JP4908177B2 - レーザ加工装置及びレーザ加工方法 - Google Patents
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Description
まず、本発明におけるレーザ加工装置の機能構成例について、図を用いて説明する。図1は、レーザ加工装置の機能構成の一例を示す図である。図1に示すレーザ加工装置10は、レーザ発振器11と、反射ミラー12と、走査手段としてのガルバノスキャナ13及びガルバノミラー14と、fθレンズ15と、光学系移動手段16と、対物レンズ光学系ユニット17と、ステージ駆動手段18と、ステージ19と、制御手段20とを有するよう構成されている。
ここで、上述した対物レンズ光学系ユニットに含まれる対物レンズ光学系について、図を用いて説明する。図2は、本発明において対物レンズ光学系のレンズ構成の一例を示す図である。なお、図2の例では、入射されたレーザビームの有効径を縮小する例を示している。
次に、上述した対物レンズ光学系ユニット17の一例について説明する。なお、以下に示す対物レンズ光学系ユニット17は、図2に示すレンズ構成を有するものとするが、本発明においてはこの限りではない。
ここで、上述した対物レンズ光学系ユニットについて図を用いて説明する。図3は、第1の実施形態における対物レンズ光学系ユニットの一構成例を示す図である。なお、図3の例では、対物レンズ光学系ユニット40の一例として円形の筒体41を有し、その筒体の中に上述したレンズ31〜34が筒体41内の所定の位置に配置(固定)されている。
次に、上述した対物レンズ光学系ユニットの他の実施形態について図を用いて説明する。図4は、第2の実施形態における対物レンズ光学系ユニットの一構成例を示す図である。
次に、本発明におけるレーザ加工装置を用いた具体的なレーザ加工手順の一例について説明する。なお、以下に説明する本発明におけるレーザ加工手順の一例として、加工対象物にプリント配線基板を用い、絶縁層に埋設された内層銅配線を露出させるために、その所定位置に穴あけ加工を行う例について説明する。
10 レーザ加工装置
11 レーザ発振器
12 反射ミラー
13 ガルバノスキャナ
14 ガルバノミラー
15 fθレンズ
16 光学系移動手段
17,40,50 対物レンズ光学系ユニット
18 ステージ駆動手段
19 ステージ
20 制御手段
30 対物レンズ光学系
31〜34 レンズ
41 筒体
42 開口部
43 ネジ部材
44 回転手段
51 棒体
52 レンズ保持部材
53 目盛り
54 回転部材
60 プリント配線基板
61,63 銅層
62 樹脂層
71,72 レーザビーム
Claims (7)
- レーザビームのビーム径をレンズ光学系により縮小又は拡大させて加工対象物に照射することでレーザ加工を行うためのレーザ加工装置において、
前記レーザビームを出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器からのレーザビームの方向を変化させ、前記加工対象物に対してレーザビームを走査して照射させるためのカルバノミラーと、
前記カルバノミラーからのレーザビームを収束させるfθレンズと、
前記fθレンズから垂直に入射されるレーザビームを前記加工対象物に照射する前に通過させる複数のレンズが配列されてなる対物レンズ光学系と、
前記対物レンズ光学系を前記レーザビームの入射方向に対して所定の位置に移動させて前記レーザビームのビーム径を縮小又は拡大させるための光学系移動手段と、
予め設定された加工条件に基づいて、前記レーザビームによる前記加工対象物への加工領域を前記対物レンズ光学系により縮小又は拡大させるよう制御する制御手段とを有することを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記光学系移動手段は、
前記ビーム径を縮小又は拡大させる場合、前記レーザビームの入射方向に対して、前記対物レンズ光学系を所定の位置を基準に反転させることを特徴とする請求項1に記載のレーザ加工装置。 - 前記対物レンズ光学系における複数のレンズを所定の間隔で設置するための対物レンズ光学系ユニットを有することを特徴とする請求項1又は2に記載のレーザ加工装置。
- 前記対物レンズ光学系ユニットは、筒体を有することを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工装置。
- 前記対物レンズ光学系ユニットは、少なくとも1つの棒体と、前記レンズを保持するレンズ保持部材とを有することを特徴とする請求項3に記載のレーザ加工装置。
- レーザ発振器から出射されるレーザビームのビーム径をレンズ光学系により縮小又は拡大させて加工対象物に照射することでレーザ加工を行うレーザ加工方法において、
前記レーザ発振器からのレーザビームの方向をガルバノミラーにより変化させ、前記加工対象物に対してレーザビームを走査して照射させる走査ステップと、
前記カルバノミラーからのレーザビームをfθレンズにより収束させる収束ステップと、
予め設定された加工条件に基づいて、前記fθレンズから垂直に入射されるレーザビームを前記加工対象物に照射する前に通過させる複数のレンズが配列されてなる対物レンズ光学系を、前記レーザビームの入射方向に対して所定の位置に移動させる光学系移動ステップと、
前記光学系移動ステップにより移動させた前記対物レンズ光学系により前記レーザビームによる前記加工対象物への加工領域を縮小又は拡大させてレーザ加工を行う加工ステップとを有することを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記光学系移動ステップは、
前記ビーム径を縮小又は拡大させる場合、前記レーザビームの入射方向に対して、前記対物レンズ光学系を所定の位置を基準に反転させることを特徴とする請求項6に記載のレーザ加工方法。
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