JP4113519B2 - 銅メッキ材料及び銅メッキ方法 - Google Patents
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Description
この銅メッキ材料は、塩基性炭酸銅粉を還元雰囲気とはならない雰囲気下で熱分解することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、
前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとのピーク強度比I/Isが0.36以下の酸化銅粉であることを特徴とする。
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFsとしたときに、
前記酸化銅粉の半値幅Fと基準酸化銅粉の半値幅Fsとの半値幅比F/Fsが2.9以上の酸化銅粉を用いることもできる。
この銅メッキ材料は、銅塩の水溶液とアルカリ溶液とを反応させて酸化銅粉を得、この酸化銅粉を加熱することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、
前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとのピーク強度比I/Isが0.52以下の酸化銅粉であることを特徴とする。ここで銅塩の水溶液としては、塩化第二銅、硫酸第二銅及び硝酸第二銅などの水溶液を挙げることができる。
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFsとしたときに、
前記酸化銅粉の半値幅Fと基準酸化銅粉の半値幅Fsとの半値幅比F/Fsが2.9以上の酸化銅粉を用いることもできる。
この銅メッキ材料は、水酸化第二銅粉を熱分解することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、
前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとのピーク強度比I/Isが0.67以下の酸化銅粉であることを特徴とする。
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFsとしたときに、
前記酸化銅粉の半値幅Fと基準酸化銅粉の半値幅Fsとの半値幅比F/Fsが1.6以上の酸化銅粉を用いることもできる。
本発明の第1の実施の形態では、銅メッキ材料(酸化銅粉)の原料である塩基性炭酸銅粉として市販品のものを購入してもよいが、この実施の形態では塩基性炭酸銅粉を購入せずに工場側で製造することとする。図1はこの場合の製造フロ−を示す説明図であり、例えば銅濃度が10重量%である塩化第二銅(CuCl2 )の水溶液とアルカリ金属の炭酸塩例えば炭酸濃度が7重量%である炭酸ナトリウム(Na2 CO3 )の水溶液とを例えば混合液のpHが7〜9となるように反応槽1内に投入し、混合液の温度が例えば70℃となるように加熱しながら撹拌手段11により例えば30分間撹拌して反応させる。混合液の加熱は例えば反応槽1内に散気管などからなるバブリング手段(図示せず)を設け、このバブリング手段から蒸気を混合液に供給することにより行われる。
Na2 CO3 +CuCl2 →CuCO3 +2NaCl (1)
続いて(2)式のように炭酸銅が水和して塩基性炭酸銅の二水塩が生成され、
CuCO3 +3/2H2 O→1/2{CuCO3 ・Cu(OH)2・2H2 O}+1/2CO2 (2)
更に(3)式のように上記の二水塩から水が抜け、無水の塩基性炭酸銅が生成される。
こうして塩基性炭酸銅が析出生成されて粉体となって沈殿する。そしてバルブ12を開いて沈殿物であるスラリーを抜き出して遠心分離機2に送り、ここで遠心分離により固形分を母液から分離し、その固形分を乾燥機3に入れて乾燥し、塩基性炭酸銅の粉体を得る。
(塩基性炭酸銅粉の熱処理条件の一例)
加熱温度が300℃のときは、加熱時間は240分以上480分以下
加熱温度が400℃のときは、加熱時間は20分以上40分以下
加熱温度が500℃のときは、加熱時間は5分以上40分以下
加熱温度が550℃のときは、加熱時間は5分以上40分以下
加熱温度が600℃のときは、加熱時間は5分以上20分以下
加熱温度が650℃のときは、加熱時間は5分以上20分以下
このようにして酸化銅粉を得た後、この酸化銅粉を洗浄液である純水の入った洗浄槽5内に投入し、撹拌手段51により撹拌して水洗する。そしてバルブ52を開いて水と酸化銅粉との混合スラリーを洗浄槽5から抜き出し、遠心分離機6またはろ過機により水分を飛ばしてから乾燥機7で乾燥させ、当該酸化銅粉を得る。洗浄液としては蒸留水やイオン交換水などの純水を用いることができるが、その他それより不純分が少ない水、例えば超純水などを用いることもできる。
〔第2の実施の形態〕
本発明の第2の実施の形態では、銅塩の水溶液とアルカリ溶液とを用いて酸化銅粉を得、そしてこの酸化銅粉を加熱することにより純度の高い酸化銅粉を生成した。この製法は直接酸化銅粉を得ることができるので、炭酸銅などを経由して酸化銅粉を得る間接湿式法と対比して直接湿式法と呼ばれている。ここで銅塩の水溶液としては、塩化第二銅、硫酸第二銅及び硝酸第二銅などの水溶液を挙げることができる。この直接湿式法による酸化銅粉の生成について図4を用いて具体的に説明する。なお図4において図1と同じ構成にある部分については便宜上図1と同じ符号を付してある。先ず、銅塩の水溶液例えば銅濃度が10重量%である塩化第二銅(CuCl2 )の水溶液とアルカリ溶液例えば濃度が20重量%である水酸化ナトリウム(NaOH)水溶液とを例えば混合液のpHが9.8〜10.2となるように反応槽1内に投入し、混合液の温度が例えば73〜77℃となるように加熱しながら攪拌手段11により例えば60分間攪拌して反応させる。混合液の加熱は例えば反応槽1内に散気管などからなるバブリング手段(図示せず)を設け、このバブリング手段から蒸気を混合液に供給することにより行われる。
こうして酸化銅が析出生成されて粉体となって沈殿する。そしてバルブ12を開いて沈殿物であるスラリーを抜き出して吸引濾過手段20に送り、ここで固形分である酸化銅粉を母液から分離すると共に、当該吸引濾過手段20にて洗浄液である例えば純水で酸化銅粉を水洗いをすることによって酸化銅表面に付着した微量な不純物を洗い流す。洗浄後、酸化銅粉を加熱炉、例えばロータリキルン4に供給し、ここで所定の温度で所定時間加熱して乾燥させる。また得られた酸化銅の純度が低い場合、加熱処理により純度を上げる。
(直接湿式法により得た酸化銅粉の熱処理条件の一例)
加熱温度が300℃のときは、加熱時間は60分以上360分以下
加熱温度が500℃のときは、加熱時間は30分以上360分以下
加熱温度が600℃のときは、加熱時間は30分以下
このようにして酸化銅粉を得た後、この酸化銅粉を第1の実施の形態で述べたように洗浄槽5→遠心分離機6→乾燥機7という工程を経て、当該酸化銅粉が得られる。この酸化銅粉は、図2に示す装置の銅メッキ材料として用いることができる。
〔第3の実施の形態〕
本発明の第3の実施の形態では、銅塩の水溶液と水酸化アルカリとを反応させて水酸化第二銅粉を生成し、そしてこの水酸化第二銅粉を熱分解することにより純度の高い酸化銅粉を生成した。このような方法による酸化銅粉の生成については、図1と同じ構成にあるので、ここでは便宜上図1を用いて具体的に説明する。先ず、銅塩の水溶液例えば銅濃度が5重量%である硫酸第二銅(CuSO4)の水溶液と水酸化アルカリ例えば濃度が10重量%である水酸化ナトリウム(NaOH)水溶液とを例えば混合液のpHが11となるように反応槽1内に投入し、攪拌手段11により例えば60分間攪拌して反応させる。このとき混合液の温度は例えば5℃に設定される。
こうして水酸化第二銅が析出生成されて粉体となって沈殿する。そしてバルブ12を開いて沈殿物であるスラリーを抜き出して遠心分離機2に送り、ここで遠心分離により固形分を母液から分離し、その固形分である水酸化第二銅粉を加熱炉、例えばロータリキルン4に供給し、ここで所定の温度で所定時間加熱して熱分解することで酸化銅粉が生成される。上述の反応は以下に示す通りである。
ここで第3の実施の形態における加熱温度及び加熱時間について説明する。本発明で銅メッキ材料として用いられる酸化銅粉は、銅メッキ液への溶解度やメッキの質を考慮すると、次の要件を満たすことが要求される。
(水酸化第二銅粉の熱処理条件の一例)
加熱温度が300℃のときは、加熱時間は30分以上360分以下
加熱温度が500℃のときは、加熱時間は30分以上360分以下
加熱温度が600℃のときは、加熱時間は30分以上360分以下
加熱温度が650℃のときは、加熱時間は30分以上60分以下
このようにして酸化銅粉を得た後、この酸化銅粉を第1の実施の形態で述べたように洗浄槽5→遠心分離機6→乾燥機7という工程を経て、当該酸化銅粉が得られる。この酸化銅粉は、図2に示す装置の銅メッキ材料として用いることができる。
第1の実施の形態において塩基性炭酸銅粉を各種の熱処理条件で熱分解して酸化銅粉を得、その純度を測定した。この結果を図5に示す。この結果により、加熱温度が300℃では240分間以上、400℃では20分間以上、500℃〜750℃では5分間以上熱分解を行うことにより、純度が98.5%以上の酸化銅粉が得られることが認められた。
上述の所定の熱処理条件で得た、純度が98.5%以上の酸化銅粉の数種について、ユーザーメーカーから入手したメッキ液に対する溶解試験を行った。この溶解試験は次のような方法にて行った。つまり前記ユーザーメーカーのメッキ液500mlを200rpmの回転数で攪拌させておき、そこへ酸化銅粉5gを投入し、2分間経過後、攪拌を停止して濾過を行ない、不溶解残渣量を測定することにより、溶解率を算出した。ここで前記ユーザ−メーカーのメッキ液には、CuSO4・5H2O、H2SO4、添加剤である200ppmのSPSが含まれており、メッキ液温度は25℃とした。
続いて酸化銅粉の構造と、メッキ液への溶解性との関係を明確化するために、(実験例1−2)にて溶解試験を行った酸化銅粉に対して、X線回折による構造分析を行なった。このとき、前記酸化銅粉についてX線回折スペクトルを測定し、当該スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとの比であるピーク強度比I/Isを求めた。
(実験例1−1)の純度試験により、純度が98.5%以上の熱処理条件にて得られた酸化銅粉から数種を選んで(実験例1−3)と同様のX線回折分析を行なった。この結果をピーク強度比I/Isについては図8に、半値幅比F/Fsについては図9に夫々示す。
加熱温度が300℃のときは、加熱時間は240分以上480分以下
加熱温度が400℃のときは、加熱時間は20分以上40分以下
加熱温度が500℃のときは、加熱時間は5分以上40分以下
加熱温度が550℃のときは、加熱時間は5分以上40分以下
加熱温度が600℃のときは、加熱時間は5分以上20分以下
加熱温度が650℃のときは、加熱時間は5分以上20分以下
であることが確認された。また上述の熱処理条件にて製造された酸化銅粉は、
純度が98.5%以上であって、かつ半値幅比F/Fsが2.9以上という条件も満たしている。
(実験例1−1)の純度試験により、純度が98.5%以上の熱処理条件にて得られた酸化銅粉から数種を選んで、比表面積による分析を行なった。このとき比表面積はBET一点法により測定した。この結果を図10に示す。
(実験例1−1)と同様の熱処理条件で得た、純度が98.5%以上の酸化銅粉について、SPS200ppmを添加したメッキ液(実験室レベルのメッキ液)に対する溶解試験を行った。この溶解試験は次のような方法にて行った。つまりメッキ液500mlを200rpmの回転数で攪拌させておき、そこへ酸化銅粉5gを投入し、2分間経過後、攪拌を停止して濾過を行ない、不溶解残渣量を測定することにより、溶解率を算出した。ここで前記メッキ液の組成は、CuSO4・5H2O:100g/L、H2SO4:200g/L、SPS:200ppm、メッキ液温度は25℃とした。このときの溶解率を図11に示す。
(実験例1−4)にて求められた熱処理条件にて製造された酸化銅粉に対して、チオ尿素とヤヌスグリーン、プロピルメルカプタン、メルカトプロピルスルホン酸、メチルイエローに対する溶解試験を行った。つまりチオ尿素を20ppm分添加したメッキ液500mlを200rpmの回転数で攪拌させておき、そこへ酸化銅粉5gを投入し、2分間経過後、攪拌を停止して濾過を行ない、不溶解残渣量を測定することにより、溶解性を確認した。前記メッキ液の組成は、CuSO4・5H2O:100g/L、H2SO4:200g/L、メッキ液温度は25℃とした。この結果、前記熱処理条件にて製造された酸化銅粉は、チオ尿素を含むメッキ液に対して99.9以上の溶解率を確保することが認められ、高い溶解性が確認できた。なお、750℃で480分間熱分解を行うことにより得られる酸化銅の溶解率は39.2%であり、この処理条件では溶解性が悪かった。
さらに酸化銅粉の構造とメッキ液への溶解性との関係を明確化するために、ユーザーメーカーのメッキ液に対する溶解性の高い酸化銅粉と、溶解性の低い酸化銅粉に対して、SEM(走査型電子顕微鏡)による観察を行った。この結果、1000倍の倍率では両者の表面形状に差異が見られなかったが、10万倍の倍率では両者の表面形状が大きく異なり、前記溶解性の高い酸化銅粉は細かい粒子の凝集体であるが、前記溶解性の低い酸化銅粉は細かい粒子の固相焼結が進んでいることが認められた。この粒子の状態の違いにより両者の溶解性の違いが発生していると推察される。
第2の実施の形態において塩化第二銅とアルカリ溶液とを反応させて得た酸化銅粉を各種の熱処理条件で加熱して酸化銅粉を得、その純度を測定した。この結果を図12に示す。この結果により、加熱温度が300℃では60分間以上、500℃〜700℃では30分間以上加熱を行うことにより、純度が98.5%以上の酸化銅粉が得られることが認められた。
上述の所定の熱処理条件で得た、純度が98.5%以上の酸化銅粉について、ユーザーメーカーから入手したメッキ液に対する溶解試験を行った。この溶解試験は(実験例1−2)と同様の方法で試験を行った。
続いて酸化銅粉の構造と、メッキ液への溶解性との関係を明確化するために、(実験例2−2)にて溶解試験を行った酸化銅粉の数種に対して、X線回折による構造分析を行なった。このとき、前記酸化銅粉についてX線回折スペクトルを測定し、当該スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとの比であるピーク強度比I/Isを求めた。
加熱温度が300℃のときは、加熱時間は60分以上360分以下
加熱温度が500℃のときは、加熱時間は30分以上360分以下
加熱温度が600℃のときは、加熱時間は30分以下
であることが確認された。また、上述の熱処理条件にて製造された酸化銅粉は、純度98.5%以上であって、且つ半値幅比F/Fsが2.9以上という条件も満たしている。
(実験例2−1)の純度試験により、純度が98.5%以上の熱処理条件にて得られた酸化銅粉から数種を選んで、比表面積により分析を行った。このとき比表面積はBET一点法により測定した。この結果を図16に示す。
(実験例2−3)にて求められた熱処理条件にて製造された酸化銅粉に対して、添加剤であるチオ尿素とヤヌスグリーン、プロピルメルカプタン、メルカトプロピルスルホン酸、メチルイエローに対する溶解試験を行った。この添加剤を用いた各メッキ液の試験条件は(実験例1−7)に示す通りである。
第3の実施の形態において水酸化第二銅粉を各種の熱処理条件で熱分解して酸化銅粉を得、その純度を測定した。この結果を図17に示す。この結果により、加熱温度が300℃〜700℃では30分間以上熱分解を行うことにより、純度が98.5%以上の酸化銅粉が得られることが認められた。
上述の所定の熱処理条件で得た、純度が98.5%以上の酸化銅粉の数種について、ユーザーメーカーから入手したメッキ液に対する溶解試験を行った。この溶解試験は(実験例1−2)と同様の方法で試験を行った。
続いて酸化銅粉の構造と、メッキ液への溶解性との関係を明確化するために、(実験例3−2)にて溶解試験を行った酸化銅粉の数種に対して、X線回折による構造分析を行なった。このとき、前記酸化銅粉についてX線回折スペクトルを測定し、当該スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとの比であるピーク強度比I/Isを求めた。
加熱温度が300℃のときは、加熱時間は30分以上360分以下
加熱温度が500℃のときは、加熱時間は30分以上360分以下
加熱温度が600℃のときは、加熱時間は30分以上360分以下
加熱温度が650℃のときは、加熱時間は30分以上60分以下
であることが確認された。また、上述の熱処理条件にて製造された酸化銅粉は、純度98.5%以上であって、且つ半値幅比F/Fsが1.6以上という条件も満たしている。
(実験例3−1)の純度試験により、純度が98.5%以上の熱処理条件にて得られた酸化銅粉から数種を選んで、比表面積により分析を行った。このとき比表面積はBET一点法により測定した。この結果を図21に示す。
(実験例3−3)にて求められた熱処理条件にて製造された酸化銅粉に対して、添加剤であるチオ尿素とヤヌスグリーン、プロピルメルカプタン、メルカトプロピルスルホン酸、メチルイエローに対する溶解試験を行った。この添加剤を用いた各メッキ液の試験条件は(実験例1−7)に示す通りである。
2 遠心分離機
20 吸引濾過手段
3 乾燥機
4 加熱炉
5 洗浄槽
6 遠心分離機
7 乾燥機
8 電解槽
81 不溶性陽極
82 陰極である被メッキ体
83 溶解槽
84 ホッパ
Claims (12)
- 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加剤を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、塩基性炭酸銅粉を還元雰囲気とはならない雰囲気下で熱分解することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、
前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとのピーク強度比I/Isが0.36以下の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加剤を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、塩基性炭酸銅粉を還元雰囲気とはならない雰囲気下で熱分解することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFsとしたときに、
前記酸化銅粉の半値幅Fと基準酸化銅粉の半値幅Fsとの半値幅比F/Fsが2.9以上の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加剤を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、塩基性炭酸銅粉を還元雰囲気とはならない雰囲気下で熱分解することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、比表面積が7.3m2/g以上の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加物を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、銅塩の水溶液とアルカリ溶液とを反応させて酸化銅粉を得、この酸化銅粉を加熱することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、
前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとのピーク強度比I/Isが0.52以下の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加剤を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、銅塩の水溶液とアルカリ溶液とを反応させて酸化銅粉を得、この酸化銅粉を加熱することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFsとしたときに、
前記酸化銅粉の半値幅Fと基準酸化銅粉の半値幅Fsとの半値幅比F/Fsが2.9以上の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加剤を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、銅塩の水溶液とアルカリ溶液とを反応させて酸化銅粉を得、この酸化銅粉を加熱することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、比表面積が3.3m2/g以上の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加物を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、水酸化第二銅粉を熱分解することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面のピーク強度をIsとしたときに、
前記酸化銅粉のピーク強度Iと基準酸化銅粉のピーク強度Isとのピーク強度比I/Isが0.67以下の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加剤を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、水酸化第二銅粉を熱分解することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、
この酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFとし、
結晶化が終了した基準酸化銅粉のX線回折スペクトルの(−1,1,1)面の半値幅をFsとしたときに、
前記酸化銅粉の半値幅Fと基準酸化銅粉の半値幅Fsとの半値幅比F/Fsが1.6以上の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加剤を含む電解液に供給される銅メッキ材料において、
この銅メッキ材料は、水酸化第二銅粉を熱分解することにより得られた純度が98.5%以上の酸化銅粉であって、比表面積が3.6m2/g以上の酸化銅粉であることを特徴とする銅メッキ材料。 - 前記添加剤は、炭素と硫黄との二重結合、硫黄と硫黄との単結合、窒素と窒素との二重結合、硫黄と水素との単結合のいずれかを含む有機物であることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか一に記載の銅メッキ材料。
- 前記添加剤は、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド及び塩、チオ尿素、ヤヌスグリーン、ジメチルジスルフィド、プロピルメルカプタン、メルカプトプロピルスルホン酸及び塩、メチルイエローのいずれかであることを特徴とする請求項1ないし10のいずれか一に記載の銅メッキ材料。
- 不溶性陽極と陰極をなす被メッキ体とが設けられ、有機物の添加剤を含む電解液に銅メッキ材料を供給し、被メッキ体に銅メッキを施す銅メッキ方法において、
前記銅メッキ材料として、請求項1ないし9のいずれか一に記載の銅メッキ材料を用いることを特徴とする銅メッキ方法。
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