JP4088428B2 - 積層型電子部品の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば積層セラミックコンデンサなどの積層型電子部品を製造する方法に係り、さらに詳しくは、焼成後にデラミネーションやクラックなどが発生することを防止することができる積層型電子部品の製造方法と、その製造方法に用いるグリーンシートとに関する。
【0002】
【従来の技術】
CR内蔵型基板、積層セラミックコンデンサなどの積層型電子部品を製造するには、通常、まずセラミック粉末、バインダ(アクリル系樹脂、ブチラール系樹脂など)、可塑剤および有機溶剤(塩化メチレンなど)からなるセラミック塗料を準備する。次に、このセラミック塗料を、ドクターブレード法などを用いてPET製フィルム上に塗布し、加熱乾燥させた後、PET製フィルムを剥離してセラミックグリーンシートを得る。次に、このセラミックグリーンシート上に内部電極を印刷して乾燥させ、これらを積層したものをチップ状に切断してグリーンチップとし、これらのグリーンチップを焼成後、外部電極を形成し、積層セラミックコンデンサなどの電子部品を製造する。
【0003】
積層セラミックコンデンサを製造する場合には、コンデンサとして必要とされる所望の静電容量に基づき、内部電極が形成されるシートの層間厚みは、約1μm〜50μm程度の範囲にある。また、積層セラミックコンデンサでは、コンデンサチップの積層方向における外側部分には、内部電極が形成されない部分が形成される。
【0004】
この内部電極が形成されない部分に対応する誘電体層の厚みは、数百μm程度であり、この部分は、内部電極が印刷されていない比較的厚いセラミックグリーンシートを用いて成形される。内部電極が印刷されるグリーンシートの厚みは、比較的に薄いので、この薄膜のグリーンシートを用いて、外側部分を成形しようとすると、積層数が多くなり、製造工数が増大し、製造コストの増大につながる。
【0005】
そのため、積層セラミックコンデンサの製造過程では、比較的に厚い複数の外装用セラミックグリーンシートと、比較的に薄い複数の内装用セラミックグリーンシートとを一緒に積層して同時焼成する必要がある。
【0006】
しかしながら、従来の製造方法では、焼成後の焼結体に、しばしばデラミネーションやクラックが発生することが知られている。
【0007】
なお、特開平8−325062号公報では、セラミックグリーンシートの表面および裏面で、セラミック粉末の分散密度を変えることにより、内部電極層用ペーストの印刷特性を改良しようとする技術が開示してある。また、特開平8−319169号公報では、粉体の充填率が異なるグリーンシートを積層して焼成することにより、加工性を改良しようとする技術が開示してある。
【0008】
しかしながら、これらの公報に開示してある技術は、比較的に厚いグリーンシートと比較的に薄いグリーンシートとを一緒に積層して同時焼成する際に生じるデラミネーションやクラックを有効に防止することはできない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、比較的に厚いグリーンシートと比較的に薄いグリーンシートとを一緒に積層して同時焼成する際に生じるデラミネーションやクラックを有効に防止することができる積層型電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
本発明者は、上記課題について鋭意検討した結果、比較的に厚いグリーンシートの厚みが、薄いグリーンシートの厚みに比べて厚くなるに従い、デラミネーションやクラックが顕著に発生することに着目し、本発明を完成させるに至った。
【0011】
すなわち、本発明者は、グリーンシートの組成が同じでも、シートの厚みが異なると、焼結開始温度および収縮率に差異が生じることを見出し、その原因が、グリーンシートの第1表面および第2表面でのセラミック粒子の分散状態の差異に基づくものであることを見出した。ただし、グリーンシートの第1表面および第2表面におけるセラミック粒子の分散状態の差異を、シートを破壊することなく検出することは困難である。
【0012】
本発明者は、光沢度の概念を用い、グリーンシートの第1表面および第2表面におけるセラミック粒子の分散状態の差異を規定することで、実際に、焼成後のデラミネーションやクラックを有効に防止できることを見出した。
【0013】
すなわち、本発明に係る積層型電子部品の製造方法は、
比較的に厚い第1グリーンシートを非磁性支持体上に形成する工程と、
前記第1グリーンシートに比較して比較的に薄い第2グリーンシートを非磁性支持体上に形成する工程と、
複数枚の前記第1グリーンシートおよび複数枚の前記第2グリーンシートを積層して、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程とを有する積層型電子部品の製造方法であって、
焼成前における前記第1グリーンシートの前記非磁性支持体に接する面である第1表面の光沢度と、前記第1表面と反対側の面である第2表面の光沢度とを、それぞれ計測して、α(%)およびβ(%)とし、
焼成前における前記第2グリーンシートの前記非磁性支持体に接する面である第1表面の光沢度と、前記第1表面と反対側の面である第2表面の光沢度とを、それぞれ計測してα’(%)およびβ’(%)とした場合に、
下記の関係式(1)が成り立つか否かを判定する工程をさらに有し、
下記の関係式(1)が成り立つように、前記第1および第2グリーンシートを調整することを特徴とする。
【0014】
−4.5<(α/β−α’/β’)<4.5 …(1)
好ましくは、下記の関係式(2)が成り立つように、前記第1および第2グリーンシートを調整する。
−4.0<(α/β−α’/β’)<4.0 …(2)
なお、本発明では、第1表面とは、非磁性支持体に接する面とし、第2表面とは、その反対面として定義される。
【0015】
前記第1グリーンシートの厚みが、前記第2グリーンシートの厚みの5倍以上特に、10倍以上である時に、本発明の効果が大きい。第2グリーンシートに対する第1グリーンシートの厚みの上限は、特に限定されないが、好ましくは1000倍以下である。
【0016】
好ましくは、前記第1グリーンシートおよび第2グリーンシートは、同一組成の誘電体ペーストを用いて、非磁性支持体上に形成され、積層前に非磁性支持体が除去される。
【0017】
好ましくは、複数枚に積層された前記第2グリーンシートの積層方向上下に、それぞれ複数枚の前記第1グリーンシートが積層される。
【0018】
好ましくは、前記第2グリーンシートの積層前に、前記第2グリーンシートの第1表面または第2表面には、所定パターンの導電体パターン層が形成される。
【0019】
本発明に係る積層型電子部品の製造方法によれば、グリーンシートの厚みによらず焼結開始温度を略同一にすることができると共に、収縮率を略同一にすることが可能になり、焼成後のデラミネーションまたはクラックなどの発生を抑制することができる。
【0020】
本発明において、積層型電子部品としては、特に限定されないが、積層セラミックコンデンサ、圧電素子、チップバリスタ、チップサーミスタ、チップ抵抗、その他の表面実装(SMD)チップ型電子部品などが例示される。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図、
図2は図1に示すコンデンサの製造過程に用いるグリーンシートの要部断面図、
図3は図1に示すコンデンサの製造過程に用いるグリーンシートの要部断面図、
図4は本発明の実施例および比較例に係るグリーンシートの熱処理温度と収縮率の関係を示すグラフ、
図5(A)〜(D)は本発明の実施例に係るグリーンシートの電子顕微鏡写真、
図6(A)〜(D)は本発明の比較例に係るグリーンシートの電子顕微鏡写真である。
【0022】
本実施形態では、積層型電子部品の一例としての積層セラミックコンデンサを例示して説明する。
図1に示すように、この積層セラミックコンデンサ1は、層間誘電体層2と内部電極層3とが交互に積層された構成のコンデンサ素子本体10を有する。このコンデンサ素子本体10の両端部には、素子本体10の内部で交互に配置された内部電極層3と各々導通する一対の外部電極4が形成してある。コンデンサ素子本体10の形状に特に制限はないが、通常、直方体状とされる。また、その寸法にも特に制限はなく、用途に応じて適当な寸法とすればよいが、通常、(0.6〜5.6mm)×(0.3〜5.0mm)×(0.3〜1.9mm)程度である。
【0023】
内部電極層3は、各端面がコンデンサ素子本体10の対向する2端部の表面に交互に露出するように積層してある。一対の外部電極4は、コンデンサ素子本体10の両端部に形成され、交互に配置された内部電極層3の露出端面に接続されて、コンデンサ回路を構成する。
【0024】
コンデンサ素子本体10において、内部電極層3および層間誘電体層2の積層方向の両外側端部には、外側誘電体層20が配置してあり、素子本体10の内部を保護している。
【0025】
誘電体層2および20
層間誘電体層2および外側誘電体層20の組成は、本発明では特に限定されないが、たとえば以下の誘電体磁器組成物で構成される。
本実施形態の誘電体磁器組成物は、たとえばBaTiO3で表せる主成分を有する誘電体磁器組成物である。誘電体磁器組成物中に主成分と共に含まれる副成分としては、Sr,Zr,Y,Gd,Tb,Dy,V,Mo,Zn,Cd,Ti,Sn,W,Ba,Ca,Mn,Mg,Cr,Si,およびPの酸化物から選ばれる1種類以上を含む副成分が例示される。
【0026】
副成分を添加することにより、主成分の誘電特性を劣化させることなく低温焼成が可能となり、層間誘電体層を薄層化した場合の信頼性不良を低減することができ、長寿命化を図ることができる。ただし、本発明では、層間誘電体層の組成は、上記に限定されるものではない。
【0027】
なお、図1に示す層間誘電体層2の積層数や厚み等の諸条件は、目的や用途に応じ適宜決定すればよいが、本実施形態では、層間誘電体層2の厚みは、1μm〜50μm程度である。また、外側誘電体層20の厚みは、たとえば100μm〜数百μm程度である。
【0028】
内部電極層3
内部電極層3に含有される導電材は特に限定されないが、層間誘電体層2の構成材料が耐還元性を有するため、卑金属を用いることができる。導電材として用いる卑金属としては、Ni、Cu、Ni合金またはCu合金が好ましい。内部電極層3の主成分をNiにした場合には、誘電体が還元されないように、低酸素分圧(還元雰囲気)で焼成するという方法がとられている。一方誘電体は還元されないようにその組成比をストイキオ組成からずらす等の手法がとられている。
内部電極層3の厚さは用途等に応じて適宜決定すればよいが、通常、0.5〜5μm程度である。
【0029】
外部電極4
外部電極4に含有される導電材は特に限定されないが、通常、CuやCu合金あるいはNiやNi合金等を用いる。なお、AgやAg−Pd合金等も、もちろん使用可能である。なお、本実施形態では、安価なNi,Cuや、これらの合金を用いることができる。
外部電極の厚さは用途等に応じて適宜決定されればよいが、通常、10〜50μm程度であることが好ましい。
【0030】
積層セラミックコンデンサの製造方法
次に、本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。
本実施形態では、ペーストを用いた通常の印刷法やシート法によりグリーンチップを作製し、これを焼成した後、外部電極を印刷または転写して焼成することにより製造される。以下、製造方法について具体的に説明する。
【0031】
まず、誘電体層用ペーストを調整する。
誘電体層用ペーストは、誘電体原料と有機ビヒクルとを混練した有機系の塗料であってもよく、水系の塗料であってもよい。
【0032】
誘電体原料としては、複合酸化物や酸化物となる各種化合物、たとえば炭酸塩、硝酸塩、水酸化物、有機金属化合物などから適宜選択され、混合して用いることができる。
【0033】
誘電体層用ペーストをシート化するための手段として、本実施形態では、ドクターブレード法が用いられる。このシートを形成するための支持フィルムとしては、図2に示すPET製支持フィルム(非磁性支持体)30が用いられる。この支持フィルム30上に、ドクターブレード法により、誘電体層用ペーストを所定厚みに塗布し、乾燥させる。
【0034】
その後、支持フィルム30を剥がして得られる外装用グリーンシート20aは、図1に示す外側誘電体層20を構成する部分であり、通常、10〜100μm程度の膜厚を有する。この外装用グリーンシート20aとは別に、同様な手法により、1μm〜50μm程度に薄く成形された内装用グリーンシート2aを形成する。内装用グリーンシート2aの一方の表面には、図1に示す内部電極層3が形成される。内部電極層3の形成方法としては、特に限定されないが、印刷法または薄膜法などが例示される。
【0035】
本実施形態では、乾燥後の外装用グリーンシート20aの第1表面22および第2表面24の光沢度を、それぞれα(%)およびβ(%)とし、同様に乾燥後の内装層用グリーンシート2aの第1表面22および第2表面24の光沢度を、それぞれα’(%)およびβ’(%)とした場合に、下記の関係式(1)が成り立つように、これらのグリーンシート20a,2aを調整する。なお、本実施形態において、グリーンシートの第1表面22とは、支持フィルム30に接する面であり、第2表面24とは、その反対面である。
【0036】
−4.5<(α/β−α’/β’)<4.5 …(1)
好ましくは、下記の関係式(2)が成り立つように、これらのグリーンシート20a,2aを調整する。
−4.0<(α/β−α’/β’)<4.0 …(2)
より具体的には、上記の関係となるように、グリーンシート20aおよび2aを構成する誘電体ペーストの組成、混合方法、分散方法、塗布方法、グリーンシートの厚みの比率、などを調節する。また、光沢度は、たとえば日本電色工業株式会社製VGS−1Dを用い、JIS Z−8741(1983)方法3に準拠して測定する。
【0037】
その後、図3に示すように、内部電極層が形成された内装用グリーンシート2aを交互に積層すると共に、その積層方向の外側両端部に、外装用グリーンシート20aを単層または複層で積層する。
【0038】
次に、このようにして得られた積層体を、所定の積層体サイズに切断し、グリーンチップ100とした後、脱バインダ処理および焼成を行う。そして、誘電体層2および20を再酸化させるため、熱処理を行う。
【0039】
脱バインダ処理は、通常の条件で行えばよいが、内部電極層の導電体材料にNiやNi合金等の卑金属を用いる場合、特に下記の条件で行うことが好ましい。
【0040】
昇温速度:5〜300℃/時間、特に10〜50℃/時間、
保持温度:200〜300℃、
保持時間:0.5〜20時間、特に1〜10時間、
雰囲気 :空気中。
【0041】
焼成条件は、下記の条件が好ましい。
昇温速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
保持温度:1000〜1400℃、
保持時間:0.5〜8時間、特に1〜3時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に200〜300℃/時間、
雰囲気ガス:加湿したN2 とH2 との混合ガス等。
【0042】
ただし、焼成時の酸素分圧は、10−2Pa以下、特に10−2〜10−10 Paにて行うことが好ましい。前記範囲を超えると、内部電極層が酸化する傾向にあり、また、酸素分圧があまり低すぎると、内部電極層の電極材料が異常焼結を起こし、途切れてしまう傾向にある。
【0043】
このような焼成を行った後の熱処理は、保持温度または最高温度を、好ましくは1000℃以上、さらに好ましくは1000〜1100℃として行うことが好ましい。熱処理時の保持温度または最高温度が、前記範囲未満では誘電体原料の酸化が不十分なために絶縁抵抗寿命が短くなる傾向にあり、前記範囲をこえると内部電極のNiが酸化し、容量が低下するだけでなく、誘電体素地と反応してしまい、寿命も短くなる傾向にある。熱処理の際の酸素分圧は、焼成時の還元雰囲気よりも高い酸素分圧であり、好ましくは10−3Pa〜1Pa、より好ましくは10−2Pa〜1Paである。前記範囲未満では、誘電体層2および20の再酸化が困難であり、前記範囲をこえると内部電極層3が酸化する傾向にある。そして、そのほかの熱処理条件は下記の条件が好ましい。
【0044】
保持時間:0〜6時間、特に2〜5時間、
冷却速度:50〜500℃/時間、特に100〜300℃/時間、
雰囲気用ガス:加湿したN2 ガス等。
【0045】
なお、N2 ガスや混合ガス等を加湿するには、例えばウェッター等を使用すればよい。この場合、水温は0〜75℃程度が好ましい。また脱バインダ処理、焼成および熱処理は、それぞれを連続して行っても、独立に行ってもよい。これらを連続して行なう場合、脱バインダ処理後、冷却せずに雰囲気を変更し、続いて焼成の際の保持温度まで昇温して焼成を行ない、次いで冷却し、熱処理の保持温度に達したときに雰囲気を変更して熱処理を行なうことが好ましい。一方、これらを独立して行なう場合、焼成に際しては、脱バインダ処理時の保持温度までN2 ガスあるいは加湿したN2 ガス雰囲気下で昇温した後、雰囲気を変更してさらに昇温を続けることが好ましく、熱処理時の保持温度まで冷却した後は、再びN2 ガスあるいは加湿したN2 ガス雰囲気に変更して冷却を続けることが好ましい。また、熱処理に際しては、N2 ガス雰囲気下で保持温度まで昇温した後、雰囲気を変更してもよく、熱処理の全過程を加湿したN2 ガス雰囲気としてもよい。
【0046】
このようにして得られた焼結体(素子本体10)には、例えばバレル研磨、サンドプラスト等にて端面研磨を施し、外部電極用ペーストを焼きつけて外部電極4を形成する。なお、外部電極用ペーストは、一般に、各種導電性金属や合金から成る導電体材料、あるいは焼成後に導電体材料となる各種酸化物、有機金属化合物、レジネートなどと、有機ビヒクルとを混練して調整する。
このようにして製造された本発明の積層セラミックコンデンサは、ハンダ付等によりプリント基板上などに実装され、各種電子機器等に使用される。
【0047】
本実施形態に係る積層セラミックコンデンサの製造方法によれば、グリーンシートの厚みによらず焼結開始温度を略同一にすることができると共に、収縮率を略同一にすることが可能になり、焼成後のデラミネーションまたはクラックなどの発生を抑制することができる。
【0048】
なお、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々に改変することができる。
【0049】
【実施例】
以下、本発明を、さらに詳細な実施例に基づき説明するが、本発明は、これら実施例に限定されない。
【0050】
実施例1
まず、出発原料母材として、粒径が0.1μmのBaTiO3 (BT−01粉/堺化学工業(株)製)を用いた。なお、このチタン酸バリウムを、表1では、BT1として示す。
この母材に対して、(Ba,Ca)SiO3 :1.48重量%、Y2 O3 :1.01重量%、MgCO3 :0.72重量%を、各々ボールミルで16時間湿式粉砕し、誘電体原料を得た。
【0051】
この誘電体原料を、下記に示される配合比にて、ジルコニア製ボールを用いてボールミル混合し、スラリー化して誘電体層用ペーストとした。すなわち、まず、誘電体原料(セラミック原料):100重量部と、アクリル樹脂4.8重量部、塩化メチレン40重量部、トリクロロエタン20重量部、ミネラルスピリット6重量部およびアセトン4重量部とをボールミルで混合してペースト化した。ボールミルで混合して調整して得られたペーストを、表1では、BMとして示す。
【0052】
次に、内部電極層用ペーストを次に示すようにして作製した。平均粒径0.4μmのNi粒子100重量部と、有機ビヒクル(エチルセルロース樹脂8重量部をブチルカルビトール92重量部に溶解したもの)40重量部およびブチルカルビトール10重量部とを3本ロールにより混練し、ペースト化した。
【0053】
次に、上記の誘電体層用ペーストを用い、ドクターブレード法により、キャリアフィルム上に、厚さ5μmの内装用グリーンシートを形成した。また、同様にして、厚さ30μmの外装用グリーンシートを形成した。
【0054】
乾燥後の外装用グリーンシートにおける第1表面および第2表面の光沢度を、日本電色工業株式会社製VGS−1Dを用い、JIS Z−8741(1983)方法3に準拠して測定した。また、同様にして、乾燥後の内装用グリーンシートにおける第1表面および第2表面の光沢度も測定した。
【0055】
乾燥後の外装用グリーンシートの第1表面および第2表面の光沢度を、それぞれα(%)およびβ(%)とし、同様に乾燥後の内装層用グリーンシートの第1表面および第2表面の光沢度を、それぞれα’(%)およびβ’(%)とした場合に、表1に示すように、α/βが4.5であり、α’/β’が1.2であった。また、(α/β−α’/β’)の絶対値は、3.3であった。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足していることが確認された。
【0056】
内装用グリーンシートの第2表面には、内部電極層用ペーストを厚さ1μmで所定パターンに印刷したが、外装用グリーンシートには、何も印刷せず、キャリアフィルムから各グリーンシートを剥離した。
【0057】
次に、図3に示すように、内部電極層用ペーストが印刷された31枚の内装用グリーンシート2aを積層し、その積層方向の上下に、それぞれ総厚みで300μmとなるように、複数枚の外装用グリーンシート20aを積層した。その後、この積層体を、100°C、10MPa、および10分の条件で、熱プレス処理した後、所定サイズに切断して、図3に示すグリーンチップ100を得た。
【0058】
次に、このグリーンチップを、脱バインダ処理、焼成およびアニール(熱処理)を行って、コンデンサ素体を得た。脱バインダ処理は、昇温時間15℃/時間、保持温度280℃、保持時間8時間、空気雰囲気の条件で行った。また、焼成は、昇温速度200℃/時間、保持温度1280℃、保持時間2時間、冷却速度200℃/時間、加湿したN2 +H2 混合ガス雰囲気(酸素分圧は2×10−7〜5×10−4Pa内に調節)の条件で行った。アニールは、保持温度1050℃、温度保持時間2時間、冷却速度200℃/時間、加湿したN2 ガス雰囲気(酸素分圧は3.54×10−2Pa)の条件で行った。なお、焼成およびアニールの際の雰囲気ガスの加湿には、水温を35℃としたウェッターを用いた。
【0059】
次に、このようにして得られた100個のコンデンサ素体について、素体の側面を研磨し、光学顕微鏡にて研磨面全体を観察した。100個のコンデンサ素体のうち、デラミネーションまたはクラックが全く観察されなかった素体の割合をパーセントで求めた。デラミネーションまたはクラック(表1では、デラミ・クラック)の発生率が15%であり、低いことが確認できた。
【0060】
なお、デラミネーションまたはクラックが観察された素体では、そのデラミネーションまたはクラックのほとんどは、図3に示す内装用グリーンシート2aと外装用グリーンシート20aとの界面で生じていた。
【0061】
【表1】
【0062】
実施例2
表1に示すように、内装用シートの厚みを10μmとした以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足し、デラミネーションなどの発生率が10%であり、低いことが確認された。
【0063】
比較例1
表1に示すように、外装用シートの厚みを50μmとした以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足せず、デラミネーションなどの発生率が50%であり、高いことが確認された。
【0064】
比較例2
表1に示すように、出発原料母材として、粒径が0.1μmのBaTiO3 (日本化学(株)製)を用い、内装用グリーンシートの厚みを4μmとした以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足せず、デラミネーションなどの発生率が50%であり、高いことが確認された。なお、表1では、この比較例2で用いたBaTiO3 を、BT2で示した。
【0065】
実施例3
表1に示すように、内装用グリーンシートの厚みを10μmとした以外は、比較例2と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足し、デラミネーションなどの発生率が12%であり、低いことが確認された。
【0066】
実施例4
表1に示すように、出発原料母材として、粒径が0.35μmのBaTiO3 (BT−035粉/堺化学(株)製)を用い、SPEX社のMixer Millを用いて誘電体層用ペーストを調整し、内装用グリーンシートの厚みを4μmとした以外は、実施例1と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足し、デラミネーションなどの発生率が0%であり、低いことが確認された。
【0067】
なお、表1では、この実施例4で用いたBaTiO3 を、BT3で示した。また、SPEX社のMixer Millを用いて誘電体ペーストを調整したものを、表1では、MMとして示した。
また、外装用グリーンシートの第1表面および第2表面の電子顕微鏡写真を撮影した。結果を図5(A)および図5(B)に示す。さらに、内装用グリーンシートの第1表面および第2表面の電子顕微鏡写真を撮影した。結果を図5(C)および図5(D)に示す。グリーンシートの厚みによらず、第1表面と第2表面とでの分散度の相違が小さいことが確認された。
【0068】
実施例5
表1に示すように、内装用グリーンシートの厚みを10μmとした以外は、実施例4と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足し、デラミネーションなどの発生率が15%であり、低いことが確認された。
【0069】
実施例6
表1に示すように、内装用グリーンシートの厚みを15μmとした以外は、実施例4と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足し、デラミネーションなどの発生率が0%であり、低いことが確認された。
【0070】
比較例3
表1に示すように、ボールミル混合により調整した誘電体ペーストを用いて外装用グリーンシートを作製した以外は、実施例4と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足せず、デラミネーションなどの発生率が80%であり、高いことが確認された。
【0071】
比較例4
表1に示すように、ボールミル混合により調整した誘電体ペーストを用いて外装用グリーンシートおよび内装用グリーンシートを作製した以外は、実施例4と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足せず、デラミネーションなどの発生率が55%であり、高いことが確認された。
また、外装用グリーンシートの第1表面および第2表面の電子顕微鏡写真を撮影した。結果を図6(A)および図6(B)に示す。さらに、内装用グリーンシートの第1表面および第2表面の電子顕微鏡写真を撮影した。結果を図6(C)および図6(D)に示す。誘電体ペーストの組成や混合方法などによっては、グリーンシートが厚く成ると、第1表面と第2表面とでの分散度の相違が大きくなることが確認された。
【0072】
実施例7
表1に示すように、ボールミル混合により調整した誘電体ペーストを用いて外装用グリーンシートおよび内装用グリーンシートを作製し、内装用グリーンシートの厚みを15μmとした以外は、実施例4と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足し、デラミネーションなどの発生率が3%であり、低いことが確認された。
【0073】
実施例8
表1に示すように、出発原料母材として、粒径が0.3μmのBaTiO3 (日本化学(株)製)を用い、内装用グリーンシートの厚みを3μmとした以外は、実施例5と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足し、デラミネーションなどの発生率が0%であり、低いことが確認された。
なお、表1では、この実施例8で用いたBaTiO3 を、BT4で示した。
【0074】
実施例9
表1に示すように、ボールミル混合により調整した誘電体ペーストを用いて外装用グリーンシートを作製した以外は、実施例8と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足し、デラミネーションなどの発生率が15%であり、低いことが確認された。
比較例5
表1に示すように、外装用グリーンシートの厚みを60μmとすると共に、内装用グリーンシートの厚みを10μmとした以外は、実施例9と同様にして、コンデンサ素体を作製し、同様な試験を行った。結果を表1に示す。前述した(1)式および(2)式のいずれも満足せず、デラミネーションなどの発生率が70%であり、高いことが確認された。
【0075】
評価
表1に示すように、(α/β−α’/β’)の絶対値の値が、4.5未満、好ましくは4.0未満、さらに好ましくは3.5以下である場合に、デラミネーションなどの発生率が、15%以下になることが判明した。また、前記の絶対値の値が、3以下の場合には、デラミネーションなどの発生率が、12%以下になることが判明した。さらに、前記の絶対値の値が、1.2以下の場合には、デラミネーションなどの発生率が、3%以下になることが判明した。
【0076】
実験例1
ここでは、内装用グリーンシートと外装用グリーンシートとの焼成による収縮挙動の差異に関して、確認の実験を行った。
【0077】
比較例3で使用した誘電体層用ペーストを用い、厚さ30μmの外装用グリーンシートを作製し、そのグリーンシートを12枚積層して圧着し、それを図4中のグラフTで示す焼成パターンで焼成し、その収縮率を測定した。その収縮率の変化を、図4中のグラフS1で示す。
【0078】
また、実施例4で使用した誘電体層用ペーストを用い、厚さ30μmの外装用グリーンシートを作製し、そのグリーンシートを12枚積層して圧着し、それを図4中のグラフTで示す焼成パターンで焼成し、その収縮率を測定した。その収縮率の変化を、図4中のグラフS2で示す。
【0079】
さらに、実施例4で使用した誘電体層用ペーストを用い、厚さ4μmの内装用グリーンシートを作製し、そのグリーンシートを90枚積層して圧着し、それを図4中のグラフTで示す焼成パターンで焼成し、その収縮率を測定した。その収縮率の変化を、図4中のグラフS3で示す。
【0080】
図4に示す結果より、次のことが判明した。すなわち、実施例4で使用したMM混合法により混合した誘電体層用ペーストを用いて、厚みの異なるグリーンシートを形成した場合には、グラフS2とS3とを比較して分かるように、これらのグリーンシートの焼結開始温度が近づき、収縮挙動が一致することが判明した。
【0081】
また、比較例3で使用したBM混合法により混合した誘電体層用ペーストを用いて作製した厚み30μmの外装用グリーンシートは、図4におけるグラフS1の収縮挙動を示し、その挙動が、焼結初期において、図4におけるグラフS2と一致しないことが判明した。このことは、比較例3において、デラミネーションなどの発生率が多いことを裏付けている。すなわち、内装用グリーンシートと外装用グリーンシートとの収縮挙動(焼結挙動)の相違が、デラミネーションなどの発生の原因となっていることが考えられる。本発明では、内装用グリーンシートと外装用グリーンシートとの光沢度を、所定の関係に維持することで、デラミネーションなどの発生を有効に抑制することができることが、前記実施例により裏付けられている。
【0082】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明によれば、比較的に厚いグリーンシートと比較的に薄いグリーンシートとを一緒に積層して同時焼成する際に生じるデラミネーションやクラックを有効に防止することができる積層型電子部品の製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 図1は本発明の一実施形態に係る積層セラミックコンデンサの概略断面図である。
【図2】 図2は図1に示すコンデンサの製造過程に用いるグリーンシートの要部断面図である。
【図3】 図3は図1に示すコンデンサの製造過程に用いるグリーンシートの要部断面図である。
【図4】 図4は本発明の実施例および比較例に係るグリーンシートの熱処理温度と収縮率の関係を示すグラフである。
【図5】 図5(A)〜(D)は本発明の実施例に係るグリーンシートの電子顕微鏡写真である。
【図6】 図6(A)〜(D)は本発明の比較例に係るグリーンシートの電子顕微鏡写真である。
【符号の説明】
1… 積層セラミックコンデンサ
2… 層間誘電体層
2a… 内装用グリーンシート
20… 外側誘電体層
20a… 外装用グリーンシート
3… 内部電極層
4… 外部電極
10… コンデンサ素子本体
22… 第1表面
24… 第2表面
30… PET製支持フィルム(非磁性支持体)
100… グリーンチップ
Claims (5)
- 比較的に厚い第1グリーンシートを非磁性支持体上に形成する工程と、
前記第1グリーンシートに比較して比較的に薄い第2グリーンシートを非磁性支持体上に形成する工程と、
複数枚の前記第1グリーンシートおよび複数枚の前記第2グリーンシートを積層して、グリーンチップを形成する工程と、
前記グリーンチップを焼成する工程とを有する積層型電子部品の製造方法であって、
焼成前における前記第1グリーンシートの前記非磁性支持体に接する面である第1表面の光沢度と、前記第1表面と反対側の面である第2表面の光沢度とを、それぞれ計測して、α(%)およびβ(%)とし、
焼成前における前記第2グリーンシートの前記非磁性支持体に接する面である第1表面の光沢度と、前記第1表面と反対側の面である第2表面の光沢度とを、それぞれ計測してα’(%)およびβ’(%)とした場合に、
下記の関係式(1)が成り立つか否かを判定する工程をさらに有し、
下記の関係式(1)が成り立つように、前記第1および第2グリーンシートを調整することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
−4.5<(α/β−α’/β’)<4.5 …(1) - 前記第1グリーンシートの厚みが、前記第2グリーンシートの厚みの5倍以上であることを特徴とする請求項1に記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記第1グリーンシートおよび第2グリーンシートは、同一組成の誘電体ペーストを用いて、非磁性支持体上に形成され、積層前に非磁性支持体が除去されることを特徴とする請求項1〜2のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 複数枚に積層された前記第2グリーンシートの積層方向上下に、それぞれ複数枚の前記第1グリーンシートが積層されることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
- 前記第2グリーンシートの積層前に、前記第2グリーンシートの第1表面または第2表面には、所定パターンの導電体パターン層が形成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の積層型電子部品の製造方法。
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