CN118003074B - 一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置、方法及应用 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置、方法及应用，其属于磁悬浮分子泵安装领域，其技术要点在于：所述对中装配装置用于磁悬浮分子泵的涡轮转子与动牵引筒的对中装配；所述对中装配装置包括：伺服回转平台、调试装置、千分表组件、压紧组件、溢胶接收装置；所述调试装置包括：调试轮、螺旋调试装置、螺旋测微器支架；所述调试轮转动安装在所述螺旋调试装置的端部，所述螺旋调试装置安装在所述螺旋测微器支架上；通过螺旋调试装置来调节所述调试轮的位置，进而来调试所述动牵引筒的位置。采用本申请的技术方案，磁悬浮分子泵的振动值能够控制在0.03μm以下。

Description

一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置、方法及应用

技术领域

本申请涉及磁悬浮分子泵安装领域，更具体地说，尤其涉及一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置、方法及应用。

背景技术

目前，高真空及超高真空获得设备主要采用磁悬浮分子泵。其优点是：无摩擦、低振动、无污染、免维护、任意角度安装。

磁悬浮分子泵的转速范围在10000r/min-90000r/min。如此高的转速对动平衡的要求是极其高的（磁悬浮分子泵的振动值必须控制在0.03μm以下），否则将直接影响产品的寿命。磁悬浮分子泵的动平衡主要受转子系统所影响，即磁悬浮分子泵的振动值通过对转子系统不平衡量的控制而得以保证。

如图1所示，转子系统主要包括以下部件：1）涡轮转子101：分子泵抽气的核心部件，也是整个转子系统最重的部件；2）主轴102：负责带动涡轮旋转的部件，重量仅次于涡轮转子；3）动牵引筒103：与涡轮转子粘接固定，是分子泵排气的主要部件；4）螺母104：用于整个转子系统与泵体的固定。

整个转子系统的不平衡量受以上4个部件控制：

1）涡轮转子为五轴高速铣整体加工，其不平衡量主要依靠机加工进行保证，加工后的部件会进行涡轮动卧试，通过精密的动平衡仪找出其不平衡量，并通过打孔去重的方式将其不平衡量控制在0.1g以内。

2）主轴为精密的数控车床以及数控磨床加工后获得，其产品精度在所有回转体中精度最高，加工完成后主轴会进行主轴卧试，也是通过精密的动平衡仪找出其不平衡量，通过打孔去重的方式将其不平衡量控制在0.1g以内。

3）动牵引筒的不平衡量只能依靠碳纤维绕制设备保证，无法进行动平衡调试，否则会破坏零件表面导致无法使用，因此该处的不平衡量通过图纸的同轴度保证。

4）锁母为机加工部件，不做动平衡调试，不平衡量也是依靠加工保证。

整个转子系统在整机满速动平衡之前，零部件的不平衡量均可以通过图纸以及设备将其控制在要求内，试图降低整机动平衡的难度，使整个动平衡满足发货要求，但是即使零部件控制的再好，依旧会存在整机动平衡无法调试合格的情况。

除了控制了零部件的不平衡量，还需要从这4个部件装配后的不平衡量来进行控制。其中，涡轮转子与主轴以及锁母之间均是硬接触装配，且零件本身均有同轴度要求，装配后的转子整体同轴基本一致，对转子整体动平衡影响不大。

因此，对装配后的整机动平衡最大的影响在于：涡轮转子与动牵引筒之间的装配。上述影响的原因在于：涡轮转子与动牵引筒之间采用粘接装配。为了方便胶水粘接，动牵引筒的内径会比涡轮转子粘胶处的外径大0.3mm左右，用于填充胶水使得两者装配牢靠。然而，这0.3mm的装配缝隙给整机动平衡带来了极大的困扰。动牵引筒由于使用碳纤维材料，质量较轻，即使再轻，其重量也有400g，一旦其粘接后的位置与涡轮转子不同心，经过试验验证，其带来不平衡量最大可以超过5g。这一影响使得前面对零部件不平衡量的控制将毫无意义。

同时，整机动平衡调试是通过在涡轮转子平衡钉孔内加平衡钉的方式进行整机动平衡，平衡钉孔的深度只有10mm，该相位里及相邻相位里加满平衡钉只能将不平衡量低于3g的转子控制在30mg以内（此时振动值不超0.03μm），从而保证产品的可靠性，但是不平衡量超过3g的转子只能返工将动牵引筒使用数控车床加工掉，重新粘接后再进行整机动平衡，浪费了动牵引筒，增加了机加工车间工作量，也给生产工作带来极大的困扰。

目前，涡轮转子与动牵引筒在装配时，仍然采用人工法。其存在以下不足：

1）同心度调试的精度无法保证。一是检测精度不足：只能用肉眼查看；二是调整精度不足：人工调试时调整的力度无法保证。

2）返工严重。现有的装配方式给机加工车间带来不必要的返工工作量，并且机加车间只能将碳纤维的动牵引筒车掉，浪费了昂贵的原材料，还可能造成涡轮转子报废，损失惨重。

3）人工法在装配时，涡轮转子与动牵引筒均是处于静止状态下。处于静止状态下同心度的检测仅仅是通过检测有限的几个方向而得到，其无法得到准确的同心度。因此，人工法装配好后需要在实际运行中再来检测整个系统的动平衡的不平衡量。

因此，研发一种工装来保证涡轮转子与动牵引筒的同心度可以控制在需要的阈值范围以内。

针对同心度检测、调节的文献，研发团队经过调研，发现：

1）基于中心通孔的光学检测路线。代表如：TW200834035A、TW200834035A，这一技术路线是基于不同光学镜头模组上的感光元件上的光斑中心偏移量来进行检测。

这种方法对于磁悬浮分子泵而言，并不适用。一是转子和动牵引筒无法安装对中检测的感光元件。另一方面，TW200834035A缺乏调整同心度的方法。

2）基于自上而下的影像检测路线。代表如：TWM246571U、CN205002746U。其是利用编码器主体外圆、编码器主体内圆确定编码器主体的圆心位置，利用光栅盘码道外圆确定码道外圆半径，从而确定光栅盘的圆心。

这一方法对于磁悬浮分子泵而言，并不适用。一是转子系统的外表面并非光滑的表面，而其内表面也并非像编码器主体那样有唯一的轮廓线。因此，从影像的角度出发去研究磁悬浮分子泵转子的转动中心是一件较为困难的事项。

3）针对同心度调整而言，基本采用CN219818697U、TWM246571U、CN205002746U的顶压机构来调节同心度。这一方法实质上类似于人工法，只是采用机械挤压替代了人工。然而顶推这一方法应用在光栅盘这样的体积小、重量轻的物品是可行的。但是应用在涡轮、动牵引筒这样的大型设备上，可能存在一些意想不到的技术问题。

综上所述，从涡轮与动牵引筒的对中装配来保证磁悬浮分子泵动平衡成为一个研发热点。

发明内容

本申请的目的在于针对上述现有技术的不足，提供一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置。

本申请的另一目的在于提供一种磁悬浮分子泵的涡轮与动牵引筒的对中装配方法。

本申请的又一目的在于提供一种对中装配方法在调节磁悬浮分子泵动平衡的应用。

本申请的技术方案如下：

一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，用于磁悬浮分子泵的涡轮转子与动牵引筒的对中装配；

所述对中装配装置包括：伺服回转平台、调试装置、千分表组件、压紧组件、溢胶接收装置；

其中，所述涡轮转子放置且固定在伺服回转平台上，所述伺服回转平台能够带动所述涡轮转子及所述动牵引筒转动；

其中，所述千分表组件包括：第一千分表、第二千分表、千分表支架；千分表支架竖向设置，第一千分表、第二千分表均水平设置；第一千分表、第二千分表分别放入到所述动牵引筒、所述涡轮转子的内部；

其中，所述调试装置包括：调试轮、螺旋调试装置、螺旋测微器支架；所述调试轮转动安装在所述螺旋调试装置的端部，所述螺旋调试装置安装在所述螺旋测微器支架上；通过螺旋调试装置来调节所述调试轮的位置，进而来调试所述动牵引筒的位置；

其中，所述压紧组件包括：支架、若干个压紧杆组件；所述压紧杆组件均设置在所述支架上；所述压紧杆组件能够压紧所述动牵引筒；

其中，所述溢胶接收装置设置在所述涡轮转子的外侧且设置在涡轮叶齿的上方。

进一步，调试轮、伺服回转平台的中心在水平面上的投影直线与螺旋调试装置的杆长变化的水平方向平行。

进一步，所述支架包括竖向支架、水平支架；所述水平支架设置有通孔；

每个所述压紧杆组件均包括：动牵引筒压紧杆、压紧杆锁紧蝶形螺、压紧杆弹簧、压紧轮；

其中，在所述动牵引筒压紧杆的中部设置有限位环，所述限位环的大小大于所述通孔的大小，所述动牵引筒压紧杆的上部能够穿过所述通孔，压紧杆弹簧的一端与所述限位环的上表面接触，另一端与所述水平支架的下表面接触；

其中，所述压紧轮转动设置在所述动牵引筒压紧杆的底部；

其中，所述压紧杆锁紧蝶形螺用于固定抬起的后的动牵引筒压紧杆。

进一步，千分表支架固定在压紧组件的支架上。

进一步，所述调试轮采用橡胶轮。

进一步，伺服回转平台的转速为60r/min。

进一步，所述对中装配装置还包括：作业平台；所述伺服回转平台、所述压紧组件的支架、所述调试装置的螺旋测微器支架均安装固定放置于所述作业平台上。

进一步，所述对中装配装置还包括：显示器；所述显示器用于接收且显示所述千分表组件监测到的数据。

一种磁悬浮分子泵的涡轮与动牵引筒的对中装配方法，采用前述的对中装配装置来对磁悬浮分子泵的涡轮转子与动牵引筒进行对中装配；

包括如下步骤：

S100，将涡轮转子放置于所述伺服回转平台上且将两者固定；

S200，调整所述千分表组件，将第二千分表接触所述涡轮转子与所述动牵引筒粘胶处的内侧；

S300，判断涡轮转子是否与所述伺服回转平台同轴转动：开启所述伺服回转平台且使得所述伺服回转平台至少转动一圈后关闭所述伺服回转平台，观察第二千分表的变化；

当第二千分表的数值变化小于同轴阈值时，涡轮转子与所述伺服回转平台同轴，进行步骤S400；

当第二千分表的数值变化大于等于同轴阈值时，将涡轮转子从所述伺服回转平台取下，重新进入步骤S100；

S400，在所述涡轮转子的粘胶处均匀涂抹粘接胶水，涂抹完胶水后安装所述溢胶接收装置，以防止后续的过程中胶水滴至涡轮转子的叶齿上；

S500，安装所述动牵引筒；

S600，调整千分表支架，将第一千分表接触所述动牵引筒的内表面；同时，调节螺旋调试装置使得所述调试轮接触所述动牵引筒；

S700，调试涡轮转子与所述动牵引筒的同心度M，使得M小于同心度阈值[M]：其包括以下子步骤：

S701，开启所述伺服回转平台，测试t时间内的初始同心度M0：

若M0<[M]时，进入步骤S800；

若M0≥[M]，进入步骤S702；

S702，第一步距调节：螺旋调试装置伸长一步距，读取步距调整完成后的t时间内的同心度M1；

若M1<[M]时，进入步骤S800；

若M1≥[M]，进入步骤S703；

S703，X赋值2；

S704，后续步距调节：

S7041，判断此步距调节伸长还是缩短：

若MX-2<MX-1，螺旋调试装置与第X-1步距调节的方式相同；

若MX-2>MX-1，螺旋调试装置与第X-1步距调节的方式相反；

S7042，此步步距调节完成后，读取此步步距调整完成后的t时间内的同心度MX；

S7043，判断是否还需要进行调节：

若MX<[M]时，进入步骤S800；

若MX≥[M]，X+1赋值给X（即X的数值加1），然后重复步骤S7031~S7033；

其中，t表示所述伺服回转平台转动一圈以上的任意时间；

其中，对于同心度MX的确定方式如下：

S＝丨S1- S2丨，S1、S2表示同一时刻下第一千分表后、第二千分表测量得到的数值；

MX=(Smax-Smin)/2；Smax、Smin分别表示步距调节完成后t时间内S的最大值、最小值；

S800，调试合格后，松动压紧杆锁紧蝶形螺，使得压紧组件的压紧轮压紧到所述动牵引筒上；

S900，调试合格后，取下溢胶接收装置；

S1000，待胶水自然固化后，将千分表组件移开，将涡轮转子-动牵引筒从对中装配装置上取下。

一种对中装配方法在调节磁悬浮分子泵动平衡的应用，使用前述的对中装配方法，将磁悬浮分子泵的涡轮转子与动牵引筒的同心度控制在0.02mm以内。

本申请的有益效果在于：

（1）本申请的基础发明构思在于：基于长期的实践，发现：控制“涡轮转子-动牵引筒”的同心度，能够解决磁悬浮分子泵动平衡的要求。具体而言，“涡轮转子-动牵引筒的同心度控制在0.02mm以内，磁悬浮分子泵的振动值能够控制在0.03μm以下”。

（2） 申请提出的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置。其在研发时存在以下几种难点。

2.1，伺服回转平台-涡轮转子-动牵引筒是本申请的基础动力传动结构。为了实现较好的对中装配，伺服回转平台-涡轮转子两者首先应该保证对中。如何检测涡轮转子与伺服回转平台安装是否正确是第一个问题。

对此问题，“涡轮转子固定安装到伺服回转平台后，第二千分表测量涡轮转子转动至少一圈的变化值”，通过判断所述变化值与阈值（一般取0.01mm）的大小，来判断涡轮转子是否与所述伺服回转平台同轴。

这一问题是TW1269021A等文献不曾出现的问题。

2.2，“同心度检测-顶推调整”是本申请的基础构思。

在硬件设计上，“第一千分表、第二千分表来共同测量得到同心度，调试装置来实现同心度的调整”。

在方法设计上，同心度的调整是本申请的难点。

步距调节的方法包括以下几步：

S1，判断当前步距调节伸长还是缩短：

若前前次步距调节后的同心度<前次步距调节后的同心度，螺旋调试装置302与前次步距调节的方式相同；

若前前次步距调节后的同心度大于前次步距调节后的同心度，螺旋调试装置302与前次步距调节的方式相反；

S2，当前步距调节完成后，读取此次步距调整完成后的t时间内的同心度MX；

S3，判断是否还需要进行调节：

若MX<[M]时，进入步骤S800；

若MX≥[M]，继续下一步距调节；

其中，[M]表示同心度阈值。

（3）对于磁悬浮分子泵而言，磁悬浮分子泵的涡轮、动牵引筒在对中装配完成后，若顶推机构与动牵引筒分离后，由于胶水的内应力，可能会导致涡轮、动牵引筒的同心度发生变化。这一问题是磁悬浮分子泵独有的问题，本申请针对其解决方案在于：设置压紧组件，在调节合格后，使得压紧组件的压紧轮压紧到所述动牵引筒上，待胶水自然固化后，再将涡轮转子-动牵引筒从对中装配装置上取下。

（4）本申请提出的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，能够有效保证装配的精度，并且一致性好，不存在造成零部件报废及返工问题。同时，本装置可以有效的控制整个涡轮转子的不平衡量在0.5g以下，整机动平衡时仅需要微调就可以满足使用要求，大大提升生产的效率，提升至少50%。

附图说明

下面结合附图中的实施例对本申请作进一步的详细说明，但并不构成对本申请的任何限制。

图1是本申请的磁悬浮分子泵的转子系统的结构图。

图2是本申请的伺服回转平台、调试装置、千分表组件、压紧组件、溢胶接收装置的设计示意图。

图3是本申请的调试装置的设计示意图。

图4是本申请的千分表组件的设计示意图。

图5是本申请的溢胶接收装置的设计示意图。

图6是本申请的压紧组件的设计示意图。

图7是本申请的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置的三维设计示意图。

附图标记如下：

涡轮转子101、主轴102、动牵引筒103、螺母104；

伺服回转平台200；

调试装置300、调试轮301、螺旋调试装置302、螺旋测微器支架303；

千分表组件400、第一千分表401、第二千分表402、千分表支架403；

压紧组件500、支架501、压紧杆组件502、动牵引筒压紧杆5021、压紧杆锁紧蝶形螺5022、压紧杆弹簧5023、压紧轮5024；

溢胶接收装置600；

作业平台700；

显示器800。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

<研发难点>

对于磁悬浮分子泵的转子-动牵引筒的同心度装配装置而言，其在研发上面临几个难点：

（1）如何测量涡轮转子、动牵引筒的同心度。

（2）CN205002746U只需要顶推结构即可，但是将其应用到磁悬浮分子泵上效果并不佳。在实践中发现：对于CN205002746U、TW1269021A而言，光栅盘、编码器两者是水平接触面上采用胶粘结。而且两者均属于体积小、重量轻的物品，胶水的使用量非常小，在顶推完成后即完成工序。

但是，在应用到磁悬浮分子泵上确存在以下问题：

第一，而磁悬浮分子泵的涡轮、动牵引筒的胶水是竖向环形接触面，顶推动牵引筒时，实质上是胶水是受到挤压的；并且磁悬浮分子泵的涡轮、动牵引筒的胶水使用量较大，在顶推过程中胶水必然会外溢，外溢的胶水如何处理是个问题。

第二，而磁悬浮分子泵的涡轮、动牵引筒在顶推完成后，若顶推机构与动牵引筒分离后，由于胶水的内应力，可能会导致涡轮、动牵引筒的同心度发生变化。

<实施例一：一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置>

结合图2所示，一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，用于磁悬浮分子泵的涡轮转子101与动牵引筒103的对中装配；其包括以下部件：

a，伺服回转平台200；所述涡轮转子101放置且固定在伺服回转平台200上，伺服回转平台200的转速默认为60r/min；

b，调试装置300；所述调试装置300包括：调试轮301、螺旋调试装置302、螺旋测微器支架303；

所述调试轮301转动安装在所述螺旋调试装置302的端部，所述螺旋调试装置302安装在所述螺旋测微器支架303上；

所述调试轮301能够与所述动牵引筒103的外表面接触，其材质为橡胶轮，防止造成动牵引筒外表面损坏；

所述螺旋调试装置302用于调试所述动牵引筒103的位置，即通过所述螺旋调试装置302调试所述动牵引筒103与所述涡轮转子101的同心度；

所述螺旋测微器支架用于固定所述螺旋调试装置，使之可以稳定作业。

c，千分表组件400；所述千分表组件400包括：第一千分表401、第二千分表402、千分表支架403；千分表支架403竖向设置，第一千分表401、第二千分表402均水平设置；第一千分表401、第二千分表402分别放入到所述动牵引筒103、所述涡轮转子101的内部，两者分别用于测量所述动牵引筒103、所述涡轮转子101的水平距离；实施例1的千分表采用三丰543系列低测力数显千分表，支持数据无线传输。

d，压紧组件500；所述压紧组件500包括：支架501、若干个压紧杆组件502；所述压紧杆组件502均设置在所述支架501上；所述压紧杆组件能够压紧所述动牵引筒303。

对于每个所述压紧杆组件502而言，均包括：动牵引筒压紧杆5021、压紧杆锁紧蝶形螺5022、压紧杆弹簧5023、压紧轮5024；

其中，所述支架501包括竖向支架、水平支架；所述水平支架设置有通孔；

其中，在所述动牵引筒压紧杆5021的中部设置有限位环，所述限位环的大小大于所述通孔的大小，所述动牵引筒压紧杆5021的上部能够穿过所述通孔，压紧杆弹簧5023的一端与所述限位环的上表面接触，另一端与所述水平支架的下表面接触；

其中，所述压紧轮5024转动设置在所述动牵引筒压紧杆5021的底部；

其中，所述压紧杆锁紧蝶形螺5022用于固定抬起的后的动牵引筒压紧杆，压紧杆下半部有弹簧的弹力，因此抬起后需要使用蝶形螺丝锁紧。

需要说明的是，千分表支架403直接固定在压紧组件500的支架501上。

e，溢胶接收装置600；在动牵引筒103的安装过程中，涡轮转子表面的胶水会从下部缝隙中溢出，为了防止胶水滴在涡轮叶齿上，从而产生该装置，用于接住溢出的胶水。

f，作业平台700；所述伺服回转平台200、所述压紧组件500的支架501、所述调试装置300的螺旋测微器支架303均安装固定放置于所述作业平台700上。

g，显示器800；所述显示器800用于接收且显示所述千分表组件400监测到的数据。

<一种磁悬浮分子泵的涡轮与动牵引筒的对中装配方法>

一种磁悬浮分子泵的涡轮与动牵引筒的对中装配方法，包括如下步骤：

S100，将涡轮转子101放置于所述伺服回转平台200上且将两者固定；

S200，调整所述千分表组件400，将第二千分表402接触所述涡轮转子101与所述动牵引筒103粘胶处的内侧；

S300，判断涡轮转子101是否与所述伺服回转平台200同轴转动：

开启所述伺服回转平台200且使得所述伺服回转平台200至少转动一圈后关闭所述伺服回转平台200，观察第二千分表402的变化；

当第二千分表402的数值变化小于同轴阈值时，涡轮转子101与所述伺服回转平台200同轴，进行步骤S400；

当第二千分表402的数值变化大于等于同轴阈值时，将涡轮转子101从所述伺服回转平台200取下，重新进入步骤S100；

S400，在所述涡轮转子101的粘胶处均匀涂抹粘接胶水，涂抹完胶水后安装所述溢胶接收装置600，以防止后续的过程中胶水滴至涡轮转子的叶齿上；

S500，安装所述动牵引筒103；

S600，调整千分表支架，将第一千分表401接触所述动牵引筒的内表面；同时，调节螺旋调试装置302使得所述调试轮接触所述动牵引筒；

S700，调试涡轮转子101与所述动牵引筒103的同心度M，使得M小于[M]：

启动所述伺服回转平台200，通过伸长或缩短螺旋调试装置302来对所述动牵引筒103的位移进行调试；

所述调试方法为：无需将第一千分表401、第二千分表402对零，仅需对第一千分表401、第二千分表402的差值绝对值S对比即可；

S701，当所述调试轮301接触所述动牵引筒后，读取在t时间内的同心度M0；

若M0<[M]时，进入步骤S800；

若M0≥[M]，进入步骤S702；

S702，第一步距调节：螺旋调试装置302伸长一步距，读取步距调整完成后的t时间内的同心度M1；

若M1<[M]时，进入步骤S800；

若M1≥[M]，进入步骤S703；

S703，第二步距调节：

首先，判断第二步距调节伸长还是缩短：

若M1<M0，螺旋调试装置302伸长一步距；

若M1>M0，螺旋调试装置302缩短一步距；

其次，第二步距调节完成后，读取步距调整完成后的t时间内的同心度M2；

再次，判断是否还需要进行调节：

若M2<[M]时，进入步骤S800；

若M2≥[M]，进入步骤S704；

S704，第三步距调节：

首先，判断第三步距调节伸长还是缩短：

若M2<M1，螺旋调试装置302与第二步距调节的方式相同；

若M2>M1，螺旋调试装置302与第二步距调节的方式相反；

其次，第三步距调节完成后，读取步距调整完成后的t时间内的同心度M3；

再次，判断是否还需要进行调节：

若M3<[M]时，进入步骤S800；

若M3≥[M]，进入步骤S705；

……

S70X，第X步距调节：

首先，判断第X步距调节伸长还是缩短：

若MX-2<MX-1，螺旋调试装置302与第X-1步距调节的方式相同；

若MX-2>MX-1，螺旋调试装置302与第X-1步距调节的方式相反；

其次，第X步距调节完成后，读取步距调整完成后的t时间内的同心度MX；

再次，判断是否还需要进行调节：

若MX<[M]时，进入步骤S800；

若MX≥[M]，进入步骤S70X+1（继续第X+1步距调节）；

其中，t表示所述伺服回转平台200转动一圈以上的任意时间；

其中，对于任意第X步距调节的同心度MX的确定方式如下：

S＝丨S1- S2丨，S1、S2表示同一时刻下第一千分表后401、第二千分表402测量得到的数值；

MX=(Smax-Smin)/2；Smax、Smin分别表示第X步距调节完成后t时间内S的最大值、最小值；

S800，调试合格后，松动压紧杆锁紧蝶形螺5022，使得压紧组件500的压紧轮5024压紧到所述动牵引筒303上；

S900，调试合格后，取下溢胶接收装置；

S1000，待胶水自然固化后，将千分表组件400移开，戴上防割手套抱住涡轮转子侧面，将涡轮转子-动牵引筒从对中装配装置上取下。

需要说明的是：

步骤S700采用还可以表述为：

S700，调试涡轮转子与所述动牵引筒的同心度M，使得M小于同心度阈值[M]：其包括以下子步骤：

S701，开启所述伺服回转平台，测试t时间内的初始同心度M0：

若M0<[M]时，进入步骤S800；

若M0≥[M]，进入步骤S702；

S702，第一步距调节：螺旋调试装置伸长一步距，读取步距调整完成后的t时间内的同心度M1；

若M1<[M]时，进入步骤S800；

若M1≥[M]，进入步骤S703；

S703，X赋值2；

S704，后续步距调节：

S7041，判断此步距调节伸长还是缩短：

若MX-2<MX-1，螺旋调试装置与第X-1步距调节的方式相同；

若MX-2>MX-1，螺旋调试装置与第X-1步距调节的方式相反；

S7042，此步步距调节完成后，读取此步步距调整完成后的t时间内的同心度MX；

S7043，判断是否还需要进行调节：

若MX<[M]时，进入步骤S800；

若MX≥[M]，X+1赋值给X，然后重复步骤S7031~S7033；

其中，t表示所述伺服回转平台转动一圈以上的任意时间。

要说明的是：同轴阈值可取0.01mm。

需要说明的是：对于磁悬浮分子泵而言，同心度判断阈值[M]一般取：0.02mm。

需要说明的是：本申请采用的螺旋调试装置302，其伸长/缩短一步距为：0.01mm。

以上所举实施例为本申请的较佳实施方式，仅用来方便说明本申请，并非对本申请作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本申请所提技术特征的范围内，利用本申请所揭示技术内容所作出局部更动或修饰的等效实施例，并且未脱离本申请的技术特征内容，均仍属于本申请技术特征的范围内。

Claims (10)

1.一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，其特征在于，所述对中装配装置用于磁悬浮分子泵的涡轮转子与动牵引筒的对中装配；

所述对中装配装置包括：伺服回转平台、调试装置、千分表组件、压紧组件、溢胶接收装置；

其中，所述涡轮转子放置且固定在伺服回转平台上，所述伺服回转平台能够带动所述涡轮转子及所述动牵引筒转动；

其中，所述千分表组件包括：第一千分表、第二千分表、千分表支架；千分表支架竖向设置，第一千分表、第二千分表均水平设置；第一千分表、第二千分表分别放入到所述动牵引筒、所述涡轮转子的内部；

其中，所述调试装置包括：调试轮、螺旋调试装置、螺旋测微器支架；所述调试轮转动安装在所述螺旋调试装置的端部，所述螺旋调试装置安装在所述螺旋测微器支架上；通过螺旋调试装置来调节所述调试轮的位置，进而来调试所述动牵引筒的位置；

其中，所述压紧组件包括：支架、若干个压紧杆组件；所述压紧杆组件均设置在所述支架上；所述压紧杆组件能够压紧所述动牵引筒；

其中，所述溢胶接收装置设置在所述涡轮转子的外侧且设置在涡轮叶齿的上方。

2.根据权利要求1所述的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，其特征在于，调试轮、伺服回转平台的中心在水平面上的投影直线与螺旋调试装置的杆长变化的水平方向平行。

3.根据权利要求1所述的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，其特征在于，所述支架包括竖向支架、水平支架；所述水平支架设置有通孔；

每个所述压紧杆组件均包括：动牵引筒压紧杆、压紧杆锁紧蝶形螺、压紧杆弹簧、压紧轮；

其中，在所述动牵引筒压紧杆的中部设置有限位环，所述限位环的大小大于所述通孔的大小，所述动牵引筒压紧杆的上部能够穿过所述通孔，压紧杆弹簧的一端与所述限位环的上表面接触，另一端与所述水平支架的下表面接触；

其中，所述压紧轮转动设置在所述动牵引筒压紧杆的底部；

其中，所述压紧杆锁紧蝶形螺用于固定抬起的后的动牵引筒压紧杆。

4.根据权利要求1所述的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，其特征在于，千分表支架固定在压紧组件的支架上。

5.根据权利要求1所述的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，其特征在于，所述调试轮采用橡胶轮。

6.根据权利要求1所述的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，其特征在于，伺服回转平台的转速为60r/min。

7.根据权利要求1所述的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，其特征在于，所述对中装配装置还包括：作业平台；所述伺服回转平台、所述压紧组件的支架、所述调试装置的螺旋测微器支架均安装固定放置于所述作业平台上。

8.根据权利要求1所述的一种涡轮与动牵引筒的对中装配装置，其特征在于，所述对中装配装置还包括：显示器；所述显示器用于接收且显示所述千分表组件监测到的数据。

9.一种磁悬浮分子泵的涡轮与动牵引筒的对中装配方法，其特征在于，采用如权利要求3所述的对中装配装置来对磁悬浮分子泵的涡轮转子与动牵引筒进行对中装配；

包括如下步骤：

S100，将涡轮转子放置于所述伺服回转平台上且将两者固定；

S200，调整所述千分表组件，将第二千分表接触所述涡轮转子与所述动牵引筒粘胶处的内侧；

S300，判断涡轮转子是否与所述伺服回转平台同轴转动：开启所述伺服回转平台且使得所述伺服回转平台至少转动一圈后关闭所述伺服回转平台，观察第二千分表的变化；

当第二千分表的数值变化小于同轴阈值时，涡轮转子与所述伺服回转平台同轴，进行步骤S400；

当第二千分表的数值变化大于等于同轴阈值时，将涡轮转子从所述伺服回转平台取下，重新进入步骤S100；

S400，在所述涡轮转子的粘胶处均匀涂抹粘接胶水，涂抹完胶水后安装所述溢胶接收装置，以防止后续的过程中胶水滴至涡轮转子的叶齿上；

S500，安装所述动牵引筒；

S600，调整千分表支架，将第一千分表接触所述动牵引筒的内表面；同时，调节螺旋调试装置使得所述调试轮接触所述动牵引筒；

S700，调试涡轮转子与所述动牵引筒的同心度M，使得M小于同心度阈值[M]：其包括以下子步骤：

S701，开启所述伺服回转平台，测试t时间内的初始同心度M0：

若M0<[M]时，进入步骤S800；

若M0≥[M]，进入步骤S702；

S702，第一步距调节：螺旋调试装置伸长一步距，读取步距调整完成后的t时间内的同心度M1；

若M1<[M]时，进入步骤S800；

若M1≥[M]，进入步骤S703；

S703，X赋值2；

S704，后续步距调节：

S7041，判断此步距调节伸长还是缩短：

若MX-2<MX-1，螺旋调试装置与第X-1步距调节的方式相同；

若MX-2>MX-1，螺旋调试装置与第X-1步距调节的方式相反；

S7042，此步步距调节完成后，读取此步步距调整完成后的t时间内的同心度MX；

S7043，判断是否还需要进行调节：

若MX<[M]时，进入步骤S800；

若MX≥[M]，X+1赋值给X，然后重复步骤S7031~S7033；

其中，t表示所述伺服回转平台转动一圈以上的任意时间；

其中，对于同心度MX的确定方式如下：

S＝丨S1- S2丨，S1、S2表示同一时刻下第一千分表后、第二千分表测量得到的数值；

MX=(Smax-Smin)/2；Smax、Smin分别表示步距调节完成后t时间内S的最大值、最小值；

S800，调试合格后，松动压紧杆锁紧蝶形螺，使得压紧组件的压紧轮压紧到所述动牵引筒上；

S900，调试合格后，取下溢胶接收装置；

S1000，待胶水自然固化后，将千分表组件移开，将涡轮转子-动牵引筒从对中装配装置上取下。

10.一种对中装配方法在调节磁悬浮分子泵动平衡的应用，其特征在于，使用如权利要求9所述的对中装配方法，将磁悬浮分子泵的涡轮转子与动牵引筒的同心度控制在0.02mm以内。