JP4107153B2 - 円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法 - Google Patents

円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば光ディスク等の原盤露光装置に使用して好適なディスク原盤等の円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、光ディスクの原盤露光装置において、光ディスクのマスターとなる原盤の中心が、ターンテーブルの回転中心からずれていると、この原盤に対する回転記録中に、ダイナミックアンバランスによって振動等が発生する。これにより、この原盤に記録されるトラックピッチ等の記録精度が低下してしまう。
【0003】
このため、この原盤の中心に貫通したセンターホールを設けておき、このセンターホールをターンテーブル上のセンターピンに嵌合させることにより、この原盤の芯出しを行なう方法がある。然しながら、この方法では、高精度の芯出しを得るためには、センターホール及びこの原盤の外円周の円心度と、センターホールの寸法精度を高精度に規定する必要がある。従ってこの原盤が高価になってしまうという問題があった。
【0004】
また、この原盤にセンターホールが設けられていると、この原盤にフォトレジストを均一にスピンコートする際、及び露光後の現像処理等のウエットプロセスの際、そしてこの原盤のリサイクル時の再研磨の際に薬液の残留、不連続面による面精度の劣化等に、このセンターホールに起因する問題が発生しやすく、むしろセンターホールはない方がよい。
【0005】
さらに、上述したセンターホールが設けられている場合には、センターホールに微細なクラック等の欠陥があると、回転中に遠心力に基づいて、亀裂が発生し、場合によっては、この原盤が破断し、飛散するおそれが多くなる。かくして、この原盤に設けられたセンターホールを利用する芯出しは、上述した種々の問題があるため、実際にはあまり利用されていない。
【0006】
これに対し、この原盤の外円周を利用して芯出しを行う方法がある。この場合ターンテーブル上にてこの原盤の外円周を、リングにより全周で抑止し、また少なくとも3ヶ所以上の位置にて案内駒により、この原盤を抑止することにより、この原盤の芯出しが行なわれ得る。
【0007】
然しながら、この技術においては、この原盤より大きな回転部分が必要であることから、上述センターホールの場合に比較して、芯出しのための機構が大幅に大きくなり、高精度に加工するためには高価になってしまう問題があった。またターンテーブルの外周に円環状のリングを設けると、この原盤の取付け、取外しが面倒であると共にこの原盤の記録面に傷等のダメージを与える可能性が大きくなってしまうという問題があった。
【0008】
近年になって、光ディスク等の高密度化及び高速アクセス化が進んできて、この原盤への記録時にも、高速回転が要求されるようになってきている。この原盤のダイナミックアンバランスにより発生する振動の加速度は、回転数の二乗に比例する。
【0009】
これにより、振動の加速度による影響が非常に大きくなり、記録精度が著しく低下してしまうことになる。更に、振動の周波数も回転数に比例して高くなるので、この原盤露光装置の各部の固有振動数とこの振動の周波数とが一致してしまった場合、共振によって振動が増大してしまう等の問題があった。
【0010】
このため、従来に比較して、この原盤露光装置の各部の剛性を高める等の対策が必要になるので、この原盤露光装置自体が高価となってしまう問題があった。また共振による振動を抑制するための他の方法として、ターンテーブルを搭載する装置のベースを十分に重く構成することにより、ダイナミックアンバランスに起因する振動の加速度による変位をトラックピッチ等の記録精度の悪化に寄与しない範囲に抑える方法もある。然しながら重量の増大による設置場所が制限されたり、装置の小型化が困難になる傾向があると共に材料費も高くなってしまう等の問題があった。
【0011】
かくして、近年、このターンテーブルの回転中心に対して、この原盤の外円中心をできるだけ正確に一致させるための外部からの芯出し作業が必要となり、以下述べる方法が採用されている。
【0012】
第1の方法は、ターンテーブル上にこの原盤を搭載装着する作業者が、ダイヤルゲージ又は電気マイクロメータ等の変位計をこの原盤の外周端面にセットして、ターンテーブル上のこの原盤を回転させながら、偏心量が最小または許容範囲内に収まるように、この原盤の位置を微調整する方法である。
【0013】
また、第2の方法は、ターンテーブル上に原盤を搭載装着する際に、治具等を使用することにより、この原盤の偏心量が一定の許容範囲内に収まるようにして、ターンテーブルを所定の回転数で回転させ、ダイナミックアンバランスによる振動の大きさ及び方向を検出する釣合試験機またはダイナミックバランサー等を使用し、この原盤の不釣合を検出して釣合重りを付加し、あるいはこの原盤の位置を調整する方法である。
【0014】
然しながら上述2つの方法は何れも、作業に時間がかかると共に、熟練した専任の作業者が必要である。また人が介在することから、人に起因する塵埃の発生によりこの原盤の記録面に塵埃が付着して、この原盤の記録された記録信号に欠陥が生ずることがあるという不都合があった。更に第2の方法においては一般に加速度の検出は変位の検出より分解能が劣るため、変位と同等の分解能を得るためには、高価な検出器が必要になる不都合があった。
このため、従来以下のような方法が開示されている。
【0015】
先ず、上述した第1の方法を自動化して、人の介在を排除するようにしたものとしては特許文献1、特許文献2及び特許文献3等による方法がある。
【0016】
またターンテーブルを回転させずに少なくとも3方向から同時に、または順次にこの原盤を位置決めする方法として、特許文献4に開示された方法がある。
【0017】
また工作機械の旋盤主軸台に被加工物を取り付けたり、ボール盤にドリル刃を取り付ける際に使用されるスクロール式の3つ爪チャックに代表される機構を応用する方法が特許文献5に開示されている。
【0018】
【特許文献1】
特開昭61−206956号公報
【特許文献2】
特開平1−210240号公報
【特許文献3】
特開平1−217760号公報
【特許文献4】
特開平4−387640号公報
【特許文献5】
特開平5−28541号公報
【0019】
【発明が解決しようとする課題】
然しながら特許文献1、特許文献2及び特許文献3等の方法は何れもターンテーブルを少なくとも2回転以上、比較的低速度で回転させることによって、偏心量を補正し、且つ確認するものである。従って芯出しに要する時間が比較的長く、また変位計測部、駆動部、制御部が必要であることから、高精度の芯出しを行なうためには、複雑で且つ高価な装置となってしまう不都合があった。
【0020】
また、特許文献4の方法は、変位計測部、駆動部、制御部が必要であり、高精度の芯出しを行なうためには、複雑で且つ高価な装置となってしまう等の不都合は依然として残っていると共に更に演算によって、この原盤の位置決め移動を行なうため芯出しに時間がかかるという不都合があった。
【0021】
また、特許文献5の方法は、ターンテーブルを回転させなくても、少なくとも3方向から同時にこの原盤の位置を規制することにより、瞬時に芯出しが完了する。更に変位計測部が必要ないことから前述した方法に比較して、簡単に構成されることになる。
【0022】
然しながら、このような方法において、高精度の芯出しを行うためには、各部材の精度が偏心量と1対1の対応関係にある。即ち、調整部材の回転中心と駆動回転テーブルと案内駒との間の高い同心度が要求されることになる。更に少なくとも3個以上設けられる調整部材の夫々の案内溝にも同様の高い精度が要求されることになる。かくして装置全体では、精度を向上させるために、高価となってしまう不都合があった。
【0023】
本発明は、斯る点に鑑み、簡単且つ低価格の構成によりターンテーブルを回転させることなく、迅速且つ高精度に芯出しが行なわれる得るようにした、円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法を提供することを目的とする。
【0024】
【課題を解決するための手段】
本発明円盤のセンタリング装置は、円盤を載置するターンテーブルと、このターンテーブルの一側及び他側に夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々2段構造の位置決めローラを設けた第1及び第2のアームとを有し、この第1及び第2のアームの支点をこのターンテーブルの中心方向に移動し、この第1及び第2のアームの夫々の両端に設けた2段構造の位置決めローラの下段位置決めローラがこのターンテーブルの外周に倣うようにしたものである。
【0025】
本発明によれば、円盤と略同一外径のターンテーブルの一側及び他側より中間点を支点として回動自在とし、第1及び第2のアームの両端に夫々設けた夫々の2段構造の位置決めローラをこの第1及び第2のアームの支点をこのターンテーブルの中心方向に移動して、この2段構造の位置決めローラの下段位置決めローラをこのターンテーブルの外周に倣うようにしたので、この円盤をターンテーブルを回転させることなく、迅速且つ高精度に芯出しができると共にその構成が簡単で且つ低価格とできる。
【0026】
また、本発明円盤のセンタリング方法はターンテーブル上にこのターンテーブルと略同一外径の円盤を載置し、このターンテーブルの一側及び他側より夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々2段構造の位置決めローラを設けた第1及び第2のアームの支点を、このターンテーブルの中心方向に移動し、この第1及び第2のアームの夫々の両端に設けた2段構造の位置決めローラの下段位置決めローラがこのターンテーブルの外周に倣うようにすると共にこの2段構造の位置決めローラの上段位置決めローラがこの円盤の外周に倣うようにして、この円盤の中心をこのターンテーブルの中心に合わせるようにしたものである。
【0027】
本発明によれば、円盤と略同一外径のターンテーブルの一側及び他側より中間点を支点として回動自在とし、第1及び第2のアームの両端に夫々設けた2段構造の位置決めローラを、この第1及び第2のアームの支点をこのターンテーブルの中心方向に移動して、この2段構造の位置決めローラの下段位置決めローラがこのターンテーブルの外周に倣うようにすると共にこの2段構造の位置決めローラの上段位置決めローラがこの円盤の外周に倣うようにしたので、この円盤をターンテーブルを回転させることなく、迅速且つ高精度に芯出しができると共にその構成が簡単で且つ低価格とできる。
【0028】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明円盤のセンタリング装置及びセンタリング方法を光ディスクの原盤露光装置に適用した実施の形態の例につき説明する。
【0029】
図面において、1はターンテーブルを示し、このターンテーブル1の中心は原盤露光時に回転駆動できる如くスピンドルモータ2の回転軸に固定されており、このターンテーブル1は自由に回転できる如くなされている。この場合、このターンテーブル1の外径は光ディスクの原盤3の外径と同寸あるいは若干大きく製作する如くする。
【0030】
このターンテーブル1はこのスピンドルモータ2と共に図1の矢印aに示す一方向に移動できる如くなされ、この図示する如きセンタリングポジションと図示しない露光ポジションとを移動できる如くなされている。また、このターンテーブル1は光ディスクの原盤3を真空チャックできる如く構成する。
【0031】
本例においては、このターンテーブル1のセンタリングポジションにおいて、このターンテーブル1の一側及び他側のこの矢印a方向に直交する位置に対称構成のセンタリング手段4及び5を設ける如くする。このセンタリング手段4及び5は所定位置に固定されたベース板4a及び5aを有する。
【0032】
このベース板4a及び5aに夫々可動杆6a及び7aが夫々矢印a方向に直交する方向に往復運動する如く空圧シリンダー6及び7を夫々設け、この可動杆6a及び7aにより駆動板8及び9を夫々矢印a方向に直交する方向に往復運動できる如くする。
【0033】
この駆動板8及び9上に夫々軸固定ブラケット10a,10b及び11a,11bを夫々設けて、軸12及び13を夫々この駆動板8及び9の駆動方向に固定すると共に、この軸12及び13をこの軸12及び13に夫々平行な一辺14a及び15aが夫々駆動ロッド16及び17に固定された駆動ブラケット14及び15の直交する他辺14b及び15bに形成した貫通孔を貫通する如くする。
【0034】
この軸12及び13の軸固定ブラケット10a及び11a側に圧力調整ねじ18及び19を夫々設けると共にこの軸12及び13の夫々の圧力調整ねじ18,19及び駆動ブラケット14,15の他辺14b,15b間に夫々ばね押え20a,21a及び20b,21bを介して、この軸12及び13を夫々貫通する如くコイルばね22及び23を設ける。この場合、圧力調整ねじ18及び19を調整することによりコイルばね22及び23の弾性力を調整することができる。
【0035】
この夫々の駆動ロッド16及び17は図4に示す如く夫々ベース板4a及び5aに固定されたガイド固定ブラケット24及び25より構成されたクロスローラーテーブル構成のガイド26によりターンテーブル1の中心方向に案内される如くする。このガイドをクロスローラーテーブル構成としたときは、極めて小さな力で位置決め動作を行うことができる。
【0036】
この駆動ロッド16及び17のターンテーブル1側の先端に夫々このターンテーブル1を抱く如き形状のアーム27及び28の中間点を支点とするアーム軸受け29及び30を介して回動自在に設ける如くする。
【0037】
また本例においては、このアーム27及び28の夫々の両端に2段構造の位置決めローラ27a,27b及び28a,28bを設ける。この2段構造の位置決めローラ27a,27b及び28a,28bは図6に示す如くローラ軸受31にカラー32を介して例えばふっ素ゴム等の弾性材より成る下段位置決めローラ33とこの下段位置決めローラ33の上側に例えばテフロン系樹脂等の弾性材より成る上段位置決めローラ34とを設けたものである。
【0038】
この2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの下段位置決めローラ33はターンテーブル1の外周に対応する位置に設けられると共にこの上段位置決めローラ33はターンテーブル1上の原盤3の外周に対応する位置に設けられる。
【0039】
この場合、この下段位置決めローラ33と上段位置決めローラ34とは硬度の異なる弾性材を用いる。このときは下段位置決めローラ33又は上段位置決めローラ34の一方が弾性変形することにより原盤3の外形のバラツキを吸収して高精度センタリングが実現できる。
【0040】
本例は上述の如く構成されているので、光ディスクの原盤3のセンタリングを行うときには、先ずターンテーブル1を矢印a方向に移動し、センタリングポジションまで移動すると共にこのターンテーブル1上に光ディスクの原盤3を載置する。
【0041】
次に空圧シリンダー6及び7の出側にエアーを供給し、この空圧シリンダー6及び7の夫々の可動杆6a及び7aをターンテーブル1側に移動する。このときはこの可動杆6a及び7aに取り付けられた駆動板8及び9に設けた図2、図3、図5に示す如きコイルばね22及び23が同期して動作し、コイルばね22及び23の夫々の右側及び左側が駆動ブラケット14及び15を押し、図4に示す如く、ガイド26に取付けた駆動ロッド16及び17がターンテーブル1の中心方向に移動する。
【0042】
この駆動ロッド16及び17のターンテーブル1側の先端にアーム軸受け29及び30を介して設けたアーム27及び28の夫々の両端に設けた2段構造の位置決めローラ27a,27b及び28a,28bが、この駆動ロッド16及び17に同期して動き、やがて、このアーム27及び28の夫々の2段構造の位置決めローラ27a,27b及び28a,28bの下段位置決めローラ33の片側がターンテーブル1の外周に接触する。
【0043】
その後、アーム27及び28が夫々アーム軸受け29及び30を中心にもう一方の下段位置決めローラ33がターンテーブル1の外周に接触するまで回動する。更に駆動ロッド16及び17が夫々右側及び左側によりターンテーブル1の中心方向に動きこの2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの下段位置決めローラ33は図7に示す如く弾性変形する。この場合、この2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの下段位置決めローラ33は同一寸法、同一材質で製作しているので外力に対する変形量は4個とも同一である。
【0044】
この2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの下段位置決めローラ33が変形するので之等の上段位置決めローラ34が原盤3の外周に接触する。この2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの上段位置決めローラ34が全部原盤3の外周に接触したときに之等の下段位置決めローラ33が全て同一量変形するため、この原盤3の外径寸法が公差内で、ばらついていてもこの原盤3の中心とターンテーブル1の回転中心を精度良く合わせることができる。
【0045】
この場合、2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの下段位置決めローラ33の押圧力は押圧調整ねじ18及び19を調整することにより調整することができる。また2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの押付け力との下段位置決めローラ33及び上段位置決めローラ34の材質の硬度を設定することによりセンタリング精度を向上することができる。
【0046】
また本例においては、2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの下段位置決めローラ33としてふっ素ゴムを使用し上段位置決めローラ34としてテフロン系樹脂を使用したのでクリーン度的に良好である。
【0047】
また本例によれば、アーム軸受け(摩擦抵抗小)29及び30によりアーム27及び28をある角度範囲にて自由に回動することにより、このターンテーブル1の外周に2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの下段位置決めローラ33が倣うため、図1に示すターンテーブル移動方向矢印aについて、このターンテーブル1の位置精度は、それ程必要がない。
【0048】
その後、この原盤3をターンテーブル1に真空吸引して固定し、空圧シリンダー6,7に戻り側にエアーを供給し、図1に示す如く2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bを退避させ、このセンタリング動作を完了する。
【0049】
以上述べた如く、本例によれば、光ディスクの原盤3と略同一外径のターンテーブル1の一側及び他側より中間点を支点(アーム軸受け29及び30)として回動自在とし、アーム27及び28の両端に夫々設けた夫々の2段構造の位置決めローラ27a,27b及び28a,28bの下段位置決めローラ33をこのアーム27及び28の支点29及び30をこのターンテーブル1の中心方向に移動して、このターンテーブル1の外周に倣うようにすると共に上段位置決めローラ34をこの原盤3の外周に倣うようにしたので、この原盤3をターンテーブル1を回転させることなく迅速且つ高精度に芯出しができると共にその構成が簡単で且つ低価格とできる。
【0050】
また、本例によればターンテーブルの位置精度に依存することなく、高精度なセンタリング精度を実現することができる。
【0051】
また本例によれば2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a及び28bの下段及び上段位置決めローラ33及び34の硬度とセンタリング時のパッド押付け力を最適化することによって、原盤3の外径ばらつきに依存することなく高精度なセンタリングを実現することができる。
【0052】
また本例によれば、ターンテーブル1の一側及び他側よりターンテーブル1の外周に2段構造の位置決めローラ27a,27b,28a,28bの下段位置決めローラ33が倣うようにすると共に上段位置決めローラ34が原盤3の外周に倣うようにした簡単な構成なので、安価、軽量に構成できる。
【0053】
また、本例においてはターンテーブル1に与える外力を小さくすることができ、原盤露光装置におけるこのターンテーブル移動機構に高精度送り機構を実現するボイスコイルモータを使用することができる。
【0054】
また本例によれば、このセンタリング手段4及び5を磁気シールドカバーにて覆うと共にアーム軸受け29,30を含めて非磁性材を使用することにより、僅かな磁気でも嫌う電子ビームを用いた原盤露光装置に適用することができる。
【0055】
尚、上述例は本発明を光ディスクの原盤3のセンタリングに適用した例につき述べたが本発明はその他の円盤のセンタリングにも適用できることは勿論である。
【0056】
また本発明は上述例に限ることなく本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得ることは勿論である。
【0057】
【発明の効果】
本発明によれば円盤と略同一外径のターンテーブルの一側及び他側より中間点を支点として回動自在とし、第1及び第2のアームの両端に夫々設けた夫々の2段構造の位置決めローラをこの第1及び第2のアームの支点をこのターンテーブルの中心方向に移動して、この2段構造の位置決めローラの下段位置決めローラをこのターンテーブルの外周に倣うようにすると共に上段位置決めローラをこの円盤の外周に倣うようにしたので、この円盤をターンテーブルを回転させることなく迅速且つ高精度に芯出しができると共にその構成が簡単で且つ低価格とできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明円盤のセンタリング装置の実施の形態の例を示す平面図である。
【図2】図1のセンタリング状態を示す平面図である。
【図3】図2の正面図である。
【図4】図2の一部切欠左側面図である。
【図5】図1の要部の例を示す一部拡大図である。
【図6】2段構造の位置決めローラの例を示す断面図である。
【図7】図1の要部の例を示す切欠拡大断面図である。
【符号の説明】
1‥‥ターンテーブル、3‥‥原盤、4,5‥‥ベース板、6,7‥‥空圧シリンダー、8,9‥‥駆動板、12,13‥‥軸、14,15‥‥駆動ブラケット、16,17‥‥駆動ロッド、18,19‥‥押圧調整ねじ、22,23‥‥コイルばね、27,28‥‥アーム、27a,27b,28a,28b‥‥2段構造の位置決めローラ、29,30‥‥アーム軸受け、33‥‥下段位置決めローラ、34‥‥上段位置決めローラ

Claims (6)

  1. 円盤を載置するターンテーブルと、
    該ターンテーブルの一側及び他側に夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々2段構造の位置決めローラを設けた第1及び第2のアームとを有し、
    前記第1及び第2のアームの支点を前記ターンテーブルの中心方向に移動し、前記第1及び第2のアームの夫々の両端に設けた2段構造の位置決めローラの下段位置決めローラが前記ターンテーブルの外周に倣うようにしたことを特徴とする円盤のセンタリング装置。
  2. 請求項1記載の円盤のセンタリング装置において、
    前記2段構造の位置決めローラの上段位置決めローラと下段位置決めローラとを硬度の異なる材料で構成したことを特徴とする円盤のセンタリング装置。
  3. 請求項1記載の円盤のセンタリング装置において、
    前記第1及び第2のアームの支点を弾性部材を介して前記ターンテーブルの中心方向に移動するようにしたことを特徴とする円盤のセンタリング装置。
  4. 請求項1記載の円盤のセンタリング装置において、
    前記第1及び第2のアームの支点を前記ターンテーブルの中心方向に移動するガイドとして、クロスローラテーブルを用いたことを特徴とする円盤のセンタリング装置。
  5. ターンテーブル上に該ターンテーブルと略同一外径の円盤を載置し、
    前記ターンテーブルの一側及び他側より夫々中間点を支点として回動自在とし、両端に夫々2段構造の位置決めローラを設けた第1及び第2のアームの支点を前記ターンテーブルの中心方向に移動し、
    前記第1及び第2のアームの夫々の両端に設けた2段構造の位置決めローラの下段位置決めローラが前記ターンテーブルの外周に倣うようにすると共に前記2段構造の位置決めローラの上段位置決めローラが前記円盤の外周に倣うようにして、前記円盤の中心を前記ターンテーブルの中心に合わせるようにしたことを特徴とする円盤のセンタリング方法。
  6. 請求項5記載の円盤のセンタリング方法において、
    前記2段構造の位置決めローラの上段位置決めローラと下段位置決めローラとを硬度の異なる材料で構成し、前記2段構造の位置決めローラの下段位置決めローラが前記ターンテーブルの外周部に当接後、前記2段構造の位置決めローラの上段位置決めローラが前記円盤の外円周を押すようにしたことを特徴とする円盤のセンタリング方法。
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