JP3331804B2 - 摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方法 - Google Patents
摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方法Info
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- JP3331804B2 JP3331804B2 JP03074395A JP3074395A JP3331804B2 JP 3331804 B2 JP3331804 B2 JP 3331804B2 JP 03074395 A JP03074395 A JP 03074395A JP 3074395 A JP3074395 A JP 3074395A JP 3331804 B2 JP3331804 B2 JP 3331804B2
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- magnetic disk
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は磁気ディスク媒体と磁気
ヘッドについて、磁気ディスク媒体の面上に磁気ヘッド
を押圧し、磁気ヘッド支持部材のたわみ量を検出するこ
とによって、磁気ディスク媒体の回転始動時、回転時、
回転停止時の磁気ディスク媒体と磁気ヘッド間の摩擦力
を測定し、さらに磁気ディスク媒体の摩耗量および表面
粗さを測定する摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方
法に関するものである。
ヘッドについて、磁気ディスク媒体の面上に磁気ヘッド
を押圧し、磁気ヘッド支持部材のたわみ量を検出するこ
とによって、磁気ディスク媒体の回転始動時、回転時、
回転停止時の磁気ディスク媒体と磁気ヘッド間の摩擦力
を測定し、さらに磁気ディスク媒体の摩耗量および表面
粗さを測定する摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来型の摩擦摩耗試験機は摩擦力測定部
のみが搭載されている機種しかなかった。そのため、デ
ィスクの摩耗量および表面粗さを測定する場合はいった
んディスクを摩擦摩耗試験機から取外し、その後に表面
粗さ測定装置にセットしなければならなかった。この場
合の問題点は、（１）摩擦摩耗試験機でディスクの特定
位置に摩擦特性の異常な箇所を発見したとしても、通
常、そのような箇所は目視で判別つくほどの変化はなく
また大きさも極めて微少であることから、表面粗さ計に
セットしてもその特定箇所を測定することは極めて困難
であること、（２）ディスクを別の測定器に移し変える
過程でディスク表面が汚染される可能性があること、
（３）また、摩擦摩耗試験機に表面粗さ測定機能を組み
込もうとしても、具体的にディスクを簡便に固定する方
法がないことなどがあげられる。
のみが搭載されている機種しかなかった。そのため、デ
ィスクの摩耗量および表面粗さを測定する場合はいった
んディスクを摩擦摩耗試験機から取外し、その後に表面
粗さ測定装置にセットしなければならなかった。この場
合の問題点は、（１）摩擦摩耗試験機でディスクの特定
位置に摩擦特性の異常な箇所を発見したとしても、通
常、そのような箇所は目視で判別つくほどの変化はなく
また大きさも極めて微少であることから、表面粗さ計に
セットしてもその特定箇所を測定することは極めて困難
であること、（２）ディスクを別の測定器に移し変える
過程でディスク表面が汚染される可能性があること、
（３）また、摩擦摩耗試験機に表面粗さ測定機能を組み
込もうとしても、具体的にディスクを簡便に固定する方
法がないことなどがあげられる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明が解決しようと
する課題は、摩擦摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合
体した装置構成を実現するにあたっての、（１）摩擦摩
耗試験機のスピンドル上の磁気ディスクを固定する方
法、（２）特定のディスク位置で摩擦力測定もしくは表
面粗さ測定を行う場合の測定箇所の位置決め方法などで
ある。本発明は上記の課題を解決し、摩擦摩耗試験機能
と表面粗さ測定機能を合体した摩擦摩耗試験装置および
摩擦摩耗試験方法を提供することを目的とする。
する課題は、摩擦摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合
体した装置構成を実現するにあたっての、（１）摩擦摩
耗試験機のスピンドル上の磁気ディスクを固定する方
法、（２）特定のディスク位置で摩擦力測定もしくは表
面粗さ測定を行う場合の測定箇所の位置決め方法などで
ある。本発明は上記の課題を解決し、摩擦摩耗試験機能
と表面粗さ測定機能を合体した摩擦摩耗試験装置および
摩擦摩耗試験方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、磁気ディスクをスピンドル上に取り付け、
該スピンドルをモータによって回転制御し、磁気ヘッド
をジンバルに取り付け、該ジンバルを磁気ヘッド支持部
材に取り付け、該磁気ディスクの面上に該磁気ヘッドを
押圧し、該磁気ヘッド支持部材のたわみ量を検出するこ
とによって、該磁気ディスクの回転始動時、回転時、回
転停止時の該磁気ディスクと該磁気ヘッド間の摩擦力を
測定し、該磁気ヘッド支持部材および該磁気ヘッド支持
部材のたわみ量検出部の配置位置と対向する位置もしく
は隣接する位置に表面粗さ測定機構が配置され、前記磁
気ディスクが前記スピンドル上に置かれたままの状態
で、該表面粗さ測定機構により前記磁気ディスクの摩耗
量および表面粗さを測定する摩擦摩耗試験装置におい
て、前記スピンドルがエアベアリングで保持され、該エ
アベアリングに供給するエアの圧力除去によって前記ス
ピンドルを取り付けた状態で前記磁気ディスクの摩耗量
および表面粗さを測定することを特徴とするものであ
る。
に本発明は、磁気ディスクをスピンドル上に取り付け、
該スピンドルをモータによって回転制御し、磁気ヘッド
をジンバルに取り付け、該ジンバルを磁気ヘッド支持部
材に取り付け、該磁気ディスクの面上に該磁気ヘッドを
押圧し、該磁気ヘッド支持部材のたわみ量を検出するこ
とによって、該磁気ディスクの回転始動時、回転時、回
転停止時の該磁気ディスクと該磁気ヘッド間の摩擦力を
測定し、該磁気ヘッド支持部材および該磁気ヘッド支持
部材のたわみ量検出部の配置位置と対向する位置もしく
は隣接する位置に表面粗さ測定機構が配置され、前記磁
気ディスクが前記スピンドル上に置かれたままの状態
で、該表面粗さ測定機構により前記磁気ディスクの摩耗
量および表面粗さを測定する摩擦摩耗試験装置におい
て、前記スピンドルがエアベアリングで保持され、該エ
アベアリングに供給するエアの圧力除去によって前記ス
ピンドルを取り付けた状態で前記磁気ディスクの摩耗量
および表面粗さを測定することを特徴とするものであ
る。
【０００５】
【０００６】又、本発明は上記摩擦摩耗試験装置を用い
た摩擦摩耗試験方法であって、前記エアベアリングに空
気が供給されて空気圧がかかると、回転に対して低摩擦
の状態になり、前記空気圧が除去されて高摩擦状態とな
って磁気ディスクがスピンドルを介して固定され、前記
スピンドルを取り付けた状態で前記磁気ディスクの磨耗
量および表面粗さを測定することを特徴とする。
た摩擦摩耗試験方法であって、前記エアベアリングに空
気が供給されて空気圧がかかると、回転に対して低摩擦
の状態になり、前記空気圧が除去されて高摩擦状態とな
って磁気ディスクがスピンドルを介して固定され、前記
スピンドルを取り付けた状態で前記磁気ディスクの磨耗
量および表面粗さを測定することを特徴とする。
【０００７】
【作用】上記手段により本発明は、摩擦摩耗試験装置の
スピンドルを保持しているベアリングにエアベアリング
を採用し、エアベアリングへの供給空気圧力の除去によ
って、スピンドルを取り付けた状態で磁気ディスクの摩
耗量および表面粗さを測定する。また、スピンドルにエ
ンコーダを配置して摩擦力測定時には前記スピンドルの
回転角度に対応した摩擦力測定を行い、表面粗さ計測時
には前記表面粗さ測定機構のセンサ位置まで前記スピン
ドルを回転させることによって特定のディスク位置で表
面粗さ測定を可能にする。
スピンドルを保持しているベアリングにエアベアリング
を採用し、エアベアリングへの供給空気圧力の除去によ
って、スピンドルを取り付けた状態で磁気ディスクの摩
耗量および表面粗さを測定する。また、スピンドルにエ
ンコーダを配置して摩擦力測定時には前記スピンドルの
回転角度に対応した摩擦力測定を行い、表面粗さ計測時
には前記表面粗さ測定機構のセンサ位置まで前記スピン
ドルを回転させることによって特定のディスク位置で表
面粗さ測定を可能にする。
【０００８】
【実施例】以下、本発明について図面に示す実施例を参
照して説明する。図１は本発明の一実施例である摩擦摩
耗試験装置の主要部を示す図である。即ち、磁気ディス
ク１は磁気ディスク保持用スピンドル２に保持されてお
り、磁気ディスク保持用スピンドル２はエアベアリング
３に固定されている。モータ６に固定されたスピンドル
５はモータ６のトルクを磁気カプリング４に伝達するた
めのものである。さらに磁気ディスク保持用スピンドル
２とモータ６のトルク伝達は磁気カプリング４によって
なされる。エアベアリング３はエアベアリング支持部材
７によって定盤２０に固定されており、スピンドル５は
ベアリング８によって支持されている。
照して説明する。図１は本発明の一実施例である摩擦摩
耗試験装置の主要部を示す図である。即ち、磁気ディス
ク１は磁気ディスク保持用スピンドル２に保持されてお
り、磁気ディスク保持用スピンドル２はエアベアリング
３に固定されている。モータ６に固定されたスピンドル
５はモータ６のトルクを磁気カプリング４に伝達するた
めのものである。さらに磁気ディスク保持用スピンドル
２とモータ６のトルク伝達は磁気カプリング４によって
なされる。エアベアリング３はエアベアリング支持部材
７によって定盤２０に固定されており、スピンドル５は
ベアリング８によって支持されている。
【０００９】磁気ヘッド（図示せず）はジンバル（図示
せず）に取り付けられ、このジンバルは磁気ヘッド支持
部材９に取り付けられており、これらは摩擦力測定機構
１０に接続されている。摩擦力測定機構１０の内部では
磁気ヘッド支持部材９が支持ばね（図示せず）に固定さ
れ、ディスク回転時の磁気ヘッドにかかる摩擦力は支持
ばねのたわみに変換され、変位センサ（図示せず）によ
ってその支持ばねのたわみ量が測定される。なお、支持
ばねたわみ量の測定には外部共振型半導体レーザ変位セ
ンサ、歪みゲージセンサ、静電容量型変位センサなどの
手段があるが、ここでは特にその手段は特定しない。ま
た、摩擦力は支持ばねたわみ量と支持ばねのばね定数か
ら求められる。摩擦力測定機構１０はＺ軸ステージ１１
に搭載されており、これらはＸ軸ステージ１２上に搭載
されている。Ｚ軸ステージ１１にはマニュアルで高さを
調節する機構（図示せず）および磁気ヘッドを磁気ディ
スク１上にロードするためのモータドライブ（図示せ
ず）が内蔵されている。さらに、Ｘ軸ステージ１２は定
盤２０上に取り付けられており、Ｘ軸ステージ粗位置決
め用マイクロメータ１３によって粗位置決めがなされ
る。
せず）に取り付けられ、このジンバルは磁気ヘッド支持
部材９に取り付けられており、これらは摩擦力測定機構
１０に接続されている。摩擦力測定機構１０の内部では
磁気ヘッド支持部材９が支持ばね（図示せず）に固定さ
れ、ディスク回転時の磁気ヘッドにかかる摩擦力は支持
ばねのたわみに変換され、変位センサ（図示せず）によ
ってその支持ばねのたわみ量が測定される。なお、支持
ばねたわみ量の測定には外部共振型半導体レーザ変位セ
ンサ、歪みゲージセンサ、静電容量型変位センサなどの
手段があるが、ここでは特にその手段は特定しない。ま
た、摩擦力は支持ばねたわみ量と支持ばねのばね定数か
ら求められる。摩擦力測定機構１０はＺ軸ステージ１１
に搭載されており、これらはＸ軸ステージ１２上に搭載
されている。Ｚ軸ステージ１１にはマニュアルで高さを
調節する機構（図示せず）および磁気ヘッドを磁気ディ
スク１上にロードするためのモータドライブ（図示せ
ず）が内蔵されている。さらに、Ｘ軸ステージ１２は定
盤２０上に取り付けられており、Ｘ軸ステージ粗位置決
め用マイクロメータ１３によって粗位置決めがなされ
る。
【００１０】表面粗さ測定機構１４は変位センサ１５、
センサ走査機構１６、センサ走査用モータ１７、触針
（図示せず）からなり、触針でセンサ走査機構１６およ
びセンサ走査用モータ１７によって磁気ディスク１の表
面を走査したときの変位を変位センサ１５によって測定
することによって表面粗さが求められる。なお、触針変
位量の測定には外部共振型半導体レーザ変位センサ、歪
みゲージセンサ、静電容量型変位センサなどの手段があ
るが、ここでは特にその手段は特定しない。また、表面
粗さ測定機構１４はＸ軸ステージ１８上に搭載されてお
り、これらはＸ軸ステージ粗位置決め用マイクロメータ
１９によって粗位置決めがなされる。さらに、摩擦力測
定機構１０および表面粗さ測定機構１４を搭載した定盤
２０は定盤支持台２１に固定されており、定盤支持台２
１のあいた空間には変位センサアンプ（図示せず）、モ
ータ制御回路（図示せず）等が実装されている。
センサ走査機構１６、センサ走査用モータ１７、触針
（図示せず）からなり、触針でセンサ走査機構１６およ
びセンサ走査用モータ１７によって磁気ディスク１の表
面を走査したときの変位を変位センサ１５によって測定
することによって表面粗さが求められる。なお、触針変
位量の測定には外部共振型半導体レーザ変位センサ、歪
みゲージセンサ、静電容量型変位センサなどの手段があ
るが、ここでは特にその手段は特定しない。また、表面
粗さ測定機構１４はＸ軸ステージ１８上に搭載されてお
り、これらはＸ軸ステージ粗位置決め用マイクロメータ
１９によって粗位置決めがなされる。さらに、摩擦力測
定機構１０および表面粗さ測定機構１４を搭載した定盤
２０は定盤支持台２１に固定されており、定盤支持台２
１のあいた空間には変位センサアンプ（図示せず）、モ
ータ制御回路（図示せず）等が実装されている。
【００１１】即ち、磁気ディスク１をスピンドル５上に
取り付け、該スピンドル５をモータ６によって回転制御
し、磁気ヘッドをジンバルに取り付け、該ジンバルを磁
気ヘッド支持部材９に取り付け、該磁気ディスク１の面
上に該磁気ヘッドを押圧し、該磁気ヘッド支持部材９の
たわみ量を検出することによって、該磁気ディスク１の
回転始動時、回転時、回転停止時の該磁気ディスク１と
該磁気ヘッド間の摩擦力を測定する摩擦摩耗試験装置に
おいて、該磁気ヘッド支持部材９および該磁気ヘッド支
持部材９のたわみ量検出部の配置位置と対向する位置も
しくは隣接する位置に表面粗さ測定機構１４が配置さ
れ、前記磁気ディスク１が前記スピンドル５上に置かれ
たままの状態で、該表面粗さ測定機構１４により前記磁
気ディスク１の摩耗量および表面粗さを測定する。
取り付け、該スピンドル５をモータ６によって回転制御
し、磁気ヘッドをジンバルに取り付け、該ジンバルを磁
気ヘッド支持部材９に取り付け、該磁気ディスク１の面
上に該磁気ヘッドを押圧し、該磁気ヘッド支持部材９の
たわみ量を検出することによって、該磁気ディスク１の
回転始動時、回転時、回転停止時の該磁気ディスク１と
該磁気ヘッド間の摩擦力を測定する摩擦摩耗試験装置に
おいて、該磁気ヘッド支持部材９および該磁気ヘッド支
持部材９のたわみ量検出部の配置位置と対向する位置も
しくは隣接する位置に表面粗さ測定機構１４が配置さ
れ、前記磁気ディスク１が前記スピンドル５上に置かれ
たままの状態で、該表面粗さ測定機構１４により前記磁
気ディスク１の摩耗量および表面粗さを測定する。
【００１２】なお、スピンドル５にはエンコーダ２２が
取り付けられており、スピンドル５の回転角度がエンコ
ーダ２２によって測定される。即ち、前記スピンドル５
にエンコーダ２２を配置して摩擦力測定時には前記スピ
ンドル５の回転角度に対応した摩擦力測定を行い、表面
粗さ計測時には前記表面粗さ測定機構１４の粗さ測定セ
ンサ位置まで前記スピンドル５を回転させることによっ
て所定のディスク位置で摩耗量および表面粗さ測定を可
能とする。
取り付けられており、スピンドル５の回転角度がエンコ
ーダ２２によって測定される。即ち、前記スピンドル５
にエンコーダ２２を配置して摩擦力測定時には前記スピ
ンドル５の回転角度に対応した摩擦力測定を行い、表面
粗さ計測時には前記表面粗さ測定機構１４の粗さ測定セ
ンサ位置まで前記スピンドル５を回転させることによっ
て所定のディスク位置で摩耗量および表面粗さ測定を可
能とする。
【００１３】図２はエアベアリング３の構造を示す図
で、給気口２７より空気が供給されると多孔質材２６を
通してエアギャップ２４に空気圧がかかり、ロータ２３
とスラストプレート２５は浮上して回転に対して低摩擦
の状態になる。この空気圧が除去されるとロータ２３の
浮上は停止し、ロータ２３と多孔質材２６間は高摩擦状
態すなわち固定状態になる。本実施例の中の磁気ディス
ク１の固定はこの空気圧除去によるロータ２３の固定に
よっている。なお、図２で２８はエアベアリング３の排
気口、２９はハウジングを示す。
で、給気口２７より空気が供給されると多孔質材２６を
通してエアギャップ２４に空気圧がかかり、ロータ２３
とスラストプレート２５は浮上して回転に対して低摩擦
の状態になる。この空気圧が除去されるとロータ２３の
浮上は停止し、ロータ２３と多孔質材２６間は高摩擦状
態すなわち固定状態になる。本実施例の中の磁気ディス
ク１の固定はこの空気圧除去によるロータ２３の固定に
よっている。なお、図２で２８はエアベアリング３の排
気口、２９はハウジングを示す。
【００１４】前記エアベアリング３は空気圧でロータ２
３およびスラストプレート２５をμｍオーダのエアギャ
ップ２４を保つように浮上させ、ロータ２３を非接触で
保持する構造をとっている。供給空気を除くとロータ２
３およびスラストプレート２５は接触した状態になる。
このとき磁気ディスク１に比べてロータ２３の重量はは
るかに大きくて高摩擦状態になるため、供給空気を除い
た状態で磁気ディスク１はスピンドル５を介して固定さ
れたことになる。このように本実施例の摩擦摩耗試験装
置では、空気圧の供給・除去のみで磁気ディスクの固定
が可能であり、磁気ディスクの固定のために他に何らか
の機構も必要としてない。
３およびスラストプレート２５をμｍオーダのエアギャ
ップ２４を保つように浮上させ、ロータ２３を非接触で
保持する構造をとっている。供給空気を除くとロータ２
３およびスラストプレート２５は接触した状態になる。
このとき磁気ディスク１に比べてロータ２３の重量はは
るかに大きくて高摩擦状態になるため、供給空気を除い
た状態で磁気ディスク１はスピンドル５を介して固定さ
れたことになる。このように本実施例の摩擦摩耗試験装
置では、空気圧の供給・除去のみで磁気ディスクの固定
が可能であり、磁気ディスクの固定のために他に何らか
の機構も必要としてない。
【００１５】即ち、前記スピンドル５がエアベアリング
３で保持され、該エアベアリング３に供給するエアの圧
力除去によって前記スピンドル５を取り付けた状態で前
記磁気ディスク１の摩耗量および表面粗さを測定する。
３で保持され、該エアベアリング３に供給するエアの圧
力除去によって前記スピンドル５を取り付けた状態で前
記磁気ディスク１の摩耗量および表面粗さを測定する。
【００１６】以上のように、本実施例の摩擦摩耗試験装
置は、（１）スピンドルを保持しているエアベアリング
への供給エアの圧力除去によってスピンドルを固定した
状態で磁気ディスクの摩耗量および表面粗さを測定する
こと、（２）スピンドルにエンコーダを配置して摩擦力
測定時には前記スピンドルの回転角度に対応した摩擦力
測定を行い、表面粗さ計測時には前記表面粗さ測定機構
のセンサ位置まで前記スピンドルを回転させることによ
って特定のディスク位置で表面粗さ測定を可能にするこ
との手段を採用し、その結果、従来の装置では実現しえ
なかった摩擦摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合体し
た装置を実現している。
置は、（１）スピンドルを保持しているエアベアリング
への供給エアの圧力除去によってスピンドルを固定した
状態で磁気ディスクの摩耗量および表面粗さを測定する
こと、（２）スピンドルにエンコーダを配置して摩擦力
測定時には前記スピンドルの回転角度に対応した摩擦力
測定を行い、表面粗さ計測時には前記表面粗さ測定機構
のセンサ位置まで前記スピンドルを回転させることによ
って特定のディスク位置で表面粗さ測定を可能にするこ
との手段を採用し、その結果、従来の装置では実現しえ
なかった摩擦摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合体し
た装置を実現している。
【００１７】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、摩擦
摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合体した摩擦摩耗試
験装置および摩擦摩耗試験方法を提供することができ
る。
摩耗試験機能と表面粗さ測定機能を合体した摩擦摩耗試
験装置および摩擦摩耗試験方法を提供することができ
る。
【図１】本発明の一実施例である摩擦摩耗試験装置を示
す一部切欠正面図である。
す一部切欠正面図である。
【図２】図１のエアベアリング部の一例を示す断面図で
ある。
ある。
１…磁気ディスク、２…磁気ディスク保持用スピンド
ル、３…エアベアリング、４…磁気カプリング、５…ス
ピンドル、６…モータ、７…エアベアリング支持部材、
８…ベアリング、９…磁気ヘッド支持部材、１０…摩擦
力測定機構、１１…Ｚ軸ステージ、１２…Ｘ軸ステー
ジ、１３…Ｘ軸ステージ粗位置決め用マイクロメータ、
１４…表面粗さ測定機構、１５…変位センサ、１６…セ
ンサ走査機構、１７…センサ走査用モータ、１８…Ｘ軸
ステージ、１９…Ｘ軸ステージ粗位置決め用マイクロメ
ータ、２０…定盤、２１…定盤支持台、２２…エンコー
ダ、２３…ロータ、２４…エアギャップ、２５…スラス
トプレート、２６…多孔質材、２７…給気口、２８…排
気口、２９…ハウジング。
ル、３…エアベアリング、４…磁気カプリング、５…ス
ピンドル、６…モータ、７…エアベアリング支持部材、
８…ベアリング、９…磁気ヘッド支持部材、１０…摩擦
力測定機構、１１…Ｚ軸ステージ、１２…Ｘ軸ステー
ジ、１３…Ｘ軸ステージ粗位置決め用マイクロメータ、
１４…表面粗さ測定機構、１５…変位センサ、１６…セ
ンサ走査機構、１７…センサ走査用モータ、１８…Ｘ軸
ステージ、１９…Ｘ軸ステージ粗位置決め用マイクロメ
ータ、２０…定盤、２１…定盤支持台、２２…エンコー
ダ、２３…ロータ、２４…エアギャップ、２５…スラス
トプレート、２６…多孔質材、２７…給気口、２８…排
気口、２９…ハウジング。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 金子 礼三 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日本電信電話株式会社内 (72)発明者 浅川 誠 東京都武蔵野市緑町３丁目９番11号 株 式会社アフティ内 審査官 ▲高▼見 重雄 (56)参考文献 特開 平５−113392（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−287205（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−308017（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−161040（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−53146（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−213740（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−62245（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01N 3/56 G01B 21/00 G01L 5/00 G01N 19/02 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (2)
- 【請求項１】 磁気ディスクをスピンドル上に取り付
け、該スピンドルをモータによって回転制御し、磁気ヘ
ッドをジンバルに取り付け、該ジンバルを磁気ヘッド支
持部材に取り付け、該磁気ディスクの面上に該磁気ヘッ
ドを押圧し、該磁気ヘッド支持部材のたわみ量を検出す
ることによって、該磁気ディスクの回転始動時、回転
時、回転停止時の該磁気ディスクと該磁気ヘッド間の摩
擦力を測定し、該磁気ヘッド支持部材および該磁気ヘッ
ド支持部材のたわみ量検出部の配置位置と対向する位置
もしくは隣接する位置に表面粗さ測定機構が配置され、
前記磁気ディスクが前記スピンドル上に置かれたままの
状態で、該表面粗さ測定機構により前記磁気ディスクの
摩耗量および表面粗さを測定する摩擦摩耗試験装置にお
いて、 前記スピンドルがエアベアリングで保持され、該エアベ
アリングに供給するエアの圧力除去によって前記スピン
ドルを取り付けた状態で前記磁気ディスクの摩耗量およ
び表面粗さを測定 することを特徴とする摩擦摩耗試験装
置。 - 【請求項２】 請求項１記載の摩擦摩耗試験装置を用い
た摩擦摩耗試験方法であって、前記エアベアリングに空
気が供給されて空気圧がかかると、回転に対して低摩擦
の状態になり、前記空気圧が除去されて高摩擦状態とな
って磁気ディスクがスピンドルを介して固定され、前記
スピンドルを取り付けた状態で前記磁気ディスクの磨耗
量および表面粗さを測定することを特徴とする摩擦摩耗
試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03074395A JP3331804B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03074395A JP3331804B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08219968A JPH08219968A (ja) | 1996-08-30 |
| JP3331804B2 true JP3331804B2 (ja) | 2002-10-07 |
Family
ID=12312168
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03074395A Expired - Fee Related JP3331804B2 (ja) | 1995-02-20 | 1995-02-20 | 摩擦摩耗試験装置および摩擦摩耗試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3331804B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3094982B2 (ja) | 1998-02-19 | 2000-10-03 | 日本電気株式会社 | 半導体素子表面の評価装置及び評価方法 |
| CN108458967A (zh) * | 2017-02-20 | 2018-08-28 | 宝山钢铁股份有限公司 | 板料拉伸磨损试验装置 |
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1995
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