JP4035716B2 - 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 - Google Patents
電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4035716B2 JP4035716B2 JP2002293798A JP2002293798A JP4035716B2 JP 4035716 B2 JP4035716 B2 JP 4035716B2 JP 2002293798 A JP2002293798 A JP 2002293798A JP 2002293798 A JP2002293798 A JP 2002293798A JP 4035716 B2 JP4035716 B2 JP 4035716B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mounting
- substrate
- electronic
- electronic element
- load
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/75251—Means for applying energy, e.g. heating means in the lower part of the bonding apparatus, e.g. in the apparatus chuck
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/095—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00 with a principal constituent of the material being a combination of two or more materials provided in the groups H01L2924/013 - H01L2924/0715
- H01L2924/097—Glass-ceramics, e.g. devitrified glass
- H01L2924/09701—Low temperature co-fired ceramic [LTCC]
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、電子素子を実装基板にバンプを介して実装してなる電子部品の製造装置および電子部品の製造方法に関し、特にフリップチップ等の電子素子をプリント回路基板等の実装基板上にバンプを介して実装してなる電子部品の製造装置および電子部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、例えばフリップチップ等の電子部品を実装基板に実装する際、電子部品と実装基板との熱膨張係数の差によって、接合バンプ部に歪みが生じて断線などが発生し、接合信頼性に悪影響を与えている。この問題の対策として、バンプのつぶれ量を抑えてバンプの高さを高くすることで、バンプと実装基板の接合面への応力を緩和して、接合信頼性を高める手法がとられてきた。
【0003】
上述したように、半田バンプのつぶれ量を抑制するための接続方法が種々開示されているが、例えば従来の半田バンプの接続方法では、回路部品と回路基板との間に弾性隆起体を介在させて、この弾性隆起体の復元力で回路部品を押し上げることによって、半田バンプのつぶれ量を抑制している(例えば、特許文献1参照。)。
【0004】
この従来の接続方法について、図面を参照して簡単に説明する。図3(a)に示すように、ポリイミド等からなる絶縁ベース材111の一方の面には、所望の回路配線パターン112が設けられており、この回路配線パターン112の表面に、接着剤114によってポリイミドフィルム等の表面保護フィルム115が貼着され、これらによって表面保護層が形成される。なお、この表面保護層は、ワニス状ポリイミドや絶縁性カバーコートインク等を印刷塗布することによって形成することも可能である。また、絶縁ベース材111には、接続用半田バンプ113が設けられた主面上に、例えばテフロン(登録商標)ゴムやシリコーンゴム等の弾性材からなる弾性隆起体117が設けられている。この弾性隆起体117は、絶縁ベース材111の主面からの高さが、接続用半田バンプ113のその高さよりも高くされて形成されている。
【0005】
図3(b)に示すように、まず、弾性隆起体117が設けられた回路配線基板上の接続用半田バンプ113と、IC(Integrated Circuit)チップ118の端子119とを対向させるように位置決めする。次に、接続用半田バンプ113を加熱溶融させながら押圧力を加えてICチップ118を押し下げ、ICチップ118の端子119を、溶融したその半田に浸すとともに、弾性隆起体117を圧縮させて弾性変形させる。そして、押圧力を解除したとき、弾性隆起体117の復元力によってICチップ118が押し上げられる。このため、溶融した接続用半田バンプ113は、ICチップ118の端子119と回路配線基板とに跨って引き伸ばされることで鼓状に形成される。
【0006】
以上の工程を経て、図3(c)に示すように、回路配線基板の配線パターン112は、鼓状の半田バンプ120を介してICチップ118の端子119と電気的に接続される。
【0007】
【特許文献1】
特開平04−299840号公報(第3欄11行―25行、図3)
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述した従来の接続方法には、以下のような問題点がある。
【0009】
従来の接続方法では、圧縮された弾性隆起体の弾性変形量が一定にならないため、半田バンプの押しつぶされる量を規定することが困難であり、特に、狭ピットバンプの場合に、隣接するバンプが接触してしまうことがある。また、回路配線基板上に形成された半田バンプは、形状にばらつきがあり、安定していないため、歪み応力を緩和しきれないことがある。したがって、従来の接続方法で接続された電子部品は、隣接するバンプとのショートや、剪断歪みの応力集中によって断線が生じるという問題がある。
【0010】
また、従来の接続方法は、回路配線基板上の、全てのICチップの搭載箇所に弾性隆起体をあらかじめ設置する必要があり、それに要する製造コストが嵩み、電子部品の製造コストが嵩んでしまうという問題がある。
【0011】
さらに、従来の接続方法は、弾性隆起体の復元力によって半田バンプのつぶれを押し戻させるため、押し戻り量が一定にならず、半田バンプの高さを一定にすることが困難である。したがって、製造される電子部品の品質のばらつきが大きくなり、品質が安定しないという問題もある。
【0012】
そこで、本発明は、電子部品の信頼性を向上させるとともに、製造コストを削減し、生産性の向上を図ることができる電子部品の製造装置および電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成するため、本発明に係る電子部品の製造装置は、電子素子を実装基板にバンプを介して実装してなる電子部品の製造装置であって、電子素子の接合面を実装基板の実装面に対向させて電子素子を保持する素子保持部と、実装基板の実装面を電子素子の接合面に対向させて実装基板を保持する基板保持部と、電子素子を実装基板に対して近接離間させる方向に素子保持部および基板保持部のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動する移動手段と、素子保持部と基板保持部との相対距離を検出する距離検出手段と、実装基板に対して押圧される電子素子の押圧荷重があらかじめ設定された設定荷重になるように制御するとともに距離検出手段からの信号に基づいて移動手段を制御する制御手段と、バンプを加熱するための加熱手段と、を備える。そして、本発明に係る電子部品の製造装置は、加熱手段でバンプを加熱している状態で制御手段によって押圧荷重の制御を行いながら、素子保持部と基板保持部とを離間させる方向に移動し、加熱手段によってバンプが加熱されているときに素子保持部と基板保持部とが最も離間された最大離間距離を距離検出手段が検出し、この最大離間距離から、あらかじめ設定されたバンプ押しつぶし距離だけ素子保持部と基板保持部とが近接されたときに、制御手段が、素子保持部および基板保持部のいずれか一方の移動を、固定されている他方に対して停止させる。
【0014】
以上のように構成された本発明に係る電子部品の製造装置によれば、電子素子を実装基板にバンプを介して加熱接合する際におけるバンプの押しつぶし量が確実に制御される。
【0015】
また、本発明に係る電子部品の製造装置が備える制御手段は、バンプが押しつぶされた状態から、素子保持部と基板保持部とを離間させる方向に、あらかじめ設定されたバンプ引き伸ばし距離だけ、素子保持部および基板保持部のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動させるように移動手段を制御することが好ましい。これによって、実装基板と電子素子とが確実に所定量だけ離間されるため、バンプが、実装基板の実装面に直交する方向に引き伸ばされて、一定の高さを有する鼓状に確実に形成される。
【0016】
また、本発明に係る電子部品の製造装置は、実装基板に対する電子素子の押圧荷重を検出する荷重測定部材を備え、制御手段は、荷重測定部材が検出した押圧荷重が、設定荷重よりも小さい場合に素子保持部と基板保持部とを近接させる方向に、設定荷重よりも大きい場合に素子保持部と基板保持部とを離間させる方向に、素子保持部および基板保持部の少なくとも一方を移動させるように移動手段を制御することが好ましい。これによって、バンプの高さが確実に制御される。
【0017】
また、本発明に係る電子部品の製造方法は、電子素子を実装基板にバンプを介して実装してなる電子部品の製造方法であって、電子素子の接合面を実装基板の実装面に対向させて前記電子素子を保持する素子保持工程と、実装基板の実装面を電子素子の接合面に対向させて実装基板を保持する基板保持工程と、電子素子と実装基板がバンプを介して接触させる位置に電子素子および実装基板のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動する移動工程と、実装基板に対して押圧される電子素子の押圧荷重が、あらかじめ設定された設定荷重になるように制御する荷重制御工程と、電子素子と実装基板との相対距離を検出する距離検出工程とを有する。そして、本発明に係る電子部品の製造方法は、バンプを加熱している状態で押圧荷重の制御を行いながら、電子素子と実装基板とを離間させる方向に移動し、バンプが加熱されているときに電子素子と実装基板とが最も離間された最大離間距離を検出し、この最大離間距離から、あらかじめ設定されたバンプ押しつぶし距離だけ電子素子と実装基板とが近接されたときに、電子素子および実装基板のいずれか一方の移動を、固定されている他方に対して停止させる。
【0018】
なお、本発明において、バンプとは、いわゆるバンプ接点をなす例えば半田や導電性樹脂等の接合材を指している。
【0019】
また、本発明において、バンプ引き伸ばし距離とは、バンプを、実装基板の実装面に直交する高さ方向に引き伸ばすために、素子保持部または基板保持部を移動させる移動距離を指しており、制御手段にあらかじめ設定されている。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の具体的な実施形態について図面を参照して説明する。本実施形態では、特にバンプとして半田バンプを用いてフリップチップ等の電子素子を実装基板上に実装してなる電子部品の製造装置および電子部品の製造方法について説明する。
【0021】
図1は、本発明に係る電子部品の製造装置を示す模式図、図2は、本発明に係る電子部品の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【0022】
図1に示すように、電子部品の製造装置1は、例えばICチップ等の電子素子2を実装基板3上に搭載するための搭載するための搭載ノズル5と、実装基板3が載置されて保持されるヒータテーブル6と、ヒータテーブル6に対して搭載ノズル5を近接離間させる図1中矢印a1およびa2方向に移動するためのアクチュエータ7と、電子素子2に対して実装基板3を実装面3aに平行な方向の位置を位置決めするための位置決めステージ8とを備えている。
【0023】
また、電子部品の製造装置1は、ヒータテーブル6に対する搭載ノズル5の距離を検出するための距離検出部材11と、実装基板3に対して加圧された電子素子2の加圧荷重を検出するための荷重測定部材12と、荷重測定部材12および距離検出部材11からの信号に基づいてアクチュエータ7および位置決めステージ8を駆動制御する制御部13とを備えている。
【0024】
搭載ノズル5は、あらかじめ端子(不図示)に半田バンプ4が設けられた電子素子2を吸着保持する。この搭載ノズル5は、電子素子2を吸着保持して実装基板3上に搭載した後、ヒータテーブル6上の実装基板3に対して電子素子2を加圧して電子素子2を加熱する。
【0025】
ヒータテーブル6は、電気加熱素子(不図示)を有しており、位置決めステージ8上に固定されている。ヒータテーブル6は、搭載ノズル5に対向する載置面6a上に載置された実装基板3を保持し、この実装基板3を電気加熱素子によって加熱する。
【0026】
アクチュエータ7には、例えばリニアモータ等が用いられている。アクチュエータ7は、位置決めステージ8によって電子素子2に対して実装基板3が位置決めされた後、搭載ノズル5を実装基板3の実装面3aに直交する矢印a1方向に下降させ、電子素子2の半田バンプ4を実装基板3上の電極に接触させる。
【0027】
位置決めステージ8は、実装基板3の実装面3aに平行な互いに直交する二軸方向に移動可能に設けられている。位置決めステージ8は、ヒータテーブル6上に保持された実装基板3を、搭載ノズル5に保持された電子素子2に対向する直下に移動させて、電子素子2の端子に設けられた半田バンプ4と、実装基板3の電極(不図示)とを対向させるように位置決めする。
【0028】
距離検出部材11は、例えばリニアエンコーダ等によって構成されており、アクチュエータ7の位置を検出することによって、ヒータテーブル6に対する搭載ノズル5の距離(相対位置)を検出する。なお、本実施形態では、アクチュータ7によって、ヒータテーブル6に対して搭載ノズル5が移動(下降)されるように構成されるが、搭載ノズル5に対してヒータテーブル6が移動(上昇)されるように構成されてもよい。このように構成された場合、距離検出部材11は、搭載ノズル5に対するヒータテーブル6の距離を検出する。また、搭載ノズル5およびヒータテーブル6がそれぞれ移動されるように構成されてもよいことは勿論である。
【0029】
荷重測定部材12は、ロードセル等の測定器やオブザーバ等の測定機器によって構成されており、実装基板3に対して押圧された電子素子2の押圧荷重を検出する。また、荷重測定部材12としては、例えば光学式の検出素子や、機械式の検出機構が用いられてもよいことは勿論である。
【0030】
制御部13は、図示しないが、CPUやメモリ等からなるデジタル信号処理回路を有しており、プログラム制御によって、距離検出部材11からの距離信号に基づいてアクチュエータ7を駆動制御するとともに、ヒータテーブル6および位置決めステージ8をそれぞれ制御する。また、制御部13には、実装基板3に対して電子素子2の半田バンプ4を押圧する押圧荷重や、半田バンプ4を所定量だけ押しつぶすために実装基板3に対して電子素子2を近接させる方向に移動させるバンプ押しつぶし距離、および半田バンプ4を実装基板3の実装面3aに直交する高さ(以下、単に半田バンプ4の高さと称する。)方向に半田バンプ4を引き伸ばすために実装基板3に対して電子素子2を離間させる方向に移動させるバンプ引き伸ばし距離等の各種制御条件等が設定されている。
【0031】
制御部13は、荷重測定部材12が、電子素子2の半田バンプ4と実装基板3の電極とが接触した後の押圧荷重を検出した際、荷重測定部材12から荷重信号を受け、押圧荷重があらかじめ設定された設定荷重になるようアクチュエータ7をフィードバック制御する。あらかじめ設定された設定荷重としては、一定荷重の他、時間とともに変化するプロファイル荷重も含まれる。また、制御部13は、電子素子2の半田バンプ4と実装基板3の電極とが接触した後の押圧荷重があらかじめ設定された設定荷重になるよう制御している状態において、ヒータテーブル6と搭載ノズル5との距離(相対位置)を距離検出部材11によって常時検出する。
【0032】
次に、本実施形態の電子部品の製造装置1について、実装基板3上に電子素子2を実装するための各工程を、図面を参照して説明する。
【0033】
まず、図2に示すように、ステップ51から開始して、搭載ノズル5によって電子素子2を吸着保持する(ステップ52)。一方、実装基板3をヒータテーブル6によって保持する(ステップ53)。次に、位置決めステージ8を二軸方向に移動させて、実装基板3上の電極の位置を電子素子2の半田バンプ4に対向させるように位置決めする(ステップ54)。なお、本実施形態では、半田バンプ4が電子素子2の端子にあらかじめ付着されているが、半田バンプ4が実装基板3上の電極にあらかじめ付着させておいてもよい。
【0034】
実装基板3に対して電子素子2が位置決めされた後、搭載ノズル5を矢印a1方向に下降させて、電子素子2の半田バンプ4を実装基板3の電極に接触させる(ステップ55)。あるいは、位置決め後に、ヒータテーブル6を矢印a2方向に上昇させて、電子素子2の半田バンプ4を実装基板の2に接触させるように構成されてもよい。この構成の場合には、距離検出部材11が、搭載ノズル5に対するヒータテーブル6の距離を検出するように構成される。
【0035】
距離検出部材11からの検出信号に基づいて、アクチュエータ7によってヒータテーブル6に対する搭載ノズル5の位置を制御している状態で、電子素子2と実装基板3をそれぞれ加熱する(ステップ56)。しかし、このときヒータテーブル6および搭載ノズル5の熱膨張に伴って、電子素子2と実装基板3との間隔が狭められるため、実装基板3に押圧される電子素子2の押圧荷重が増大し、その結果、電子素子2と実装基板3が衝突してしまうことも起こりうる。
【0036】
この問題を回避するために、本発明では、制御部13が、加熱中の電子素子2が実装基板3に押圧される押圧荷重を計測し、この押圧荷重があらかじめ設定された設定荷重よりも小さい場合には、搭載ノズル5を実装基板3に近接させる矢印a1方向に移動させ、あらかじめ設定された設定荷重よりも大きい場合には、搭載ノズル5を実装基板3から離間させる矢印a2方向に移動させることによって、押圧荷重があらかじめ設定された一定の設定荷重になるように制御する(ステップ57)。なお、例えばシリンダやVCM(Voice Coil Motor)等の加圧機構で電子素子2を実装基板3に押圧することで、押圧荷重があらかじめ設定された設定荷重になるように制御するように構成されてもよい。この構成の場合には、ヒータテーブル6および搭載ノズル5が熱膨張したときに、搭載ノズル5が上昇され、押圧荷重が設定された設定荷重に保たれる。
【0037】
しかしながら、上述したように、押圧荷重があらかじめ設定された設定荷重になるように制御するだけでは、制御部13は、半田バンプ4の溶融時に押圧荷重が激減したときにおいても、押圧荷重をあらかじめ設定された設定荷重にさせるために搭載ノズル5を実装基板3に近接させる方向に移動させるが、押圧荷重が設定値まで上昇しないため、最終的に、電子素子2が実装基板3に衝突してしまう。
【0038】
この問題を回避するために、本発明において、制御部13は、あらかじめ設定された設定荷重になるように制御されている搭載ノズル5の位置を距離検出部材11によって検出し、搭載ノズル5がヒータテーブル6から最も離間された最大上昇位置を記憶する(ステップ59)。そして、制御部13は、最大上昇位置またはその位置近傍から、あらかじめ設定されたバンプ押しつぶし距離以上に搭載ノズル5が実装基板3に近接する方向に移動されたときに、搭載ノズル5の移動を停止させるように制御する(ステップ60)。
【0039】
すなわち、制御部13は、電子素子2および実装基板3の加熱中、ヒータテーブル6および搭載ノズル5の熱膨張に応じて、押圧荷重があらかじめ設定された設定荷重になるよう制御を行いながら、搭載ノズル5が徐々に上昇され(ステップ58)、搭載ノズル5が最も上昇された最大上昇位置あるいはその位置近傍を常時更新する(ステップ59)。
【0040】
半田バンプ4が融点に達したとき、半田バンプ4は溶融し、押圧荷重が激減する。このとき、制御部13は、押圧荷重を設定値に戻すために搭載ノズル5を実装基板3に近接させる矢印a1方向に移動させるが、制御部13に記憶されている搭載ノズル5の最大上昇位置またはその位置近傍から、あらかじめ設定されているバンプ押しつぶし距離までしか搭載ノズル5を実装基板3側に移動できない。そして、搭載ノズル5が、最大上昇位置またはその位置近傍からバンプ押しつぶし距離だけ矢印a1方向に移動された位置に到達したときに、制御部13は搭載ノズル5の移動を停止させるようアクチュエータ7を制御する(ステップ60)。また、押圧荷重の制御中に、すでに半田バンプ4がつぶされていることもあり、すでにつぶれた距離だけバンプ押しつぶし距離を補正するように構成されてもよい。
【0041】
最後に、ステップ61で、搭載ノズル5をあらかじめ設定されたバンプ引き伸ばし距離だけ矢印a2方向に移動させることによって、半田バンプ4を高さ方向に所定量だけ引き伸ばし、引き伸ばされた半田バンプ4を放熱させて、ステップ62で終了する。
【0042】
このように半田バンプ4を高さ方向に所定量だけ引き伸ばされることで、半田バンプ4は、高さ方向の略中央部がくびれた鼓状に形成されて、低歪構造とされる。したがって、ステップ61の動作により、半田バンプ4が溶融した後に、半田バンプ4が押しつぶされて、高さ方向の略中央が膨張した太鼓状に形成されることが確実に防止される。したがって、常に一定の高さの鼓状に形成された半田バンプ4を介して、電子素子2の端子と実装基板3の電極とが接合される。
【0043】
上述したように、本実施形態の電子部品の製造装置1および電子部品の製造方法によれば、電子素子2を実装基板3に半田バンプ4を介して加熱接合する際における半田バンプ4の押しつぶし量を確実に制御することができる。したがって、電子部品の製造装置1および電子部品の製造方法によれば、製造された電子部品に、電子部品における隣接する半田バンプ4でのショートや、応力集中による断線が生じることが確実に防止され、電子部品における半田バンプ4の高さのばらつきが低減されるため、電子部品の品質を安定させることができる。
【0045】
また、本発明に係る実装基板としては、例えばプリント回路基板や、セラミック基板、ガラス基板等に適用されて好適である。
【0046】
【発明の効果】
上述したように本発明によれば、電子素子を実装基板にバンプを介して加熱接合する際におけるバンプの押しつぶし量が確実に制御されるため、バンプを押しつぶし過ぎることを確実に防止することができる。したがって、本発明によれば、製造された電子部品に、隣接するバンプとのショートや、応力集中による断線が生じることを確実に防止することができる。
【0047】
また、本発明によれば、実装基板と電子素子とが確実に所定の距離だけ離間されるため、一定の高さを有する鼓状のバンプを確実に形成することができる。
【0048】
また、本発明によれば、製造装置が備える制御手段によって距離検出手段からの信号に基づいて移動手段が制御されることで、バンプの高さが確実に制御されるので、従来のように全てのICチップ搭載箇所に弾性隆起体を設置するためのコストが不要になり、生産性が向上される。したがって、本発明によれば、電子部品の製造コストを大幅に削減することができる。
【0049】
また、本発明によれば、バンプを押しつぶした後の引き伸ばし量が規定値に保たれるため、バンプの高さを一定にすることができる。したがって、本発明によれば、製造された電子部品におけるバンプの高さのばらつきを少なくすることが可能になり、電子部品の品質を安定させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る電子部品の製造装置を示す模式図である。
【図2】本発明に係る電子部品の製造方法を説明するためのフローチャートである。
【図3】従来の接続方法による電子素子と実装基板の要部を示し、(a)は加圧前の状態、(b)は加圧状態、(c)は接続完了後を示す断面図である。
【符号の説明】
1 電子部品の製造装置
2 電子素子
3 実装基板
3a 実装面
4 半田バンプ
5 搭載ノズル
6 ヒータテーブル
7 アクチュエータ
8 位置決めステージ
11 距離検出部材
12 荷重測定部材
13 制御部
111 絶縁ベース材
112 回路配線パターン
113 接続用半田バンプ
114 接着剤
115 表面保護フィルム
117 弾性隆起体
118 ICチップ
119 端子
120 鼓状の半田バンプ
Claims (7)
- 電子素子を実装基板にバンプを介して実装してなる電子部品の製造装置であって、
前記電子素子の接合面を前記実装基板の実装面に対向させて前記電子素子を保持する素子保持部と、
前記実装基板の実装面を前記電子素子の接合面に対向させて前記実装基板を保持する基板保持部と、
前記電子素子を前記実装基板に対して近接離間させる方向に、前記素子保持部および前記基板保持部のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動する移動手段と、
前記素子保持部と前記基板保持部との相対距離を検出する距離検出手段と、
前記実装基板に対して押圧される前記電子素子の押圧荷重が、あらかじめ設定された設定荷重になるように制御するとともに、前記距離検出手段からの信号に基づいて前記移動手段を制御する制御手段と、
前記バンプを加熱するための加熱手段と、を備え、
前記加熱手段で前記バンプを加熱している状態で前記制御手段によって押圧荷重の制御を行いながら、前記素子保持部と前記基板保持部とを離間させる方向に移動し、前記加熱手段によって前記バンプが加熱されているときに前記素子保持部と前記基板保持部とが最も離間された最大離間距離を前記距離検出手段が検出し、前記最大離間距離から、あらかじめ設定されたバンプ押しつぶし距離だけ前記素子保持部と前記基板保持部とが近接されたときに、前記制御手段が、前記素子保持部および前記基板保持部のいずれか一方の移動を、固定されている他方に対して停止させることを特徴とする電子部品の製造装置。 - 前記制御手段は、前記バンプが押しつぶされた状態から、前記素子保持部と前記基板保持部とを離間させる方向に、あらかじめ設定されたバンプ引き伸ばし距離だけ、前記素子保持部および前記基板保持部のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動させるように前記移動手段を制御する請求項1に記載の電子部品の製造装置。
- 前記実装基板に対する前記電子素子の押圧荷重を検出する荷重測定部材を備え、前記制御手段は、前記荷重測定部材が検出した押圧荷重が、前記設定荷重よりも小さい場合に前記素子保持部と前記基板保持部とを近接させる方向に、前記設定荷重よりも大きい場合に前記素子保持部と前記基板保持部とを離間させる方向に、前記素子保持部および前記基板保持部のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動させるように前記移動手段を制御する請求項1または2に記載の電子部品の製造装置。
- 前記実装基板に対して前記電子素子を、前記制御部からの制御信号に応じた加圧力で加圧する加圧機構を備え、前記制御手段は、前記設定荷重に相当する加圧力を発生させるように前記加圧機構を制御する請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子部品の製造装置。
- 電子素子を実装基板にバンプを介して実装してなる電子部品の製造方法であって、
前記電子素子の接合面を前記実装基板の実装面に対向させて前記電子素子を保持する素子保持工程と、
前記実装基板の実装面を前記電子素子の接合面に対向させて前記実装基板を保持する基板保持工程と、
前記電子素子と前記実装基板が前記バンプを介して接触させる位置に、前記電子素子および前記実装基板のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動する移動工程と、
前記実装基板に対して押圧される前記電子素子の押圧荷重が、あらかじめ設定された設定荷重になるように制御する荷重制御工程と、
前記電子素子と前記実装基板との相対距離を検出する距離検出工程とを有し、
前記バンプを加熱している状態で押圧荷重の制御を行いながら、前記電子素子と前記実装基板とを離間させる方向に移動し、前記バンプが加熱されているときに前記電子素子と前記実装基板とが最も離間された最大離間距離を検出し、前記最大離間距離から、あらかじめ設定されたバンプ押しつぶし距離だけ前記電子素子と前記実装基板とが近接されたときに、前記電子素子および前記実装基板のいずれか一方の移動を、固定されている他方に対して停止させる電子部品の製造方法。 - 前記バンプを押しつぶした状態から、前記電子素子と前記実装基板とを離間させる方向に、あらかじめ設定されたバンプ引き伸ばし距離だけ前記電子素子および前記実装基板のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動するように制御する請求項5に記載の電子部品の製造方法。
- 前記荷重制御工程は、前記実装基板に対する前記電子素子の押圧荷重を検出し、検出された前記押圧荷重が、前記設定荷重よりも小さい場合に前記電子素子と前記実装基板とを近接させる方向に、前記設定荷重よりも大きい場合に前記電子素子と前記実装基板とを離間させる方向に、前記電子素子および前記実装基板のいずれか一方を、固定されている他方に対して移動させるように制御する請求項5または6に記載の電子部品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002293798A JP4035716B2 (ja) | 2001-10-05 | 2002-10-07 | 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001-310255 | 2001-10-05 | ||
JP2001310255 | 2001-10-05 | ||
JP2002293798A JP4035716B2 (ja) | 2001-10-05 | 2002-10-07 | 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003179100A JP2003179100A (ja) | 2003-06-27 |
JP4035716B2 true JP4035716B2 (ja) | 2008-01-23 |
Family
ID=26623771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002293798A Expired - Lifetime JP4035716B2 (ja) | 2001-10-05 | 2002-10-07 | 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4035716B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102151976A (zh) * | 2010-01-21 | 2011-08-17 | 涩谷工业株式会社 | 焊接设备 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005093817A1 (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-06 | Nec Corporation | 半導体装置及びその製造方法 |
JP4736355B2 (ja) * | 2004-06-08 | 2011-07-27 | パナソニック株式会社 | 部品実装方法 |
JP4522881B2 (ja) * | 2005-02-15 | 2010-08-11 | パナソニック株式会社 | 電子部品の実装方法 |
JP2006324289A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Sony Corp | 半導体チップの実装方法 |
JP4669371B2 (ja) * | 2005-10-12 | 2011-04-13 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法および半導体装置の製造装置 |
JP5014151B2 (ja) * | 2005-12-06 | 2012-08-29 | 東レエンジニアリング株式会社 | チップ実装装置およびチップ実装方法 |
KR100909093B1 (ko) | 2008-02-01 | 2009-07-23 | 경희대학교 산학협력단 | 레이저 다이오드 칩의 수동형 접착 장치 |
JP5003590B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2012-08-15 | 日本電気株式会社 | 電子部品の製造装置及びその製造方法 |
JP4974982B2 (ja) * | 2008-09-09 | 2012-07-11 | パナソニック株式会社 | 実装装置 |
JP6358068B2 (ja) * | 2014-12-09 | 2018-07-18 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス、液体噴射ヘッド、圧電デバイスの製造方法、及び、液体噴射ヘッドの製造方法 |
JP6345819B2 (ja) * | 2017-02-07 | 2018-06-20 | 東レエンジニアリング株式会社 | チップ実装装置 |
TWI801873B (zh) * | 2020-06-15 | 2023-05-11 | 日商新川股份有限公司 | 半導體裝置的製造裝置及製造方法 |
WO2022044180A1 (ja) * | 2020-08-27 | 2022-03-03 | 三菱電機株式会社 | 光モジュールのための支持構造、及び光モジュール |
-
2002
- 2002-10-07 JP JP2002293798A patent/JP4035716B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102151976A (zh) * | 2010-01-21 | 2011-08-17 | 涩谷工业株式会社 | 焊接设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003179100A (ja) | 2003-06-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4035716B2 (ja) | 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法 | |
CN100461358C (zh) | 元器件安装方法及元器件安装装置 | |
KR100555873B1 (ko) | 전자부품 압착 장치 및 그 방법 | |
KR102117726B1 (ko) | 압착 장치 및 압착 방법 | |
JP4064808B2 (ja) | 熱圧着装置及び熱圧着方法 | |
JP4684502B2 (ja) | 導電接続方法及びそれに用いる離型シート | |
CN108695180B (zh) | 压接装置 | |
KR102019298B1 (ko) | 전사 방법 및 실장 방법 | |
JP2001034187A (ja) | 熱圧着装置および熱圧着方法 | |
JP2010153672A (ja) | 半導体装置の製造装置およびその製造方法 | |
KR20020053842A (ko) | 칩 본딩장치 | |
US10090273B2 (en) | Apparatus and method for manufacturing semiconductor device | |
JP2008108992A (ja) | 光モジュール製造方法及び製造装置 | |
JP2007042935A (ja) | 電子部品の圧着装置及び圧着方法 | |
JP2011035109A (ja) | チップ部品接合装置、チップ部品接合方法 | |
JPH07130795A (ja) | 半導体素子接続方法および半導体素子接続装置 | |
WO2012057009A1 (ja) | 実装装置および実装方法 | |
JP2018174307A (ja) | 圧着装置 | |
JPH11195870A (ja) | 集積回路アセンブリの製造方法および接合装置 | |
JP4974154B2 (ja) | 基板への集積回路の接続方法 | |
JP2002134563A (ja) | 半導体製造装置及び半導体製造方法 | |
JP2004253563A (ja) | 熱圧着装置 | |
JPH117040A (ja) | 液晶表示装置の製造方法及びその製造装置 | |
JP3341617B2 (ja) | コネクタの熱圧着方法 | |
US20200411466A1 (en) | Thermocompression bonding device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20041222 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20041222 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050913 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070409 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070509 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070709 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070801 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070906 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20071003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20071016 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4035716 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101109 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111109 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111109 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121109 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121109 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131109 Year of fee payment: 6 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |