JP4069869B2 - マイクロリレーおよびこれを用いたマトリクスリレー - Google Patents
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Description
アーマチュアは、矩形板状の可動基台部と、可動基台部におけるベース基板との対向面に固着された磁性体からなる矩形板状の磁性体部とで構成され、
可動基台部は、前記長手方向と交差する短手方向の両側縁の中央部から矩形状の可動基台部突片が連続一体に延設され、フレーム部の内周面において可動基台部から延設された可動基台部突片に対応する部位からも矩形状のフレーム部突片が連続一体に延設されて、可動基台部から延設された可動基台部突片とフレーム部から延設されたフレーム部突片とは互いの先端面同士が対向し、可動基台部から延設された各可動基台部突片の先端面には凸部が形成されており、フレーム部から延設された各フレーム部突片の先端面には、凸部が入り込む凹部が形成されているとともに可動基台部から延設された各可動基台部突片におけるベース基板との対向面からはアーマチュアの揺動支点となる支点突起がそれぞれ突設されてなり、可動基台部の両側縁部において前記可動基台部突片を一対の支持ばね部の間に配置したことを特徴とする。
2 電磁石装置
3 アーマチュアブロック
4 カバー
10 スルーホール
14 固定接点
16 収納孔
17 蓋体
19 蓋体
30 アーマチュア
31 フレーム部
32 支持ばね部
Claims (4)
- 基板をマイクロマシニング技術により加工して形成されるアーマチュアブロック、アーマチュアブロックに含まれるアーマチュアにより変位可能な可動接点、可動接点と接離する固定接点を密封状態で収納する接点チャンバと、接点チャンバ内のアーマチュアを電磁力によって駆動する電磁石装置とを備え、接点チャンバは、電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側において長手方向の両端部に固定接点が設けられた矩形状のガラス製のベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着される枠状のシリコン製のフレーム部およびフレーム部の内側に配置されてアーマチュアの短手方向の両側縁の中央部にそれぞれ設けた一対のシリコン製の支持ばね部を介してフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュアおよびアーマチュアに接圧ばね部を介して支持され可動接点が設けられた可動接点基台部を有する前記アーマチュアブロックと、アーマチュアブロックにおけるベース基板とは反対側で周部がフレーム部に固着されたガラス製のカバーとを有し、
アーマチュアは、矩形板状の可動基台部と、可動基台部におけるベース基板との対向面に固着された磁性体からなる矩形板状の磁性体部とで構成され、
可動基台部は、前記長手方向と交差する短手方向の両側縁の中央部から矩形状の可動基台部突片が連続一体に延設され、フレーム部の内周面において可動基台部から延設された可動基台部突片に対応する部位からも矩形状のフレーム部突片が連続一体に延設されて、可動基台部から延設された可動基台部突片とフレーム部から延設されたフレーム部突片とは互いの先端面同士が対向し、可動基台部から延設された各可動基台部突片の先端面には凸部が形成されており、フレーム部から延設された各フレーム部突片の先端面には、凸部が入り込む凹部が形成されているとともに可動基台部から延設された各可動基台部突片におけるベース基板との対向面からはアーマチュアの揺動支点となる支点突起がそれぞれ突設されてなり、可動基台部の両側縁部において前記可動基台部突片を一対の支持ばね部の間に配置したことを特徴とするマイクロリレー。 - ベース基板の前記一表面側における固定接点の近傍に接地用の導電パターンを形成したことを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
- 請求項1又は2記載のマイクロリレーを用いたマトリクスリレーであって、多数個のマイクロリレーが縦横に並べて設けられたウエハから縦又は横の少なくとも何れか一方向に複数個のマイクロリレーが並ぶように切り取られてなることを特徴とするマトリクスリレー。
- マイクロリレーは、ベース基板の厚み方向の他表面側における両端部に固定接点に接続された一対の接点端子が設けられるとともに接地用の導電パターンに接続された接地用端子が設けられてなり、各接点端子と接地用端子との間のピッチを縦方向又は横方向に隣り合う複数のマイクロリレーの接点端子同士のピッチと略同一としたことを特徴とする請求項3記載のマトリクスリレー。
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