JP3991659B2 - 円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば光ディスク等の原盤露光装置に使用して好適なディスク原盤等の円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、光ディスクの原盤露光装置において、光ディスクのマスターとなる原盤の中心が、ターンテーブルの回転中心からずれていると、この原盤に対する回転記録中に、ダイナミックアンバランスによって振動等が発生する。これにより、この原盤に記録されるトラックピッチ等の記録精度が低下してしまう。
【0003】
このため、この原盤の中心に貫通したセンターホールを設けておき、このセンターホールをターンテーブル上のセンターピンに嵌合させることにより、この原盤の芯出しを行なう方法がある。然しながら、この方法では、高精度の芯出しを得るためには、センターホール及びこの原盤の外円周の円心度と、センターホールの寸法精度を高精度に規定する必要がある。従ってこの原盤が高価になってしまうという問題があった。
【0004】
また、この原盤にセンターホールが設けられていると、この原盤にフォトレジストを均一にスピンコートする際、及び露光後の現像処理等のウエットプロセスの際、そしてこの原盤のリサイクル時の再研磨の際に薬液の残留、不連続面による面精度の劣化等に、このセンターホールに起因する問題が発生しやすく、むしろセンターホールはない方がよい。
【0005】
さらに、上述したセンターホールが設けられている場合には、センターホールに微細なクラック等の欠陥があると、回転中に遠心力に基づいて、亀裂が発生し、場合によっては、この原盤が破断し、飛散するおそれが多くなる。かくして、この原盤に設けられたセンターホールを利用する芯出しは、上述した種々の問題があるため、実際にはあまり利用されていない。
【0006】
これに対し、この原盤の外円周を利用して芯出しを行う方法がある。この場合ターンテーブル上にてこの原盤の外円周を、リングにより全周で抑止し、また少なくとも3ヶ所以上の位置にて案内駒により、この原盤を抑止することにより、この原盤の芯出しが行なわれ得る。
【0007】
然しながら、この技術においては、この原盤より大きな回転部分が必要であることから、上述センターホールの場合に比較して、芯出しのための機構が大幅に大きくなり、高精度に加工するためには高価になってしまう問題があった。またターンテーブルの外周に円環状のリングを設けると、この原盤の取付け、取外しが面倒であると共にこの原盤の記録面に傷等のダメージを与える可能性が大きくなってしまうという問題があった。
【0008】
近年になって、光ディスク等の高密度化及び高速アクセス化が進んできて、この原盤への記録時にも、高速回転が要求されるようになってきている。この原盤のダイナミックアンバランスにより発生する振動の加速度は、回転数の二乗に比例する。
【0009】
これにより、振動の加速度による影響が非常に大きくなり、記録精度が著しく低下してしまうことになる。更に、振動の周波数も回転数に比例して高くなるので、この原盤露光装置の各部の固有振動数とこの振動の周波数とが一致してしまった場合、共振によって振動が増大してしまう等の問題があった。
【0010】
このため、従来に比較して、この原盤露光装置の各部の剛性を高める等の対策が必要になるので、この原盤露光装置自体が高価となってしまう問題があった。また共振による振動を抑制するための他の方法として、ターンテーブルを搭載する装置のベースを十分に重く構成することにより、ダイナミックアンバランスに起因する振動の加速度による変位をトラックピッチ等の記録精度の悪化に寄与しない範囲に抑える方法もある。然しながら重量の増大による設置場所が制限されたり、装置の小型化が困難になる傾向があると共に材料費も高くなってしまう等の問題があった。
【0011】
かくして、近年、このターンテーブルの回転中心に対して、この原盤の外円中心をできるだけ正確に一致させるための外部からの芯出し作業が必要となり、以下述べる方法が採用されている。
【0012】
第1の方法は、ターンテーブル上にこの原盤を搭載装着する作業者が、ダイヤルゲージ又は電気マイクロメータ等の変位計をこの原盤の外周端面にセットして、ターンテーブル上のこの原盤を回転させながら、偏心量が最小または許容範囲内に収まるように、この原盤の位置を微調整する方法である。
【0013】
また、第2の方法は、ターンテーブル上に原盤を搭載装着する際に、治具等を使用することにより、この原盤の偏心量が一定の許容範囲内に収まるようにして、ターンテーブルを所定の回転数で回転させ、ダイナミックアンバランスによる振動の大きさ及び方向を検出する釣合試験機またはダイナミックバランサー等を使用し、この原盤の不釣合を検出して釣合重りを付加し、あるいはこの原盤の位置を調整する方法である。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
然しながら上述2つの方法は何れも、作業に時間がかかると共に、熟練した専任の作業者が必要である。また人が介在することから、人に起因する塵埃の発生によりこの原盤の記録面に塵埃が付着して、この原盤の記録された記録信号に欠陥が生ずることがあるという不都合があった。更に第2の方法においては一般に加速度の検出は変位の検出より分解能が劣るため、変位と同等の分解能を得るためには、高価な検出器が必要になる不都合があった。
このため、以下のような方法が開示されている。
【0015】
先ず、上述した第1の方法を自動化して、人の介在を排除するようにしたものとしては、特開昭61−206956号公報、特開平1−210240号公報及び特開平1−217760号公報等による方法がある。然しながら之等の方法は何れもターンテーブルを少なくとも2回転以上、比較的低速度で回転させることによって、偏心量を補正し、且つ確認するものである。従って芯出しに要する時間が比較的長く、また変位計測部、駆動部、制御部が必要であることから、高精度の芯出しを行なうためには、複雑で且つ高価な装置となってしまう不都合があった。
【0016】
このため、ターンテーブルを回転させずに、少なくとも3方向から同時に、または順次にこの原盤を位置決め移動する方法として、特開平4−387640号公報に開示された方法がある。然しながらこの方法は、変位計測部、駆動部、制御部が必要であり、高精度の芯出しを行なうためには、複雑で且つ高価な装置となってしまう等の不都合は依然として残っていると共に更に演算によって、この原盤の位置決め移動を行なうため芯出しに時間がかかるという不都合があった。
【0017】
これに対して、特開平5−28541号公報において、工作機械の旋盤主軸台に被加工物を取り付けたり、ボール盤にドリル刃を取り付ける際に使用されるスクロール式3つ爪チャックに代表される機構を応用する方法が開示されている。この方法は、ターンテーブルを回転させなくても、少なくとも3方向から同時にこの原盤の位置を規制することにより、瞬時に芯出しが完了する。更に変位計測部が必要ないことから前述した方法に比較して、簡単に構成されることになる。
【0018】
然しながら、このような方法において、高精度の芯出しを行うためには、各部材の精度が偏心量と1対1の対応関係にある。即ち、調整部材の回転中心と駆動回転テーブルと案内駒との間の高い同心度が要求されることになる。更に少なくとも3個以上設けられる調整部材の夫々の案内溝にも同様の高い精度が要求されることになる。かくして装置全体では、精度を向上させるために、高価となってしまう不都合があった。
【0019】
本発明は、斯る点に鑑み、簡単且つ低価格の構成によりターンテーブルを回転させることなく、迅速且つ高精度に芯出しが行なわれる得るようにした、円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法を提供することを目的とする。
【0020】
【課題を解決するための手段】
本発明円盤のセンタリング装置は、円盤を載置するターンテーブルと、このターンテーブルの一側及び他側に夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々パッドを設けた第1及び第2のアームとを有し、この第1及び第2のアームの支点をこのターンテーブルの中心方向に移動し、この第1及び第2のアームの回動により夫々の両端に設けたパッドがこのターンテーブルの外周に倣うようにしたものである。
【0021】
本発明によれば、円盤と略同一外径のターンテーブルの一側及び他側より中間点を支点として回動自在とし、第1及び第2のアームの両端に夫々設けた夫々のパッドをこの第1及び第2のアームの支点をこのターンテーブルの中心方向に移動して、このターンテーブルの外周に倣うようにしたので、この円盤をターンテーブルを回転させることなく、迅速且つ高精度に芯出しができると共にその構成が簡単で且つ低価格とできる。
【0022】
また、本発明円盤のセンタリング方法は、ターンテーブル上にこのターンテーブルと略同一外径の円盤を載置し、このターンテーブルの一側及び他側より夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々パッドを設けた第1及び第2のアームの支点を、このターンテーブルの中心方向に移動し、この第1及び第2のアームの回動により夫々の両端に設けたパッドがこのターンテーブルの外周に倣うようにして、この円盤の中心をこのターンテーブルの中心に合わせるようにしたものである。
【0023】
本発明によれば、円盤と略同一外径のターンテーブルの一側及び他側より中間点を支点として回動自在とし、第1及び第2のアームの両端に夫々設けたパッドを、この第1及び第2のアームの支点をこのターンテーブルの中心方向に移動して、このターンテーブルの外周に倣うようにしたので、この円盤をターンテーブルを回転させることなく、迅速且つ高精度に芯出しができると共にその構成が簡単で且つ低価格とできる。
【0024】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法を光ディスクの原盤露光装置に適用した例につき説明する。
【0025】
図面において、1はターンテーブルを示し、このターンテーブル1の中心は原盤露光時に回転駆動できる如くスピンドルモータ2の回転軸に固定されており、このターンテーブル1は自由に回転できる如くなされている。この場合、このターンテーブル1の外径は光ディスクの原盤3の外径と同寸あるいは若干大きく製作する如くする。
【0026】
このターンテーブル1はこのスピンドルモータ2と共に図1の矢印aに示す一方向に移動できる如くなされ、この図示する如きセンタリングポジションと図示しない露光ポジションとを移動できる如くなされている。また、このターンテーブル1は光ディスクの原盤3を真空チャックできる如く構成する。
【0027】
本例においては、このターンテーブル1のセンタリングポジションにおいて、このターンテーブル1の一側及び他側のこの矢印a方向に直交する位置に対称構成のセンタリング手段4及び5を設ける如くする。このセンタリング手段4及び5は所定位置に固定されたベース板4a及び5aを有する。
【0028】
このベース板4a及び5aに夫々可動杆6a及び7aが夫々矢印a方向に直交する方向に往復運動する如く空圧シリンダー6及び7を夫々設け、この可動杆6a及び7aにより駆動板8及び9を夫々矢印a方向に直交する方向に往復運動できる如くする。
【0029】
この駆動板8及び9上に夫々軸固定ブラケット10a,10b及び11a,11bを夫々設けて、軸12及び13を夫々この駆動板8及び9の駆動方向に固定すると共に、この軸12及び13に夫々直交する一辺14a及び15aが夫々駆動ロッド16及び17に固定された駆動ブラケット14及び15の直交する他辺14b及び15bに形成した貫通孔を貫通する如くする。
【0030】
この軸12及び13の軸固定ブラケット10a及び11a側に圧力調整ねじ18及び19を夫々設けると共にこの軸12及び13の夫々の圧力調整ねじ18,19及び駆動ブラケット14,15の他辺14b,15b間に夫々ばね押え20a,21a及び20b,21bを介して、この軸12及び13を夫々貫通する如くコイルばね22及び23を設ける。この場合、圧力調整ねじ18及び19を調整することによりコイルばね22及び23の弾性力を調整することができる。
【0031】
この夫々の駆動ロッド16及び17は夫々ベース板4a及び5aに固定されたガイド固定ブラケット24及び25より構成されたクロスローラーテーブル構成のガイド26によりターンテーブル1の中心方向に案内される如くする。このガイドをクロスローラーテーブル構成としたときは、極めて小さな力で位置決め動作を行うことができる。
【0032】
この駆動ロッド16及び17のターンテーブル1側の先端に夫々このターンテーブル1を抱く如き形状のアーム27及び28の中間点を支点とするアーム軸受け29及び30を介して回動自在に設ける如くする。
【0033】
また本例においては、このアーム27及び28の夫々の両端に夫々図6に示す如くパッド軸受け31及びパッドカラー32を介してゴム等の軟質材33が設けられたパッド27a,27b及び28a,28bを設ける。
【0034】
本例は上述の如く構成されているので、光ディスクの原盤3のセンタリングを行うときには、先ずターンテーブル1を矢印a方向に移動し、センタリングポジションまで移動すると共にこのターンテーブル1上に光ディスクの原盤3を載置する。
【0035】
次に空圧シリンダー6及び7の出側にエアーを供給し、この空圧シリンダー6及び7の夫々の可動杆6a及び7aをターンテーブル1側に移動する。このときはこの可動杆6a及び7aに取り付けられた駆動板8及び9に設けた図2、図3、図5に示す如きコイルばね22及び23が同期して動作し、コイルばね22及び23の夫々の右側及び左側が駆動ブラケット14及び15を押し、図4に示す如く、ガイド26に取付けた駆動ロッド16及び17がターンテーブル1の中心方向に移動する。
【0036】
この駆動ロッド16及び17のターンテーブル1側の先端にアーム軸受け29及び30を介して設けたアーム27及び28の夫々の両端に設けたパッド27a,27b及び28a,28bが、この駆動ロッド16及び17に同期して動き、やがて、このアーム27及び28の夫々のパッド27a,27b及び28a,28bの片側がターンテーブル1の外周に接触する。
【0037】
その後、アーム27及び28が夫々アーム軸受け29及び30を中心にもう一方のパッドが接触するまで回動する。更に駆動ロッド16及び17が夫々右側及び左側によりターンテーブル1の中心方向に動きパッド27a,27b及び28a,28bは図6に示す如くゴム等の軟質材33が変形する。
【0038】
このパッド27a,27b及び28a,28bが変形することを利用して、この原盤3の外径寸法が公差内で、ばらついていてもこの原盤の中心とターンテーブル1の回転中心を精度良く合わせることができる。
【0039】
この場合、パッド27a,27b及び28a,28bの押圧力は押圧調整ねじ18及び19を調整することにより調整することができる。またパッド27a,27b,28a,28bの押付け力とゴム等の軟質材33の硬度を設定することによりセンタリング精度を向上することができる。
【0040】
また本例によれば、アーム軸受け(摩擦抵抗小)29及び30によりアーム27及び28をある角度範囲にて自由に回動することにより、このターンテーブル1の外周にパッド27a,27b,28a,28bが倣うため、図1に示すターンテーブル移動方向矢印aについて、このターンテーブル1の位置精度は、それ程必要がない。
【0041】
その後、この原盤3をターンテーブル1に真空吸引して固定し、空圧シリンダー6,7に戻り側にエアーを供給し、図1に示す如くパッド27a,27b,28a,28bを退避させ、このセンタリング動作を完了する。
【0042】
以上述べた如く、本例によれば、光ディスクの原盤3と略同一外径のターンテーブル1の一側及び他側より中間点を支点(アーム軸受け29及び30)として回動自在とし、アーム27及び28の両端に夫々設けた夫々のパッド27a,27b及び28a,28bをこのアーム27及び28の支点29及び30をこのターンテーブル1の中心方向に移動して、このターンテーブル1の外周に倣うようにしたので、この原盤3をターンテーブル1を回転させることなく迅速且つ高精度に芯出しができると共にその構成が簡単で且つ低価格とできる。
【0043】
また、本例によればターンテーブルの位置精度に依存することなく、高精度なセンタリング精度を実現することができる。
【0044】
また本例によればパッド27a,27b,28a及び28bのゴム等の軟質材33の硬度とセンタリング時のパッド押付け力を最適化することによって、原盤3の外径ばらつきに依存することなく高精度なセンタリングを実現することができる。
【0045】
また本例によれば、ターンテーブル1の一側及び他側よりターンテーブル1の外周にパッド27a,27b,28a,28bが倣うようにした簡単な構成なので、安価、軽量に構成できる。
【0046】
また、本例においてはターンテーブル1に与える外力を小さくすることができ、原盤露光装置におけるこのターンテーブル移動機構に高精度送り機構を実現するボイスコイルモータを使用することができる。
【0047】
また本例によれば、このセンタリング手段4及び5を磁気シールドカバーにて覆うと共にアーム軸受け29,30を含めて非磁性材を使用することにより、僅かな磁気でも嫌う電子ビームを用いた原盤露光装置に適用することができる。
【0048】
尚、上述例は本発明を光ディスクの原盤3のセンタリングに適用した例につき述べたが本発明はその他の円盤のセンタリングにも適用できることは勿論である。
【0049】
また本発明は上述例に限ることなく本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得ることは勿論である。
【0050】
【発明の効果】
本発明によれば円盤と略同一外径のターンテーブルの一側及び他側より中間点を支点として回動自在とし、第1及び第2のアームの両端に夫々設けた夫々のパッドをこの第1及び第2のアームの支点をこのターンテーブルの中心方向に移動して、このターンテーブルの外周に倣うようにしたので、この円盤をターンテーブルを回転させることなく迅速且つ高精度に芯出しができると共にその構成が簡単で且つ低価格とできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明円盤のセンタリング装置の実施の形態の例を示す平面図である。
【図2】図1のセンタリング状態を示す平面図である。
【図3】図2の正面図である。
【図4】図2の一部切欠左側面図である。
【図5】図1の要部の例を示す一部拡大図である。
【図6】図1の要部の例を示す切欠拡大断面図である。
【符号の説明】
1‥‥ターンテーブル、3‥‥原盤、4,5‥‥ベース板、6,7‥‥空圧シリンダー、8,9‥‥駆動板、12,13‥‥軸、14,15‥‥駆動ブラケット、16,17‥‥駆動ロッド、18,19‥‥押圧調整ねじ、22,23‥‥コイルばね、27,28‥‥アーム、27a,27b,28a,28b‥‥パッド、29,30‥‥アーム軸受け
Claims (6)
- 円盤を載置するターンテーブルと、該ターンテーブルの一側及び他側に夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々パッドを設けた第1及び第2のアームとを有し、前記第1及び第2のアームの支点を前記ターンテーブルの中心方向に移動し、前記第1及び第2のアームの回動により夫々の両端に設けたパッドが前記ターンテーブルの外周に倣うようにしたことを特徴とする円盤のセンタリング装置。
- 請求項1記載の円盤のセンタリング装置において、前記パッドの外周部を軟質材で構成したことを特徴とする円盤のセンタリング装置。
- 請求項1記載の円盤のセンタリング装置において、前記第1及び第2のアームの支点を弾性部材を介して前記ターンテーブルの中心方向に移動するようにしたことを特徴とする円盤のセンタリング装置。
- 請求項1記載の円盤のセンタリング装置において、前記第1及び第2のアームの支点を前記ターンテーブルの中心方向に移動するガイドとして、クロスローラテーブルを用いたことを特徴とする円盤のセンタリング装置。
- ターンテーブル上に該ターンテーブルと略同一外径の円盤を載置し、前記ターンテーブルの一側及び他側より夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々パッドを設けた第1及び第2のアームの支点を前記ターンテーブルの中心方向に移動し、前記第1及び第2のアームの回動により夫々の両端に設けたパッドが前記ターンテーブルの外周に倣うようにして、前記円盤の中心を前記ターンテーブルの中心に合わせるようにしたことを特徴とする円盤のセンタリング方法。
- ターンテーブル上に該ターンテーブルと略同一外径の円盤を載置し、前記ターンテーブルの一側及び他側より夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々パッドを設けた第1及び第2のアームの支点を前記ターンテーブルの中心方向に移動し、前記第1及び第2のアームの回動により夫々の両端に設けたパッドが前記ターンテーブルの外周に倣うようにして、前記円盤の中心を前記ターンテーブルの中心に合わせるようにした円盤のセンタリング方法において、前記パッドの外周部を軟質材で構成し、前記パッドが前記ターンテーブルの外周部に当接後、前記パッドが変形することにより、前記円盤の外円周を押すようにしたことを特徴とする円盤のセンタリング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001352028A JP3991659B2 (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001352028A JP3991659B2 (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003157589A JP2003157589A (ja) | 2003-05-30 |
JP3991659B2 true JP3991659B2 (ja) | 2007-10-17 |
Family
ID=19164260
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001352028A Expired - Fee Related JP3991659B2 (ja) | 2001-11-16 | 2001-11-16 | 円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3991659B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102076459B (zh) * | 2008-06-26 | 2012-12-05 | 明甘蒂国际有限公司 | 将加工工件在机床竖直心轴的夹具上正确对中的设备及相关操作方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4833696B2 (ja) | 2006-03-13 | 2011-12-07 | 日本トムソン株式会社 | ワーク芯出し方法及びその芯出し装置 |
WO2022085744A1 (ja) | 2020-10-21 | 2022-04-28 | 日本精工株式会社 | 芯出し工具、芯出し装置、工作機械、円形ワークの芯出し方法、円形ワークの製造方法、リング部材の製造方法、軸受の製造方法、機械の製造方法、車両の製造方法、及びプログラム |
JP7036299B1 (ja) * | 2020-10-21 | 2022-03-15 | 日本精工株式会社 | 芯出し工具、芯出し装置、工作機械、円形ワークの芯出し方法、円形ワークの製造方法、リング部材の製造方法、軸受の製造方法、機械の製造方法、車両の製造方法、及びプログラム |
-
2001
- 2001-11-16 JP JP2001352028A patent/JP3991659B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102076459B (zh) * | 2008-06-26 | 2012-12-05 | 明甘蒂国际有限公司 | 将加工工件在机床竖直心轴的夹具上正确对中的设备及相关操作方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003157589A (ja) | 2003-05-30 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041015 |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20051202 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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