JP4033927B2 - モノリシック半導体コンポーネント - Google Patents

モノリシック半導体コンポーネント Download PDF

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Description

【0001】
【発明の分野】
本発明は固体スイッチに関し、より特定的には動作が集積回路によって制御可能な固体スイッチに関する。
【0002】
【関連技術】
制御可能なスイッチは、回路において電流が調整されることとなる負荷と直列に接続するよう設計されているだろう。そのような配列の実際的な問題は、制御集積回路が特定低電圧供給(いくつかの例では5から15ボルト)を与えられなければならないことである。このため、集積回路のために各々がスイッチおよび電源を含む装置を形成することが所望されるだろう。このことは、これらのスイッチおよびそれらの制御集積回路の取付を大いに簡単にする。
【0003】
図1は、スイッチング装置1と直列に配置される負荷Lに電源を供給する電圧源Sを含む回路を例示する。スイッチング装置1は集積回路ICによって制御され、端子A1とA2との間に接続されるスイッチSWならびに集積回路に電源を供給するための出力端子2および3を含む。このような配列から生じる特定の問題は、スイッチSWが入れられたとき、スイッチSWの端子の間の電圧が低いかまたは0であり、このため端子2および3にかかる電圧が低すぎて集積回路ICに電力を提供できないかもしれないことである。この欠点を避けるために、端子2と3との間に蓄積キャパシタを接続することが案出されている。
【0004】
このような装置は十分に作動するが、スイッチSWを長くつけたままにしておくために、高い値のキャパシタCを必要とする。実際に、もし供給源Sがコンセントの交流電圧または整流されたコンセントからの電圧に対応するならば、コンセントからの電圧のいくらかの期間中、スイッチの制御がそれを閉じる場合を考慮に入れなければならない。
【0005】
この問題を解決するために、スイッチは、スイッチを入れる命令がスイッチに送られたとき、スイッチにかかる電圧が所望されるスレッショルド供給電圧に達していない限りこの命令が禁止されるように設計された低電圧の供給回路に関連づけられてきた。このため、蓄積キャパシタは、印加された電圧の各半周期の始めで再び充電され得、したがって小サイズのキャパシタでよい。
【0006】
このような回路は、フランス特許第2222801号に開示されている。しかし、このような回路の実施は多数のコンポーネントの使用および接続を示唆する。
【0007】
【発明の概要】
本発明の目的は、スイッチ機能および供給機能を有する装置であってモノリシック半導体コンポーネントの形で達成され得るものを提供することである。
【0008】
この目的を達成するために、本発明の実施例は、ゲート、アノードおよびカソードを有する第1のサイリスタを含み、ゲートが第1の抵抗器を通ってカソードに、かつツェナーダイオードおよび第2のサイリスタの直列接続を通ってアノードに接続されている、モノリシック半導体コンポーネントを提供する。サイリスタは縦型であり、ツェナーダイオードは横型であり、ツェナーダイオードのカソードは出力端子を形成するメタライゼーションを通って第2のサイリスタのカソードに接続される。
【0009】
発明の実施例によれば、ツェナーダイオードは第1のトランジスタのゲートウェルに形成されている。
【0010】
発明の実施例によれば、メタライゼーションと第1のサイリスタのゲートウェルとの間にコンタクトが形成されており、それにより、抵抗器は並列に形成される。
【0011】
発明の実施例によれば、ダイオードはコンポーネントの上表面のウェルに形成されており、ツェナーダイオードおよび第2のサイリスタの接合点と前記出力端子との間に接続されている。
【0012】
発明の実施例によれば、横型の第3のサイリスタは、第1のサイリスタのカソードゲートウェルに形成されたカソードを有し、ツェナーダイオードのカソードは第3のサイリスタのアノードに接続され、ツェナーダイオードのアノードは、第3のサイリスタのゲートに接続されている。
【0013】
発明の実施例によれば、第1のサイリスタに相補的な縦型の第4のサイリスタは、それとともにトライアックを形成する。
【0014】
【詳細な説明】
図2は、図1の装置1の機能を確実にする回路の例を表わす。この回路は、図1に示されるように、端子A1およびA2によって、負荷および供給源の端子に接続されるように設計されている。説明を簡単にするために、端子A2は接地端子であると仮定する。
【0015】
スイッチSWは主サイリスタTh1に対応する。サイリスタTh1のゲートは抵抗器RGを通ってサイリスタTh1のカソードに接続される。サイリスタTh1のゲートは、ツェナーダイオードZのアノードにさらに接続され、ダイオードZのカソードは補助サイリスタTh2のカソードに接続される。サイリスタTh2のアノードは、サイリスタTh1のアノードに接続される。サイリスタTh2とツェナーダイオードZの接合点は図1の端子2に対応する。端子A2または接地端子は、図1の端子3に対応する。たとえば、集積回路ICに供給し得る供給電圧は、これらの端子2と端子3との間で使用可能である。蓄積キャパシタC1は端子2と端子3との間に配置される。サイリスタTh2のゲート端子Gは、端子2と端子3を通って与えられる集積回路からの制御信号を受けるように設計されている。たとえば押ボタンスイッチ16と直列の抵抗器15によって構成されるトリガ回路14が、ゲートとサイリスタTh2のアノードとの間に設けられる。
【0016】
負荷Lにおいて電流の調整制御を起動することが所望されるとき、押ボタン16を押す。これはサイリスタTh2を導通させる。導通の第1の期間中、キャパシタC1にかかる電圧がツェナーダイオードZのスレッショルド電圧に到達するまで、サイリスタTh2はキャパシタC1を充電する。したがって、キャパシタC1は、サイリスタのゲート端子Gで制御信号を提供する集積回路ICに供給するよう十分に充電される。それから押ボタン16は解放され、その制御集積回路ICによって統制されたモードでシステムが動作することを可能にする。ゲート信号がサイリスタTh2に与えられるたびに、第1の期間中、キャパシタC1は再び充電され、その後、サイリスタTh1のゲートを電流が流れ、これが導通する。
【0017】
図4は定常状態におけるこの回路の動作を例示する。電源Sは、コンセント(たとえば、ピーク電圧が約300Vであるコンセント)の整流された電圧に対応すると仮定される。もし、時間t1において、制御信号が端子Gに与えられると、サイリスタTh2は導通し、第1の期間中、時間t1とt2との間でキャパシタが充電される。キャパシタC1にかかる電圧がツェナーダイオードZのアバランシェ電圧VZに到達すると、サイリスタTh1は導通する。これは半周期ごとに起こる。整流していない交流供給源の場合にも類似の現象が起こるだろう。すなわち、この場合においては、正の半周期中にのみ制御が起こるだろう。
【0018】
事実上、時間間隔t1−t2は典型的に非常に短い。これは、上述されたように、供給信号のピーク電圧が普通の応用において約300Vであるのに対し、電圧VZが約10Vであるためである。
【0019】
本発明の実施例は、少なくともコンポーネントTh2、Z、RGおよびTh1については図2の回路をN型の半導体基板21からモノリシックの形で実現することを目的とする。
【0020】
図3はそのような実現例を示す。コンポーネントの底面は、サイリスタTh1およびTh2のアノードに対応する底面のメタライゼーションAで被覆されたP型の層23を含む。サイリスタTh1は縦に配置され、上表面から、エミック短絡を有するカソード層24を含み、これはP型のウェル25に形成されており、さらにこれは基板21に形成されている。ウェル25の一部分に、N型の領域26が形成されており、これは、ウェル25とともに、ダイオードZに対応するツェナー接合点を形成する。N型の領域29を含む第2のP型のウェル28は縦のサイリスタTh2を形成する。サイリスタTh2は領域29、28、21、および23を含む。サイリスタTh2のカソード29はメタライゼーション30を通ってツェナーダイオードZのカソード26に接続される。
【0021】
メタライゼーション30は図2の供給端子2に対応する。ウェル28はゲートメタライゼーションGで被覆されている。抵抗器RGはカソード層24の下にある領域25の抵抗によって形成される。
【0022】
図3は、半導体コンポーネントの断面図を表わすすべての添付された図と同様に、半導体コンポーネントを表わす分野においてよくある通り、非常に概略的であることが注目されるだろう。
【0023】
当業者は、さまざまな層および領域の、面および配置を調整してコンポーネントの特徴ならびに、より特定的には、起こり得る電流およびツェナー電圧を最も効果的にすることができるだろう。
【0024】
当業者に明らかなように、図2の回路およびそのモノリシック実現例にはさまざまな修正がなされ得、いくつかの変形が以下に述べられる。
【0025】
この回路の第1の変形は図5に描かれ、モノリシックコンポーネントの形をとったその実現例が図6に例示される。
【0026】
図5は起動回路14以外は図2と同じである要素を表わす。さらに、図5の回路はダイオードDおよび抵抗器RZを含む。ダイオードDはツェナーダイオードZおよびサイリスタTh1の接合点と端子2との間に配置される。抵抗器RZはツェナーダイオード(Z)と並列に配置される。この構成は、端子A2の接地に対してゲートGの制御電圧が普通の値の範囲内であり、一方図2の回路の場合には普通の値よりVZだけこの電圧が高くなければならない点で先の構成より有益であるかもしれない。図2の回路において、集積回路ICの供給電圧がツェナーダイオードZの電圧に厳密に対応するように、信号Gを生成する集積回路ICに電圧ブースタを設けてもよい。
【0027】
図5の回路のモノリシック実現例は図6に例示される。このモノリシックコンポーネントは図3に示されたのと同じコンポーネントと、N型の領域32を有する追加的なP型のウェル31を含む。ウェル31はメタライゼーションによって被覆されこれは図2に描かれたメタライゼーション30に接続される。すなわち、これらのメタライゼーションはもはや外部端子に接続されていない。領域32はメタライゼーションで被覆され、これはキャパシタC1に接続されるよう設計された端子2に接続される。領域31と32との間の接合点はダイオードDを形成する。さらに、領域26に近いメタライゼーション30は領域26およびP型のウェル25の一部の両方に接触してダイオードZと並列に抵抗器RZを形成する。
【0028】
図2の回路の第2の代案が図7に例示される。図7において図5の抵抗器RZはアノードがツェナーダイオードZのカソードに接続され、カソードが抵抗器RZに接続され、ゲートがダイオードDのアノードに接続されているサイリスタTh3によって置換えられている。さらに、抵抗器RG3はゲートとサイリスタTh3との間に配置される。この配列は、サイリスタTh1のためのゲート電流増幅システムを構成し、スプリアスのトリガに少ししか感知せず、高電流が流れ得るサイリスタTh1の使用を可能にする。
【0029】
図8は図7の回路を実現する構成を表わす。図8の右部分は、領域24、25、21、および23によって形成された縦のサイリスタTh1を表わす。サイリスタTh3は横に配置されている。サイリスタTh3のカソードは、サイリスタTh3のゲート領域を形成するウェル25に形成されたN型の領域41によって構成される。サイリスタTh3のアノードは、ウェル25の近くに形成されたP型の領域44によって構成される。サイリスタTh3は、そのアノードからそのカソードまでに領域44、21、25および41を含む。カソード領域41はメタライゼーション42によって被覆され、これはまた、ウェル25の表面の一部分に接触し、サイリスタTh3のカソードとサイリスタTh1のゲートとの間の接合点を形成する。サイリスタTh3のゲートもまた形成するウェル25の一部分は、メタライゼーション43によって被覆されこれはツェナーダイオードZのアノードを形成するウェル46の上部表面に形成されるメタライゼーション45に結合される。拡散領域47はツェナーダイオードZのカソードを形成し、ウェル28に形成されるN型の領域29に、メタライゼーション48を通って接続され、これはそれぞれ縦のサイリスタTh2のカソードおよびゲート領域に対応する。ゲートメタライゼーションGはウェル28の部分に接触する。図8の左部分は再び、図5および図6のダイオードDに対応するN型の領域32およびウェル31を表わす。ダイオードDのカソード32はメタライゼーションによって被覆され端子2に接続される。ダイオードのアノードは上述されたメタライゼーション48に結合されたメタライゼーションと接触する。
【0030】
図5および図7の実施例は、ダイオードDと並列に抵抗器を提供することによって組合せられる。これは、図6において、メタライゼーション30とウェル25の一部分との間のコンタクトが提供されているのと同じやり方で、メタライゼーション48とウェル46の部分との間にコンタクトを提供することによって、図8の構成を修正することになる。
【0031】
図2の回路の第4の代案(これは起動回路14を含まない)が、図9に示され、ここではサイリスタTh1がトライアックTR1に置換えられている。トライアックTR1のゲートは、負の半周期の間トライアックを導通させる制御集積回路に接続されるよう設計された端子4にさらに接続される。
【0032】
図10はこの回路の実現例を表わす。図10の右部分は、図3と同じ層、ウェル、および領域を表わす。さらに、P型のウェル51が基板の上部に形成され、下表面側には、ウェル51および少なくともゲート領域28の一部分の下に、短絡の穴を有するN型の領域52が形成される。領域51、21、23、および52はこのようにトライアックの第2のサイリスタを形成する。ウェル51を被覆するメタライゼーションは、領域26に接続し、上方にKと表示されている主トライアック電極を形成するメタライゼーションに接続される。メタライゼーション55はウェル25の高度にドープされたP型の領域56に接触し、ゲート端子4を形成するよう設計されている。
【0033】
もちろん、図5および図6ならびに図7および図8に関係して述べられたさまざまな改善および代案がこの構成になされ得る。
【0034】
図10がP型のウェル58によって囲まれたトライアックを表わすことに留意すべきである。これは、図3、図6および図8に概略的に例示されたコンポーネントにもまた適用できる構成の実際的な例である。
【0035】
したがって、本発明の少なくとも1つの例示的な実施例を説明したが、さまざまな代替、修正および改善が当業者には容易に生ずるであろう。このような代替、修正および改善は、本発明の精神および範囲内に意図されるものである。したがって、前述の説明は例としてされるだけであり、限定を意図するものではない。本発明は前掲の請求の範囲およびその均等物において規定されるように限定されるだけである。
【図面の簡単な説明】
【図1】先行技術に従ったスイッチおよび供給装置を含む回路を表わす図である。
【図2】スイッチおよび供給装置を表わす図である。
【図3】本発明の実施例に従った図2の回路のモノリシックの実現例を表わす図である。
【図4】図2の回路の動作を例示する時間の関数としての電圧の曲線を表わす図である。
【図5】スイッチおよび供給装置の回路の別の例を表わす図である。
【図6】本発明に従った図5の回路のモノリシックの実現例を表わす図である。
【図7】スイッチおよび供給装置の回路のさらに別の例を表わす図である。
【図8】本発明に従った図7の回路のモノリシックの実現例を表わす図である。
【図9】スイッチおよび供給装置の回路のさらに別のもう1つの例を表わす図である。
【図10】本発明に従った図9の回路のモノリシックの実施を表わす図である。
【符号の説明】
Th1 第1のサイリスタ
RZ 第1の抵抗器
Th2 第2のサイリスタ
Z ツェナーダイオード
30 メタライゼーション

Claims (6)

  1. モノリシック半導体コンポーネントであって、
    ゲート、アノード、およびカソードを有する第1のサイリスタ(Th1)と
    ゲート、アノード、およびカソードを有する第2のサイリスタ(Th2)と、
    第1の抵抗器(RG)と、
    アノード、およびカソードを有するツェナーダイオード(Z)と、
    メタライゼーション(30)とを含み、
    前記第1のサイリスタ(Th1)の前記ゲートは前記第1の抵抗器(RG)を通って前記第1のサイリスタ(Th1)の前記カソードに、かつ前記ツェナーダイオード(Z)および前記第2のサイリスタ(Th2)の直列接続を通って前記第1のサイリスタ(Th1)の前記アノードに接続され、
    前記第1および第2のサイリスタ(Th1、Th2)は縦型であり、
    前記ツェナーダイオード(Z)は横型であり、
    前記ツェナーダイオード(Z)の前記カソードは、出力端子(2)を形成する前記メタライゼーション(30)を通って前記第2のサイリスタ(Th2)前記カソードに接続される、モノリシック半導体コンポーネント。
  2. 前記ツェナーダイオード(Z)第1のサイリスタ(Th1)のゲートウェルに形成され
    前記第1のサイリスタ(Th1)のゲートウェルの一部分に形成された、前記ゲートウェルの導電型と反対の導電型の領域が、前記ツェナーダイオード(Z)のカソード層である、請求項1に記載のコンポーネント。
  3. 前記メタライゼーション(30)と前記第1のサイリスタ(Th1)のゲートウェルとの間に配置されたコンタクトをさらに含み、それによって抵抗器(RZ)が前記ツェナーダイオード(Z)と並列に形成される、請求項1に記載のコンポーネント。
  4. 前記コンポーネントは、前記コンポーネントの表面に形成された別のウェル内に形成されたダイオード(D)をさらに含み、
    前記ダイオード(D)のカソード層が、前記別のウェルの一部分に形成された、前記別のウェルの導電型と反対の導電型の領域であり、
    前記ダイオード(D)のアノードは、前記ツェナーダイオード(Z)および前記第2のサイリスタ(Th2)の接合点に接続され、
    前記ダイオード(D)のカソードは、前記出力端子(2)に接続される、請求項3に記載のコンポーネント。
  5. モノリシック半導体コンポーネントであって、
    ゲート、アノード、およびカソードを有する第1のサイリスタ(Th1)と、
    ゲート、アノード、およびカソードを有する第2のサイリスタ(Th2)と、
    第1の抵抗器(RG)と、
    第2の抵抗器(RG3)と、
    アノード、およびカソードを有するツェナーダイオード(Z)と、
    メタライゼーション(30)とを含み、
    前記第1のサイリスタ(Th1)の前記ゲートは前記第1の抵抗器(RG)を通って前記第1のサイリスタ(Th1)の前記カソードに、かつ前記第2の抵抗器(RG3)、前記ツェナーダイオード(Z)および前記第2のサイリスタ(Th2)の直列接続を通って前記第1のサイリスタ(Th1)の前記アノードに接続され、
    前記第1および第2のサイリスタ(Th1、Th2)は縦型であり、
    前記ツェナーダイオード(Z)は横型であり、
    前記ツェナーダイオード(Z)の前記カソードは、出力端子(2)を形成する前記メタライゼーション(30)を通って前記第2のサイリスタ(Th2)の前記カソードに接続され、
    前記コンポーネントは、
    前記コンポーネントの表面に形成された別のウェル内に形成されたダイオード(D)をさらに含み、
    前記ダイオード(D)のカソード層が、前記別のウェルの一部分に形成された、前記別のウェルの導電型と反対の導電型の領域であり、
    前記ダイオード(D)のアノードは、前記ツェナーダイオード(Z)および前記第2のサイリスタ(Th2)の接合点に接続され、
    前記ダイオード(D)のカソードは、前記出力端子(2)に接続され、
    前記コンポーネントは、
    前記第1のサイリスタ(Th1)のカソードゲートウェルに形成されたカソード(41)を有する横型の第3のサイリスタ(Th3)をさらに含み、
    前記ツェナーダイオード(Z)の前記カソードは前記第3のサイリスタ(Th3)のアノードに接続され、
    前記ツェナーダイオード(Z)のアノードは前記第3のサイリスタ(Th3)のゲートに接続されている、モノリシック半導体コンポーネント。
  6. 前記第1のサイリスタ(Th1)逆並列に接続された縦型の第4のサイリスタ(51、21、23、52)をさらに含み、それとともにトライアックを形成する、請求項1に記載のコンポーネント。
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