JP4001744B2 - 受光素子キャリアおよび光受信装置 - Google Patents

受光素子キャリアおよび光受信装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4001744B2
JP4001744B2 JP2001397895A JP2001397895A JP4001744B2 JP 4001744 B2 JP4001744 B2 JP 4001744B2 JP 2001397895 A JP2001397895 A JP 2001397895A JP 2001397895 A JP2001397895 A JP 2001397895A JP 4001744 B2 JP4001744 B2 JP 4001744B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
receiving element
light receiving
chip mounting
mounting surface
carrier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2001397895A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003197929A (ja
Inventor
博 有賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP2001397895A priority Critical patent/JP4001744B2/ja
Priority to US10/120,605 priority patent/US7046936B2/en
Publication of JP2003197929A publication Critical patent/JP2003197929A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4001744B2 publication Critical patent/JP4001744B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4219Mechanical fixtures for holding or positioning the elements relative to each other in the couplings; Alignment methods for the elements, e.g. measuring or observing methods especially used therefor
    • G02B6/4236Fixing or mounting methods of the aligned elements
    • G02B6/424Mounting of the optical light guide
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4256Details of housings
    • G02B6/4257Details of housings having a supporting carrier or a mounting substrate or a mounting plate
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4274Electrical aspects
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4256Details of housings
    • G02B6/4262Details of housings characterised by the shape of the housing
    • G02B6/4265Details of housings characterised by the shape of the housing of the Butterfly or dual inline package [DIP] type
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4266Thermal aspects, temperature control or temperature monitoring
    • G02B6/4268Cooling
    • G02B6/4269Cooling with heat sinks or radiation fins
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05554Shape in top view being square
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/44Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/45Structure, shape, material or disposition of the wire connectors prior to the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/45001Core members of the connector
    • H01L2224/45099Material
    • H01L2224/451Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof
    • H01L2224/45138Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron (B), silicon (Si), germanium (Ge), arsenic (As), antimony (Sb), tellurium (Te) and polonium (Po), and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/45144Gold (Au) as principal constituent
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、受光素子やプリアンプ、高周波端子などを実装するための受光素子キャリアに係るものであり、またこの発明は、受光素子キャリアをモジュール化した光受信装置に係るものである。
【0002】
【従来の技術】
図9は従来の受光素子キャリアの構成を示す斜視図であり、特開2000−58881号公報に開示されている。
図9において、101は受光素子、102はキャリア、103はプリアンプ、104はプリアンプ入出力パッド、105はプリアンプ出力パッド、106はプリアンプVccパッド、107はプリアンプVeeパッド、108〜112はキャリア電極パターン、115は受光素子−プリアンプ接続ボンディングワイアである。
【0003】
次に動作について説明する。
不図示の光ファイバからの光信号は、不図示のレンズを介して受光素子101へ入射し、受光素子101によって電気信号に変換される。受光素子101で変換された電気信号は、直方体のセラミック製のキャリア102に金属接着されたプリアンプ103で増幅される。プリアンプ103で増幅された電気信号はプリアンプ出力パッド105からキャリア電極パターン110,111へと出力される。また、プリアンプ103の電源は、キャリア102に設けられたキャリア電極パターン109,112からプリアンプVccパッド106およびプリアンプVeeパッド107へと供給される。
【0004】
図9の受光素子キャリアは以下の(A)〜(C)に示すような課題があった。
(A) キャリア102をモジュール化して光受信装置として実装した場合、不図示のレンズ、不図示の光ファイバを受光素子101の正面に設ける必要がある。ところが、光受信装置の電気出力端子は、プリアンプ出力パッド105に接続されて直方体のキャリア102に這わせたキャリア電極パターン110,111と同一の高さに設ける必要がある。したがって、光ファイバの設置高さと電気出力端子の設置高さとが異なることになり、光受信装置の高さが増加してしまうという課題があった。
【0005】
(B) 図9のような構造体を形成するにはセラミックが一般的に用いられる。このとき、プリアンプ103の発熱が大きい場合、光受信装置の筐体へ排熱するためにはセラミックの中でも、熱伝導率が良く高価な窒化アルミ(AlN)を用いるしかないため、安価なアルミナ材を使用できずにコストが増加してしまうという課題があった。
【0006】
(C) 厚みを持ったプリアンプ103をキャリア102上へ実装しているため、プリアンプ103の厚みの分だけ段差が生じている。つまり、プリアンプ出力パッド105とキャリア電極パターン108〜112とが異なった高さに設けられるので、これらを接続するワイア長が増加してプリアンプ出力パッド105の反射特性が劣化してしまうという課題があった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従来の受光素子キャリアは以上のように構成されているので、光ファイバの設置高さと電気出力端子の設置高さとが異なってしまい、モジュール化した際の高さが増加してしまうという課題があった。
【0008】
また、従来の受光素子キャリアは、その材料として安価なアルミナ材を使用できないため、コストが増加してしまうという課題があった。
【0009】
さらに、従来の受光素子キャリアは、反射特性が劣化してしまうという課題があった。
【0010】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、モジュール化した際の高さを抑制することが可能な受光素子キャリアと、この受光素子キャリアをモジュール化した光受信装置とを提供することを目的とする。
【0011】
また、この発明は、安価なアルミナ材をキャリアの材料として使用可能にし、コストを軽減することが可能な受光素子キャリアと、この受光素子キャリアをモジュール化した光受信装置とを提供することを目的とする。
【0012】
さらに、この発明は、反射特性の劣化を改善した受光素子キャリアと、この受光素子キャリアをモジュール化した光受信装置とを提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る受光素子キャリアは、底面と略直交するチップ実装面を有した四角柱部分と、底面と略直交する方向へチップ実装面上に実装された2つの入力端子とを備え、四角柱部分は、2つの入力端子が実装された各々の位置と、2つの入力端子の間の位置とに底面と略平行な3つの境界面を介して積層された4つの層を有するとともに、境界面を延在する複数の線路と層を貫通する複数のVIAとを用いて、チップ実装面の裏面まで2つの入力端子をそれぞれ接続して、3つの境界面のうちの真中の境界面と裏面とが交わる位置に2つの入力端子を電気的に露出させるようにしたものである。
【0014】
この発明に係る受光素子キャリアは、チップ実装面を有した受光素子キャリアであって、このチップ実装面に沿って積層された複数の層と、少なくとも、第1の境界面と、第3の境界面と、この第1の境界面および第3の境界面の間に位置する第2の境界面とを含む複数の層における複数の境界面と、第1の境界面とチップ実装面との交線上において、チップ実装面に設けられた第1の入力端子と、第3の境界面とチップ実装面との交線上において、チップ実装面に設けられた第2の入力端子と、第2の境界面に設けられた第1の出力線路および第2の出力線路と、第1の境界面および第2の境界面の間に設けられた第1のVIAと、第2の境界面および第3の境界面の間に設けられた第2のVIAとを有し、第1の入力端子および第2の入力端子は、それぞれ第1のVIAおよび第2のVIAを介して、第1の出力線路および第2の出力線路に接続されたようにしたものである。
【0015】
この発明に係る受光素子キャリアは、チップ実装面を有するキャリアと、チップ実装面に実装された受光素子と、受光素子に接続され、チップ実装面に実装されたプリアンプと、プリアンプに接続され、チップ実装面に実装された第1入力端子と、プリアンプに接続され、第1入力端子の下方においてチップ実装面に実装された第2入力端子と、第1入力端子にその一端が接続されるとともに、キャリア内部を水平方向へ延在する第1媒介線路と、第2入力端子にその一端が接続されるとともに、キャリア内部を水平方向へ延在する第2媒介線路と、第1媒介線路の他端にその一端が接続され、キャリア内部を下方へ延在するとともに、第1媒介線路と第2媒介線路との間に想定される中間平面へその他端が至る第1VIAと、第2媒介線路の他端にその一端が接続され、キャリア内部を上方へ延在するとともに、中間平面へその他端が至る第2VIAと、第1VIAの他端にその一端が接続され、中間平面を水平方向へ延在するとともに、チップ実装面の裏面にその他端が露出する第1出力線路と、第2VIAの他端にその一端が接続され、中間平面を水平方向へ延在するとともに、チップ実装面の裏面にその他端が露出する第2出力線路とを備えるようにしたものである。
【0016】
この発明に係る受光素子キャリアは、底面と略平行な境界面を介して隣接する第4層、第3層、第2層および第1層が底面から順に積層されるとともに、第3層が第2層より長く、第3層の表面が一部テラス状に露出するテラス部と、第1層と第2層との間の第1境界面から第2層と第3層との間の第2境界面まで第2層を貫通する第1VIAと、第3層と第4層との間の第3境界面から第2境界面まで第3層を貫通する第2VIAと、第1境界面に設けられ、第1入力端子と第1VIAとを接続する第1媒介線路と、第3境界面に設けられ、第2入力端子と第2VIAとを接続する第2媒介線路と、第2境界面に設けられ、第1VIAに接続されるとともに、テラス部に延在する第1出力線路と、第2境界面に設けられ、第2VIAに接続されるとともに、テラス部に延在する第2出力線路とをキャリアが備えるようにしたものである。
【0017】
この発明に係る受光素子キャリアは、底面から受光素子の光軸までの高さと、底面から第2境界面までの高さとを略同一に形成するようにしたものである。
【0018】
この発明に係る受光素子キャリアは、底面の法線方向から底面に対する各投影面積が重複するように第1媒介線路および第2媒介線路が配置されるようにしたものである。
【0019】
この発明に係る受光素子キャリアは、第1媒介線路および第2媒介線路は、チップ実装面と略平行な方向へ所定の位置まで折り曲げられるとともに、所定の位置からチップ実装面と略直交する方向へ折り曲げられるようにしたものである。
【0020】
この発明に係る受光素子キャリアは、チップ実装面とプリアンプとの間に設けられ、プリアンプをキャリアに実装する排熱板をキャリアが備えるようにしたものである。
【0021】
この発明に係る受光素子キャリアは、チップ実装面側の一部に段差を与える切欠部がキャリアに形成されるようにしたものである。
【0022】
この発明に係る受光素子キャリアは、受光素子およびプリアンプが切欠部に実装されるとともに、チップ実装面の法線方向における第1入力端子および第2入力端子の高さと、チップ実装面の法線方向における受光素子の高さと、チップ実装面の法線方向におけるプリアンプの高さとを略同一になるように切欠部をキャリアに形成するようにしたものである。
【0023】
この発明に係る光受信装置は、請求項1から請求項10のうちのいずれか1項記載の受光素子キャリアと、受光素子キャリアを内包するパッケージと、パッケージに設置され、受光素子キャリアの受光素子へ光信号を入力する光ファイバとを備えるようにしたものである。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。なお、各図における同一符号は同一または相当する構成を示している。
実施の形態1.
図1〜図4はこの発明の実施の形態1による受光素子キャリア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図である。図1〜図4の各図には、互いに直交するx軸、y軸、z軸を仮想的に図示している。
【0025】
図1(a)および図1(b)は受光素子キャリアの構成を示す斜視概観図、図2(a)および図2(b)は受光素子キャリアをモジュール化した光受信装置のカバーを取り外した状態での上面図および断面図、図3は受光素子キャリアの高周波線路の構成を示す斜視透視図である。また、図4(a)〜図4(d)は図3のA面上面図、B面上面図、C面上面図およびA,B,C面透視上面図をそれぞれ表している。
【0026】
図1(a),図1(b)において、1はキャリア、2は受光素子、3はプリアンプ、4は電源端子、5はキャパシタ、6は高周波端子(入力端子)、7は差動線路(出力線路)、8は電源線路、9はキャリア1のテラス(テラス部)である。
図1に示すように、電源端子4,高周波端子6,差動線路7,電源線路8がキャリア1に設けてある。また、受光素子2,プリアンプ3,電源端子4,キャパシタ5,高周波端子6はキャリア1の同一前面(チップ実装面1A)上に配置され、それぞれ適切に配線されている。
【0027】
図2(a),図2(b)において、10はパッケージ、11はカバー、12は先端部に先球レンズを設けた光ファイバ、13は電気出力端子としての高周波リード端子、14は電源リード端子、15は金ワイアである。
図1の受光素子キャリアがパッケージ10内に設けられており、光信号が受光素子2へ入力するように光ファイバ12が設けられている。また、差動線路7は金ワイア15によって高周波リード端子13に接続されており、電源端子4も同じく電源リード端子14に接続されている。図2(b)の断面図を見ると分かるように、この実施の形態1による受光素子キャリアは、光ファイバ12の設置高さと高周波リード端子13の設置高さとが略一致している。
【0028】
図3および図4(a)〜図4(d)において、16A,16Cはそれぞれ垂直差動線路(第1媒介線路、第2媒介線路)、17A,17Cはそれぞれ垂直給電VIA(第1VIA,第2VIA)である。また、P層とQ層との間はA面(第1境界面)、Q層とR層との間はB面(第2境界面、中間平面)、R層とS層との間はC面(第3境界面)である。垂直差動線路16AはA面上に、垂直差動線路16CはC面上に、差動線路(第1出力線路、第2出力線路)7A,7CはB面上にそれぞれ形成されている。垂直給電VIA17AはA面からB面までQ層を貫通しており、垂直給電VIA17CはC面からB面までR層を貫通している。
【0029】
図3に示すように、キャリア1は、いずれも四角柱のS層(第4層)、R層(第3層)、Q層(第2層)、P層(第1層)を底面から順にz軸方向へ積層したものである。このキャリア1は以下のように構成されている。つまり、x軸、y軸、z軸の3軸とそれぞれ直交する6つの面からなる四角柱を考え、y軸と直交するチップ実装面1A上の高周波端子(第1入力端子)6Aの高さ(z軸方向)、高周波端子(第2入力端子)6Cの高さ(z軸方向)、高周波端子6Aと高周波端子6Cとの略真中の高さ(z軸方向)で、x−y平面と平行なA面〜C面によってこの四角柱を分離し、4つのP層、Q層、R層、S層を構成している。
【0030】
x軸方向の寸法はP層〜S層で共通になっているが、y軸方向の寸法はR層、S層と比べてP層、Q層の方が短くなっている。したがって、チップ実装面1Aが同一平面となるように4つのP層〜S層を積層すると、差動線路7A,7Cの露出するテラス9がチップ実装面1A裏面側のB面上に形成され、図1〜図4のキャリア1が構成される。なお、ここでいう四角柱とは、その底面が長方形や台形であっても良く、底面の形状は特に限定されるものではない。
【0031】
図3のキャリア1内部では、z軸方向へ並んだ高周波端子6A,6Cが垂直差動線路16A,16Cとそれぞれ接続されている。図4(a)のA面上面図、図4(c)のC面上面図、図4(d)のA,B,C面透視上面図を見ると分かるように、z軸方向から見た垂直差動線路16A,16Cは、x軸方向へ互いに逆に折れ曲がった折曲部分と重複部分とをそれぞれ有している。垂直差動線路16Aの折曲部分の先端は垂直給電VIA17AのA面側と接続され(図4(a)参照)、垂直差動線路16Cの折曲部分の先端は垂直給電VIA17CのC面側と接続される(図4(c)参照)。そして図4(b)のB面上面図に示すように、同一のB面上にある2本の差動線路7A,7Cの一端は、垂直給電VIA17A,17Cの各B面側とそれぞれ接続されている。
【0032】
図3において、2本の差動線路7A,7Cのz軸方向における位置(B面のz軸座標)は、各垂直差動線路16A,16Cのz軸方向における各位置(A面、C面の各z軸座標)の中央になるように配置されているため、垂直給電VIA17A,17Cはそれぞれ等しい長さになっている(つまりQ層とR層とはz軸方向における厚さが等しい)。また、電源端子4と電源線路8とはキャリア1内部で接続されている。
【0033】
次に動作について説明する。
光ファイバ12から入力された光信号は光ファイバ12の先端部に設けた先球レンズによって集光され、受光素子2によって受光する。この受光強度に応じた電気信号が受光素子2からプリアンプ3へ入力される。この電気信号は、プリアンプ3で増幅されると、高周波端子6A,6C,垂直差動線路16A,16C,垂直給電VIA17A,17C,差動線路7A,7Cを順次通過してキャリア1から出力され、さらに金ワイア15を介して高周波リード端子13へ出力される。受光素子2およびプリアンプ3を駆動するためのバイアス電源電圧は、電源リード端子14,金ワイア15,電源線路8,電源端子4,キャパシタ5を通って受光素子2およびプリアンプ3へ供給されている。
【0034】
高周波端子6A,6Cから入力された差動信号は垂直差動線路16A,16Cを通って伝送される。ここで図4(d)のA,B,C面透視上面図に示すように、垂直差動線路16A,16Cを構成する線路対の中心(x座標)と、差動線路7A,7Cを構成する線路対の中心(x座標)とが略一致するように作られているため、垂直給電VIA17A,17Cを波長に対して十分短く、すなわち垂直差動線路16A,16Cを構成する線路対の間隔を短くすれば、垂直差動線路16A,16Cおよび差動線路7A,7Cをそれぞれ構成する各線路対の対称性が保たれ、差動信号を伝播することが可能となる。したがって、高周波端子6A,6Cの中心と差動線路7A,7Cとはキャリア1底面から略同一高さ(B面の高さに略一致)となる。
【0035】
また一般に、プリアンプ3は差動増幅を前提に作られており、動作の対称性からプリアンプ3内の回路も対称に作られている。そのため、受光素子2,プリアンプ3,高周波端子6A,6C,差動線路7A,7Cのそれぞれの中心を略同じ高さに揃えられる。
【0036】
以上から、光受信装置を構成する際、光ファイバ12から高周波リード端子13までの各部品中心の設置高さは、光受信装置の底面から見て同一となり、従来と比較して、光受信装置全体の高さを低く抑えることができる。また、高周波端子6から高周波リード端子13までの配線も短くすることができるため、伝播損失も抑制することが可能となる。
【0037】
以上のように、この実施の形態1によれば、チップ実装面1Aを有するキャリア1と、チップ実装面1Aに実装された受光素子2と、受光素子2に接続され、チップ実装面1Aに実装されたプリアンプ3と、プリアンプ3に接続され、チップ実装面1Aに実装された高周波端子6Aと、プリアンプ3に接続され、高周波端子6Aの下方においてチップ実装面1Aに実装された高周波端子6Cと、高周波端子6Aにその一端が接続されるとともに、キャリア1内部を水平方向へ延在する垂直差動線路16Aと、高周波端子6Cにその一端が接続されるとともに、キャリア1内部を水平方向へ延在する垂直差動線路16Cと、垂直差動線路16Aの他端にその一端が接続され、キャリア1内部を下方へ延在するとともに、垂直差動線路16Aと垂直差動線路16Cとの間に想定されるB面へその他端が至る垂直給電VIA17Aと、垂直差動線路16Cの他端にその一端が接続され、キャリア1内部を上方へ延在するとともに、B面へその他端が至る垂直給電VIA17Cと、垂直給電VIA17Aの他端にその一端が接続され、B面を水平方向へ延在するとともに、チップ実装面1Aの裏面にその他端が露出する差動線路7Aと、垂直給電VIA17Cの他端にその一端が接続され、B面を水平方向へ延在するとともに、チップ実装面1Aの裏面にその他端が露出する差動線路7Cとを備えるようにしたので、従来と比較して、モジュール化した際の高さを抑制できるという効果が得られる。また、伝播損失を抑制できるという効果が得られる。
【0038】
また、この実施の形態1によれば、底面と略平行な境界面を介して隣接するS層、R層、Q層およびP層が底面から順に積層されるとともに、R層がQ層より長く、R層の表面が一部テラス状に露出するテラス9と、P層とQ層との間のA面からQ層とR層との間のB面までQ層を貫通する垂直給電VIA17Aと、R層とS層との間のC面からB面までR層を貫通する垂直給電VIA17Cと、A面に設けられ、高周波端子6Aと垂直給電VIA17Aとを接続する垂直差動線路16Aと、C面に設けられ、高周波端子6Cと垂直給電VIA17Cとを接続する垂直差動線路16Cと、B面に設けられ、垂直給電VIA17Aに接続されるとともに、テラス9に延在する差動線路7Aと、B面に設けられ、垂直給電VIA17Cに接続されるとともに、テラス9に延在する差動線路7Cとをキャリア1が備えるようにしたので、従来と比較して、モジュール化した際の高さを抑制できるという効果が得られる。また、伝播損失を抑制できるという効果が得られる。
【0039】
さらに、この実施の形態1によれば、底面から受光素子2の光軸までの高さと、底面からB面までの高さとを略同一に形成するようにしたので、従来と比較して、モジュール化した際の高さを抑制できるという効果が得られる。また、伝播損失を抑制できるという効果が得られる。
【0040】
さらに、この実施の形態1によれば、受光素子キャリアと、受光素子キャリアを内包するパッケージ10と、パッケージ10に設置され、受光素子キャリアの受光素子2へ光信号を入力する光ファイバ12とを備えるようにしたので、高さを抑制した光受信装置を提供できるという効果が得られる。
【0041】
実施の形態2.
実施の形態1における図2(a)の上面図を見ると、キャリア1から出力されている差動線路7の取り出し位置が光ファイバ12に対してx軸方向へ偏っている。このため、光ファイバ12の中心と高周波リード端子13の中心とを揃えたい場合などでは、パッケージ10内で差動線路を引き回す必要が出てくる。この場合、差動線路なので線路を2本引き回す必要があり、光受信装置の上面面積が増大してしまうことになる。この実施の形態2では、この問題を解決する手法について説明する。
【0042】
図5,図6はこの発明の実施の形態2による受光素子キャリアの構成・特徴を説明するための図である。図5,図6の各図には、互いに直交するx軸、y軸、z軸を仮想的に図示している。
【0043】
図5は受光素子キャリアの高周波線路の構成を示す透視斜視図、図6(a)〜図6(d)は図5のA面上面図、B面上面図、C面上面図およびA,B,C面透視上面図をそれぞれ表している。
【0044】
この実施の形態2の構成は、実施の形態1の構成と基本的にほとんど同一である。唯一異なっている点が2本の垂直差動線路(第1媒介線路、第2媒介線路)18A,18Cである。この垂直差動線路18A,18Cの一部は、図6(a)のA面上面図、図6(c)のC面上面図に示す通り、高周波端子6A,6Cの位置よりもキャリア1の中心へ向ってx軸方向に折り曲げられ、キャリア1の中心からはテラス9側の方向へ向ってy軸方向に再度折り曲げられている。このようにして、垂直差動線路18A,18Cは、垂直給電VIA17A,17Cを介して高周波端子6A,6Cを差動線路7A,7Cまで接続している。
【0045】
垂直差動線路18A,18Cは上下方向(z軸方向)に重なって配置されているため、キャリア1底面の法線方向に沿って垂直差動線路18A,18Cを底面へ投影して見ると、x−y平面に対する垂直差動線路18A,18Cの投影面積は線路1本分のみに重複している。キャリア1内部ではなくパッケージ10内で差動線路を引き回すと線路2本分の投影面積が必要になることと比べると、図5,図6の構成にすることで、任意の位置(例えば上面から見たキャリア1の中央)へ差動線路7A,7Cを移動しても、垂直作動線路18A,18Cは線路1本分の面積でこの任意の位置まで引き回すことが可能であり、パッケージ10内での差動線路の引き回しを少なくすることができる。
【0046】
垂直差動線路18A,18Cの配線材は高い電気抵抗のタングステンである場合が多く、実施の形態1で示した垂直差動線路16A,16Cの線路長に比べて線路長の増加によって通過損失が増加する点はあるものの、図5,図6のように構成することで、光受信装置としてはパッケージ10内での引き回しを不要とすることができ、光受信装置の上面面積をさらに抑制することが可能となる。
【0047】
以上のように、この実施の形態2によれば、垂直差動線路18Aおよび垂直差動線路18Cは、キャリア1の底面の法線方向からこの底面に対する各投影面積が重複するように配置したので、パッケージ10内での差動線路の引き回しを少なくでき、光受信装置の上面面積を抑制できるという効果が得られる。
【0048】
また、この実施の形態2によれば、垂直差動線路18Aおよび垂直差動線路18Cは、チップ実装面1Aと略平行な方向へ所定の位置まで折り曲げられるとともに、所定の位置からチップ実装面1Aと略直交する方向へ折り曲げられるようにしたので、パッケージ10内での差動線路の引き回しを不要とすることができ、光受信装置の上面面積をさらに抑制できるという効果が得られる。
【0049】
実施の形態3.
図7はこの発明の実施の形態3による受光素子キャリアの構成・特徴を示す斜視図である。図7において、19は熱伝導率の良い銅タングステンやコパールなどのプリアンプ3排熱用の金属プレート(排熱板)である。
【0050】
この実施の形態3では、キャリア1に設けられたプリアンプ3の下面部分に金属プレート19を設けるようにしている。つまり、キャリア1のチップ実装面1Aとプリアンプ3との間に設けられた金属プレート19によって、キャリア1のチップ実装面1Aにプリアンプ3が設置されている。金属プレート19を設けることにより、プリアンプ3で発生した熱は金属プレート19を伝達してキャリア1が実装されたパッケージ10へと排熱される。
【0051】
このように、プリアンプ3の発熱が大きい場合でも金属プレート19で排熱できるようになるため、キャリア1の材料として熱伝導率が良い反面、高価な窒化アルミ材よりも安価なアルミナ材を用いることが可能となり、受光素子キャリアのコストを軽減できる。なお、この実施の形態3は実施の形態1,実施の形態2に適用可能である。
【0052】
以上のように、この実施の形態3によれば、キャリア1のチップ実装面1Aとプリアンプ3との間に設けられ、プリアンプ3をキャリア1に設置するプリアンプ3排熱用の金属プレート19を備えるようにしたので、キャリア1の材料として安価なアルミナ材を用いることが可能となり、受光素子キャリアのコストを軽減できるという効果が得られる。
【0053】
実施の形態4.
図8はこの発明の実施の形態4による受光素子キャリアの構成・特徴を示す斜視図である。図8において、20は切欠付キャリア、21は切欠付キャリア20のチップ実装面20Aに形成された切欠部である。
【0054】
切欠付キャリア20は、実施の形態1,2のキャリア1からチップ実装面20Aを凹形状にしたものであり、高周波端子6,垂直差動線路16,垂直給電VIA17,差動線路7は実施の形態1,2と同様に配置されている。切欠付キャリア20に設けられた切欠部21は、y−z平面と平行な境界面によって、チップ実装面20Aの受光素子2,プリアンプ3,キャパシタ5側をP層からS層まで段差を生じさせるようにしたものであり、このときの段差の深さ(y軸方向)は、受光素子2およびプリアンプ3を実装したときに各々のチップ実装面20Aの高さと高周波端子6の高さとが同一となるようにしている。
【0055】
このようにすることで、受光素子2およびプリアンプ3の高さと、プリアンプ3および高周波端子6の高さとをそれぞれ略同一にできるため、これらを接続するワイア22をほとんど最短の長さで配線することが可能となる。したがって、高周波特性を向上できるようになる。なお、この実施の形態4は実施の形態1〜実施の形態3に適用可能である。
【0056】
以上のように、この実施の形態4によれば、チップ実装面20Aおよび底面と略直交する境界面によって、P層、Q層、R層およびS層のチップ実装面20A側の一部に段差を与える切欠部21が形成された切欠付キャリア20を備えるようにしたので、受光素子2,プリアンプ3,高周波端子6を接続するワイア22を短くして配線できるようになり、高周波特性を向上できるという効果が得られる。
【0057】
また、この実施の形態4によれば、受光素子2およびプリアンプ3がキャリア20の切欠部21に実装されるとともに、チップ実装面20Aの法線方向における高周波端子6Aおよび高周波端子6Cの高さと、チップ実装面20Aの法線方向における受光素子2の高さと、チップ実装面20Aの法線方向におけるプリアンプ3の高さとが略同一になるように、切欠付キャリア20の切欠部21を形成するようにしたので、受光素子2,プリアンプ3,高周波端子6を接続するワイア22をほとんど最短の長さで配線できるようになり、高周波特性を一層向上できるという効果が得られる。
【0058】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、光ファイバの設置高さと高周波リード端子の設置高さとを略一致できるようになり、従来と比較してモジュール化した際の高さを抑制できるという効果が得られる。
【0059】
この発明によれば、安価なアルミナ材をキャリアの材料として使用可能になり、従来と比較してコストを軽減できるという効果が得られる。
【0060】
この発明によれば、受光素子の高さおよびプリアンプの高さと、プリアンプの高さおよび高周波端子の高さとをいずれも略同一にできるようになり、これらを接続するワイア長を短くすることができ、反射特性の劣化を改善できるという効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による受光素子キャリア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図である。
【図2】 この発明の実施の形態1による受光素子キャリア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図である。
【図3】 この発明の実施の形態1による受光素子キャリア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図である。
【図4】 この発明の実施の形態1による受光素子キャリア・光受信装置の構成・特徴を説明するための図である。
【図5】 この発明の実施の形態2による受光素子キャリアの構成・特徴を説明するための図である。
【図6】 この発明の実施の形態2による受光素子キャリアの構成・特徴を説明するための図である。
【図7】 この発明の実施の形態3による受光素子キャリアの構成・特徴を示す斜視図である。
【図8】 この発明の実施の形態4による受光素子キャリアの構成・特徴を示す斜視図である。
【図9】 従来の受光素子キャリアの構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 キャリア、1A チップ実装面、2 受光素子、3 プリアンプ、4 電源端子、5 キャパシタ、6,6A,6C 高周波端子(第1入力端子、第2入力端子)、7,7A,7C 差動線路(第1出力線路、第2出力線路)、8 電源線路、9 テラス(テラス部)、10 パッケージ、11 カバー、12 光ファイバ、13 高周波リード端子、14 電源リード端子、15 金ワイア、16,16A,16C 垂直差動線路(第1媒介線路、第2媒介線路)、17,17A,17C 垂直給電VIA(第1VIA,第2VIA),18A,18C垂直差動線路(第1媒介線路、第2媒介線路)、19 金属プレート(排熱板)、20 切欠付キャリア、21 切欠部、22 ワイア。

Claims (11)

  1. 底面と略直交するチップ実装面を有した四角柱部分と、上記底面と略直交する方向へ上記チップ実装面上に実装された2つの入力端子とを備え、上記四角柱部分は、上記2つの入力端子が実装された各々の位置と、上記2つの入力端子の間の位置とに上記底面と略平行な3つの境界面を介して積層された4つの層を有するとともに、上記境界面を延在する複数の線路と、上記層を貫通する複数のVIAとを用いて、上記チップ実装面の裏面まで上記2つの入力端子をそれぞれ接続して、上記3つの境界面のうちの真中の上記境界面と上記裏面とが交わる位置に上記2つの入力端子を電気的に露出させることを特徴とする受光素子キャリア。
  2. チップ実装面を有した受光素子キャリアであって、
    このチップ実装面に沿って積層された複数の層と、
    少なくとも、第1の境界面と、第3の境界面と、この第1の境界面および第3の境界面の間に位置する第2の境界面とを含む上記複数の層における複数の境界面と、
    上記第1の境界面と上記チップ実装面との交線上において、上記チップ実装面に設けられた第1の入力端子と、
    上記第3の境界面と上記チップ実装面との交線上において、上記チップ実装面に設けられた第2の入力端子と、
    上記第2の境界面に設けられた第1の出力線路および第2の出力線路と、
    上記第1の境界面および上記第2の境界面の間に設けられた第1のVIAと、
    上記第2の境界面および上記第3の境界面の間に設けられた第2のVIAとを有し
    上記第1の入力端子および上記第2の入力端子は、それぞれ上記第1のVIAおよび上記第2のVIAを介して、上記第1の出力線路および上記第2の出力線路に接続されたことを特徴とする受光素子キャリア。
  3. チップ実装面を有するキャリアと、
    上記チップ実装面に実装された受光素子と、
    上記受光素子に接続され、上記チップ実装面に実装されたプリアンプと、
    上記プリアンプに接続され、上記チップ実装面に実装された第1入力端子と、
    上記プリアンプに接続され、上記第1入力端子の下方において上記チップ実装面に実装された第2入力端子と、
    上記第1入力端子にその一端が接続されるとともに、上記キャリア内部を水平方向へ延在する第1媒介線路と、
    上記第2入力端子にその一端が接続されるとともに、上記キャリア内部を水平方向へ延在する第2媒介線路と、
    上記第1媒介線路の他端にその一端が接続され、上記キャリア内部を下方へ延在するとともに、上記第1媒介線路と上記第2媒介線路との間に想定される中間平面へその他端が至る第1VIAと、
    上記第2媒介線路の他端にその一端が接続され、上記キャリア内部を上方へ延在するとともに、上記中間平面へその他端が至る第2VIAと、
    上記第1VIAの他端にその一端が接続され、上記中間平面を水平方向へ延在するとともに、上記チップ実装面の裏面にその他端が露出する第1出力線路と、
    上記第2VIAの他端にその一端が接続され、上記中間平面を水平方向へ延在するとともに、上記チップ実装面の裏面にその他端が露出する第2出力線路とを備えることを特徴とする受光素子キャリア。
  4. 底面と略直交するチップ実装面を有した四角柱のキャリアと、光信号を電気信号に変換する受光素子と、上記電気信号を増幅するプリアンプと、上記プリアンプで増幅された上記電気信号が入力される第1入力端子および第2入力端子とを上記チップ実装面にそれぞれ実装した受光素子キャリアにおいて、
    上記キャリアは、
    上記底面と略平行な境界面を介して隣接する第4層、第3層、第2層および第1層が上記底面から順に積層されるとともに、
    上記第3層が上記第2層より長く、上記第3層の表面が一部テラス状に露出するテラス部と、
    上記第1層と上記第2層との間の第1境界面から上記第2層と上記第3層との間の第2境界面まで上記第2層を貫通する第1VIAと、
    上記第3層と上記第4層との間の第3境界面から上記第2境界面まで上記第3層を貫通する第2VIAと、
    上記第1境界面に設けられ、上記第1入力端子と上記第1VIAとを接続する第1媒介線路と、
    上記第3境界面に設けられ、上記第2入力端子と上記第2VIAとを接続する第2媒介線路と、
    上記第2境界面に設けられ、上記第1VIAに接続されるとともに、上記テラス部に延在する第1出力線路と、
    上記第2境界面に設けられ、上記第2VIAに接続されるとともに、上記テラス部に延在する第2出力線路とを備えることを特徴とする受光素子キャリア。
  5. 底面から受光素子の光軸までの高さと、上記底面から第2境界面までの高さとを略同一に形成することを特徴とする請求項4記載の受光素子キャリア。
  6. 第1媒介線路および第2媒介線路は、
    底面の法線方向から上記底面に対する各投影面積が重複するように配置されることを特徴とする請求項4記載の受光素子キャリア。
  7. 第1媒介線路および第2媒介線路は、
    チップ実装面と略平行な方向へ所定の位置まで折り曲げられるとともに、上記所定の位置から上記チップ実装面と略直交する方向へ折り曲げられることを特徴とする請求項4記載の受光素子キャリア。
  8. キャリアは、
    チップ実装面とプリアンプとの間に設けられ、上記プリアンプを上記キャリアに実装する排熱板を備えることを特徴とする請求項4記載の受光素子キャリア。
  9. キャリアは、
    チップ実装面側の一部に段差を与える切欠部が形成されることを特徴とする請求項4記載の受光素子キャリア。
  10. キャリアは、
    受光素子およびプリアンプが切欠部に実装されるとともに、チップ実装面の法線方向における第1入力端子および第2入力端子の高さと、上記チップ実装面の法線方向における上記受光素子の高さと、上記チップ実装面の法線方向における上記プリアンプの高さとを略同一になるように切欠部を形成することを特徴とする請求項9記載の受光素子キャリア。
  11. 請求項1から請求項10のうちのいずれか1項記載の受光素子キャリアと、
    上記受光素子キャリアを内包するパッケージと、
    上記パッケージに設置され、上記受光素子キャリアの受光素子へ光信号を入力する光ファイバとを備えることを特徴とする光受信装置。
JP2001397895A 2001-12-27 2001-12-27 受光素子キャリアおよび光受信装置 Expired - Lifetime JP4001744B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001397895A JP4001744B2 (ja) 2001-12-27 2001-12-27 受光素子キャリアおよび光受信装置
US10/120,605 US7046936B2 (en) 2001-12-27 2002-04-12 Light receiving element carrier and optical receiver

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001397895A JP4001744B2 (ja) 2001-12-27 2001-12-27 受光素子キャリアおよび光受信装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003197929A JP2003197929A (ja) 2003-07-11
JP4001744B2 true JP4001744B2 (ja) 2007-10-31

Family

ID=27603532

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001397895A Expired - Lifetime JP4001744B2 (ja) 2001-12-27 2001-12-27 受光素子キャリアおよび光受信装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US7046936B2 (ja)
JP (1) JP4001744B2 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3977315B2 (ja) * 2003-10-31 2007-09-19 ファイベスト株式会社 光通信器、光通信システムおよび光送受信器
JP4804373B2 (ja) * 2007-01-29 2011-11-02 京セラ株式会社 回路基板ならびにそれを用いた差動電子回路部品収納用パッケージおよび差動電子回路装置
JP2012129351A (ja) * 2010-12-15 2012-07-05 Mitsubishi Electric Corp 素子キャリアおよび受光モジュール
JP5971843B2 (ja) * 2011-05-18 2016-08-17 日本オクラロ株式会社 アレイ型受光装置、光受信モジュール、及び光トランシーバ
KR102091474B1 (ko) * 2013-02-27 2020-03-23 한국전자통신연구원 초고속 광 수신 모듈 및 그것의 제작 방법
KR101864460B1 (ko) * 2013-11-19 2018-06-05 한국전자통신연구원 다파장 광 수신장치 및 그 방법
JP5861724B2 (ja) * 2014-01-31 2016-02-16 住友大阪セメント株式会社 光デバイス
JP2019015798A (ja) * 2017-07-04 2019-01-31 住友電気工業株式会社 光通信モジュール

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63198380A (ja) * 1987-02-13 1988-08-17 Mitsubishi Electric Corp チツプキヤリア型光半導体装置
JPH04141606A (ja) * 1990-10-02 1992-05-15 Hitachi Ltd 光電子装置
JP2737712B2 (ja) * 1995-08-10 1998-04-08 日本電気株式会社 チップキャリアとその製造方法および素子のマウント方法
JP2000058881A (ja) * 1998-08-04 2000-02-25 Nec Corp 受光回路
JP3919367B2 (ja) * 1998-12-08 2007-05-23 ローム株式会社 レーザユニットおよび絶縁ブロック
JP2001085706A (ja) * 1999-09-10 2001-03-30 Kyocera Corp 光半導体素子モジュール
JP2001284606A (ja) * 2000-03-28 2001-10-12 Toshiba Corp 半導体装置およびその製造方法
JP2001345456A (ja) * 2000-05-31 2001-12-14 Matsushita Electric Ind Co Ltd 広帯域光受信装置
JP3487283B2 (ja) 2000-10-31 2004-01-13 三菱電機株式会社 差動ストリップ線路垂直変換器および光モジュール
JP2002231974A (ja) * 2001-01-30 2002-08-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光受信装置及びその実装構造及びその製造方法
JP2002299649A (ja) * 2001-03-30 2002-10-11 Kyocera Corp 光半導体素子キャリア及びそれを用いた光デバイス

Also Published As

Publication number Publication date
US20040208653A1 (en) 2004-10-21
JP2003197929A (ja) 2003-07-11
US7046936B2 (en) 2006-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3012555B2 (ja) 多面体icパッケージ
US5784258A (en) Wiring board for supporting an array of imaging chips
JP2006313798A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP7350646B2 (ja) 光モジュール
JP4001744B2 (ja) 受光素子キャリアおよび光受信装置
US20030026553A1 (en) Optical chip packaging via through hole
JP2022088061A (ja) 光モジュール
JP2012129351A (ja) 素子キャリアおよび受光モジュール
JP4038669B2 (ja) 光受信器及びその製造方法
US6984882B2 (en) Semiconductor device with reduced wiring paths between an array of semiconductor chip parts
CN114488419A (zh) 一种光模块封装结构
JP2001208939A (ja) 光素子モジュール、モニタ付レーザチップの製造方法、積層チップの実装方法、光素子モジュールの製造方法
CN219670142U (zh) 微机电系统器件
JP2004343146A (ja) 熱電モジュール
JP2002314149A (ja) 半導体装置
JP2003008085A (ja) 熱電モジュール
JP2003163239A (ja) 半導体装置、半導体チップの支持部材及び電気接続用部材
JPH09260429A (ja) 半導体素子搭載用基板
WO2021029371A1 (ja) 光素子搭載用パッケージ、電子装置及び電子モジュール
JP2917903B2 (ja) 光受信器
JP2001028407A (ja) 光半導体素子収納用パッケージ
JPH01289172A (ja) 光半導体装置
JP7300625B2 (ja) 半導体装置の実装構造、光モジュール、及び半導体装置の実装構造の製造方法
JP3729167B2 (ja) レーザモジュール
JP2003318418A (ja) 光受信モジュール

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041206

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070706

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070717

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070815

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100824

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 4001744

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110824

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110824

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120824

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120824

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130824

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term