JP4222313B2 - マイクロリレー - Google Patents
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Description
(実施形態1)
本発明の実施形態1を図1〜図6に基づいて説明する。このマイクロリレーは、ヨーク20に巻回されたコイル22,22への励磁電流に応じてヨーク20の両磁極(両脚片20bの先端面)が異極に励磁される電磁石装置2と、矩形板状のガラス基板からなり電磁石装置2を収納する収納孔16(収納部)を有し厚み方向の一表面側において長手方向の両端部それぞれに各一対の固定接点14が設けられた基板10、および、収納孔16の一表面側を閉塞する蓋体17からなる基台1と、基台1の上記一表面側において収納孔16の周部に固着される矩形枠状の枠体31、および、枠体31の枠内に配置され4本の支持ばね部32を介して枠体31に揺動自在に支持される可動台30aが一体に形成され、可動台30aに磁性体30bを保持させて電磁石装置2により駆動されるアーマチュア30を構成するとともに、アーマチュア30の揺動に応じて固定接点14に接離する可動接点39を可動台30aに設けたアーマチュアブロック3と、矩形板状のガラス基板からなりアーマチュアブロック3における基台1とは反対側で周部が枠体31に固着されたカバー4とを備えている。
本発明の実施形態2を図7(a)(b)に基づいて説明する。本実施形態では、上述した実施形態1において支点部材40の代わりに、金属材料により略球状に形成されて、磁性体30bにおける基板10との対向面の長手方向略中間部であって短幅方向の両側部に接合された球状部材43により支点部材を構成している。そして、球状部材43と対向する蓋体17の部位には切欠17a,17aを形成してあり、球状部材43の先端は切欠17aを通して基板10と当接しているので、アーマチュア30が球状部材43を支点として安定に揺動動作を行えるようになっている。尚、球状部材43および蓋体17に設けた切欠17a以外の構成は実施形態1と同様であるので、共通する構成要素には同一の符号を付して、図示及び説明は省略する。
2 電磁石装置
3 アーマチュアブロック
10 基板
14 固定接点
16 収納孔
17 蓋体
30 アーマチュア
30a 可動台
30b 磁性体
31 枠体
39 可動接点
40 支点部材
41 中央片
42 脚片
Claims (1)
- コイルへの励磁電流に応じて磁束を発生する電磁石装置と、
前記電磁石装置を収納する収納部が設けられ且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられた基台と、
基台の前記一表面側において前記収納部の周部に固着される枠体、および、当該枠体の内側に配置され枠体に対して揺動自在に支持される可動台がシリコン基板を加工することによって一体に形成され、前記可動台に磁性体を保持させて前記電磁石装置により駆動されるアーマチュアを構成するとともに、前記アーマチュアの揺動に応じて前記固定接点と接離する可動接点を前記可動台に設けたアーマチュアブロックとを備え、
前記アーマチュア又は前記基台の内の何れか一方に、前記アーマチュアとは別部材であって、表面形状が前記アーマチュア又は前記基台の内の他方に向かって凸となる曲面形状に形成されて前記アーマチュアの揺動支点となる支点部材を設け、
前記支点部材を、前記可動台との間に前記磁性体を挟んだ状態でレーザ溶接により前記可動台に固着されるレーザ溶接用部材と兼用したことを特徴とするマイクロリレー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005018686A JP4222313B2 (ja) | 2005-01-26 | 2005-01-26 | マイクロリレー |
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A621 | Written request for application examination |
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