JP4059312B2 - アレイ基板の検査装置及びその検査方法 - Google Patents
アレイ基板の検査装置及びその検査方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4059312B2 JP4059312B2 JP2001328656A JP2001328656A JP4059312B2 JP 4059312 B2 JP4059312 B2 JP 4059312B2 JP 2001328656 A JP2001328656 A JP 2001328656A JP 2001328656 A JP2001328656 A JP 2001328656A JP 4059312 B2 JP4059312 B2 JP 4059312B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- switching element
- charge
- signal line
- parasitic capacitance
- signal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Control Of Indicators Other Than Cathode Ray Tubes (AREA)
- Liquid Crystal Display Device Control (AREA)
- Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、アレイ基板の検査を高速に行う検査装置及びその検査方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般にポリシリコンLCD(Liquid Crystal Display)のアレイ基板12は、図5に示すように、画素部14と周辺回路部とを含むように構成される。画素部14は、図5において横方向(行方向)に複数の制御線42a,42b,42i、その複数の制御線42a,42b,42iと電気的に非接触で交叉する複数の信号線44a,44b,44j、及びそれぞれの制御線と信号線の交叉部に設けられた画素54とを含む。画素54は、第1のスイッチング素子50と補助容量52とを含む。第1のスイッチング素子50の各端子は、それぞれ第1端子は制御線、第2端子は信号線、第3端子は補助容量52に接続される。例えば第1のスイッチング素子50は、TFT(Thin Film Transistor)などの3端子素子を使用した場合、第1端子はゲートであり、第2端子はソースであり、第3端子はドレインである。
【0003】
周辺回路部は、各制御線42a,42b,42iに第1のスイッチング素子50をオンにするための信号を送る第1ドライバー38、各信号線44a,44b,44jに接続された第2のスイッチング素子46a,46b,46j、第2のスイッチング素子46a,46b,46jをオンにするための信号を送るための第2ドライバー40とを含む。各信号線44a,44b,44jは第2のスイッチング素子46a,46b,46jを介してシグナル端子32に接続される。
【0004】
例えば第2のスイッチング素子46a,46b,46jは、MOSFETなどの3端子素子を使用する。第1ドライバー38及び第2ドライバー40は、シフトレジスタを使用する。
【0005】
従来、補助容量52、第1のスイッチング素子50の充電特性・保持特性、各配線のショートやオープンなどの不良の検査を行う。検査を行うためには、図5のアレイ基板12に検査装置(テスター測定回路)60を接続することによって行う。
【0006】
検査装置60は、各補助容量52に書き込み信号を送る書き込み回路16、その書き込み信号によって補助容量52に蓄積された電荷を読み出す読み出し回路20、第1ドライバー38にタイミング信号を送る第1タイミング回路24、及び第2ドライバー40にタイミング信号を送る第2タイミング回路22を含む。第1タイミング回路24は、第1ドライバー駆動端子36に接続され、第2タイミング回路22は、第2ドライバー駆動端子34に接続される。また、書き込み回路16及び読み出し回路20は、それぞれ第1スイッチ26及び第2スイッチ30を介してシグナル端子32に接続される。第1スイッチ26及び第2スイッチ30は、MOSFETなどのスイッチング素子を使用することができる。
【0007】
補助容量52を検査する方法について図6を使用して説明する。検査装置60の第1スイッチ26をオンにして、書き込み回路16からシグナル端子32に書き込み信号Vdを印加する。第2タイミング回路22はパルス信号(シフトパルス)を発生させ、第2ドライバー40に入力する。第2ドライバー40はパルス信号が入力されると、第2のスイッチング素子46aにハイレベルの信号を印加し、第2のスイッチング素子46aはオンになる。
【0008】
更に第1タイミング回路24はパルス信号を発生させ、第1ドライバー38にパルス信号を入力する。第1ドライバー38は、第1の制御線42aにハイレベルの信号を印加し、第1の制御線42aに属する第1のスイッチング素子50をオンにする。
【0009】
以上より、第1の制御線42aに属する第1のスイッチング素子50及び第2のスイッチング素子46aがオンになり、書き込み信号が補助容量52に印加され、電荷が書き込まれる(蓄積される)。
【0010】
第2のスイッチング素子46aがオンになっている間に第1タイミング回路24からパルス信号を次々と発生させ、第1ドライバー38は順番に制御線42b,42iにハイレベルの信号を印加する。従って、他の制御線に属する第1のスイッチング素子50が順番にオンになり、次々と補助容量52に電荷が書き込まれる。
【0011】
第1の信号線44aに属する画素54の補助容量52に電荷の書き込みが終了すると、第1スイッチ26をオフにし第2スイッチ30をオンにする。この時、第1の信号線44aにはハイレベルの信号が保持されたままである。第1タイミング回路24から次々とパルス信号を発生させ、第1ドライバー38に入力する。第1ドライバー38は順番に制御線42a,42b,42iにハイレベルの信号を印加する。以上より、第1のスイッチング素子50が順次オンになり、補助容量52に書き込まれた電荷が次々と読み出し回路20によって読み出される。
【0012】
上記の工程によって、第1の信号線44aに属する画素54の補助容量52の検査が終了する。第2の信号線44bに属する画素54の補助容量52の検査は、上記の工程が終了した後、第2タイミング回路22から第2ドライバー40にパルス信号を入力して、上記の工程を繰り返すことによって行える。即ち、一の信号線に属する画素54の補助容量52の検査が終了後、第2タイミング回路22から第2ドライバー40にパルス信号を入力する毎に、一の信号線の隣の信号線に属する画素54の補助容量52の検査が行える。
【0013】
例えば、各補助容量52に電荷を書き込むための時間(書き込み時間)は、約30μs(マイクロ秒)とする。しかし、実際に補助容量52での書き込み時間は、測定系(検査装置60)の配線の抵抗や容量結合成分によって決まる時定数RCtesterを無視することができず、実際の書き込み時間は、この時定数RCtesterを加えた時間になる。また、補助容量52に書き込まれた電荷を読み出すための時間(読み出し時間)は、書き込み時間と同じ約30μsであるが、書き込み時間と同様に時定数RCtesterを加えた時間になる。
【0014】
また、従来、製造されているアモルファスシリコンLCDのアレイ基板では、全ての信号線44a,44b,44jにシグナル端子32があるので、必要に応じ、そのシグナル端子32ごとに、検査装置60を並列接続することが可能である。しかし、第2ドライバー(シフトレジスタ)40を内蔵したポリシリコンLCDのアレイ基板12は、全ての信号線44a,44b,44jにシグナル端子32がある構造ではないので、検査装置60を並列接続する上で不利になり、測定時間が膨大になることが考えられる。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、アレイ基板の検査を高速に行うためのアレイ基板の検査装置及び検査方法を提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
本発明のアレイ基板の検査装置は、アレイ基板を検査するために、所定の信号線の寄生容量に電荷を書き込む手段と、所定の信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を、選択された制御線と関連する画素セルの容量に転送し、関連する画素セルの容量に電荷を書き込む手段と、関連する画素セルの容量への電荷の書き込み後に、信号線の電荷をクリアする手段と、容量に書き込まれた電荷を信号線に転送し、信号線の配線容量に電荷を書き込む手段と、信号線の配線容量に書き込まれた電荷を検出する手段とを含む。
【0017】
本発明のアレイ基板の検査方法は、所定の信号線の寄生容量に電荷を書き込むステップと、所定の信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を、選択された制御線と関連する画素セルの容量素子に転送し、関連する画素セルの容量素子に電荷を書き込むステップと、信号線の寄生容量に残留する電荷をクリアするステップと、容量素子に書き込まれた電荷を信号線に転送し、信号線の寄生容量に電荷を書き込むステップと、信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を読み取るステップとを含む。
【0018】
【発明の実施の形態】
次に、本発明のアレイ基板の検査装置及び検査方法の実施の形態について図面を使用して説明する。
【0019】
検査されるアレイ基板12は、ポリシリコンLCD(Liquid Crystal Display)のアレイ基板12であり、図1に示すように、画素部14と周辺回路部とを含むように構成される。画素部14は、図1における横方向(行方向)に複数の制御線42a,42b,42i、その複数の制御線42a,42b,42iと電気的に非接触で交叉する複数の信号線44a,44b,44j、及びそれぞれの制御線と信号線の交叉部に設けられた画素54とを含む。画素54は、第1のスイッチング素子50と補助容量52を含む。第1のスイッチング素子50の各端子は、それぞれ第1端子(制御端子)は制御線、第2端子(第1通電端子)は信号線、第3端子(第2通電端子)は補助容量52に接続される。例えば第1のスイッチング素子50は、TFT(Thin Film Transistor)などの3端子素子を使用した場合、第1端子はゲートであり、第2端子はソースであり、第3端子はドレインである。
【0020】
周辺回路部は、各制御線42a,42b,42iに第1のスイッチング素子をオンにするための信号を送る第1ドライバー38、各信号線44a,44b,44jに接続された第2のスイッチング素子46a,46b,46j、第2のスイッチング素子46a,46b,46jをオンにするための信号を送るための第2ドライバー40とを含む。各信号線44a,44b,44jは第2のスイッチング素子46a,46b,46jを介してシグナル端子32に接続される。また、第1ドライバー38及び第2ドライバー40は、それぞれ第1ドライバー駆動端子36及び第2ドライバー駆動端子34に接続されている。
【0021】
第2のスイッチング素子46a,46b,46jは、MOSFETなどの3端子素子を使用する。第1ドライバー38及び第2ドライバー40は、シフトレジスタを使用する。
【0022】
アレイ基板12を検査する検査装置10は、信号線の寄生容量48a,48b,48jに電荷を書き込むための信号を発生する書き込み回路16と、信号線の寄生容量48a,48b,48jに残留する電荷をクリアするクリア回路18と、信号線の寄生容量48a,48b,48jに蓄積された電荷を読み出す読み出し回路20と、第1ドライバー38にパルス信号を入力する第1タイミング回路24と、第2ドライバー40にパルス信号を入力する第2タイミング回路22と、を含むように構成される。
【0023】
また、書き込み回路16、読み出し回路20、及びクリア回路18は、それぞれ第1スイッチ26、第2スイッチ30、及び第3スイッチ28を介して第2のスイッチング素子46a,46b,46jに接続されている。従って、第1スイッチ26、第2スイッチ30、及び第3スイッチ28は、それぞれ書き込み回路16、読み出し回路20、及びクリア回路18と第2のスイッチング素子46a,46b,46jとの間の接続を制御することになる。第1スイッチ26、第2スイッチ30、及び第3スイッチ28はMOSFETなどで構成できる。第1スイッチ26、第2スイッチ30、及び第3スイッチ28をそれぞれ書き込み回路16、読み出し回路20、及びクリア回路18に内蔵することも可能である。
【0024】
図2を使用して検査装置10を使用したアレイ基板12の検査方法について説明する。なお、制御線はi本、信号線はj本あり、その交叉部に画素54があるとする。先ず、第1スイッチ26をオンにし、書き込み回路16と第2のスイッチング素子46a,46b,46jとを接続する。第1タイミング回路24からパルス信号を第1ドライバー38に入力する。第1ドライバー38は、第1の制御線42aに第1のスイッチング素子50をオンにする信号を印加する。第1の制御線42aに属する第1のスイッチング素子50は、その信号によってオンになる。
【0025】
また、第2タイミング回路22から第2ドライバー40にパルス信号を所定間隔で入力する。第2ドライバー40はパルス信号が入力される毎に、複数の第2のスイッチング素子46a,46b,46jに対して、順番に第2のスイッチング素子46a,46b,46jをオンにする信号を入力する。従って、複数の第2のスイッチング素子46a,46b,46jは順番にオンになる。例えば、第2のスイッチング素子46aがオンになったことによって、図3のように、書き込み回路16と第1の信号線44aの寄生容量48aとが接続され、書き込み回路16から寄生容量48aに書き込み信号Vdを印加することによって、寄生容量48aに電荷が書き込まれる。第2のスイッチング素子46a,46b,46jは順番にオンになるため、複数の信号線の寄生容量48a,48b,48jには、順番に電荷が書き込まれる。
【0026】
ここで、信号線の寄生容量48a,48b,48jに書き込まれる電荷をQbus_w1、寄生容量48a,48b,48jの容量をCbus、書き込み信号の電圧をVdとすると、式1のようになる。また、寄生容量48a,48b,48jへの電荷の書き込み時間Teffect_ sw2は、第2のスイッチング素子のオン抵抗56をReffect_ sw2とすると、Teffect_ sw2=Reffect_ sw2×Cbusのようになる。例えば、Reffect_ sw2を10kΩ、Cbusを100pFとすると、Teffect_ sw2は1μs(マイクロ秒)になる。しかし、実際には、測定系(検査装置10)の時定数RCtesterを無視することができず、式2のようになる。
【0027】
【数1】
【0028】
【数2】
【0029】
また、第1の制御線42aに属する第1のスイッチング素子50がオンになっているため、寄生容量48a及び補助容量52は、第1のスイッチング素子50のオン抵抗58を含めて図4のような回路で表せる。寄生容量48aに書き込まれた電荷を利用して、第1の制御線42aと第1の信号線44aの交叉部にある画素54の補助容量52に電荷が書き込まれる。
【0030】
寄生容量に電荷が書き込まれるとき、制御線がオンになっているが、第1のスイッチング素子のオン抵抗が高く、補助容量の時定数が大きいため、寄生容量に電荷が書き込まれ、補助容量はほとんど電荷が書き込まれない。寄生容量に電荷が書き込まれた後、第2のスイッチング素子をオフにするため、図4に示すような回路構成になり、寄生容量が電源となって補助容量に電荷を書き込む。
【0031】
補助容量52に電荷を書き込んだ後の寄生容量48a及び補助容量52にかかる電圧をVd_w2とすると、式3のようになる。なお、Csは補助容量52の容量である。例えば、寄生容量48a及び補助容量52の容量をそれぞれ100pF及び0.1pFとすると、Cbus×Vd_w2》Cs×Vd_w2であるから、式3は、式4として近似できる。従って、式1と式4により、Vd_w2は、ほぼVdとなり、補助容量52に書き込み信号の電圧Vdで電荷を書き込んだことと同じになる。
【0032】
【数3】
【0033】
【数4】
【0034】
補助容量52に電荷を書き込むための書き込み時間(時定数)Teffect_ sw1は、第1のスイッチング素子50のオン抵抗58をReffect_ sw1とすると、式5のようになる。例えば、Reffect_ sw1を300MΩ、Csを0.1pFとすると、書き込み時間は、30μsになる。
【0035】
【数5】
【0036】
また、第jの信号線44jに接続された第2のスイッチング素子46jがオンからオフに切り替わった後も、所定時間の間は第1ドライバー38から第1の制御線42aに第1のスイッチング素子50をオンにする信号を印加し続ける。このことによって、第jの信号線44jに接続された第2のスイッチング素子46jがオフになった後も、所定時間の間は、第1の制御線42aに属する第1のスイッチング素子50はオンの状態が続く。この所定時間の間に、寄生容量48jに書き込まれた電荷を使用して補助容量52に電荷を書き込む。所定時間は、式5で示した値とすることによって、補助容量52に電荷を書き込むことができる。
【0037】
以上より、短時間で寄生容量48a,48b,48jに順次電荷を書き込んだ後に、補助容量52に電荷を書き込んでいる。補助容量52への電荷の書き込み時間は、寄生容量48a,48b,48jへの電荷の書き込み時間に比べて長いため、時間的に重なり合いながら複数の補助容量52に電荷が書き込まれる。従って、従来のように1つの補助容量52に電荷を書き込んだ後、次の補助容量52に電荷を書き込まずに重複して電荷を書き込んでいるため、従来と比較して本発明は短時間で補助容量52への電荷の書き込みが終了する。
【0038】
次に、クリア回路18を使用して寄生容量48a,48b,48jに残留している電荷のクリアを行う。このクリアに要する時間をクリア時間とする。第3スイッチ28をオンにし、クリア回路18と各第2のスイッチング素子46a,46b,46jとを接続する。第2タイミング回路22から第2ドライバー40に所定間隔でパルス信号を入力する。第2ドライバー40は、複数の第2のスイッチング素子46a,46b,46jに対して順番に第2のスイッチング素子をオンにする信号を入力していく。従って、第2のスイッチング素子46a,46b,46jは、順番にオンになっていく。第2のスイッチング素子46a,46b,46jがオンになっている間、寄生容量48a,48b,48jとクリア回路18とが第2のスイッチング素子46a,46b,46jを介して接続される。
【0039】
上述のようなクリアを行ったり、後述するように、補助容量の電荷を読み出した後に寄生容量のクリアを行うのは、補助容量に電荷を書き込んだり読み出したりする際に、寄生容量に電荷を書き込んでいるため、寄生容量に電荷が残留していると、正しく電荷を検出することができず、正確な検査ができないためである。
【0040】
クリア時間は、例えば、式2と同じにする。また、第jの信号線44jに接続された第2のスイッチング素子46jがオンからオフに切りかえられた後、または同時に第3スイッチ28をオフにする。
【0041】
寄生容量48a,48b,48j及び補助容量52への電荷の書き込み、及び寄生容量48a,48b,48jの電荷のクリアが完了した後、再び上記の工程を繰り返す。繰り返す際、第1タイミング回路24から第1ドライバー38にパルス信号が入力されると、第1の制御線42aにかえてその隣の第2の制御線42bに、第1のスイッチング素子をオンにする信号を入力する。即ち、上記の工程を繰り返すたびに、第1のスイッチ素子をオンにする信号を入力する制御線を順番にかえていく。従って、制御線の本数だけ上記の工程を繰り返すことになり、全ての制御線42a,42b,42iに第1のスイッチング素子をオンにする信号を印加することによって、全ての補助容量52に電荷を蓄積することができる。
【0042】
補助容量52に電荷を蓄積した後、保持時間と呼ぶ所定時間経過後、各補助容量52が保持している電荷を読み出す。この読み出す際に補助容量52に蓄積されている電荷Qcs_r1は、補助容量52の電極にかかっている電圧をVd_r1とすると、式6のようになっている。
【0043】
【数6】
【0044】
第1タイミング回路24からパルス信号を第1ドライバー38に入力する。第1ドライバー38は、第1の制御線42aに第1のスイッチング素子をオンにするための信号を印加する。第1の制御線42aに属する第1のスイッチング素子50はオンになる。
【0045】
第1のスイッチング素子50がオンになったことによって、図4に示すように、オンになった第1のスイッチング素子50に接続された補助容量52と信号線44aの寄生容量48aとが、並列に接続される。このことにより、補助容量52に蓄積されている電荷は、寄生容量48aに電荷を書き込むのに使用される。
【0046】
また、式6で示した補助容量52の電荷は、第1のスイッチング素子50がオンになったことによって、式7のようになる。なお、Vd_r2は寄生容量48a及び補助容量52にかかる電圧である。式7の第1項は寄生容量48aに蓄積される電荷であり、第2項は補助容量52に残留する電荷である。例えば、補助容量52と寄生容量48aの容量は、それぞれ0.1pFと100pFであり、Cbus×Vd_r2》Cs×Vd_r2となるので、式7は式8として近似できる。従って、補助容量52の電荷が寄生容量48aに移し替えられたことになる。
【0047】
【数7】
【0048】
【数8】
【0049】
補助容量52の電荷を寄生容量48aに移し替えた後、即ち、第1ドライバー38から第1の制御線42aに第1のスイッチング素子をオンにするための信号を印加した後、所定時間経過後に、第2スイッチ30をオンにし、読み出し回路20と第2のスイッチング素子46a,46b,46jとを接続する。また、これと同時に第2タイミング回路22から第2ドライバー40にパルス信号を所定間隔で入力する。第2ドライバー40は複数の第2のスイッチング素子46a,46b,46jに対して、順番に第2のスイッチング素子をオンにするための信号を印加する。従って、複数の第2のスイッチング素子46a,46b,46jは、順番にオンになっていく。複数の第2のスイッチング素子46a,46b,46jが順番にオンになると読み出し回路20と寄生容量48a,48b,48jとが順番に接続される。この時に寄生容量48a,48b,48jに蓄積された電荷を読み出す。電荷を読み出す代わりに寄生容量48a,48b,48jの電位を読み出しても良い。
【0050】
寄生容量48a,48b,48jに蓄積された電荷を読み出した後、第1ドライバー38から第1の制御線42aに第1のスイッチング素子をオンにするための信号を印加するのを中止する。また、第2スイッチ30をオフにする。
【0051】
次に、寄生容量48a,48b,48jに残留している電荷のクリアを行う。第2スイッチ28をオンにしてクリア回路18と第2のスイッチング素子46a,46b,46jとを接続する。第2タイミング回路22から第2ドライバー40にパルス信号を所定間隔で入力する。第2ドライバー40は複数の第2のスイッチング素子46a,46b,46jに対して順番に第2のスイッチング素子をオンにするための信号を印加する。複数の第2のスイッチング素子46a,46b,46jは順番にオンになり、クリア回路18と寄生容量48a,48b,48jとが順番に接続される。補助容量52に電荷を書き込んだ後に行ったクリアと同様に、寄生容量48a,48b,48jに残留している電荷が除去される。
【0052】
以上の補助容量52の電荷の読み出し、及び寄生容量48a,48b,48jの電荷のクリアが完了した後、再びその工程を繰り返す。繰り返す際、第1タイミング回路24から第1ドライバー38にパルス信号が入力されると、第1の制御線42aにかえてその隣の第2の制御線42bに、第1のスイッチング素子をオンにする信号を入力する。即ち、上記の工程を繰り返すたびに、第1のスイッチ素子をオンにする信号を入力する制御線を順番にかえていく。従って、制御線の本数だけ上記の工程を繰り返すことになり、全ての制御線42a,42b,42iに第1のスイッチング素子をオンにする信号を印加することによって、全ての補助容量52の電荷を読み出すことができる。
【0053】
上記の工程によって、全ての補助容量52に蓄積され、保持されている電荷を読み出すことができる。所定の電荷を読み出すことができない補助容量52が存在した場合、補助容量52、第1のスイッチング素子50の充電特性・保持特性、各配線のショートやオープンなどの不良と判断することができる。
【0054】
以上より、補助容量52の電荷を寄生容量48a,48b,48jに蓄積させた後、その電荷(またはその電荷によって生じる電位)を読み出すことによってアレイ基板12の検査を行っている。補助容量52から寄生容量48a,48b,48jに電荷を蓄積させる際、寄生容量48a,48b,48jから補助容量52に電荷を蓄積させるときと同様に、複数の補助容量52が時間的に重複して寄生容量48a,48b,48jに電荷を蓄積させるため、電荷の読み出し時間の短縮が図られている。
【0055】
その他、第iの制御線42iに属する補助容量52の電荷を読み出した後、寄生容量48a,48b,48jのクリアを省いても良い。
【0056】
更には、アレイ基板12を複数のブロックに分割して、ブロック毎に上記の全ての工程を行って、アレイ基板12の不良を検査することもできる。
【0057】
ポリシリコンLCDのアレイ基板12を用いて説明したが、その他EL(Electroluminescence)ディスプレイのアレイ基板などでも良い。
【0058】
以上、本発明のアレイ基板の検査装置及び検査方法について説明したが、従来では使用されていなかった信号線の寄生容量を使用したため、従来に比べて短時間でアレイ基板の検査を行うことができる。
【0059】
本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。その他、本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づき種種なる改良、修正及び変形を加えた態様で実施できるものである。
【0060】
【発明の効果】
本発明によると、従来使用していなかった信号線の寄生容量を使用して補助容量への電荷の書き込み及び読み出しを行うため、短時間でアレイ基板の検査が終了できる。従って、短時間に多数のアレイ基板の検査を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のアレイ基板の検査装置とアレイ基板の回路構成を示す図である。
【図2】本発明のアレイ基板の検査方法のタイミングチャートである。
【図3】第2のスイッチング素子がオンになったときの回路図である。
【図4】第1のスイッチング素子がオンになったときの回路図である。
【図5】従来のアレイ基板の検査装置とアレイ基板の回路構成を示す図である。
【図6】従来のアレイ基板の検査方法のタイミングチャートである。
【符号の説明】
10,60:検査装置
12:アレイ基板
14:画素部
16:書き込み回路
18:クリア回路
20:読み出し回路
22:第2タイミング回路
24:第1タイミング回路
26:第1スイッチ
28:第3スイッチ
30:第2スイッチ
32:シグナル端子
34:第2ドライバー駆動端子
36:第1ドライバー駆動端子
38:第1ドライバー
40:第2ドライバー
42a,42b,42c,42i:制御線
44a,44b,44j:信号線
46a,46b,46j:第2のスイッチング素子
48a,48b,48j:信号線の寄生容量
50:第1のスイッチング素子
52:補助容量(容量素子)
54:画素(画素セル)
56:第2のスイッチング素子のオン抵抗
58:第1のスイッチング素子のオン抵抗
Claims (8)
- 複数の制御線と、
前記複数の制御線と交叉する複数の信号線と、
前記制御線と信号線の交叉部に配置された画素セルを含み、
各前記画素セルが、
関連する制御線に接続された制御端子、及び関連する信号線に接続された第1通電端子とを有するスイッチング素子と、
前記スイッチング素子の第2通電端子に接続された容量素子とを有する
アレイ基板を検査する検査装置であって、
所定の信号線の寄生容量に電荷を書き込む手段と、
前記所定の信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を、選択された制御線と関連する画素セルの前記容量素子に転送し、前記関連する画素セルの容量素子に電荷を書き込む手段と、
前記関連する画素セルの容量素子への電荷の書き込み後に、前記信号線の電荷をクリアする手段と、
前記容量素子に書き込まれた電荷を前記信号線に転送し、前記信号線の寄生容量に電荷を書き込む手段と、
前記信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を検出する手段と
を含む検査装置。 - 複数の制御線と、
前記複数の制御線と交叉する複数の信号線と、
前記制御線と信号線の交叉部において該制御線に第1端子、該信号線に第2端子が接続された第1のスイッチング素子と、
前記第1のスイッチング素子の第3端子に接続された容量素子と、
前記制御線に前記第1のスイッチング素子をオンにするための信号を供給する第1ドライバーと、
それぞれの前記信号線に第2端子が接続された第2のスイッチング素子と、
前記第2のスイッチング素子の第1端子に接続され、該第2のスイッチング素子をオンにするための信号を供給する第2ドライバーと、
を含むアレイ基板を検査するための検査装置であって、
前記信号線の寄生容量に電荷を書き込むための信号を発生する書き込み回路と、
前記信号線の寄生容量に残留する電荷をクリアするクリア回路と、
前記信号線の寄生容量に蓄積された電荷または該信号線の寄生容量の電位を読み出す読み出し回路と、
前記第1ドライバーにパルス信号を入力する第1タイミング回路と、
前記第2ドライバーにパルス信号を入力する第2タイミング回路と、
前記書き込み回路と前記第2のスイッチング素子の接続を制御する第1スイッチと、
前記読み出し回路と前記第2のスイッチング素子の接続を制御する第2スイッチと、
前記クリア回路と前記第2のスイッチング素子の接続を制御する第3スイッチと
を含み、
前記補助容量に電荷を書き込む際、第1ドライバーによって所定の第1スイッチング素子をオンにしながら第2ドライバーによって所定の第2スイッチング素子をオンにして、オンになった第2スイッチング素子が接続された信号線の寄生容量に対して書き込み回路が電荷を蓄積し、該寄生容量に電荷を蓄積した後に第1スイッチング素子をオンにした状態で第2スイッチング素子をオフにして該電荷を補助容量に書き込み、
前記補助容量に電荷を書き込み後、クリア回路が信号線の電荷をクリアし、
前記補助容量の電荷を読み出す際、第1ドライバーによって所定の第1スイッチング素子をオンにして補助容量の電荷を信号線の寄生容量に転送した後、第2ドライバーによって第2スイッチング素子をオンにし、読み出し回路が寄生容量の電荷を読み出す
検査装置。 - 複数の制御線と、
前記制御線と交叉する複数の信号線と、
前記制御線と信号線との交叉部に配置された画素セルとを有し、
各前記画素セルが、
関連する制御線に接続された制御端子、及び関連する信号線に接続された第1通電端子とを有するスイッチング素子と、
前記スイッチング素子の第2通電端子に接続された容量素子とを有する
アレイ基板の検査方法であって、
所定の信号線の寄生容量に電荷を書き込むステップと、
前記所定の信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を、選択された制御線と関連する画素セルの前記容量素子に転送し、前記関連する画素セルの容量素子に電荷を書き込むステップと、
前記信号線の寄生容量に残留する電荷をクリアするステップと、
前記容量素子に書き込まれた電荷を前記信号線に転送し、前記信号線の寄生容量に電荷を書き込むステップと、
前記信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を読み取るステップと
を含む検査方法。 - 複数の制御線と、
前記制御線と交叉する複数の信号線と、
前記制御線と信号線との交叉部に配置され、それぞれ、関連する制御線に接続された制御端子、関連する信号線に接続された第1通電端子及び第2通電端子を有する第1のスイッチング素子、及び前記第1のスイッチング素子の第2通電端子に接続された容量素子とを有する画素セルと、
前記制御線を選択的に駆動する第1のドライバーと、
制御端子、第1通電端子、及び関連する信号線に接続された第2通電端子を有する第2のスイッチング素子と、
前記第2のスイッチング素子の制御端子に接続された第2のドライバーと、
前記第2のスイッチング素子の第1通電端子に選択的に接続される書き込み回路と、
前記第2のスイッチング素子の第1通電端子に選択的に接続されるクリア回路と、
前記第2のスイッチング素子の第1通電端子に選択的に接続される読み取り回路と
を含むアレイ基板の検査方法であって、
(a)前記第1のドライバーにより選択された制御線を駆動するステップと、
(b)前記第2のスイッチング素子の第1通電端子を前記書き込み回路に接続するステップと、
(c)前記第2のドライバーにより前記第2のスイッチング素子の制御端子を順次に駆動し、前記第2のスイッチング素子を介して前記信号線に順次に書き込み電圧を印加し、前記信号線の寄生容量に電荷を書き込むステップと、
(d)前記寄生容量に電荷を書き込んだ後の第2スイッチング素子がオフの時に、前記選択された制御線の駆動状態を維持し、所定の信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を、前記第1のスイッチング素子を介して、前記選択された制御線と関連する画素セルの前記容量素子に転送し、前記関連する画素セルの容量素子に電荷を書き込むステップと、
(e)前記選択された制御線の駆動を停止するステップと、
(f)前記第2のスイッチング素子の第1通電端子を前記クリア回路に接続するステップと、
(g)前記第2のドライバーにより前記第2のスイッチング素子の制御端子を順次に駆動し、前記信号線に残留する電荷をクリアするステップと、
(h)前記第1のドライバーにより前記選択された制御線を駆動し、前記選択された制御線に関連する画素セルの容量素子の電荷を、前記第1のスイッチング素子を介して、前記信号線に転送し、前記信号線の寄生容量に書き込むステップと、
(i)前記第2のスイッチング素子の第1通電端子を前記読み取り回路に接続するステップと、
(j)前記第2のドライバーにより前記第2のスイッチング素子の制御端子を順次に駆動し、前記第2のスイッチング素子を介して、前記信号線の寄生容量に書き込まれた電荷を読み取るステップと、
を含む検査方法。 - (g)の前記クリアするステップの後、前記選択された制御線を該制御線と隣り合う制御線にかえて、(a)から(g)の各ステップを繰り返す請求項4に記載の検査方法。
- 前記(a)から(g)の各ステップを繰り返した場合、前記電荷を読み取るステップの後、(k)前記信号線の寄生容量に残留する電荷をクリアするステップを含む請求項5に記載の検査方法。
- (k)の前記クリアするステップの後、前記選択された制御線を該制御線と隣り合う制御線にかえて、(h)から(k)の各ステップを繰り返す請求項6に記載の検査方法。
- 複数の前記画素セルを所定数毎に分割し、(a)から(j)の各ステップを行う請求項4乃至7に記載の検査方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001328656A JP4059312B2 (ja) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | アレイ基板の検査装置及びその検査方法 |
TW91122295A TWI222527B (en) | 2001-10-26 | 2002-09-27 | Apparatus and method for inspecting array substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001328656A JP4059312B2 (ja) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | アレイ基板の検査装置及びその検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003149281A JP2003149281A (ja) | 2003-05-21 |
JP4059312B2 true JP4059312B2 (ja) | 2008-03-12 |
Family
ID=19144685
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001328656A Expired - Fee Related JP4059312B2 (ja) | 2001-10-26 | 2001-10-26 | アレイ基板の検査装置及びその検査方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4059312B2 (ja) |
TW (1) | TWI222527B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4507559B2 (ja) * | 2003-10-30 | 2010-07-21 | 奇美電子股▲ふん▼有限公司 | 液晶ディスプレイのアレイ基板の検査装置および検査方法 |
-
2001
- 2001-10-26 JP JP2001328656A patent/JP4059312B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-09-27 TW TW91122295A patent/TWI222527B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI222527B (en) | 2004-10-21 |
JP2003149281A (ja) | 2003-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8223108B2 (en) | Array substrate and display apparatus having the same | |
EP1662472A2 (en) | Liquid crystal display device | |
CN1479911A (zh) | 测试方法、半导体器件和显示设备 | |
JP2002296620A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP2004271847A (ja) | 画像表示装置 | |
JP2012160255A (ja) | シフトレジスタとこれを有するスキャン駆動回路及び表示装置 | |
US7269051B2 (en) | Inspection method of array board and inspection equipment thereof | |
JP4790292B2 (ja) | アレイ基板及びこれを有する表示装置 | |
JP4059312B2 (ja) | アレイ基板の検査装置及びその検査方法 | |
JP2516197B2 (ja) | 半導体素子の検査方法 | |
JP3976821B2 (ja) | 液晶パネル用基板の検査方法 | |
JP3698365B2 (ja) | アレイ基板の検査装置および検査方法 | |
US7271612B2 (en) | Method for measuring thin film transistor array of active matrix display panel | |
JP2002116423A (ja) | 液晶表示装置とその検査方法 | |
JPH03142499A (ja) | 画像表示装置およびその検査方法 | |
JP4239299B2 (ja) | アクティブマトリックス型液晶表示装置 | |
JP2004061782A (ja) | 液晶表示装置 | |
JP4080057B2 (ja) | 液晶表示装置の検査方法 | |
KR101073041B1 (ko) | 어레이 기판 | |
JP4196922B2 (ja) | 液晶パネル用基板の検査方法 | |
JP2003075794A (ja) | アレイ基板の検査方法 | |
KR20060115518A (ko) | 표시 패널 및 이를 이용한 검사 방법 | |
KR100783703B1 (ko) | 액정 표시 패널과 이를 구비한 액정 표시 장치 | |
KR100976982B1 (ko) | 게이트 구동회로 및 이를 갖는 표시장치 | |
JPS63182696A (ja) | 液晶表示装置の欠陥検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070702 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070730 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070926 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071120 |
|
RD14 | Notification of resignation of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7434 Effective date: 20071121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071211 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101228 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101228 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111228 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |