JP4130706B2 - バンプ製造方法および半導体装置の製造方法 - Google Patents
バンプ製造方法および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4130706B2 JP4130706B2 JP4031898A JP4031898A JP4130706B2 JP 4130706 B2 JP4130706 B2 JP 4130706B2 JP 4031898 A JP4031898 A JP 4031898A JP 4031898 A JP4031898 A JP 4031898A JP 4130706 B2 JP4130706 B2 JP 4130706B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- resist pattern
- forming
- etching process
- connection hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
- H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、バンプ製造方法および半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
電子機器の小型化をより一層進展させるためには、部品実装密度をいかに向上させるかが重要なポイントとなっている。こと半導体集積回路(IC)や半導体大規模集積回路(LSI)の実装に関しても、従来のパッケージ実装の代替として、ベアチップを直接プリント配線基板にマウントするフリップチップ実装法など高密度実装技術の開発が盛んに行われている。
【0003】
このプリップチップ実装法の一つに、ICチップやLSIチップのアルミニウム(Al)電極パッド上にはんだボールバンプを形成したものを、直接プリント配線基板に実装する方法がある。このはんだボールバンプを所定のAl電極パッド上に形成する方法としては、電解メッキ法を用いた方法があるが、この場合、成膜されるはんだ膜の厚さが、下地の表面状態や電気抵抗のわずかなばらつきによる影響を受けるため、ICチップ内で高さが均一に揃ったはんだボールバンプの形成を行うことは基本的に難しいという問題がある。
【0004】
そこで、はんだボールバンプの高さのばらつきを制御する方法として、真空蒸着法によるはんだ膜の成膜と、レジストパターンのリフトオフとを用いてはんだ膜のパターニングを行った後、はんだボールバンプを形成する方法が知られている。この方法によるはんだボールバンプの製造方法の工程の一例を図13〜図18を参照しながら、以下に説明する。
【0005】
まず、図13に示すように、回路素子などが形成されたシリコン(Si)ウェハのような半導体基体101上の所定の部分に絶縁膜(図示せず)を介して、スパッタリング法および反応性イオンエッチング(RIE)法により所定形状のAl電極パッド102を形成する。次に、半導体基体101の全面に、例えば窒化シリコン(SiN)膜のようなパッシベーション膜103を成膜した後、このパッシベーション膜103のAl電極パッド102上に対応する部分に開口部103aを形成する。次に、半導体基体101の全面に、層間絶縁膜として感光性のポリイミド膜104を成膜した後、リソグラフィー法によりこのポリイミド膜104の露光、現像を行うことにより、このポリイミド膜104のAl電極パッド102上に対応する部分に、所定の寸法の接続孔104aを形成する。このポリイミド膜104は、表面保護、電気的絶縁およびα線によるソフトエラー防止の役割を有するものである。また、このポリイミド膜104は誘電率が低く、寄生容量を低減するのに有効である。
【0006】
次に、ポリイミド膜104に接続孔104aを形成する工程まで行った半導体基体101上に、リソグラフィー法により所定形状のレジストパターン(図示せず)を形成した後、この半導体基体101の全面に、スパッタリング法によりクロム(Cr)膜、銅(Cu)膜、金(Au)膜を順次積層してCr/Cu/Au膜を成膜する。次に、リフトオフ法により、レジストパターンをその上のCr/Cu/Au膜とともに除去することにより、図14に示すように、このCr/Cu/Au膜を所定形状にパターニングする。これによって、このパターニングされたCr/Cu/Au膜からなるBLM(Ball Limiting Metal )105が形成される。このBLM膜105は、ポリイミド膜104の接続孔104aを通して下地のAl電極パッド102と接続しており、後に形成されるはんだボールバンプのバリアメタルとしての役割も有する。
【0007】
次に、図15に示すように、半導体基体101の全面にレジスト膜を形成した後、このレジスト膜をリソグラフィー法により所定形状にパターニングする。符号106は、これによって形成された所定形状のレジストパターンを示す。このレジストパターン106は、BLM膜105上に対応する部分、したがって、Al電極パッド102上に対応する部分に、所定の寸法の開口部106aを有する。
【0008】
次に、図16に示すように、真空蒸着法により全面にはんだ膜107を成膜した後、図17に示すように、リフトオフ法によりレジスト膜106をその上のはんだ膜107とともに除去する。これにより、はんだ膜107の不要部分が除去され、はんだ膜107が所望の形状にパターニングされる。この後、熱処理を行ってはんだ膜107を溶融させることで、最終的に図18に示すように、ほぼ球状のはんだボールバンプ108を形成する。
【0009】
この真空蒸着法によるはんだ膜の成膜と、レジストパターンのリフトオフとを用いたはんだボールバンプの形成方法によれば、チップ内で高さがほぼ均一に揃ったはんだボールバンプを形成することができる。
【0010】
ここで、ポリイミド膜104には、寄生容量の低減やα線によるソフトエラー対策などを考慮して、通常、2〜3μm以上の比較的厚いものが要求される。このため、このポリイミド膜104を、常に精度良く安定したパターンで形成することが難しくなっている。
【0011】
すなわち、上述のはんだボールバンプの形成方法においては、ポリイミド膜104をパターニングするためのリソグラフィー工程の際に、作業環境や処理条件のわずかな変動によって解像不良が起き、図13に示すように、接続孔104aの底部に光学顕微鏡でも確認できない程度の厚さの、場合によっては光学顕微鏡でも確認できる程度の厚さのポリイミドの被膜が残存したり、現像液の洗浄残りが生じたりする。図13〜図18中、符号104bは、これらの残存したポリイミド膜や現像液の洗浄残りなどの有機物からなるスカムを示す。図13〜図18においては、表現の便宜上、このスカム104bを実際よりも極端に厚く表記している。
【0012】
このように、ポリイミド膜104の接続孔104aの底部にスカム104bが残存することにより、その後に形成されるBLM膜105とこの下地のAl電極パッド102との界面での電気的コンタクトが良好に得られないという問題が生じる。
【0013】
また、極端な場合には、BLM膜105とAl電極パッド102との密着力が低下して、後工程やプリント配線基板へのチップ実装時に、剥離が生じてしまうような不良を招いてしまうことにも繋がる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
これに対して従来は、ポリイミド膜104の成膜およびパターニングの後の工程で、BLM膜105の成膜前処理として行うArイオン(Ar+ )によるスパッタエッチング処理(通称、逆スパッタ)が、ポリイミド膜104の接続孔104aの底部に残存するスカム104bの除去除去をも兼ねる意味合いがあった。
【0015】
しかしながら、BLM膜105を、半導体基体101上にレジストパターンのリフトオフを用いて選択的に形成するようにした場合、レジストパターンの耐熱性が低いことから、BLM膜105の成膜前処理は、ウェハの温度上昇を抑えた条件設定が必要となる。具体的には、このBLM膜105の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理の際には、エッチング対象となるレジストパターンの表面の最高到達温度が120℃を越えないように、半導体基体101への入射イオンエネルギーを低く設定したり処理時間を短くする必要がある。このため、このBLM膜105の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理は、スカム104bの除去処理としては、必ずしも充分な処理が行われている訳ではなかった。
【0016】
そのため、はんだボールバンプ108を形成した後に、プリント配線基板にフリップチップ実装して組み立てられた製品のバンプ接合部の電気的特性や機械的強度が時として不安定になり、このはんだボールバンプ108が形成されたデバイスの製造歩留まりや、このデバイスをフリップチップ実装して組み立てられる製品の信頼性や耐久性にも、その悪影響が及んでしまうという問題があった。
【0017】
したがって、この発明の目的は、電極およびこの上に形成されるバンプのバリアメタルとしての導電膜の接合界面における電気的特性や密着強度を改善し、フリップチップ実装後において高い信頼性および耐久性を有するバンプ製造方法を提供することにある。
【0018】
この発明の他の目的は、電極および/または配線と導電膜との接合界面における電気的特性や密着強度を改善し、高い信頼性および耐久性を有する半導体装置を製造することができる半導体装置の製造方法を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明の第1の発明は、
基体上に電極を形成する工程と、基体上に電極を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、層間絶縁膜の電極上に対応する部分に接続孔を形成する工程と、接続孔が形成された層間絶縁膜を有する基体上に接続孔に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成し、スパッタエッチング処理を行うことによりこのレジストパターンの表面近傍のみを熱変質させ、開口部をテーパー状に変形させ、基体の全面に導電膜を成膜した後、レジストパターンをその上の上記導電膜とともに除去することにより接続孔を通して電極と接続する導電膜を形成する工程とを有し、電極上に導電膜を介してバンプを形成するようにしたバンプ製造方法において、
層間絶縁膜に接続孔を形成した後、レジストパターンを形成する前に、基体に対して、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行い、この際、このスパッタエッチング処理を、このときの基体の表面の最高到達温度が、レジストパターンを形成した後に行うスパッタエッチング処理のときの基体の表面の最高到達温度よりも高くなるようなイオンエネルギーで行うようにした
ことを特徴とするものである。
【0020】
この発明の第2の発明は、
基体上に電極を形成する工程と、基体上に電極を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、層間絶縁膜の電極上に対応する部分に接続孔を形成する工程と、接続孔が形成された層間絶縁膜を有する基体上に接続孔に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成し、スパッタエッチング処理を行うことによりこのレジストパターンの表面近傍のみを熱変質させ、開口部をテーパー状に変形させ、基体の全面に導電膜を成膜した後、レジストパターンをその上の導電膜とともに除去することにより接続孔を通して電極と接続する導電膜を形成する工程とを有し、電極上に導電膜を介してバンプを形成するようにしたバンプ製造方法において、
層間絶縁膜に接続孔を形成した後、レジストパターンを形成する前に、基体に対して、少なくとも酸素を含む雰囲気中でアッシング処理を行った後、連続して少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うようにした
ことを特徴とするものである。
【0021】
この発明の第3の発明は、
基体上に電極および/または配線を形成する工程と、
基体上に電極および/または配線を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、
層間絶縁膜の電極および/または配線上に対応する部分に接続孔を形成する工程と、
接続孔が形成された層間絶縁膜を有する基体上に接続孔に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成し、スパッタエッチング処理を行うことによりこのレジストパターンの表面近傍のみを熱変質させ、開口部をテーパー状に変形させ、基体の全面に導電膜を成膜した後、レジストパターンをその上の導電膜とともに除去することにより接続孔を通して電極および/または配線と接続する導電膜を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法において、
層間絶縁膜に接続孔を形成した後、レジストパターンを形成する前に、基体に対して、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行い、この際、このスパッタエッチング処理を、このときの基体の表面の最高到達温度が、レジストパターンを形成した後に行うスパッタエッチング処理のときの基体の表面の最高到達温度よりも高くなるようなイオンエネルギーで行うようにした
ことを特徴とするものである。
【0022】
この発明の第4の発明は、
基体上に電極および/または配線を形成する工程と、
基体上に電極および/または配線を覆う層間絶縁膜を形成する工程と、
層間絶縁膜の電極および/または配線上に対応する部分に接続孔を形成する工程と、
接続孔が形成された層間絶縁膜を有する基体上に接続孔に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成し、スパッタエッチング処理を行うことによりこのレジストパターンの表面近傍のみを熱変質させ、開口部をテーパー状に変形させ、基体の全面に導電膜を成膜した後、レジストパターンをその上の上記導電膜とともに除去することにより接続孔を通して電極および/または配線と接続する導電膜を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法において、
層間絶縁膜に接続孔を形成した後、レジストパターンを形成する前に、基体に対して少なくとも酸素を含む雰囲気中でアッシング処理を行った後、連続して少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うようにした
ことを特徴とするものである。
【0023】
この発明においては、層間絶縁膜の材料としては、例えば有機物を用いることができる。また、この層間絶縁膜の材料としては、寄生容量を低減する観点から、低誘電率のものを用いることが好ましい。また、この発明において、層間絶縁膜への接続孔の形成は、感光性材料からなる層間絶縁膜を用い、これを直接、リソグラフィー法により露光、現像してパターニングすることにより行ってもよく、または、層間絶縁膜上に所定形状のレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとして層間絶縁膜をエッチングすることにより行ってもよい。この発明において、層間絶縁膜の材料としては、典型的には、例えば、二酸化シリコン(SiO2 )に比べて低誘電率の有機物であるポリイミドが用いられ、特に、感光性のポリイミドが用いられる。また、この発明において、電極または配線の材料としては、例えばアルミニウム、銅、銀またはこれらの合金を用いられる。
【0024】
この発明において、スパッタエッチング処理は、典型的には、例えばArガスのような不活性ガス雰囲気中で行うが、これ以外に、不活性ガスにさらに還元性ガスを含む雰囲気中で行うようにしてもよい。ここで、還元性ガスとしては、例えば、フッ化水素(HF)ガス、水素(H2 )ガスまたは塩酸(HCl)ガスを用いられる。
【0025】
この発明においては、スパッタエッチング処理およびアッシング処理のプラズマ処理は、プラズマ放電出力と基体へのバイアス電圧とを独立に制御しながら行うことが好ましい。この場合のプラズマ処理には、少なくともプラズマ放電出力とバイアス電圧とを独立に制御可能な二つの電源を有するプラズマ処理装置が用いられる。
【0026】
この発明においては、スパッタエッチング処理およびアッシング処理のプラズマ処理は、例えば、1×1011cm-3以上1×1014cm-3以下のプラズマ密度で行うようにしてもよい。この場合のスパッタエッチング処理およびアッシング処理には、ICP(Inductively Coupled Plasma)型プラズマ処理装置、TCP(Transfer Coupled Plasma またはTorocoidal Coupled Plasma )型プラズマ処理装置、ECR(Electron Cyclotron Resonance)型プラズマ処理装置またはヘリコン波プラズマ処理装置など、高いプラズマ密度が得られるプラズマ処理装置が用いられる。
【0027】
上述のように構成されたこの発明の第1の発明および第3の発明においては、層間絶縁膜に接続孔を形成した後、導電膜の成膜前処理を行う前に、基体に対して、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行い、この際、スパッタエッチング処理を、このときの基体の表面の最高到達温度が、導電膜の成膜前処理のときの基体の表面の最高到達温度よりも高くなるようなイオンエネルギーで行うようにしていることにより、層間絶縁膜への接続孔パターン形成において接続孔の底部に残渣(スカム)が残存していたり、下地の電極および/または配線の表面に自然酸化膜などの酸化膜が成長していたとしても、不活性ガスによる放電プラズマで解離生成したイオンのスパッタリング作用により、これらの残渣や酸化膜が効果的に除去され、電極および/または配線の表面を清浄化した上で、導電膜の成膜を行えるようになる。
【0028】
この結果、例えば、電極上にバリアメタルとしての導電膜を介して形成されたバンプを有するLSIなどのデバイスにおいて、電極と導電膜との界面で良好な電気的コンタクトが得られるようになる上に、導電膜と電極との密着強度が増し、このLSIチップをフリップチップ実装して組み立てられる製品は、バンプ接合部の電気的特性および機械的強度が共に向上するので、最終的な製品の信頼性および耐久性が、従来に比べて大きく向上する。
【0029】
また、スパッタエッチング処理により、層間絶縁膜の表面がイオン衝撃エネルギーを受けて化学的に活性化され、この結果、このLSIチップをフリップチップ実装して組み立てられる製品は、チップの層間絶縁膜とチップの封止に用いられる樹脂との密着強度が増すので、これによっても、最終的な製品の信頼性および耐久性の向上を図ることができる。
【0030】
上述のように構成されたこの発明の第2の発明および第4の発明においては、有機物からなる層間絶縁膜に接続孔を形成した後、導電膜を成膜する前に、基体に対して、少なくとも酸素を含む雰囲気中でアッシング処理を行った後、連続して少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うようにしており、層間絶縁膜の接続孔の底部に残存する残渣の除去を、2段階のプラズマ処理を用いて行うことが特徴的である。具体的には、まず、酸素を含む雰囲気中でプラズマ処理を行うことにより、残渣の主成分である有機物の燃焼反応(C+O* →CO↑)を主体とした反応系により、層間絶縁膜の接続孔の底部に残存する残渣を除去した後、連続して、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行う。
【0031】
これにより、残渣の除去処理に化学反応を利用することで、不活性ガスのみによるスパッタエッチング処理を行う場合よりも、効果的に残渣の除去を行うことができる。そして、酸素プラズマ処理により残渣除去中に下地の電極および/または配線の表面に新たに若干形成される酸化膜は、アッシング処理に連続して行われるスパッタエッチング処理により除去される。なお、アッシング処理に連続した行われるスパッタエッチング処理を、不活性ガスにさらに還元性ガスを含む雰囲気中でおこなった場合、電極および/または配線の表面に形成された酸化膜を化学反応で還元しながらスパッタ除去することで、より徹底した電極および/または配線の表面のクリーニングを行うことができる。
【0032】
この結果、例えば、電極上にバリアメタルとしての導電膜を介して形成されたバンプを有するLSIなどのデバイスにおいて、電極と導電膜との界面で良好な電気的コンタクトが得られるようになる上に、導電膜と電極との密着強度が増し、このLSIチップをフリップチップ実装して組み立てられる製品は、バンプ接合部の電気的特性および機械的強度が共に向上するので、最終的な製品の信頼性および耐久性が、従来に比べて更に大きく向上する。
【0033】
また、アッシング処理により、層間絶縁膜の表面が酸素を取り込んで化学的に活性化され、この結果、このLSIチップをフリップチップ実装して組み立てられる製品は、チップの層間絶縁膜とチップの封止に用いられる樹脂との密着強度が増すので、これによっても、最終的な製品の信頼性および耐久性の向上を図ることができる。
【0034】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
【0035】
まず、この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法について説明する。図1は、この第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法においてプラズマ処理に用いられるトライオード型高周波プラズマ処理装置の一例を示す。
【0036】
図1に示すように、このトライオード型高周波プラズマ処理装置においては、プラズマ処理室1の内部に、陽極板2および陰極板としてのステージ3が互いに対向して設けられ、これらの陽極板2およびステージ3の間に、格子電極4が設けられている。被処理基板としてのウェハ5は、ステージ3上に設置される。
【0037】
プラズマ処理室1は、排気口(図示せず)を通じて真空排気装置(図示せず)と接続されており、これによって、プラズマ処理室1の内部を真空排気することができるようになっている。また、プラズマ処理室1の内部には、ガス導入管(図示せず)を通じて所定のプロセスガスが供給されるようになっている。
【0038】
陽極板2は、結合コンデンサ6を介してプラズマ放電用電源7と接続され、ステージ3は、結合コンデンサ8を介して基板バイアス用電源9と接続される。また、格子電極4は接地される。ここで、プラズマ放電用電源7としては、例えば周波数2MHzの高周波電源が用いられ、基板バイアス用電源9としては、例えば周波数13.56MHzの高周波電源が用いられる。これらのプラズマ放電用電源7および基板バイアス用電源9により、プラズマ放電出力および基板バイアス電圧が、それぞれ独立に制御される。ここで、ステージ3は温度制御機構を有し、処理中のウェハ4の温度を制御することが可能である。
【0039】
このトライオード型高周波プラズマ処理装置においては、プラズマ処理室1内に、所定のプロセスガスを導入し、所定のプラズマ放電出力を供給することにより、陽極板2および格子電極4の間にプラズマ10を発生させ、このプラズマからのイオンの照射により、ステージ3上に設置されたウェハ5のスパッタエッチング処理を行うことが可能である。
【0040】
以下に、この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法の工程の一例について、図2〜図11を参照しながら説明する。
【0041】
まず、図2に示すように、回路素子などが形成されたSiウェハのような半導体基体11上の所定の部分に絶縁膜(図示せず)を介して、スパッタリング法およびRIE法により所定形状のAl電極パッド12を形成する。次に、この半導体基体11の全面に、例えばSiN膜のようなパッシベーション膜13を成膜した後、このパッシベーション膜13のAl電極パッド12上に対応する部分に開口部13aを形成する。次に、この半導体基体11の全面に、層間絶縁膜として、例えば感光性のポリイミド膜14を成膜した後、リソグラフィー法により直接このポリイミド膜14に対して露光、現像処理を行うことにより、このポリイミド膜14のAl電極パッド12上に対応する部分に接続孔14aを形成する。このポリイミド膜14は、表面保護、電気的絶縁およびα線によるソフトエラー防止の役割を有するものである。また、このポリイミド膜14は誘電率が低く、寄生容量の低減に有効である。符号14bは、ポリイミド膜14に接続孔14aを形成するためのリソグラフィー工程において、接続孔14aの底部に残存した薄いポリイミドの被膜や現像液の洗浄残りなどの有機物からなるスカムを示す。図中では、表現の便宜上、このスカム14bを実際よりも極端に厚く表記している。
【0042】
この第1の実施形態においては、上述のようにポリイミド膜14に接続孔14aを形成した後、後述するBLM膜の成膜前処理を行う前に、図2に示す状態の半導体基体11を、図1に示すトライオード型高周波プラズマ処理装置に導入し、この半導体基体11に対して、例えばArガスのような不活性ガス雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うことにより、ポリイミド膜14の接続孔14aの底部に残存するスカム14bを除去する。なお、後述のように、この第1の実施形態においては、BLM膜をリフトオフ法によりパターニングして形成するようにしているため、このスカム14bを除去するためのスパッタエッチング処理は、ポリイミド膜14に接続孔14aを形成した後、リフトオフ用のレジストパターンを形成する前に行う。
【0043】
ここで、従来のはんだボールバンプの製造方法においては、この後に行われるBLM膜105の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理が、ポリイミド膜104の接続孔104aに残存するスカム104bの除去処理を兼ねていた。これに対して、この第1の実施形態においては、ポリイミド膜14に接続孔14aを形成した後、BLM膜の成膜前処理として行われるスパッタエッチング処理の前に、このBLM膜の成膜前処理とは別に、接続孔14aの底部に残存するスカム14bを除去するためのスパッタエッチング処理を行う。
【0044】
また、既に述べたように、BLM膜の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理では、エッチング対象となるレジストパターンの過剰な熱変質を抑制する観点から、このレジストパターンの表面の最高到達温度が120℃を越えないように、より好ましくは、この最高到達温度が100℃以下となるように、入射イオンエネルギーを低く抑え、しかも、処理時間を短くする必要があった。具体的には、図1に示すトライオード型高周波プラズマ処理装置を用いてこのBLM膜の成膜前処理を行う場合で、基板バイアス電圧が100V程度、処理時間が90秒以下とされていた。これに対して、このスカム14bを除去するためのスパッタエッチング処理では、エッチング対象となるポリイミド膜14がレジストパターンより高い耐熱性を有するため、このポリイミド膜14の表面の最高到達温度を、120℃以上、例えば180℃程度まで高くすることが可能である。したがって、この第1の実施形態においては、スカム14bを除去するためのスパッタエッチング処理は、その後に行われるBLM膜の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理に比べて基板バイアス電圧を高くして、好適には基板バイアス電圧を300〜600Vとして、半導体基体11への入射イオンエネルギーを高く設定した条件で処理を行い、かつ、処理時間もより長く、好適には90〜180秒間として、スカム14bの除去を充分に行う。
【0045】
具体的には、一例として次のような条件でスパッタエッチング処理を行う。すなわち、プロセスガスとしてArガスを用い、その流量を25sccm、圧力を0.7Pa、ステージ温度を室温とし、プラズマ放電出力を700W(2MHz)、基板バイアス電圧を400V(13.56MHz)としてスパッタエッチング処理を行い、その処理時間を120秒間とする。このときのエッチング対象となるポリイミド膜14の表面の最高到達温度は、概ね150℃である。
【0046】
このスパッタエッチング処理の結果、図3に示すように、ポリイミド膜14の接続孔14aの底部に残存するスカム14bが効果的に除去されるとともに、Al電極パッド12の表面に存在した自然酸化膜(図示せず)が除去され、清浄なAl電極パッド12の表面が露出する。また、このとき、ポリイミド膜14の表面が、イオン衝撃エネルギーを受けて化学的に活性化される。
【0047】
次に、図4に示すように、半導体基体11の全面にレジスト膜を成膜した後、リソグラフィー法によりこのレジスト膜を所定形状にパターニングする。符号15は、これによって形成された所定形状のレジストパターンを示す。このレジストパターン15は、ポリイミド膜14の接続孔14a上に対応する部分、したがって、Al電極パッド12上に対応する部分に、接続孔14aより寸法の大きな開口部15aを有する。
【0048】
次に、このように所定形状のレジストパターン15を形成した後、BLM膜を成膜する前に、図4に示す状態の半導体基体11に対して、BLM膜の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理を行う。このスパッタエッチング処理は、上述のポリイミド膜14の接続孔14aの底部に残存するスカム14bを除去する際のスパッタエッチング処理と同様に、図1に示すトライオード型高周波プラズマ処理装置を用いて行うことができる。
【0049】
このスパッタエッチング処理では、この後に行われるBLM膜の成膜の際に、レジストパターン15の開口部15aの側壁にBLM膜が付着することを防止し、さらにこの後に行われるレジストパターン15のリフトオフによるBLM膜のパターニングを良好に行う観点から、図5に示すように、エッチング対象となるレジストパターン15の表面近傍のみを熱変質させ、このレジストパターン15の開口部15aを所定のテーパー状に変形させる。
【0050】
具体的には、一例として次のような条件でスパッタエッチング処理を行う。すなわち、プロセスガスとしてArガスを用い、その流量を25sccm、圧力を0.7Pa、ステージ温度を室温とし、プラズマ放電出力を700W(2MHz)、基板バイアス電圧を100V(13.56MHz)としてスパッタエッチング処理を行い、その処理時間を90秒間とする。このBLM膜の成膜前処理としてのエッチング処理では、上述のスカム14bを除去するためのスパッタエッチング処理よりも、半導体基体11への入射イオンエネルギーが低く抑えられ、エッチング対象となるレジストパターンの表面に過剰な熱変質を与えることが抑制されている。このときのエッチング対象となるレジストパターン15の表面の最高到達温度は、概ね110℃である。
【0051】
このスパッタエッチング処理の結果、レジストパターン15の開口部15aに残存するレジストスカム(図示せず)などが除去されるとともに、Al電極パッド12の表面が清浄化される。
【0052】
次に、図6に示すように、半導体基体11の全面に、例えばスパッタリング法によりCr膜、Cu膜、Au膜を順次積層して、Cr/Cu/Au膜からなるBLM膜16を成膜する。次に、図7に示すように、リフトオフによりレジストパターン15をその上のBLM膜16とともに除去することにより、このBLM膜16を所定形状にパターニングする。このBLM膜16は、ポリイミド膜14の接続孔14aを通して下地のAl電極パッド12と接続しており、後に形成されるはんだボールバンプのバリアメタルとしての役割を有する。
【0053】
次に、図8に示すように、半導体基体11の全面にレジスト膜を形成した後、このレジスト膜をリソグラフィー法により所定形状にパターニングする。符号17は、これによって形成された所定形状のレジストパターンを示す。このレジストパターン17は、BLM膜16上に対応する部分、したがって、Al電極パッド12上に対応する部分に、所定の寸法の開口部17aを有する。
【0054】
この後、必要に応じて、半導体基体11に対して、はんだ膜を成膜する前の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理を行った後、図9に示すように、半導体基体11の全面に、真空蒸着法により、例えば鉛(Pb)とすず(Sn)との比率が97:3の高融点のはんだ膜18を成膜する。次に、図10に示すように、リフトオフによりレジストパターン17をその上のはんだ膜18とともに除去する。これにより、はんだ膜18が所望の形状にパターニングされる。この後、ウエットバック工程により、はんだ膜18の加熱溶融処理を行うことにより、最終的に、図11に示すように、ほぼ球状のはんだボールバンプ19を形成する。なお、ここでは、ウエットバック工程によるはんだボールバンプ19の形成を安定に行う観点から、このウエットバック工程を行う前に、半導体基体11の全面に、予め還元作用や表面活性作用を有するフラックス(主成分は、アミン系活性剤、アルコール溶媒、ロジンやポリグリゴール等の樹脂成分)を均一にコーティングしてやり、その状態から熱処理を行うことで、はんだの溶融および表面張力によりはんだが球状に丸まることを促進させる。
【0055】
以上、この第1の実施形態によれば、ポリイミド膜14に接続孔14aを形成した後、この接続孔14aの底部に残存するスカム14bの除去を目的として行われるスパッタエッチング処理を、その後に行われるBLM膜15の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理に比べて、高いイオンエネルギー条件下で行っているため、BLM膜の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理がスカム14bの処理処理を兼ねていた従来のはんだボールバンプの製造方法に比べて、接続孔14aにおけるBLM膜15とこの下地のAl電極パッド12との接合界面が、より清浄な状態で形成される。このため、BLM膜15とAl電極パッド12との接合界面での電気的コンタクトが良好となり、接続抵抗を大幅に低減することができる上に、BLM膜15とAl電極パッド12との密着強度の向上を図ることができる。
【0056】
そして、このようにしてはんだボールバンプが形成されたLSIチップをプリント配線基板上にフリップチップ実装して組み立てられる製品は、バンプ接合界面での電気的特性および機械的強度が共に向上するので、最終的な製品の信頼性および耐久性を、従来に比べて大きく改善することができる。
【0057】
また、スカム14bを除去するためのスパッタエッチング処理により、ポリイミド膜14の表面が、イオン衝撃エネルギーを受けて活性化され、この結果、このLSIチップをフリップチップ実装して組み立てられる製品は、チップの表面保護膜としてのポリイミド膜14と、このチップの封止に用いられる樹脂との密着強度が増すので、これによっても、最終的な製品の信頼性および耐久性の向上を図ることができる。
【0058】
また、この第1の実施形態によれば、スカム14bを除去するためのスパッタエッチング処理の際に、プラズマ放電用電力と基板バイアス電圧とを独立に制御するようにしていることにより、エッチング対象となるポリイミド膜14に過剰な熱変質を与えることなく、接続孔14aの底部のスカム14bの除去およびAl電極パッド12の表面のクリーニングを効果的に実現することができる。なおかつ、半導体基体11が大口径ウェハであっても、均一で迅速な処理が可能なプロセスを確立することができる。
【0059】
次に、この発明の第2の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法について説明する。図12は、この第2の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法においてプラズマ処理に用いられるICP型高密度プラズマ処理装置の一例を示す。
【0060】
図12に示すように、このICP型高密度プラズマ処理装置は、プラズマ処理室21の外周に誘導結合コイル22が巻かれ、プラズマ処理室21内にステージ23が設けられている。被処理基板としてのウェハ24はステージ23上に設置される。
【0061】
プラズマ処理室21は、排気口(図示せず)を通じて真空排気装置(図示せず)と接続されており、これによって、プラズマ処理室21の内部を真空排気することができるようになっている。また、プラズマ処理室21の内部には、ガス導入管(図示せず)を通じて所定のプロセスガスが供給されるようになっている。
【0062】
誘導結合コイル22は、プラズマ放電用のICP電源25と接続され、ステージ23は、結合コンデンサ26を介して基板バイアス用電源27と接続される。ICP電源25としては、例えば周波数450kHzの高周波電源が用いられ、基板バイアス用電源27としては、例えば周波数13.56MHzの高周波電源が用いられる。これらのICP電源25および基板バイアス用電源27により、プラズマ放電出力(ICPソース出力)および基板バイアス電圧が、独立に制御される。ここで、ステージ23は垂直方向(図12中、矢印で示される方向)に移動可能である。また、このステージ23は温度制御機構を有し、処理中のウェハ24の温度を制御することが可能である。
【0063】
このICP型高密度プラズマ処理装置においては、プラズマ処理室21内に、所定のプロセスガスを導入し、所定のプラズマ放電出力を供給することにより、プラズマ処理室21内にプラズマ28を発生させ、このプラズマからのイオンまたはラジカルの照射により、ステージ23上に設置されたウェハ24のスパッタエッチング処理やアッシング処理を行うことが可能である。
【0064】
以下に、この第2の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法の工程の一例について説明する。
【0065】
この第2の実施形態においては、第1の実施形態と同様に工程を進めて、ポリイミド膜14に接続孔14aを形成する工程まで行った後、図2に示す状態の半導体基体11を、図12に示すICP高密度プラズマ処理装置に導入し、酸素を含む雰囲気中でアッシング処理を行った後、連続して、不活性ガス雰囲気中でスパッタエッチング処理を行う。ここでのスパッタエッチング処理は、後に行われるBLM膜15の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理よりも、高いイオンエネルギー条件下で行う。
【0066】
具体的には、まず、一例として以下に示す条件でアッシング処理を行う。すなわち、プロセスガスとして酸素(O2 )ガスを用い、その流量を100sccm、圧力を1.0Pa、ステージ温度を90℃とし、ICPソース電力を1000W(450kHz)、基板バイアス電圧を100V(13.56MHz)としてアッシング処理を行い、その処理時間を20秒とする。このときのプラズマ処理対象としてのポリイミド膜14の表面の最高到達温度は、概ね100℃である。
【0067】
次に、一例として以下のように条件を切り換えてスパッタエッチング処理を行う。すなわち、プロセスガスとしてArガスを用い、その流量を50sccm、圧力を0.13Pa、ステージ温度を90℃とし、ICPソース電力を1000W(450kHz)、基板バイアス電圧を300V(13.56MHz)としてスパッタエッチング処理を行い、その処理時間を30秒とする。このときのエッチング対象となるポリイミド膜14の表面の最高到達温度は、概ね140℃である。
【0068】
これらのアッシング処理およびスパッタエッチング処理からなる2段階のプラズマ処理の結果、図3に示すように、ポリイミド膜14の接続孔14aの底部に残存するスカム14bが効果的に除去されるとともに、Al電極パッド12の表面が清浄化される。すなわち、まず、アッシング処理の結果、有機物を主成分とするスカム14bが、酸素ラジカル(O* )のアッシング作用(C+O* →CO↑の燃焼反応)と、酸素イオン(O+ 他)のスパッタリング作用とにより除去される。なお、このアッシング処理によって、接続孔14aに対応する部分におけるAl電極パッド12の表面は、わずかに酸化された状態となるが、このときAl電極パッド12の表面に形成された酸化膜は、元より存在していた自然酸化膜とともに、このアッシング処理に連続して行われるスパッタエッチング処理の結果、Arイオンのスパッタリング作用により除去され、これによって、清浄なAl電極パッド12の表面が露出する。
【0069】
次に、第1の実施形態と同様に工程を進めて、後に形成されるBLM膜16のリフトオフ用のレジストパターン15を形成した後、BLM膜16の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理を行う。
【0070】
具体的には、一例として以下に示す条件でスパッタエッチング処理を行う。すなわち、プロセスガスとしてArガスを用い、その流量を25sccm、圧力を0.13Pa、ステージ温度を90℃とし、ICPソース電力を1000W(450kHz)、基板バイアス電圧を100V(13.56MHz)としてスパッタエッチング処理を行い、その処理時間を90秒とする。このときのエッチング対象となるレジストパターン15の表面の最高到達温度は、概ね110℃である。
【0071】
この後、第1の実施形態と同様に工程を進めて、最終的に図11に示すように、はんだボールバンプ19を形成する。
【0072】
この第2の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法の上記以外の構成は、第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法と同様であるので、説明を省略する。
【0073】
この第2の実施形態によれば、第1の実施形態と同様の利点を得ることができるほか、次のような利点を得ることができる。
【0074】
すなわち、この第2の実施形態によれば、ポリイミド膜14に接続孔14aを形成した後に行われるアッシング処理によって、酸素ラジカル(O* )のアッシング作用により、ポリイミド膜14の接続孔14aの底部に残存していた有機系のスカム14bが燃焼反応をともなって効果的に除去されるため、不活性ガスのみによるスパッタエッチング処理よりも、一層効果的にスカム14bの除去を行うことができる。また、このアッシング処理によって、スカム14bの除去と同時に、ポリイミド膜14の表面層は酸素原子をその結合中に取り込んだ形となる。このLSIチップをフリップチップ実装して組み立てられる製品は、チップの表面保護膜としてのポリイミド膜14と、このチップの封止に用いられる樹脂との密着強度が第1の実施形態以上に増すので、最終的な製品の信頼性および耐久性の更なる向上を図ることができる。
【0075】
また、この第2の実施形態によれば、高密度なプラズマ発生源を用いていることと、これによってより低圧力雰囲気下での処理が可能となったために、プラズマ中で多量に生成したイオン種が、散乱することなくほぼ垂直に被処理基板としての半導体基体11に入射するようになり、Arイオンの照射によるスパッタエッチング処理に必要な加工を、短時間で効率良く行うことができる。このため、エッチング対象となるポリイミド膜14の接続孔パターンやデバイスへのプロセスダメージを考慮して、基板バイアス電圧を低く設定した条件であっても、処理速度を損なうこと無く、スカム14b除去のための処理時間の短縮を図ることができる。
【0076】
次に、この発明の第3の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法について説明する。
【0077】
この第3の実施形態においては、第1の実施形態と同様に工程を進めて、ポリイミド膜14に接続孔14aを形成する工程まで行った後、図2に示す状態の半導体基体11を、図12に示すICP高密度プラズマ処理装置に導入し、酸素を含む雰囲気中でアッシング処理を行った後、連続して、還元性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行う。ここでのスパッタエッチング処理は、後に行われるBLM膜15の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理よりも、高いイオンエネルギー条件下で行う。
【0078】
具体的には、まず、一例として以下に示す条件でアッシング処理を行う。すなわち、プロセスガスとして酸素(O2 )ガスを用い、その流量を100sccm、圧力を1.0Pa、ステージ温度を90℃とし、ICPソース電力を1000W(450kHz)、基板バイアス電圧を100V(13.56MHz)としてアッシング処理を行い、その処理時間を20秒とする。このときのプラズマ処理対象となるポリイミド膜14の表面の最高到達温度は、概ね100℃である。
【0079】
次に、一例として以下のように条件を切り換えて、スパッタエッチング処理を行う。すなわち、プロセスガスとしてHFおよびArの混合ガスを用い、HFガスの流量を25sccm、Arガスの流量を25sccm、圧力を0.13Pa、ステージ温度を90℃とし、ICPソース電力を1000W(450kHz)、基板バイアス電圧を250V(13.56MHz)としてスパッタエッチング処理を行い、その処理時間を30秒とする。このときのエッチング対象となるポリイミド膜14の表面の最高到達温度は、概ね130℃である。
【0080】
これらのアッシング処理およびスパッタエッチング処理からなる2段階のプラズマ処理の結果、第2の実施形態と同様に、図3に示すように、ポリイミド膜14の接続孔14aの底部に残存するスカム14bが効果的に除去されるとともに、Al電極パッド12の表面が清浄化される。なお、この第3の実施形態では、上述のスパッタエッチング処理の結果、Al電極パッド12の表面に存在した酸化膜は、HFと反応して還元されつつ、Arイオンのスパッタリング作用により除去され、より清浄なAl電極パッド12の表面が露出する。
【0081】
次に、第1の実施形態と同様に工程を進めて、後に形成されるBLM膜16のリフトオフ用のレジストパターン15を形成した後、BLM膜16の成膜前処理としてのスパッタエッチング処理を行う。
【0082】
具体的には、一例として以下に示す条件でスパッタエッチング処理を行う。すなわち、プロセスガスとしてArガスを用い、その流量を25sccm、圧力を0.13Pa、ステージ温度を90℃とし、ICPソース電力を1000W(450kHz)、基板バイアス電圧を100V(13.56MHz)としてスパッタエッチング処理を行い、その処理時間を90秒とする。このときのエッチング対象となるレジストパターン15の表面の最高到達温度は、概ね110℃である。
【0083】
この後、第1の実施形態と同様に工程を進めて、最終的に図11に示すように、はんだボールバンプ19を形成する。
【0084】
この第3の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法の上記以外の構成は、第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法と同様であるので、説明を省略する。
【0085】
この第3の実施形態によれば、第2の実施形態と同様の利点を得ることができるほか、次のような利点を得ることができる。
【0086】
すなわち、この第3の実施形態によれば、アッシング処理に連続して行われるスパッタエッチング処理により、HFによる還元作用によって、Al電極パッド12の表面の酸化膜は、化学反応を伴いながら効果的にスパッタ除去されるため、より徹底したAl電極パッド12の表面のクリーニングを行うことができる。また、ポリイミド膜14の表面層のダングリングボンドは、電気的陰性度の大きいフッ素(F)原子によってターミネイト(このスパッタエッチング処理に先立って行われるアッシング処理時に導入されたO原子がF原子と置換される場合も含む)され、化学的にさらに活性な状態となる。このため、このLSIチップをフリップチップ実装して組み立てられる製品は、チップの表面保護膜としてのポリイミド膜14と、このチップの封止に用いられる樹脂との密着強度が第1の実施形態および第2の実施形態以上に増すので、最終的な製品の信頼性および耐久性の更なる向上を図ることができる。
【0087】
以上この発明の実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、構造、プロセス装置、プロセス条件など、発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜選択可能であることは言うまでもない。
【0088】
例えば、上述の第1〜第3の実施形態においては、感光性のポリイミド膜14をリソグラフィー法により直接パターニングして接続孔14aを形成するプロセスを例に示したが、これは、ポリイミド膜を成膜した後、このポリイミド膜上に所定形状のレジストパターンを形成し、このレジストパターンをマスクとしてエッチングすることにより、ポリイミド膜に接続孔を形成するプロセスに適用することも可能である。この場合、ポリイミド膜の接続孔の底部には、マスクとして用いたレジストパターンを除去するために用いた薬液の洗浄残りなどがスカムとして残存する。
【0089】
また、上述の第1〜第3の実施形態においては、層間絶縁膜としてポリイミド膜14を用いたプロセスを例に示したが、これは、層間絶縁膜としてポリイミド膜14以外を用いたプロセス、例えばSiO2 膜やSiN膜を用いたプロセスに適用することも可能である。
【0090】
また、上述の第1〜第3の実施形態においては、スパッタエッチング処理やアッシング処理を行うプラズマ処理装置として、トライオード型高周波プラズマ処理装置およびICP型高密度プラズマ処理装置を用いた場合のプロセス例を示したが、オーソドックスな平行平板型高周波プラズマ処理装置や、TCP型高密度プラズマ処理装置、ECR型高密度プラズマ処理装置、ヘリコン波高密度プラズマ処理装置など、ICP型高密度プラズマ処理装置以外の高密度プラズマ処理装置を用いたプロセスへの適用も可能である。
【0091】
また、上述の第1の実施形態においては、スカム14bの除去処理として、Ar雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うプロセス例を示したが、これは、Arガスのような不活性ガスに、さらにHFなどの還元性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うプロセスを用いてもよい。
【0092】
また、上述の第2および第3の実施形態においては、還元性ガスとしてHFを用いた例を示したが、この還元性ガスとしては、水素(H2 )、塩酸(HCl)などを同様に用いることもできる。これらのうち、HFやHClなど液体ソースを用いる場合は、ヘリウム(He)ガスなどのキャリアガスによるバブリング、加熱気化、超音波気化などの手法によって、プラズマ処理室内にガスを導入する。
【0093】
また、上述の第1〜第3の実施形態におけるAl電極パッド12に代えて、Al合金電極パッドを用いてもよく、これ以外に、Cu、Agまたはこれらの合金を用いた電極パッドを用いてもよい。
【0094】
また、上述の第1〜第3の実施形態においては、この発明をはんだボールバンプの製造に適用した場合について説明したが、この発明は、層間絶縁膜に形成された接続孔を通して、この層間絶縁膜の下層の電極および/または配線と導電膜とを接続させるようにした半導体装置、例えば、多層配線構造を有する半導体装置の製造に適用することもできる。
【0095】
【発明の効果】
以上説明したように、この発明によるバンプ製造方法によれば、層間絶縁膜に接続孔を形成した後、導電膜の成膜前処理を行う前に、基体に対して、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行い、この際、スパッタエッチング処理を、このときの基体の表面の最高到達温度が、導電膜の成膜前処理のときの基体の表面の最高到達温度よりも高くなるようなイオンエネルギーで行うようにしていることにより、または、層間絶縁膜に接続孔を形成した後、導電膜の成膜前処理を行う前に、基体に対して、少なくとも酸素を含む雰囲気中でアッシング処理を行った後、連続して少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うようにしていることにより、接続孔における導電膜とこの下地の電極との接合界面が、より清浄な状態で形成される。
【0096】
このため、導電膜と電極との接合界面での電気的コンタクトが良好となり、接続抵抗を大幅に低減することができる上に、導電膜と電極との密着強度を向上させることができる。このため、バンプが形成されたLSIチップをプリント配線基板上にフリップチップ実装して組み立てられる製品は、バンプ接合界面での電気的特性および機械的強度が共に向上するため、最終的な製品の信頼性および耐久性を、従来に比べて大きく改善することができる。
【0097】
また、スパッタエッチング処理やアッシング処理のプラズマ処理により、層間絶縁膜の表面が化学的に活性化され、この結果、このLSIチップをフリップチップ実装して組み立てられる製品は、チップの層間絶縁膜とチップの封止に用いられる樹脂との密着強度が増すので、これによっても、最終的な製品の信頼性および耐久性の向上を図ることができる。
【0098】
また、この発明による半導体装置の製造方法によれば、上述のバンプ製造方法の場合と同様に、導電膜と電極および/または配線との接合界面での電気的コンタクトが良好となり、接続抵抗を大幅に低減することができる上に、導電膜と電極および/または配線との密着強度の向上を図ることができ、半導体装置の信頼性および耐久性を従来に比べて大きく改善することができる。
【0099】
したがって、この発明は、微細なデザインルールに基づいて設計され、高集積度、高性能および高信頼性を要求される半導体装置の製造方法に極めて有効である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法においてプラズマ処理に用いられるトライオード型高周波プラズマ処理装置の一例を示す略線図である。
【図2】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図3】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図4】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図5】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図6】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図7】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図8】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図9】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図10】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図11】 この発明の第1の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図12】 この発明の第2の実施形態によるはんだボールバンプの製造方法においてプラズマ処理に用いられるICP型高密度プラズマ処理装置の一例を示す略線図である。
【図13】 従来技術によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図14】 従来技術によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図15】 従来技術によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図16】 従来技術によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図17】 従来技術によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【図18】 従来技術によるはんだボールバンプの製造方法を説明するための断面図である。
【符号の説明】
11・・・半導体基体、12・・・Al電極パッド、13・・・パッシベーション膜、14・・・ポリイミド膜、14a・・・接続孔、14b・・・スカム、16・・・BLM膜、18・・・はんだ膜、19・・・はんだボールバンプ
Claims (12)
- 基体上に電極を形成する工程と、上記基体上に上記電極を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、上記層間絶縁膜の上記電極上に対応する部分に接続孔を形成する工程と、上記接続孔が形成された上記層間絶縁膜を有する上記基体上に上記接続孔に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成し、スパッタエッチング処理を行うことによりこのレジストパターンの表面近傍のみを熱変質させ、上記開口部をテーパー状に変形させ、上記基体の全面に導電膜を成膜した後、上記レジストパターンをその上の上記導電膜とともに除去することにより上記接続孔を通して上記電極と接続する導電膜を形成する工程とを有し、上記電極上に上記導電膜を介してバンプを形成するようにしたバンプ製造方法において、
上記層間絶縁膜に上記接続孔を形成した後、上記レジストパターンを形成する前に、上記基体に対して、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行い、この際、このスパッタエッチング処理を、このときの上記基体の表面の最高到達温度が、上記レジストパターンを形成した後に行う上記スパッタエッチング処理のときの上記基体の表面の最高到達温度よりも高くなるようなイオンエネルギーで行うようにした
ことを特徴とするバンプ製造方法。 - 上記レジストパターンを形成する前に行う上記スパッタエッチング処理を、少なくともプラズマ放電出力と上記基体へのバイアス電圧とを独立に制御しながら行うことを特徴とする請求項1記載のバンプ製造方法。
- 基体上に電極を形成する工程と、上記基体上に上記電極を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、上記層間絶縁膜の上記電極上に対応する部分に接続孔を形成する工程と、上記接続孔が形成された上記層間絶縁膜を有する上記基体上に上記接続孔に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成し、スパッタエッチング処理を行うことによりこのレジストパターンの表面近傍のみを熱変質させ、上記開口部をテーパー状に変形させ、上記基体の全面に導電膜を成膜した後、上記レジストパターンをその上の上記導電膜とともに除去することにより上記接続孔を通して上記電極と接続する導電膜を形成する工程とを有し、上記電極上に上記導電膜を介してバンプを形成するようにしたバンプ製造方法において、
上記層間絶縁膜に上記接続孔を形成した後、上記レジストパターンを形成する前に、上記基体に対して、少なくとも酸素を含む雰囲気中でアッシング処理を行った後、連続して少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うようにした
ことを特徴とするバンプ製造方法。 - 上記レジストパターンを形成する前に行う上記スパッタエッチング処理を、上記不活性ガスにさらに還元性ガスを含む雰囲気中で行うようにしたことを特徴とする請求項3記載のバンプ製造方法。
- 上記レジストパターンを形成する前に行う上記スパッタエッチング処理を、このときの上記基体の表面の最高到達温度が、上記レジストパターンを形成した後に行う上記スパッタエッチング処理のときの上記基体の表面の最高到達温度よりも高くなるようなイオンエネルギーで行うことを特徴とする請求項3記載のバンプ製造方法。
- 上記レジストパターンを形成する前に行う上記アッシング処理および/または上記スパッタエッチング処理を、少なくともプラズマ放電出力と上記基体へのバイアス電圧とを独立に制御しながら行うことを特徴とする請求項3記載のバンプ製造方法。
- 基体上に電極および/または配線を形成する工程と、
上記基体上に上記電極および/または配線を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、
上記層間絶縁膜の上記電極および/または配線上に対応する部分に接続孔を形成する工程と、
上記接続孔が形成された上記層間絶縁膜を有する上記基体上に上記接続孔に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成し、スパッタエッチング処理を行うことによりこのレジストパターンの表面近傍のみを熱変質させ、上記開口部をテーパー状に変形さ せ、上記基体の全面に導電膜を成膜した後、上記レジストパターンをその上の上記導電膜とともに除去することにより上記接続孔を通して上記電極および/または配線と接続する導電膜を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法において、
上記層間絶縁膜に上記接続孔を形成した後、上記レジストパターンを形成する前に、上記基体に対して、少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行い、この際、このスパッタエッチング処理を、このときの上記基体の表面の最高到達温度が、上記レジストパターンを形成した後に行う上記スパッタエッチング処理のときの上記基体の表面の最高到達温度よりも高くなるようなイオンエネルギーで行うようにした
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 上記レジストパターンを形成する前に行う上記スパッタエッチング処理を、少なくともプラズマ放電出力と上記基体へのバイアス電圧とを独立に制御しながら行うことを特徴とする請求項7記載の半導体装置の製造方法。
- 基体上に電極および/または配線を形成する工程と、
上記基体上に上記電極および/または配線を覆う層間絶縁膜を形成する工程と、
上記層間絶縁膜の上記電極および/または配線上に対応する部分に接続孔を形成する工程と、
上記接続孔が形成された上記層間絶縁膜を有する上記基体上に上記接続孔に対応する部分に開口部を有するレジストパターンを形成し、スパッタエッチング処理を行うことによりこのレジストパターンの表面近傍のみを熱変質させ、上記開口部をテーパー状に変形させ、上記基体の全面に導電膜を成膜した後、上記レジストパターンをその上の上記導電膜とともに除去することにより上記接続孔を通して上記電極および/または配線と接続する導電膜を形成する工程とを有する半導体装置の製造方法において、
上記層間絶縁膜に上記接続孔を形成した後、上記レジストパターンを形成する前に、上記基体に対して少なくとも酸素を含む雰囲気中でアッシング処理を行った後、連続して少なくとも不活性ガスを含む雰囲気中でスパッタエッチング処理を行うようにした
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 上記レジストパターンを形成する前に行う上記スパッタエッチング処理を、上記不活性ガスにさらに還元性ガスを含む雰囲気中で行うようにしたことを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 上記レジストパターンを形成する前に行う上記スパッタエッチング処理を、このときの上記基体の表面の最高到達温度が、上記レジストパターンを形成した後に行う上記スパッタエッチング処理の際の上記基体の表面の最高到達温度よりも高くなるようなイオンエネルギーで行うことを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
- 上記レジストパターンを形成する前に行う上記アッシング処理および/または上記スパッタエッチング処理を、少なくともプラズマ放電出力と上記基体へのバイアス電圧とを独立に制御しながら行うことを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4031898A JP4130706B2 (ja) | 1998-02-23 | 1998-02-23 | バンプ製造方法および半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4031898A JP4130706B2 (ja) | 1998-02-23 | 1998-02-23 | バンプ製造方法および半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11238750A JPH11238750A (ja) | 1999-08-31 |
JP4130706B2 true JP4130706B2 (ja) | 2008-08-06 |
Family
ID=12577274
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4031898A Expired - Fee Related JP4130706B2 (ja) | 1998-02-23 | 1998-02-23 | バンプ製造方法および半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4130706B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3553457B2 (ja) | 2000-03-31 | 2004-08-11 | シャープ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
JP4513532B2 (ja) * | 2004-12-01 | 2010-07-28 | セイコーエプソン株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP5170915B2 (ja) * | 2005-02-25 | 2013-03-27 | 株式会社テラミクロス | 半導体装置の製造方法 |
JP2006270031A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-10-05 | Casio Comput Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP4646862B2 (ja) * | 2006-06-26 | 2011-03-09 | 日本アビオニクス株式会社 | 半導体チップの超音波接合方法およびその超音波接合装置 |
JP5672668B2 (ja) * | 2009-07-02 | 2015-02-18 | 富士電機株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2012054366A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Toshiba Corp | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
-
1998
- 1998-02-23 JP JP4031898A patent/JP4130706B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11238750A (ja) | 1999-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100681985B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
JP3554685B2 (ja) | Icチップを支持基板に接合する方法 | |
JPH10223608A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2003203940A (ja) | 半導体チップ及び配線基板並びにこれらの製造方法、半導体ウエハ、半導体装置、回路基板並びに電子機器 | |
KR19980042845A (ko) | 땜납 범프의 형성 방법 및 그 장치 | |
KR100345622B1 (ko) | 금속막의패턴형성방법 | |
JP4130706B2 (ja) | バンプ製造方法および半導体装置の製造方法 | |
JP2000216249A (ja) | 電子装置の製造方法及びその装置 | |
JP2004273771A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH10224029A (ja) | バンプ製造方法 | |
JP3896701B2 (ja) | はんだ突起電極の製造方法 | |
JP3409569B2 (ja) | はんだボールバンプの形成方法 | |
JP2000164569A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2001237228A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置ならびにデバイス製造方法 | |
US6926818B1 (en) | Method to enhance the adhesion between dry film and seed metal | |
TW409276B (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
JP3381454B2 (ja) | 蒸着装置及びボールバンプの形成方法 | |
JP3331834B2 (ja) | はんだボールバンプの形成方法 | |
JP3409574B2 (ja) | はんだボールバンプの形成方法 | |
JP3870469B2 (ja) | 成膜前処理方法 | |
JP2006253437A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPH11163018A (ja) | 半導体装置の製造方法、多層配線基板及びその製造方法 | |
JPH1074766A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
TW508779B (en) | Manufacturing method of soldering bump | |
JP4196481B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041201 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050117 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20050120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051011 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051208 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060815 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060912 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060914 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20061116 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20061208 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080523 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120530 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130530 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |