JP2005216542A - マイクロリレーおよびこれを用いたマトリクスリレー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロリレーは、シリコン基板をマイクロマシニング技術により加工して形成されるアーマチュア30、アーマチュア30により変位可能な可動接点、可動接点と接離する固定接点14を密封状態で収納する接点チャンバと、接点チャンバ内のアーマチュア30を電磁力によって駆動する電磁石装置2とで構成される。而して、接点チャンバ内部の気密空間内に、アーマチュア30、可動接点、固定接点14を収納しているため、固定接点14と可動接点との間に異物などが侵入するのを防ぐことができて接触信頼性の向上が図れる。
【選択図】 図1
Description
2 電磁石装置
3 アーマチュアブロック
4 カバー
10 スルーホール
14 固定接点
16 収納孔
17 蓋体
19 蓋体
30 アーマチュア
31 フレーム部
32 支持ばね部
Claims (5)
- 基板をマイクロマシニング技術により加工して形成されるアーマチュアブロック、アーマチュアブロックに含まれるアーマチュアにより変位可能な可動接点、可動接点と接離する固定接点を密封状態で収納する接点チャンバと、接点チャンバ内のアーマチュアを電磁力によって駆動する電磁石装置とを備えたことを特徴とするマイクロリレー。
- 接点チャンバは、電磁石装置を収納する収納部が形成され且つ厚み方向の一表面側に固定接点が設けられたガラス製のベース基板と、ベース基板の前記一表面側に固着される枠状のシリコン製のフレーム部およびフレーム部の内側に配置されてシリコン製の支持ばね部を介してフレーム部に揺動自在に支持されるアーマチュアおよびアーマチュアに接圧ばね部を介して支持され可動接点が設けられた可動接点基台部を有する前記アーマチュアブロックと、アーマチュアブロックにおけるベース基板とは反対側で周部がフレーム部に固着されたガラス製のカバーとを備えたことを特徴とする請求項1記載のマイクロリレー。
- ベース基板の前記一表面側における固定接点の近傍に接地用の導電パターンを形成したことを特徴とする請求項2記載のマイクロリレー。
- 請求項1又は2又は3記載のマイクロリレーを用いたマトリクスリレーであって、多数個のマイクロリレーが縦横に並べて設けられたウエハから縦又は横の少なくとも何れか一方向に複数個のマイクロリレーが並ぶように切り取られてなることを特徴とするマトリクスリレー。
- マイクロリレーは、ベース基板の厚み方向の他表面側における両端部に固定接点に接続された一対の接点端子が設けられるとともに接地用の導電パターンに接続された接地用端子が設けられてなり、各接点端子と接地用端子との間のピッチを縦方向又は横方向に隣り合う複数のマイクロリレーの接点端子同士のピッチと略同一としたことを特徴とする請求項4記載のマトリクスリレー。
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