JP4020081B2 - マイクロリレー - Google Patents
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Description
2 電磁石装置
3 アーマチュアブロック
4 カバー
10a スルーホール
10b スルーホール
14 固定接点
16 収納孔
17 蓋体
20 ヨーク
20a コイル巻回部
20b 脚片
21 永久磁石
22 コイル
23 プリント基板
25 封止部
30 アーマチュア
30a 可動基台部
30b 磁性体部
31 フレーム部
34 可動接点基台部
39 可動接点
Claims (6)
- ヨークに巻回されたコイルへの励磁電流に応じて磁束を発生する電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着される枠状のフレーム部およびフレーム部の内側に配置されて支持ばね部を介してフレーム部に揺動自在に支持され電磁石装置により駆動されるアーマチュアおよびアーマチュアに接圧ばね部を介して支持され可動接点が設けられた可動接点基台部を有するアーマチュアブロックと、アーマチュアブロックにおけるベース基板とは反対側で周部がフレーム部に固着されたカバーとを備え、電磁石装置は、永久磁石を備え、ベース基板の収納部内にベース基板の厚み方向の他表面側から挿入されて収納部の内周面との間の隙間に充填されるポッティング樹脂によりベース基板に固着されてなり、収納部は、ベース基板において厚み方向に貫設した収納孔とベース基板の前記一表面側において収納孔を閉塞するようにベース基板に固着された薄膜からなる蓋体とで囲まれる空間よりなり、電磁石装置は、磁極面が蓋体に密着する形で収納部に収納されてなることを特徴とするマイクロリレー。
- 前記蓋体は、シリコン基板上の絶縁層上に薄膜状のシリコン層が形成されたSOI基板からシリコン基板および絶縁層を選択的に除去することで残したシリコン層よりなることを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
- 前記ベース基板は、絶縁性を有するガラス基板により形成されてなることを特徴とする請求項1または請求項2記載のマイクロリレー。
- 前記ベース基板は、表面が絶縁膜により覆われたシリコン基板により形成されてなることを特徴とする請求項1または請求項2記載のマイクロリレー。
- 前記ベース基板は、前記一表面側に形成され前記固定接点に連続した配線パターンと、前記他表面側に形成された信号線用電極と、厚み方向に貫設した信号線用スルーホールの内周面に被着され配線パターンと信号線用電極とを電気的に接続する信号線用導体層と、信号線用スルーホールを閉塞するスルーホール用蓋体とが設けられてなることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のマイクロリレー。
- 前記ベース基板は、前記一表面側に形成されたグランドパターンと、前記他表面側に形成されたグランド電極と、厚み方向に貫設したグランド用スルーホールの内周面に被着されグランドパターンとグランド電極とを電気的に接続するグランド用導体層と、グランド用スルーホールを閉塞するグランドスルーホール用蓋体とが設けられてなることを特徴とする請求項5記載のマイクロリレー。
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