JP4069100B2 - 自己整合型バイポーラ・トランジスタ及びこれの製作方法 - Google Patents
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- H01L29/732—Vertical transistors
Description
12 突出外因性ベース
14 エミッタ
16 側壁スペーサ
20 内因性SiGeベース
100 自己整合型バイポーラ・トランジスタ
101 突出外因性ベース
102 外因性ベース外部領域
104 外因性ベース内部延長領域
106 エミッタ
108 内因性ベース
109 内因性ベース外部領域
110 スペーサ
111 誘電体層
120 結晶質シリコン基板
121 コレクタ・リーチスルー領域
122 コレクタ領域
123 浅いトレンチ分離
124 第1誘電体層
126 第1ポリシリコン
128 第2誘電体層
130 第1開口
134 犠牲層
136 第2開口
138 フィラー材料
140 ダミー・ペデスタル
142 周囲トレンチ
150 第2ポリシリコン
158 キャップ
162 上部表面
166 第3エミッタ開口
172 ドープした第3のポリシリコン
180 エッチ・ストップ・パッド
182 露出領域
184 外因性ベース外部領域
186 エッチ・ストップ・パッドの一部
188 外因性ベース内部延長領域
190 熱酸化物層
194 レッジ(またはキャビティ)
200 トランジスタ
204 外因性ベース内部延長領域
300 トランジスタ
304 外因性ベース内部延長領域
306 エミッタ
308 フォトレジスト・マスク
310 スペーサ
330 第1開口
334 犠牲層
340 ダミー・ペデスタル
342 周囲トレンチ
350 第1ポリシリコン
370 領域
Claims (23)
- 自己整合型バイポーラ・トランジスタであって、
外因性ベース外部領域と、前記外因性ベース外部領域からエミッタに向かって横方向内側に延び、前記外因性ベース外部領域に水平に重なり合わない外因性ベース内部延長領域とを含む突出外因性ベースと、
前記突出外因性ベースの下に配置された内因性ベースとを備え、
前記外因性ベース外部領域および前記外因性ベース内部延長領域がそれぞれ、前記内因性ベースに接触する、トランジスタ。 - 前記外因性ベース内部延長領域により開口が画定され、前記開口内で前記エミッタが前記突出外因性ベースに自己整合する、請求項1に記載のトランジスタ。
- 前記外因性ベース内部延長領域と前記エミッタの間にスペーサをさらに備える、請求項1に記載のトランジスタ。
- 前記エミッタの幅が0.1ミクロン未満である、請求項1に記載のトランジスタ。
- さらに前記内因性ベース直下のコレクタ領域を備える、請求項1に記載のトランジスタ。
- 前記外因性ベース内部延長領域が前記内因性ベースに接触する第2位置から離れた第1位置で、前記外因性ベース外部領域が前記内因性ベースに接触する、請求項1に記載のトランジスタ。
- 前記外因性ベース外部領域が、浅いトレンチ分離の上に配置され、内因性ベースの外部領域に接触する、請求項1に記載のトランジスタ。
- 前記外因性ベース外部領域が第1ドープ濃度を有し、前記外因性ベース内部延長領域が第2ドープ濃度を有し、前記第2ドープ濃度が前記第1ドープ濃度とは異なる、請求項1に記載のトランジスタ。
- 第1位置で内因性ベースに接触する外因性ベース外部領域と、
前記外因性ベース外部領域とは別個のものであり、前記外因性ベース外部領域に接触し且つ前記第1位置からエミッタに向かって横方向内側に離れた第2位置で前記内因性ベースに接触する外因性ベース内部延長領域とを含む突出外因性ベースを備え、
前記外因性ベース外部領域が第1ドープ濃度を有し、前記外因性ベース内部延長領域が第2ドープ濃度を有し、前記第2ドープ濃度が前記第1ドープ濃度よりも高い、トランジスタ。 - 前記外因性ベース外部領域の材料がポリシリコンであり、前記外因性ベース内部延長領域の材料がシリコン又はポリシリコンである、請求項9に記載のトランジスタ。
- 自己整合型バイポーラ・トランジスタを製作する方法であって、
内因性ベースが表面に設けられた基板に第1誘電体層、突出外因性ベースの外因性ベース外部領域用の第1層及び第2誘電体層を形成するステップと、
前記第2誘電体層及び前記第1層を選択的にエッチングすることにより、前記内因性ベースの上方に前記第1誘電体層を露出する第1開口を形成するステップと、
前記第1開口を充填するように犠牲層を被着し、前記第1開口よりも小さく、ダミー・ペデスタルのサイズを画定する第2開口を前記犠牲層に形成するステップと、
前記第2開口内にフィラー材料を被着するステップと、
前記フィラー材料をマスクとして前記犠牲層を選択的に除去することにより、前記第1開口内に前記ダミー・ペデスタルおよび該ダミーペデスタルを囲むトレンチを生成するステップと、
前記トレンチ内に、前記突出外因性ベースの外因性ベース外部領域用の第1層を前記内因性ベースに接続する前記突出外因性ベースの外因性ベース内部延長領域を形成するステップと、
前記ダミー・ペデスタルを除去してエミッタ開口を形成するステップと、
前記エミッタ開口内にエミッタを形成するステップとを含む、方法。 - 前記外因性ベース内部延長領域の材料が、シリコン又はポリシリコンであり、前記外因性ベース外部領域の材料が、前記外因性ベース内部延長領域とは異なるドープ濃度を有するシリコン又はポリシリコンである、請求項11に記載の方法。
- 前記外因性ベース内部延長領域が、前記外因性ベース外部領域よりも高いドープ濃度を有する、請求項12に記載の方法。
- 前記エミッタを形成するステップが、
前記エミッタ開口の側壁上にスペーサを形成するステップと、
前記エミッタ開口内にポリシリコンを被着するステップとを含む、請求項11に記載の方法。 - 前記エミッタを形成するステップが、前記第1開口内の前記第1誘電体層を除去するステップをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記外因性ベース内部延長領域の上に誘電体のキャップを形成するステップをさらに含む、請求項11に記載の方法。
- 前記第1誘電体層を被着させる前に、熱酸化物層を熱成長させるステップをさらに含み、前記ダミー・ペデスタル及び前記トレンチを生成するために、
前記第1開口を充填するように犠牲層を被着し、前記第1開口よりも小さく、前記ダミー・ペデスタルのサイズを画定する第2開口を前記犠牲層に形成するステップと、
前記第2開口内にフィラー材料を被着するステップと、
前記フィラー材料をマスクとして前記犠牲層を選択的に除去することにより、前記第1開口内に前記ダミー・ペデスタルおよび該ダミーペデスタルを囲む前記トレンチを生成するステップであって、前記トレンチが前記熱酸化物層を露出するステップと、
前記第1誘電体層をエッチングして、前記外因性ベース外部領域の下にレッジを形成するステップと、
前記熱酸化物層をエッチングして、前記レッジを拡大し、前記トレンチを前記内因性ベースまで延ばすステップとを含む、請求項11に記載の方法。 - 自己整合型バイポーラ・トランジスタを製作する方法であって、
内因性ベースが表面に設けられた基板に第1誘電体層を形成するステップと、
前記第1誘電体層を選択的にエッチングすることにより、前記内因性ベースの両端部を露出するパッドを形成するステップと、
前記内因性ベースの両端部に接触するように突出外因性ベースの外因性ベース外部領域用の第1層を積層するステップと、
前記第1層上に第2誘電体層を形成するステップと、
前記第2誘電体層及び前記第1層を選択的にエッチングすることにより、前記パッドよりも小さい寸法を有し且つ前記パッドを露出する第1開口を形成するステップと、
前記第1開口を充填するように犠牲層を被着し、前記第1開口よりも小さく、ダミー・ペデスタルのサイズを画定する第2開口を前記犠牲層に形成するステップと、
前記第2開口内にフィラー材料を被着するステップと、
前記フィラー材料をマスクとして前記犠牲層を選択的に除去することにより、前記第1開口内に前記ダミー・ペデスタルおよび該ダミーペデスタルを囲むトレンチを生成するステップと、
前記トレンチにより露出された前記パッドの部分を除去するステップと、
前記トレンチ内に、前記突出外因性ベースの外因性ベース外部領域用の第1層を前記内因性ベースに接続する前記突出外因性ベースの外因性ベース内部延長領域を形成するステップと、
前記ダミー・ペデスタルを除去してエミッタ開口を形成するステップと、
前記エミッタ開口内にエミッタを形成するステップとを含む、方法。 - 前記外因性ベース内部延長領域の材料が、シリコン又はポリシリコンであり、前記外因性ベース外部領域の材料が、前記外因性ベース内部延長領域とは異なるドープ濃度を有するシリコン又はポリシリコンである、請求項18に記載の方法。
- 前記外因性ベース内部延長領域が、前記外因性ベース外部領域よりも高いドープ濃度を有する、請求項19に記載の方法。
- 前記エミッタを形成するステップが、
前記エミッタ開口の側壁上にスペーサを形成するステップと、
前記エミッタ開口内にポリシリコンを被着するステップとを含む、請求項18に記載の方法。 - 前記エミッタを形成するステップが、前記第1開口内の前記第1誘電体層を除去するステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。
- 前記外因性ベース内部延長領域の上に誘電体のキャップを形成するステップをさらに含む、請求項18に記載の方法。
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US7342293B2 (en) * | 2005-12-05 | 2008-03-11 | International Business Machines Corporation | Bipolar junction transistors (BJTS) with second shallow trench isolation (STI) regions, and methods for forming same |
US7888745B2 (en) * | 2006-06-21 | 2011-02-15 | International Business Machines Corporation | Bipolar transistor with dual shallow trench isolation and low base resistance |
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EP2281302B1 (en) * | 2008-05-21 | 2012-12-26 | Nxp B.V. | A method of manufacturing a bipolar transistor semiconductor device |
EP2327089A1 (en) * | 2008-08-19 | 2011-06-01 | Nxp B.V. | Gringo heterojunction bipolar transistor with a metal extrinsic base region |
US8405186B2 (en) * | 2010-06-17 | 2013-03-26 | International Business Machines Corporation | Transistor structure with a sidewall-defined intrinsic base to extrinsic base link-up region and method of forming the structure |
US8513084B2 (en) * | 2010-06-17 | 2013-08-20 | International Business Machines Corporation | Transistor structure with a sidewall-defined intrinsic base to extrinsic base link-up region and method of forming the transistor |
US20120313146A1 (en) * | 2011-06-08 | 2012-12-13 | International Business Machines Corporation | Transistor and method of forming the transistor so as to have reduced base resistance |
US8716096B2 (en) | 2011-12-13 | 2014-05-06 | International Business Machines Corporation | Self-aligned emitter-base in advanced BiCMOS technology |
CN109887843B (zh) * | 2019-01-31 | 2022-03-08 | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 | 采用非选择性外延的自对准锗硅hbt器件的制造方法 |
Family Cites Families (46)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61269374A (ja) | 1985-05-23 | 1986-11-28 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
JPH0433409Y2 (ja) | 1987-09-30 | 1992-08-11 | ||
US5128271A (en) * | 1989-01-18 | 1992-07-07 | International Business Machines Corporation | High performance vertical bipolar transistor structure via self-aligning processing techniques |
US5391503A (en) * | 1991-05-13 | 1995-02-21 | Sony Corporation | Method of forming a stacked semiconductor device wherein semiconductor layers and insulating films are sequentially stacked and forming openings through such films and etchings using one of the insulating films as a mask |
JP2582519B2 (ja) * | 1992-07-13 | 1997-02-19 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | バイポーラ・トランジスタおよびその製造方法 |
JPH06124956A (ja) | 1992-10-12 | 1994-05-06 | Fujitsu Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH0793315B2 (ja) * | 1992-11-27 | 1995-10-09 | 日本電気株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
FR2711674B1 (fr) * | 1993-10-21 | 1996-01-12 | Creusot Loire | Acier inoxydable austénitique à hautes caractéristiques ayant une grande stabilité structurale et utilisations. |
JP3156436B2 (ja) * | 1993-04-05 | 2001-04-16 | 日本電気株式会社 | ヘテロ接合バイポーラトランジスタ |
JP2630237B2 (ja) * | 1993-12-22 | 1997-07-16 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2970425B2 (ja) * | 1994-09-26 | 1999-11-02 | 日本電気株式会社 | バイポーラトランジスタの製造方法 |
JP2629644B2 (ja) * | 1995-03-22 | 1997-07-09 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2914213B2 (ja) * | 1995-03-28 | 1999-06-28 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
AU5316996A (en) * | 1995-04-05 | 1996-10-23 | Mcnc | A solder bump structure for a microelectronic substrate |
US5834800A (en) * | 1995-04-10 | 1998-11-10 | Lucent Technologies Inc. | Heterojunction bipolar transistor having mono crystalline SiGe intrinsic base and polycrystalline SiGe and Si extrinsic base regions |
JP3545503B2 (ja) * | 1995-08-11 | 2004-07-21 | 株式会社日立製作所 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
KR100191270B1 (ko) * | 1995-09-29 | 1999-06-15 | 윤종용 | 바이폴라 반도체장치 및 그의 제조방법 |
JP2746225B2 (ja) * | 1995-10-16 | 1998-05-06 | 日本電気株式会社 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2937253B2 (ja) * | 1996-01-17 | 1999-08-23 | 日本電気株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
DE19609933A1 (de) * | 1996-03-14 | 1997-09-18 | Daimler Benz Ag | Verfahren zur Herstellung eines Heterobipolartransistors |
US5788999A (en) * | 1996-07-04 | 1998-08-04 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Disk producing apparatus for a photo film cassette |
EP0818829A1 (en) * | 1996-07-12 | 1998-01-14 | Hitachi, Ltd. | Bipolar transistor and method of fabricating it |
US5798581A (en) * | 1996-12-17 | 1998-08-25 | Lutron Electronics Co., Inc. | Location independent dimmer switch for use in multiple location switch system, and switch system employing same |
US6261097B1 (en) * | 1997-06-02 | 2001-07-17 | Institut Straumann Ag | Retaining element for an implant and ampoule for preserving said implant |
US6267929B1 (en) * | 1997-09-16 | 2001-07-31 | BIO MéRIEUX, INC. | Textured surface for test sample cards |
JPH11126781A (ja) * | 1997-10-24 | 1999-05-11 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
US6121101A (en) * | 1998-03-12 | 2000-09-19 | Lucent Technologies Inc. | Process for fabricating bipolar and BiCMOS devices |
US6020246A (en) * | 1998-03-13 | 2000-02-01 | National Semiconductor Corporation | Forming a self-aligned epitaxial base bipolar transistor |
JP2000012553A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP3658745B2 (ja) * | 1998-08-19 | 2005-06-08 | 株式会社ルネサステクノロジ | バイポーラトランジスタ |
US6383855B1 (en) * | 1998-11-04 | 2002-05-07 | Institute Of Microelectronics | High speed, low cost BICMOS process using profile engineering |
JP3329762B2 (ja) * | 1999-04-27 | 2002-09-30 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP3346348B2 (ja) * | 1999-08-19 | 2002-11-18 | 日本電気株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US6346453B1 (en) * | 2000-01-27 | 2002-02-12 | Sige Microsystems Inc. | Method of producing a SI-GE base heterojunction bipolar device |
JP2001332563A (ja) * | 2000-05-23 | 2001-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | バイポーラトランジスタ及びその製造方法 |
US6465670B2 (en) * | 2000-08-01 | 2002-10-15 | The Goodyear Tire & Rubber Company | Preparation of surface modified silica |
DE10044451C1 (de) * | 2000-09-08 | 2002-04-04 | Epcos Ag | Elektrode und Kondensator mit der Elektrode |
US6688396B2 (en) * | 2000-11-10 | 2004-02-10 | Baker Hughes Incorporated | Integrated modular connector in a drill pipe |
US6465870B2 (en) * | 2001-01-25 | 2002-10-15 | International Business Machines Corporation | ESD robust silicon germanium transistor with emitter NP-block mask extrinsic base ballasting resistor with doped facet region |
US6696710B2 (en) | 2001-02-27 | 2004-02-24 | Agilent Technologies, Inc. | Heterojunction bipolar transistor (HBT) having an improved emitter-base junction |
US6455919B1 (en) | 2001-03-19 | 2002-09-24 | International Business Machines Corporation | Internally ballasted silicon germanium transistor |
US6461888B1 (en) * | 2001-06-14 | 2002-10-08 | Institute Of Microelectronics | Lateral polysilicon beam process |
US6475848B1 (en) * | 2001-06-15 | 2002-11-05 | National Semiconductor Corporation | Polysilicon-edge, low-power, high-frequency bipolar transistor and method of forming the transistor |
US6380017B1 (en) * | 2001-06-15 | 2002-04-30 | National Semiconductor Corporation | Polysilicon-edge, base-emitter super self-aligned, low-power, high-frequency bipolar transistor and method of forming the transistor |
US6826602B1 (en) * | 2002-09-12 | 2004-11-30 | Bellsouth Intellectual Property Corporation | System and method for reverse content distribution |
US6858485B2 (en) * | 2003-05-07 | 2005-02-22 | International Business Machines Corporation | Method for creation of a very narrow emitter feature |
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