JP4122120B2 - 球面創成方法及び球面創成装置 - Google Patents
球面創成方法及び球面創成装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4122120B2 JP4122120B2 JP2000037730A JP2000037730A JP4122120B2 JP 4122120 B2 JP4122120 B2 JP 4122120B2 JP 2000037730 A JP2000037730 A JP 2000037730A JP 2000037730 A JP2000037730 A JP 2000037730A JP 4122120 B2 JP4122120 B2 JP 4122120B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tool
- spherical surface
- lens
- tool holding
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学素子などの被加工物(ワーク)に対し、球面を所望の曲率及び深さで精度良く創成加工する球面創成方法及び球面創成装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
図8及び図9は、超音波などの振動を用いて球面を創成するため、本出願人が特願平10−145463号として先に出願した球面創成装置であり、工具軸部112が上方に、ワーク軸部113が下方に配置されている。
【0003】
工具軸部112には、超音波振動等の振動を付与する工具104が取り付けられるものであり、図示を省略した架台上部に取り付けたガイド121に沿って全体が上下方向に移動及び停止自在となっている。この工具軸部112はコントローラ120によって出力が制御される超音波振動子(図示せず)を内蔵した超音波発振器101と、超音波発振器101の下端に一体的に取り付けられた軸体102と、軸体102の下端部に固定されたホーン103とを備えている。ホーン103の下端には、工具保持部103aが形成され、この工具保持部103aに鋼球からなる球状の工具104が保持される。
【0004】
ワーク軸部113は、被加工物であるレンズ105を接着などによって固定する載置台106と、載置台106を支持する加圧シリンダ107とを有している。加圧シリンダ107は図示省略した架台下部に取り付けられており、球状の工具104と被加工面であるレンズ105の上面105aとが当接した状態の載置台106を上方に押圧して、工具軸部112方向へ荷重をかける加圧手段として作用する。載置台106の上面には、架台の一部に固定状態で支持されたダイヤルゲージ108の検出端子が当接しており、レンズ105への球面創成に伴う載置台106の上下方向の変位量を測定するようになっている。
【0005】
以上に加えて、加工液を供給する加工液供給手段としてのディスペンサー110が設けられている。ディスペンサー110は工具104とレンズ105との界面に、砥粒111としてのダイヤモンドパウダーを水に分散させた加工液109を滴下して供給するものである。
【0006】
このような装置では、ホーン103の下端部の工具保持部103aに球状の工具104を保持した状態で、超音波発振器101をガイド121に沿って下降させ、工具104と載置台106に固定されたレンズ105の上面105aとを当接させて工具軸部112の下降を停止する。この状態で、コントローラ120により超音波発振器101が超音波を出力する。この超音波振動により、図9に示すように球状の工具104は微視的に工具保持部103aや、レンズ105の加工凹球面105bと離脱する瞬間を有する。この際に、工具104と加工凹球面105bとの間に、加工液109に含まれる砥粒111が介在する。
【0007】
そして、超音波振動によって工具104は砥粒111をレンズ105の加工凹球面105bに叩き付けて加工を進行させる。加工が進行してレンズ105に凹球面105bが形成されるに従い、シリンダ107により所定の荷重を負荷されている載置台106は上方へ変位する。この変位量はダイヤルゲージ108により読み取られる。かかる変位量はレンズ105に創成される凹球面105bの深さと砥粒111の径の和に準じるので、目的の深さにまで加工が進行したことを読み取った時点で、超音波発振を停止して加工を終了する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
以上のような球面を創成加工する場合には、載置台に対するレンズ(ワーク)の固定や、加工終了後のレンズ(完成品)の取り出しおよび工具104の交換を行う必要があるが、この交換は手作業で行われている。このため、レンズ105の1個単位での交換の煩わしさ、鋼球の径が小さい(例えば直径が5mm以下)ことによる工具104の交換のしにくさが問題となっている。また、加工を終了する際にも、加工終了の操作タイミングにズレが生じやすいために、加工精度が安定しないという問題点も有している。
【0009】
本発明は、このような従来の問題点を考慮してなされたものであり、取り扱いが困難な微小径の工具によるワーク加工においても、ワークや工具の交換を容易にし、しかも安定して精度の良い加工を行うことのできる球面創成方法及び球面創成装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1の球面創成方法は、球面を有する工具を超音波振動により振動させて工具の球面形状をワークに創成する球面創成方法において、工具供給手段の上面が開口されて前記工具保持部の下端側が挿入可能な径となって且つ底部がテーパ状となっている工具供給穴の穴軸中心に前記球面を有する工具の1つを位置決めした後、前記位置決めされた前記工具を、前記工具を保持する工具保持部に対して保持させるように前記工具供給手段を位置決めし、前記工具保持部と前記工具供給手段とを相対移動させて、工具保持部に工具供給手段内の工具を1個だけ保持させ、次いで、工具保持部と工具供給手段とを相対移動させて離すと共に、この工具供給手段を工具保持部に対して前記位置決め位置から退避させ、その後、工具保持部に保持された工具をワークに当接させ、この当接状態でワークに球面形状を創成することを特徴とする。
【0013】
この発明では、工具を保持する工具保持部に対し工具供給手段を位置決めして、工具供給手段から工具を1個だけ工具保持部に保持させるため、球面創成に必要な工具の交換を容易に行うことができる。
【0016】
請求項2の発明の球面創成装置は、前記工具を保持する工具保持部が一端に形成されており、この工具保持部に保持される工具にホーンを介して超音波振動を付与する超音波発振器と、前記工具保持部と対向して配置され、球面形状を創成するワークまたはワークを固定したヤトイを着脱自在に保持する載置台と、前記載置台の横に配置されたテーブルと、前記テーブル上に配備され、上面が開口されて前記工具保持部の下端側が挿入可能な径となって且つ底部がテーパ状となっている工具供給穴の穴軸中心に前記ワークに創成する球面形状に対応した工具の1つを位置決めして前記工具保持部に供給する工具供給手段と、を有し、前記テーブル上の前記工具供給手段が前記載置台と工具保持部との間に位置したときに、前記工具保持部と前記工具供給手段とを相対移動させて、工具保持部に工具供給手段内の工具を1個だけ保持させ、その後、この工具供給手段を工具保持部に対して前記位置決め位置から退避させることを特徴とする。
【0017】
この発明では、工具供給手段が工具の1つを工具保持部に供給するため、球面創成に必要な工具の交換を容易に行うことができる。
【0018】
前記テーブル上には、前記工具保持部の下端側を洗浄する洗浄液が充填された洗浄槽が、更に配備されていることを特徴とする。
【0019】
前記テーブル上には、前記工具保持部の下端側を洗浄後の洗浄液を除去する乾燥槽が、更に配備されていることを特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】
(実施の形態1)
図1〜図4は本発明の実施の形態1を示し、図1はその全体斜視図である。この実施の形態の球面創成装置は、上方に工具軸部40が配置され、下方にワーク軸部42が配置されて構成されている。
【0021】
工具軸部40側には、超音波発振器13、その他の後述する部材を制御する制御装置としてのコントローラ70と、不図示の架台上部に取り付けた昇降用モータ10の駆動により回転するボールネジ11と、このボールネジ11と平行状態で架台上部に取り付けた直動ガイド12とを備えている。超音波発振器13はボールねじ11及び直動ガイド12に掛け渡されたブラケット12aに取り付けられており、コントローラ70の制御によって上下方向に任意に移動可能となっている。超音波発振器13は超音波振動子(図示省略)を内蔵しており、その超音波出力が下方に向けて行われる。
【0022】
超音波発振器13には、その下端部に一体に設けられて超音波増幅器となる軸体14と、軸体14の下端部に固定された磁性材料からなるホーン15とが連結されている。ホーン15の下端には、工具18を保持するための工具保持部17aを形成した工具保持具17がネジによって着脱自在に配設されている。この実施の形態において、工具保持部17aとして、鋼球からなる球状の工具18の径(例えば、直径4.0mm)に相当する曲率半径(R)が2.0mmの凹面が設けられている。
【0023】
ホーン15の外周には、その着磁を行うためのコイル16が巻回されている。このコイル16は超音波発振器13を制御するコントローラ70と接続されることにより、任意の電圧を通電可能に配線してある。なお、ホーン15に対して工具保持具17を着脱自在にしたのは、工具保持具17の工具保持部17aが摩耗することによって曲率が変化した場合に、工具保持具17を交換可能にするためである。従って、工具保持部17aの摩耗 が少ない場合には、交換する必要がなくなり、ホーン15と工具保持部17とを一体的に形成できるようになる。
【0024】
ワーク軸部42には、加圧機構としての加圧シリンダ26が配置されており、この加圧シリンダ26に載置台27が支持されている。加圧シリンダ26はコントローラ70によって制御され、載置台27を上下方向へ駆動する。この駆動力量は任意に設定可能である。加圧シリンダ26の加圧源としては、油圧或いは空圧でも良い。また、加圧機構としては、加圧シリンダ26以外の磁力、バネ、モータに連結したネジによる送りなどによる機構であっても良い。加圧シリンダ26上部の載置台27の上面には、レンズ29を貼り付けたヤトイ28の下軸部28aを保持自在にする投入部71が形成されている。
【0025】
図3及び図4に示すように、投入部71は、載置台27の中央部に形成された円形の保持穴71aと、保持穴71aの中心に向かう一対のガイド溝71bとを備えている。一対のガイド溝71bには、一対の挟持爪73がそれぞれ摺動可能に挿入されている。挟持爪73はその両側面及び下面がガイド溝71bに沿って摺動する。また、一対のガイド溝71bの基端部分には、挟持爪73をロッド74を介して進退動するための挟持用シリンダ75がそれぞれ埋設されている。
【0026】
一対の挟持爪73はレンズ29が貼り付けられたヤトイ28を狭持するものである。ヤトイ28は、下軸部28aと、大径のフランジ部28bと、レンズの貼付部28cとが同軸状に一体的に形成された形状となっている。この場合、ガイド溝71b内に摺動自在な挟持爪73の上面は、載置台27の上面から突出していないので、レンズ29を貼り付けたヤトイ28の下軸部28aを保持穴71aに挿入し、ヤトイ28外周のフランジ部28bで係止した後、挟持用シリンダ75を駆動してヤトイ28の下軸部28aの外周面を一対の挟持爪73で挟持したときには、ヤトイ28の中心軸線上に工具保持部17aの中心(すなわち工具18の球心)が位置するようになっている。
【0027】
なお、図3及び図4では、ガイド溝71bあるいは保持穴71a内に入り込む加工液の逃がし孔(図示省略)が形成されており、この逃がし孔を介して加工液が排出されるようになっている。また、挟持用シリンダ75駆動用の供給源の配管は図示を省略してある。
【0028】
載置台27の上下移動量を測定するため、図1に示すように、載置台27の下面に検出部を向け、図示しない架台上に固定された留め具24に取り付けられた測定器としての電気マイクロメータ25が設けられている。電気マイクロメータ25は、接触式でも非接触式のどちらでもよい。
【0029】
ワーク軸部42の右横には、工具集配部41が配置されている。工具集配部41は、テーブル台23の上部にテーブル22が取り付けられることにより構成されている。テーブル台23はテーブル22を上下動するためのシリンダ及び回転するためのモータをそれぞれ内蔵している。テーブル22はその一部(図では左側の略半分弱程度)を切り欠いた切り欠き部及び右側の略半分強程度からなる載置部とを有している。なお、切り欠き部のかわりに、ヤトイ28の最大径となるフランジ部28bが通過可能な穴が開けられていてもよい。
【0030】
テーブル台23の回転により、切り欠き部が載置台27中心の保持穴71a上方に位置したときには、ワーク軸部42の載置台27にヤトイ28を搬送するとともに、このヤトイ28を保持穴71aに対して位置決めして載置するようになっている。
【0031】
テーブル22の載置部には、工具保持部17aに球状の工具18を供給するための工具供給部を構成する工具供給部材21が5個配備してある。図2は工具供給部材21の断面を示し、工具供給部材21は横L字状となっている。工具供給部材21の内部には、上面が開口されたスロープ21aが形成されており、このスロープ21aに複数の球状の工具18が充填される。スロープ21aの底部には、球状の工具18を1個だけ通過させる縦方向の落とし穴21bが形成されている。落とし穴21bの下部には、落とし穴21bに対して交叉する方向の横穴21cが連通状に形成されている。
【0032】
横穴21cは、落とし穴21bから1個供給される工具18を受け取るチャンバ54と、供給された工具18を送り出すための送り穴56と、工具18を送り出すためのロッド53及びピストン51を収納する空気供給穴50とからなっている。空気供給穴50は、工具供給部材21の下部側面に形成した継手50aを介して圧縮空気供給源(図示せず)からの圧縮空気を供給及び排気する。空気供給穴50内のピストン51は、その外周面が空気供給穴50の内周面と密に嵌合するとともに、バネ52により片側(図では右側)に当て付けられている。ロッド53はピストン51に連設されており、その先端はチャンバ54の位置で停止している。
【0033】
チャンバ54は、工具18を1個だけ収容可能な大きさとなっている。従って、チャンバ54には落とし穴21bから工具18が1個づつ落下する。送り穴56は工具18の径よりも大きな径となっており、この送り穴56とチャンバ54との間には、工具18の径より若干小さい内径のゴムブッシュ55が配置されている。さらに、送り穴56の先端側には工具保持具17の下端側が挿入可能な径となっている工具供給穴57が、直動ガイド12の延設方向と同じ上下方向に向けて開けられている。工具供給穴57の底部は、テーパ状となっており、その穴軸中心に工具18が納まって位置決めされる。
【0034】
さらに、テーブル22における載置部上の各工具供給部材21の工具供給穴57は、テーブル22の回転により、その穴軸中心と工具保持具17の軸線がほぼ同軸上に一致するように配設されている。このように複数の工具供給部材21が配置される場合、各工具供給部材21には、同じ径の工具18が収容されてもよいし、それぞれ別の径の工具18が収容されてもよい。
【0035】
なお、工具供給部材21としては、底部がテーパ状となっている工具供給穴57のみが形成された構造であっても良い。この場合には、工具供給穴57に対し上方から工具18を投入し、この工具18が工具保持具17によって搬出された時点で再び次の工具18を投入するようにしてもよい。
【0036】
図1に示すように、テーブル22の載置部上には、テーブル22が回転した際に、工具保持具17の下端側を洗浄する水等の洗浄液が充填されている洗浄槽19及び洗浄後の工具保持具17に付着した洗浄液を除去して乾燥するエアブロア手段を有する乾燥槽20が配設されている。
【0037】
工具集配部41の反対側となるワーク軸部42の左横には、加工液供給部43が配置されている。加工液供給部43は、加工液の攪拌ユニット34及び攪拌された加工液をレンズに対して供給するディスペンサ30を備えている。
【0038】
攪拌ユニット34上には加工液容器32が載せられており、その容器32内には、所定の粒径を有する砥粒を混入させた加工液とともに、加工液を攪拌するマグネットスターラ(図示せず)が入れられている。ディスペンサ30は、コントローラ70の制御によって、その内部に加工液33を任意の量と速度で吸引及び吐出が可能となっている管状筒となっている。このディスペンサ30は加工液容器32内に挿入可能なようにピック&プレース31に取り付けられている。ピック&プレース31は、コントローラ70によって制御されることにより、ディスペンサ30先端を加工液容器32とレンズ29近傍間の任意の位置との間に移動させる。
【0039】
ワーク軸部42の手前側には、レンズ受け渡し部44が配置されている。レンズ受け渡し部44は、支軸35aが突出している筒状のアーム台35を備えている。アーム台35から突出する支軸35aは、アーム台35の内部に備えたシリンダ及びモータ(いずれも図示せず)により、その上端に取り付けたアーム36を上下動及び回転自在に支持する。アーム36の先端には、有底筒状のヤトイ保持部材37が固定されている。ヤトイ保持部材37は、レンズを貼り付けたヤトイ28のフランジ部28bの上面に当接し、上方からヤトイ28を吸引することによりヤトイ28を保持する(吸引手段は図示せず)。
【0040】
ヤトイ保持部材37が支軸35aにより回転移動する円周軌跡上には、ヤトイ投入用穴がワーク軸部42の載置台27上に設けられている。この軌跡上の他の位置にはヤトイ投入用穴に対してレンズを貼り付けたヤトイを供給するレンズ搬送部45が設けられている。
【0041】
レンズ搬送部45は、走行するコンベア39を有しており、このコンベア39により複数のパレット38a,38b,38c,38d,38e……が間欠的に搬送される。各パレット38a,38b,38c,38d,38e……には、ヤトイ28の下軸部28a(図4参照)と係合して位置決めするための位置決め穴(図示省略)が穿設されており、一個のレンズ29を貼り付けたヤトイ28が搭載可能になっている。なお、パレットには複数個の位置決め穴をコンベア39の移動方向に設けても良い。コンベア39は加工工程の前工程(例えば、ヤトイへのレンズの貼り付け工程)と加工工程の後工程(例えば、レンズの凹球面をさらに研磨する工程)を連結するものであり、コンベア39上を搬送されるパレット38a,38b,38c,38d,38e……は、コントローラ70によってヤトイ保持部材37によるヤトイの取り出しあるいは戻しのための受け渡し位置で停止できるように制御される。
【0042】
次のこの実施の形態の作動を説明する。接着剤によりレンズ29(光学ガラス製;直径4.0mm、厚さ2.2mm)を貼り付けて固定したヤトイ28をパレット38に載せる。コンベア39上を搬送されたパレット38は、ヤトイ保持部材37によるヤトイ28の受け渡し位置(供給位置)において、コンベア39が停止することによって停止する。停止したパレット38bは、その上に載せられているヤトイ28に貼り付けられたレンズ29の加工が終了するまで、その位置で停止する。なお、レンズ29のヤトイ28への固定は、貼り付けの他に、例えば複数の爪によりレンズ29の外周を把持するチャッキングであっても良い。
【0043】
ヤトイ保持部37は、アーム台35内の駆動手段(モータ及びシリンダ)の制御により、パレット38b上のヤトイ28に対して回転し位置決めの後、下降してヤトイ28のフランジ部28bに当接し、吸引作用により吸着してヤトイ28を保持する。その後、ヤトイ保持部材37は支軸35aを介して上昇、回転、下降することにより、ヤトイ28の下軸部28aを載置台27の投入部71における保持穴71aに投入する。この位置でヤトイ28は、載置台27に配置された一対の挟持爪73により、その下軸部28aが挟持されて、載置台27に保持される。その後、ヤトイ保持部材37は、支軸35aを介して上昇及び回転を行って、ホーン15やディスペンサ30と干渉しない位置に戻る。
【0044】
テーブル22は回転することにより、その上に載せられた複数の工具供給部材21のうち、必要な径を有する工具18を収容した工具供給部材21をホーン15の工具保持具17の下方に移動させ、その工具供給穴57の位置決めを行う。次いで、工具供給部材21の継手50aを介して空気供給穴50に送られた空気圧によって、ピストン51及びロッド53がバネ52を圧縮しながら、送り穴56方向に押し出される。これによりロッド53は、チャンバ54内に落下している1個の工具18をゴムブッシュ55を弾性変形させるながら、チャンバ54外から押し出す。押し出された工具18は、送り穴56を通って工具供給穴57内に落下し、その穴軸中心に位置決めされる。
【0045】
この後、空気供給穴50に供給していた圧縮空気を排除することにより、バネ52の戻り弾性力により、ロッド53及びピストン51が元の位置まで引き戻される。このロッド53の後退により、新たな球状の工具18がチャンバ54内に落下し、次回の工具18の供給のためのセットがなされる。
【0046】
この状態で、テーブル台23を介してテーブル22が上昇することにより、工具供給穴57内に工具保持具17の先端が挿入される。そして、凹面となっている工具保持具17先端の工具保持部17aと工具供給穴57内の工具18の球面とが接触した状態で、コントローラ70によりコイル16に電圧を印加する。これによりホーン15及び工具保持具17が磁化し、工具18が工具保持部17aに磁力保持される。このように磁力で保持する場合には、工具18である鋼球の径が変わった場合でも工具18の保持が可能である。なお、工具18の保持手段は磁力に限定されるものではなく、吸引や把持などでも良い。
【0047】
工具18が工具保持具17に保持された時点で、テーブル22は下降及び回転を行い、テーブル22の一部を切り欠いた切り欠き部を工具18とレンズ29の間に位置させ、載置部を工具18とその下方にあるレンズ29との間から待避させる。
【0048】
超音波発振器13は、昇降用モータ10とボールネジ11により、ブラケット12aが直動ガイド12を摺動することにより下降する。これに伴い工具18は、工具保持具17に保持されたまま下降を行い、レンズ29に当てつく。レンズ29に工具18が当てついた後も、工具18は加工量以上に下降し、加圧機構である加圧シリンダ26を下方に押し込んだ後、停止する。これにより加圧シリンダ26は下方に押し込まれた状態となり、そのときの加圧シリンダ26の設定圧力により、工具18とレンズ29は接している状態となっている。
【0049】
一方、加工液容器32に入れられた加工液33は、加工液の中に介在する砥粒が沈殿しないように、攪拌ユニット34のマグネットスターラにより攪拌されている。攪拌方式は、マグネットスターラに限らず、攪拌棒を用いてもよく、超音波攪拌や加工液容器32自体の揺動によって攪拌する等であってもよい。
【0050】
ディスペンサ30は、コントローラ70により制御されるピック&プレース31により、先端の吸引吐出部が加工液容器32内で攪拌されている加工液33に浸けられる。この状態でディスペンサ30は加工液33を必要量吸引する。レンズの外径が5mm以下の小径部品の凹球面の加工のためには、吸引量は少量で十分である。
【0051】
ディスペンサ30内に加工液33を吸引後、ピック&プレース31はディスペンサ30を加工部位すなわち工具18とレンズ29との接触位置付近へと移送する。移送されたディスペンサ30は、工具18とレンズ29との界面に加工液33を適量(例えば1〜2滴)吐出する。吐出後、ディスペンサ30は後退し、テーブル22が回転しても当接しない位置で待機する。
【0052】
コイル16への電圧印加は、工具18がレンズ29と接触した時点から加工開始までの間に解除し、加圧シリンダ26による設定圧力で、工具18を工具保持具17とレンズ29との間に挟持する。この際、ホーン15や工具保持具17、更には工具18に残留した磁化を、電気的に消磁しておくと、工具18が工具保持部17aとレンズ29との間で回動し易くなるため、なお好適である。
【0053】
工具保持具17における工具18の保持力解除と、工具18とレンズ29接触部への加工液吐出が完了した時点で、超音波発振器13の振動子を超音波振動させる。超音波発振器13の振動は軸体14及びホーン15により効率的に増幅され、工具保持具17を介して工具18に伝搬される。工具18は伝搬された振動によって工具保持具17とレンズ29との間を、数μm〜数十μmの振幅で振動すると同時に、工具18自体が回転を行う。この工具18の振動及び回転によって工具18とレンズ29との間に定期的に隙間が生じる。そして、この隙間内には、吐出された加工液33が介在する。
【0054】
レンズ29は、工具18の振動により工具18の径全体で叩きつけられることにより、工具18の半径に加工液33中の砥粒径を加えたR形状が、曲率半径となって凹球面が創成加工される。
【0055】
レンズ29への加工が進行していくと、上下方向の移動を停止している工具軸部40に対して、加圧機構である加圧シリンダ26により載置台27が上昇する。測定器である電気マイクロメータ25は、超音波発振開始直前からの載置台27の上昇量をモニターしており、載置台27の上昇量があらかじめ設定されたレンズ29の球面形状の加工深さ(例えば0.8mm)に到達した時点でのモニター信号(検出信号)により、コントローラ70は超音波発振器13に対して超音波振動を停止する信号を出力し、超音波発振器13の作動を停止する。超音波振動停止後、再びコントローラ70の制御によりコイル16に電圧が印加され、工具保持具17は工具18を磁力保持する。
【0056】
次いで、超音波発振器13はモータ10の駆動により上昇し、これに伴い持ち上げられた工具18の下方には、洗浄槽19がテーブル22の回転によって移動する。その後、テーブル台23によってテーブル22が上昇し、工具18は工具保持具17ごと洗浄槽19内に挿入され、洗浄液に浸けられる。この状態でコントローラ70はコイル16への印加電圧を解除し、超音波発振器13の発振により工具保持具17へ超音波振動を伝搬することによって、工具保持具17に付着した劣化加工液が洗浄される。また、印加電圧を解除した際、あるいは印加電圧を解除した後の超音波を発振した際のいずれかの時点で、工具保持具17に保持されていた工具18は、洗浄槽19内に落下する。
【0057】
洗浄工程終了後、落下した工具18を収容した洗浄槽19はテーブル台23の下降により下降し、次にテーブル22が回転して乾燥槽20を工具保持具17の下方に位置決めする。テーブル台23の上昇により乾燥槽20は上昇し、槽内に工具保持具17を挿入する。この状態で乾燥槽20に設置されたエアブロア手段により、工具保持具17に付着した洗浄液を吹き飛ばす。このとき、工具保持具17に超音波振動をかけながらエアブローを行うと、なお効果的である。エアブロー後、テーブル22は下降し、回転することにより工具保持具17とレンズ29との間から載置部が待避して、その間に切り欠き部が位置し、レンズ29位置へのヤトイ保持部37の進入空間を確保する。
【0058】
レンズ受け渡し部44は、アーム36の回転によりヤトイ保持部材37を載置台27上へと移動した後、アーム36を下降させることにより、ヤトイ保持部材37にレンズ29をヤトイ28ごと保持する。ヤトイ28は、ヤトイ保持部材37に吸引により保持された状態で、アーム台35の駆動によって、レンズ搬送部45のコンベア39上に停止しているパレット38bへと搬送される。
【0059】
このようにして加工が完了したレンズ29を載置したパレット38bは、コンベア39により次工程へと移送される。レンズ搬送部45のレンズ受け渡し部44の位置には、次に加工するレンズ29を搭載したパレット38cが搬送され、以後、同様にして次のレンズ29の加工が進行する。
【0060】
なお、この実施の形態では、レンズの加工に際し、工具18とレンズ29との間の界面に適量として1滴あるいは2滴を吐出したが、これに限らず、最初に1滴を吐出し、工具18によるレンズ29の加工中に追加の一滴を吐出するようにしても良い。この追加の一滴の時には、工具18をレンズ29から離すと共に、劣化途中の加工液を例えば不図示の1軸ロボットの先端に取り付けた布で拭くことにより除去し、その後に吐出するようにしてもよい。
【0061】
このような実施の形態では、微小なため取り扱いが困難であったワークや工具、さらには加工液の攪拌作業や定量吐出を省力化できる。また、ワークの加工量によって超音波出力を停止する加工終了タイミングが自動判定されるため、停止精度に信頼性及び安定性が増し、精度良く加工を行うことができる。更には、レンズ搬送部により前後工程との接続が可能であり、レンズ加工の一貫した作業も自動化が可能となる。
【0062】
(実施の形態2)
図5は本発明の実施の形態2を示す。この実施の形態では、実施の形態1におけるレンズ搬送部45の代わりに、搬送ユニット67を用いるものである。
【0063】
搬送ユニット67は、パレット60がパレット台61に対して位置決め可能及び着脱可能となっている。パレット60上には、実施の形態1と同様にレンズ29を貼り付けたヤトイ28を挿入して位置決めする保持穴(実施の形態1における位置決め穴)が複数(所定ピッチで18個)形成されている。
【0064】
パレット台61はYステージ63上に設置されており、Yステージ63内に配置された図示しない直動ガイドと、一端に配置されたモータ62とにより、Y方向での移動及び位置決めが自在となっている。Yステージ63はXステージ64上に設置されており、Xステージ64内に配置された図示しない直動ガイドと一端に配置されたモータ65とにより、X方向での移動及び位置決めが自在となっている。なお、Xステージ64とYステージ63の移動方向(X,Y)は直交している。
【0065】
さらに、パレット60上に設けられているヤトイ28挿入用の保持穴の全ては、Xステージ64及びYステージ63の移動により、ヤトイ28をヤトイ保持部37へ受け渡すところのワーク交換位置66へ移動し、且つ位置決め可能になっている。
【0066】
この実施の形態では、まずレンズ29を貼り付けたヤトイ28の下軸部28aをパレット60上の保持穴にセットして、複数のヤトイをパレット60上に並べた後に、パレット60ごとパレット台61に載置する。パレット60上の各ヤトイ28は、Xステージ64及びYステージ63により、あらかじめ決められた順序で、ワーク交換位置66へ移送され位置決めされる。
【0067】
ヤトイ保持部37は、ワーク交換位置66に位置したレンズ29を、ヤトイ28ごと保持し、図1の載置台27へ搬送する。搬送されたレンズ29は、実施の形態1と同様にして加工が施され、ヤトイ保持部材37によりパレット60上の同じ保持穴に再び戻される。このようにして、パレット60上の各レンズ29は、搬送ユニット67のXステージ64およびYステージ63によってワーク交換位置66へと順次送られる。パレット60上の全てのレンズ29の加工が終了すると、パレット60は次のパレットに交換されるまでそのパレット台61の位置で待機する。
【0068】
この実施の形態では、実施の形態1と同様に作用するのに加えて、レンズがパレット60を単位として供給されるため、装置を単体で設置することが可能となり、コンパクトで多種少量生産に適合させることができる。
【0069】
この実施の形態の変形々態として、ヤトイ28の保持穴だけをパレット60に設けることなく、実施の形態1における工具集配部41に設けられている洗浄槽19,乾燥槽20、工具供給部21をもパレット60に設けてもよく、あるいはパレット台61上にパレット60と合わせて構成してもよい。この場合には、パレット60あるいはパレット台61は、ヤトイ28のみならず洗浄槽19,乾燥槽20,工具供給部21のそれぞれを移動し位置決めする範囲が工具保持具17下方にまで及ぶようにすることができる。従って、この場合には、レンズ載置部と、工具集配部を一体化することができるため、更にコンパクトな装置とすることができる。
【0070】
(実施の形態3)
以上の実施の形態では、球面形状を創成するワーク(レンズ)をヤトイに貼り付けて搬送したが、この実施の形態では、ワークを直接に保持して搬送するものである。
【0071】
この実施の形態では、図6及び図7に示すように、載置台27の中心軸線に対してレンズ29を嵌め込み且つレンズ29の下面側を係止する形状の係止穴78を穿設し、この係止穴78内に投入されたレンズ29の外周を一対の挟持爪73で固定する。
【0072】
レンズ29を直接に搬送する場合には、ヤトイ保持部材37の代わりに、ワーク保持部材79として、図7に示すように下面に凹部79aを形成し、この凹部79a内に円柱状の貼着剤80を貼付する。そして、貼着剤80にレンズ29を貼着して搬送する。この場合には、パレット38a、38b、38c、38d…図1参照)に穴を2つ穿設し、一方の穴の底部には、ワーク保持部材79の貼着剤80よりも貼着力が強い貼着剤を貼り付けておくことにより加工済みのレンズを受け取るようにし、他方の穴に加工前のレンズ(素材)を収納することにより、各パレットからのレンズの搬出および各パレットへの加工済みのレンズの保管を良好に行うことができる。なお、他方の穴内には、ワーク保持部材79の貼着剤80よりも貼着力が弱い貼着剤を貼り付けてもよい。また、貼着力を利用するときには、穴に限ることなく、平面上に貼着剤を貼り付けて使用することが可能となる。
【0073】
以上の実施の形態から、本発明は次の発明を包含している。
【0074】
(1) 球面を有する工具を超音波振動により振動させて工具の球面形状をワークに創成する球面創成装置において、前記ワークへの球面創成深さを測定する測定器と、ホーン先端に前記工具を保持する工具保持手段と、ホーン先端へ工具を単体で供給する工具供給機構と、ホーン先端から工具を回収する工具回収機構と、前記工具保持手段の工具保持部を洗浄する洗浄機構と、ワークの加工部位へ加工液を供給する加工液供給機構と、加工の前工程から後工程へワークを搬送するワーク搬送機構と、ワーク搬送機構と前記加工部位との間でワークの受け渡しを行うワーク受け渡し機構と、を有することを特徴とする球面創成装置。
【0075】
この発明では、小さな工具や小さなワークであっても、工具やワークの交換が容易となると共に、安定して精度の良い加工を行うことが可能となる。
【0076】
(2) 上記(1)項記載の球面創成装置において、前記ワークを複数ストック可能なワークストック手段をさらに具備していることを特徴とする球面創成装置。
【0077】
この発明では、ワークの交換のための機構を小型化することができる。
【0078】
【発明の効果】
請求項1の発明によれば、工具を保持する工具保持部に対し工具供給手段を位置決めして、工具を1個だけ工具保持部に保持させるため、球面創成に必要な工具の交換を容易に行うことができる。
【0081】
請求項2の発明によれば、工具供給手段が工具の1つを工具保持部に供給するため、球面創成に必要な工具の交換を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の全体を示す斜視図である。
【図2】実施の形態1における工具供給部材の断面図である。
【図3】実施の形態1における載置台の部分平面図である。
【図4】実施の形態1における載置台の部分断面図である。
【図5】実施の形態2の搬送ユニットの斜視図である。
【図6】実施の形態3の部分平面図である。
【図7】実施の形態3の部分断面図である。
【図8】従来の球面創成装置の正面図である。
【図9】従来の球面創成装置の作用を説明する断面図である。
【符号の説明】
13 超音波発振器
17 工具保持具
17a 工具保持部
18 工具
27 載置台
28 ヤトイ
29 レンズ
Claims (4)
- 球面を有する工具を超音波振動により振動させて工具の球面形状をワークに創成する球面創成方法において、
工具供給手段の上面が開口されて前記工具保持部の下端側が挿入可能な径となって且つ底部がテーパ状となっている工具供給穴の穴軸中心に前記球面を有する工具の1つを位置決めした後、前記位置決めされた前記工具を、前記工具を保持する工具保持部に対して保持させるように前記工具供給手段を位置決めし、
前記工具保持部と前記工具供給手段とを相対移動させて、工具保持部に工具供給手段内の工具を1個だけ保持させ、
次いで、工具保持部と工具供給手段とを相対移動させて離すと共に、この工具供給手段を工具保持部に対して前記位置決め位置から退避させ、
その後、工具保持部に保持された工具をワークに当接させ、この当接状態でワークに球面形状を創成することを特徴とする球面創成方法。 - 球面を有する工具を超音波振動により振動させて工具の球面形状をワークに創成する球面創成装置において、
前記工具を保持する工具保持部が一端に形成されており、この工具保持部に保持される工具にホーンを介して超音波振動を付与する超音波発振器と、
前記工具保持部と対向して配置され、球面形状を創成するワークまたはワークを固定したヤトイを着脱自在に保持する載置台と、
前記載置台の横に配置されたテーブルと、
前記テーブル上に配備され、上面が開口されて前記工具保持部の下端側が挿入可能な径となって且つ底部がテーパ状となっている工具供給穴の穴軸中心に前記ワークに創成する球面形状に対応した工具の1つを位置決めして前記工具保持部に供給する工具供給手段と、
を有し、前記テーブル上の前記工具供給手段が前記載置台と工具保持部との間に位置したときに、前記工具保持部と前記工具供給手段とを相対移動させて、工具保持部に工具供給手段内の工具を1個だけ保持させ、その後、この工具供給手段を工具保持部に対して前記位置決め位置から退避させることを特徴とする球面創成装置。 - 前記テーブル上には、前記工具保持部の下端側を洗浄する洗浄液が充填された洗浄槽が、更に配備されていることを特徴とする請求項2記載の球面創成装置。
- 前記テーブル上には、前記工具保持部の下端側を洗浄後の洗浄液を除去する乾燥槽が、更に配備されていることを特徴とする請求項2記載の球面創成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000037730A JP4122120B2 (ja) | 2000-02-16 | 2000-02-16 | 球面創成方法及び球面創成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000037730A JP4122120B2 (ja) | 2000-02-16 | 2000-02-16 | 球面創成方法及び球面創成装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001225246A JP2001225246A (ja) | 2001-08-21 |
JP4122120B2 true JP4122120B2 (ja) | 2008-07-23 |
Family
ID=18561577
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000037730A Expired - Fee Related JP4122120B2 (ja) | 2000-02-16 | 2000-02-16 | 球面創成方法及び球面創成装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4122120B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101181526B1 (ko) * | 2010-02-02 | 2012-09-10 | (주)콘텍코리아 | 렌즈 자동 연마장치 |
JP2013039627A (ja) * | 2011-08-11 | 2013-02-28 | Takemasa:Kk | 超音波加工機の自動工具交換装置 |
JP5963545B2 (ja) * | 2012-05-31 | 2016-08-03 | オリンパス株式会社 | 光学素子製造装置及び光学素子製造方法 |
DE102019005294A1 (de) * | 2019-01-17 | 2020-07-23 | Schneider Gmbh & Co. Kg | Polierwerkzeug und Vorrichtung zum Polieren eines Werkstücks |
CN110421413B (zh) * | 2019-05-30 | 2021-05-14 | 浙江工业大学 | 芬顿多域超声加工制备微半球凹模阵列方法及装置 |
-
2000
- 2000-02-16 JP JP2000037730A patent/JP4122120B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001225246A (ja) | 2001-08-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20190003345A (ko) | 웨이퍼 생성 장치 | |
JP4122120B2 (ja) | 球面創成方法及び球面創成装置 | |
CN105234753A (zh) | 模块式内联微型钻头重磨装置 | |
KR20010041290A (ko) | 웨이퍼의 페이스-업 면 처리용 장치 및 방법 | |
JP2001252853A (ja) | 平面加工装置 | |
KR20200014193A (ko) | 연삭 장치의 원점 위치 설정 기구, 및 원점 위치 설정 방법 | |
JP2014032035A (ja) | プローブクリーニング装置およびその方法 | |
US6302773B1 (en) | Polishing device, end face polishing apparatus having polishing device, and end face polishing method | |
JP4412051B2 (ja) | 電子部品装着装置および電子部品装着方法 | |
KR101800701B1 (ko) | 진동을 이용한 모듈형 인라인 마이크로 드릴비트 링 셋팅장치 | |
JPH081490A (ja) | 付着物除去装置ならびに面取り、バリ取り装置および洗浄装置 | |
CN218574105U (zh) | 电脑主板散热片点胶设备 | |
CN102335661A (zh) | 用于清洗表面粗糙度测试机的滑行体的方法 | |
CN113709990B (zh) | 一种基于pcb板蚀刻、检测、钻孔的自动化设备 | |
KR100223953B1 (ko) | 화학기계적 폴리싱 장치의 패드 컨디셔너 | |
JP2005279782A (ja) | 加工方法及びその装置 | |
JP3629281B2 (ja) | 超音波穴明け加工方法及びそのための加工装置 | |
CN211488338U (zh) | 一种双头点胶装置 | |
JP4529759B2 (ja) | 電子部品装着装置および電子部品装着方法 | |
JP4257017B2 (ja) | ウェーハの研磨装置 | |
JP4009376B2 (ja) | 超音波球面創成装置及び超音波球面創成方法 | |
JPH0530592B2 (ja) | ||
JP3169249B2 (ja) | レンズの心取り装置 | |
JP2004001127A (ja) | 超音波加工装置及び超音波加工方法 | |
JP3931116B2 (ja) | レンズ心取り装置及びレンズ搬送方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070828 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070830 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071029 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080422 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080501 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110509 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4122120 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110509 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120509 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130509 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140509 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |