光偏向素子２０が傾斜調整用取付板３５に接着等に
より取り付けられており、傾斜調整用取付板３５には円
筒形の回転軸３６が一体に形成されている。そして、こ
の回転軸３６が、偏向器筐体３３に一体に形成された回
転軸受３７に取り付けられている。また、偏向器筐体３
３には調整ねじ３８が背面より取り付けれており、調整
ねじ３８の先端は傾斜調整用取付板３５に押しつけられ
ている。以上のような構成とすることにより、調整ねじ
３８を回転させると、回転ねじ３８の先端部３８ａが傾
斜調整用取付板３５の押し込み、それに伴って光偏向素
子２０が傾斜調整用取付板３５と一体となって揺動し、
光偏向素子２０の偏向器筐体３３に対する取付角度（光
偏向素子２０に入射するレーザビームの入射角度及び反
射角度）を調整することが可能となる。よって、このよ
うな簡単な作業により反射鏡４５の傾斜角度の調整が可
能となり、また、適切な結像特性が発揮される。

【００６２】その他、本発明の趣旨を越えない範囲で様
々な変更が可能である。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
請求項１の光走査装置によれば、調整手段により、偏向
部で偏向された光ビームの進行方向を調整可能であるか
ら、その光ビームは適正な入射角度で結像光学系に入射
される。よって、走査される光ビームは被走査媒体上の
適切な位置に入射されるので、光ビームの位置ズレを防
止することができ、さらに波面収差の増大をも防止する
ことが可能であるという効果を奏する。

【００６４】また、請求項２の光走査装置によれば、光
偏向素子が保持された第一の筐体と、その第一の筐体と
光ビーム出射手段と結像光学系とを保持する第二の筐体
とを有し、さらに、第二の筐体には第一の筐体を取り付
ける際の取付角度を調整するための角度調整手段を有し
ているので、光ビームの結像光学系への入射角度を容易
に調整することができ、その調整された光ビームは適正
な入射角度で結像光学系に入射される。よって、走査さ
れる光ビームは被走査媒体上の適切な位置に入射される
ので、光ビームの位置ズレを防止することができ、さら
に波面収差の増大をも防止することが可能であるという
効果を奏する。

【００６５】請求項３の光走査装置によれば、光偏向素
子と光偏向手段とを保持する筐体を有し、その筐体に
は、光偏向素子を筐体に取り付ける際の取付角度を調整
するための角度調整手段を有しているので、光ビームの
結像光学系への入射角度を容易に調整することができ、
その調整された光ビームは適正な入射角度で結像光学系
に入射される。よって、走査される光ビームは被走査媒
体上の適切な位置に入射されるので、光ビームの位置ズ
レを防止することができ、さらに波面収差の増大をも防
止することが可能であるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を具体化した光走査装置の平面図であ
る。

【図２】光走査装置に用いる偏向器の側面図である。

【図３】光走査装置に用いる光偏向素子の斜視図であ
る。

【図４】光走査装置におけるレーザビーム走査の様子を
示す横断面図である。

【図５】別の実施形態の光走査装置に用いる偏向器の横
断面図である。

【図６】従来の光走査装置の平面図である。

【符号の説明】

１ 光走査装置 ２ 筺体 ３ 感光ドラム ４ 半導体レーザ １２ Ｆアークサインθレンズ ２０ 光偏向素子 ２１ 駆動部 ２２ 偏向器筐体 ２５ 調整ねじ ２６ 傾斜調整部 ４１ フレーム ４２，４３ バネ部 ４４ 可動部 ４５ 反射鏡

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ビームを出射する光ビーム出射手段
   と、 絶縁基板によってバネ部と、バネ部によって支持される
   可動部と、その可動部に設けられた偏向部とを一体的に
   構成した光偏向素子と、 前記光偏向素子を揺動させて前記偏向部に入射した前記
   光ビームに偏向作用を施す光偏向手段と、 前記偏向部にて偏向された前記光ビームを被走査媒体上
   に結像させるための結像光学系とを備えた光走査装置に
   おいて、 前記偏向部にて偏向される前記光ビームの進行方向を調
   整するための調整手段を有することを特徴とする光走査
   装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の光走査装置において、 前記光偏向素子と前記光偏向手段とを保持する第一の筐
   体と、 前記光ビーム出射手段と前記第一の筐体と前記結像光学
   系とを保持する第二の筐体とを備え、 前記第二の筐体には、前記第一の筐体を取り付ける際の
   取付角度を調整するための角度調整手段を有することを
   特徴とする光走査装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の光走査装置において、 前記光偏向素子と前記光偏向手段とを保持する筐体を有
   し、 その筐体は、さらに、前記光偏向素子の取付角度を調整
   するための角度調整手段を有することを特徴とする光走
   査装置。