JP6345819B2 - チップ実装装置 - Google Patents
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Description
チップに対向した位置に配した基板の電極にチップのバンプをハンダ接合させるチップ実装装置であって、
チップを吸着保持するチップ保持手段と、
前記チップ保持手段を上下動し得るよう装着しつつ、前記チップ保持手段の加熱及び冷却による伸び縮みにかかわらず、チップのバンプが加熱され溶融する際もバンプを破損することのない値に制御した加圧力を前記チップ保持手段に付与する機能を有した加圧付与手段と、
前記加圧付与手段を装置高さ方向に昇降させるZ軸送り装置と、
前記加圧付与手段が前記チップ保持手段に付与する加圧力と、前記Z軸送り機構が前記加圧付与手段を昇降させる高さ位置を制御する駆動制御手段とを備え、
前記チップ保持手段の加熱から前記チップのバンプの溶融までの間の前記チップ保持手段の伸び量を予測し、前記チップ保持手段の伸びの予測値に基づいて前記駆動制御手段に補正指令を入力して、
前記チップと前記基板のギャップ高さがハンダ冷却後に所定の高さになるように、
ハンダの溶融を検出する前に前記Z軸送り機構を駆動して前記加圧付与手段の高さ位置を制御する予測制御手段を更に備えたチップ実装装置である。
前記予測制御手段が、さらに前記チップ保持手段の加熱を停止したときに前記チップ保持手段の縮み量を予測し、前記チップ保持手段の縮みの予測値に基づいて前記駆動制御手段に補正指令を入力して、
前記チップと前記基板の冷却後のギャップ高さを所定の高さに維持できるよう前記Z軸送り機構を駆動して前記加圧付与手段の高さ位置を制御する予測制御手段であるチップ実装装置である。
前記加圧付与手段がシリンダーチューブで、前記チップ保持手段が前記シリンダーチューブの内部を移動するピストンとロッドから構成され前記シリンダーチューブの上下に設けられたエアー供給ポートから供給されるエアーにより前記ピストンに作用する微弱な圧力を調整できる構成であるチップ実装装置である。
事前に前記チップ保持手段を単体で加熱および加熱を停止し、前記加圧付与手段の内部を移動する前記チップ保持手段の移動量を伸縮量として計測し、前記伸縮量が伸縮量記憶手段に記憶されており、前記伸縮量記憶手段に記憶されている伸縮量に基づいて前記予測制御手段から前記駆動制御手段に入力する補正指令が演算される構成を備えたチップ実装装置である。
1a バンプ
2 ツール
3 Z軸送り装置
4 基板保持ステージ
5 基板
5a 電極
6 サーボモータ
7 送り機構
8 スライダー
9 装置フレーム
10 ガイドレール
11 ヒータ
13 エンコーダ
15 加圧付与手段
16 ブラケット
17 チップ保持手段
18 静圧空気軸受
19 加圧ポート
20 バランス圧ポート
22 駆動制御手段
23 位置検出手段
24 チップ吸着孔
25 基板吸着孔
28 加圧ポート圧力制御手段
29 バランス圧ポート圧力制御手段
30 ポンプ
31 伸縮量記憶手段
32 予測制御手段
33 シリンダーチューブ
34 ピストン
35 ロッド
27a,27b 圧力調整手段
Claims (4)
- チップに対向した位置に配した基板の電極にチップのバンプをハンダ接合させるチップ実装装置であって、
チップを吸着保持するチップ保持手段と、
前記チップ保持手段を上下動し得るよう装着しつつ、前記チップ保持手段の加熱及び冷却による伸び縮みにかかわらず、チップのバンプが加熱され溶融する際もバンプを破損することのない値に制御した加圧力を前記チップ保持手段に付与する機能を有した加圧付与手段と、
前記加圧付与手段を装置高さ方向に昇降させるZ軸送り装置と、
前記加圧付与手段が前記チップ保持手段に付与する加圧力と、前記Z軸送り機構が前記加圧付与手段を昇降させる高さ位置を制御する駆動制御手段とを備え、
前記チップ保持手段の加熱から前記チップのバンプの溶融までの間の前記チップ保持手段の伸び量を予測し、前記チップ保持手段の伸びの予測値に基づいて前記駆動制御手段に補正指令を入力して、
前記チップと前記基板のギャップ高さがハンダ冷却後に所定の高さになるように、
ハンダの溶融を検出する前に前記Z軸送り機構を駆動して前記加圧付与手段の高さ位置を制御する予測制御手段を更に備えたチップ実装装置。 - 請求項1に記載の発明において、
前記予測制御手段が、さらに前記チップ保持手段の加熱を停止したときに前記チップ保持手段の縮み量を予測し、前記チップ保持手段の縮みの予測値に基づいて前記駆動制御手段に補正指令を入力して、
前記チップと前記基板の冷却後のギャップ高さを所定の高さに維持できるよう前記Z軸送り機構を駆動して前記加圧付与手段の高さ位置を制御する予測制御手段であるチップ実装装置。 - 請求項1もしくは2に記載の発明において、
前記加圧付与手段がシリンダーチューブで、前記チップ保持手段が前記シリンダーチューブの内部を移動するピストンとロッドから構成され前記シリンダーチューブの上下に設けられたエアー供給ポートから供給されるエアーにより前記ピストンに作用する微弱な圧力を調整できる構成であるチップ実装装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の発明において、
事前に前記チップ保持手段を単体で加熱および加熱を停止し、前記加圧付与手段の内部を移動する前記チップ保持手段の移動量を伸縮量として計測し、前記伸縮量が伸縮量記憶手段に記憶されており、前記伸縮量記憶手段に記憶されている伸縮量に基づいて前記予測制御手段から前記駆動制御手段に入力する補正指令が演算される構成を備えたチップ実装装置。
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