JP2009106979A - レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】(a)レーザビームを、マスクの位置のレーザビームの断面が第1の可動ミラーから第2の可動ミラーまでのレーザビームの光路上に結像される条件で、第1の可動ミラーに入射させる。(b)第1の可動ミラーから第2の可動ミラーまでのレーザビームの光路上に結像された、マスクの位置のレーザビームの断面が、加工対象物上に結像される条件で、第2の可動ミラーを出射したレーザビームを加工対象物に入射させる。(c)第1または第2の可動ミラーを揺動した後、工程(a)及び(b)を繰り返す。
【選択図】図1
Description
11 エキスパンダ
12 マスク
13 コリメーションレンズ
14a、14c 第1ガルバノミラー
14b、14d 第2ガルバノミラー
15 fθレンズ
16 ステージ
17 イメージングレンズ
18 加工レンズ
20 プリント基板
30 パルスレーザビーム
31、31a 結像点
32 円弧
Claims (4)
- レーザビームを出射するレーザ光源と、
前記レーザ光源を出射したレーザビームの光路上に配置され、透光領域と遮光領域とを備え、入射するレーザビームが前記透光領域を透過することによって、レーザビームの断面形状が整形されるマスクと、
前記マスクの透光領域を透過したレーザビームの光路上に配置され、前記マスクの位置のレーザビームの断面を結像する第1のレンズと、
前記第1のレンズを透過したレーザビームの光路上に配置され、入射するレーザビームの出射方向を変化して出射する第1の可動ミラーと、
前記第1の可動ミラーで反射されたレーザビームの光路上に配置され、入射するレーザビームの出射方向を、前記第1の可動ミラーとは異なる方向に変化して出射する第2の可動ミラーと、
前記第2の可動ミラーで反射されたレーザビームの光路上に配置され、前記第1のレンズで結像された前記マスクの位置のレーザビームの断面を更に結像する第2のレンズと、
前記マスクの位置のレーザビームの断面が前記第2のレンズで更に結像される位置に、加工対象物を保持する保持器と
を有し、
前記第1のレンズが、前記第1の可動ミラーから前記第2の可動ミラーまでのレーザビームの光路上に、前記マスクの位置のレーザビームの断面を結像するレーザ加工装置。 - 前記第1のレンズが前記マスクの位置のレーザビームの断面を結像する位置に、前記第1の可動ミラーが配置されている請求項1に記載のレーザ加工装置。
- (a)レーザビームを、マスクの位置の該レーザビームの断面が第1の可動ミラーから第2の可動ミラーまでの該レーザビームの光路上に結像される条件で、前記第1の可動ミラーに入射させる工程と、
(b)前記第1の可動ミラーから前記第2の可動ミラーまでの前記レーザビームの光路上に結像された、前記マスクの位置の前記レーザビームの断面が、加工対象物上に結像される条件で、前記第2の可動ミラーを出射した前記レーザビームを加工対象物に入射させる工程と、
(c)前記第1または第2の可動ミラーを揺動した後、前記工程(a)及び(b)を繰り返す工程と
を有するレーザ加工方法。 - 前記工程(a)において、前記レーザビームを、前記マスクの位置の前記レーザビームの断面が前記第1の可動ミラー上に結像される条件で、前記第1の可動ミラーに入射させる請求項3に記載のレーザ加工方法。
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JP2007282308A JP2009106979A (ja) | 2007-10-30 | 2007-10-30 | レーザ加工装置、及び、レーザ加工方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102248289A (zh) * | 2011-01-13 | 2011-11-23 | 苏州德龙激光有限公司 | 晶硅太阳能电池的激光划线绝缘设备 |
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2007
- 2007-10-30 JP JP2007282308A patent/JP2009106979A/ja active Pending
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