JP3955487B2 - 集積回路素子の実装方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク装置用のアンプ内蔵受光素子のような、受光部を有する集積回路素子の実装構造に関する技術に属する。
【０００２】
【従来の技術】
図１１はレーザユニット（ＬＤＵ）を有する光ディスク装置の構成を機能的に示すブロック図である。図１１に示すように、レーザユニットはレーザ素子５２と、受光部を有する集積回路素子（ＯＥＩＣ：光電子集積回路）５３とを備えており、レーザ素子５２から光ディスク５１に対してレーザ光を照射し、その反射光を集積回路素子５３の受光部によって受ける。
【０００３】
そして、光ディスクの記録密度の向上を図るために、照射するレーザ光のビーム径が絞られており、このため、レーザ光の波長も次第に短くなってきている。例えば、ＣＤの場合にはレーザ波長は７８０ｎｍであったのが、ＤＶＤの場合には６５０ｎｍ、そして、現在開発中の次世代ＤＶＤの場合にはレーザー波長は、高密度化のためさらに短波長になっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明者等による波長の短いブルーレザーを用いた試作や実験によって、次のような問題が明らかになった。すなわち、従来のＤＶＤ用ＯＥＩＣと同様に、透明樹脂を用いて封止したところ、波長の短いブルーレーザ光を受光したときに封止樹脂が一部変形・変質してしまう、という問題が生じた。
【０００５】
これは、従来のＤＶＤ用ＯＥＩＣでは起きなかった問題である。その原因は、今のところ明確には分かっていないが、レーザ光の波長が短くなったことによりそのエネルギーが従来に比べて増大し、樹脂で吸収された光が熱となることが、要因の１つとしてこの問題に関係していると推察される。
【０００６】
前記の問題に鑑み、本発明は、短波長レーザ光を受光する集積回路素子に適した実装方法を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、受光部を有する集積回路素子の実装方法として、前記集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように設置する第１の工程と、前記型内に封止のための材料を流し込む第２の工程と、前記第２の工程とともに、または、前記第２の工程の後に、前記受光部表面に、前記ピンの前記貫通孔を介して、前記材料を硬化させるための気体を吹き付ける第３の工程とを備えたものである。
【０００８】
また、本発明は、前記本発明に係る実装方法における第３の工程は、前記材料を硬化させるための気体を吹き付ける代わりに、前記材料を硬化させるための液体を流し込むものである。
【０００９】
そして、前記本発明に係る実装方法において、前記材料は熱硬化性樹脂であり、前記気体または液体は、前記熱硬化性樹脂を硬化させるための温度を有するのが好ましい。
【００１０】
また、前記本発明に係る実装方法におけるピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状であるのが好ましい。
【００１１】
また、前記本発明に係る実装方法における気体は、不活性ガス、または、不活性ガスを主成分とするものであるのが好ましい。
【００１２】
また、前記本発明に係る実装方法におけるピンは、内部に、吹き付けた前記気体、または流し込んだ前記液体が抜けるための第２の貫通孔が形成されているのが好ましい。
【００１３】
また、前記本発明に係る実装方法における第２の工程は、前記ピンを、その先端が前記集積回路素子の表面に接触するように、設置するのが好ましい。
【００１４】
また、前記本発明に係る実装方法における第１の工程は、前記ピンを、その先端が前記集積回路素子の表面から所定距離だけ離れるように、設置するのが好ましい。さらに、前記集積回路素子と前記リード片とはワイヤによって接続されており、前記所定距離は、前記ワイヤの高さに相当する長さよりも短いことが好ましい。
【００１５】
また、前記本発明に係る実装方法において、前記第３の工程の前に、または、前記第３の工程とともに、前記ピンの少なくとも先部を加熱するのが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、受光部を有する集積回路素子の実装方法として、前記集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように設置する第１の工程と、前記型内に、封止のための材料を流し込む第２の工程と、前記受光部表面から、前記ピンの前記貫通孔を介して、流し込まれた前記材料を吸い取る第３の工程とを備えたものである。
【００１７】
そして、前記本発明に係る実装方法におけるピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状であるのが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、受光部を有する集積回路素子の実装方法として、前記集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように設置する第１の工程と、前記型内に、封止のための材料を流し込む第２の工程と、前記第２の工程において流し込まれ、前記受光部表面で硬化した材料を、前記ピンに前記貫通孔を介して吸着させ、除去する第３の工程とを備えたものである。
【００１９】
そして、前記本発明に係る実装方法において、前記材料は、熱硬化性樹脂であり、前記第２の工程の前に、または、前記第２の工程とともに、前記ピンの少なくとも先部を加熱するのが好ましい。
【００２０】
また、前記本発明に係る実装方法におけるピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状であるのが好ましい。
【００２１】
また、前記本発明に係る実装方法において、前記第２の工程の前に、前記貫通孔に気体を通すのが好ましい。
【００２２】
また、前記本発明に係る実装方法において、前記第３の工程の後に、前記貫通孔に気体を通すのが好ましい。
【００２３】
また、本発明は、受光部を有する集積回路素子の実装方法として、前記集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、前記受光部上方の入光側表面に凹部が形成され、かつ、前記凹部の底面に突起部が形成された封止部を形成する封止工程と、前記封止部における前記凹部底面の部分を、前記突起部を折取ることによって、除去する工程とを備えているものである。
【００２４】
そして、前記本発明に係る実装方法における封止工程は、上面に穴部が形成された凸部を有する型を、前記集積回路素子およびリード片に対して、前記受光部上方に前記凸部が位置するように設置する工程と、前記型内に、封止のための材料を流し込む工程とを備えているのが好ましい。
【００２５】
また、前記本発明に係る実装方法における封止工程は、前記集積回路素子およびリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように、設置する工程と、前記型内に、封止のための材料を流し込むとともに、前記ピンの前記貫通孔に、前記材料を流し込む工程とを備えているのが好ましい。
【００２６】
また、前記本発明に係る実装方法における凹部底面の形状は、円または楕円であるのが好ましい。
【００２７】
また、前記本発明に係る実装方法における突起部の高さは、前記封止部における前記集積回路素子と前記リード片との接続部分の高さよりも高いことが好ましい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２９】
（第１の参考例）
図１は本発明の第１の参考例に係る集積回路素子の実装構造を示す外観図である。図１において、１は受光部１１を有する集積回路素子、２は集積回路素子１とワイヤ（図示せず）によって電気的に接続されたリード片、３は集積回路素子１とリード片２を封止する例えば樹脂によって形成された封止部である。そして、封止部３の受光部１１上方の入光側表面には、円錐台形状の凹部５が形成されている。
【００３０】
図２は本参考例に係る実装構造を示す断面図である。図２に示すように、集積回路素子１とリード片２とを接続するためにワイヤ４が設けられており、ワイヤ４は集積回路素子１やリード片２とともに、封止部３によって封止されている。そして、凹部５はワイヤ４の高さよりも深く形成されており、凹部５底面の高さはワイヤ４の高さよりも低くなっている。
【００３１】
図１および図２に示すように、受光部１１の入光側表面に凹部５を形成することによって、受光部１１表面における封止部３の厚みを薄くすることができる。これにより、受光部１１表面の封止部３における光透過率が上がり、吸収される光のエネルギーが少なくなる。すなわち、封止部３で熱に変わってしまう前に、光を受光部１１に到達させることができる。したがって、従来のような樹脂が融けるといった問題を、未然に回避することができる。しかも、ワイヤ４部分の保護はなされており、また受光部１１表面の保護も可能である。
【００３２】
また、受光部１１表面の封止部３で吸収される光のエネルギーが少なくなるので、その分、レーザー素子のパワーを落とすことができる。これにより、消費電力を小さくできるとともに、その寿命を長く伸ばすことも可能になる。
【００３３】
さらに、凹部５の形状が円錐台状になっているので、二次光や散乱光が受光部１１に入りにくくなる。なお、凹部５の形状は、円錐台状の他に、円柱状、角柱状、または角錐台状等であってもかまわない。また、凹部５の内壁面が、深さ方向において内側に向いた曲面形状を有してもよい。特に、内壁面が放物面であるのが好ましい。これにより、内壁面での反射光が受光部１１に入ることを防ぐことができる。
【００３４】
また、凹部５を、上方から見たとき、集積回路素子１の所定のピン、例えば１番ピンの位置が判別できる形状に、形成してもよい。これにより、マーキングを省略し、実装・組立時に必要となるパッケージの向きを判別することができる。
【００３５】
図３（ａ）は本参考例に係る実装構造の主要部の平面図である。図３（ａ）では、凹部５の開口部の形状が矩形であり、かつ、その開口部の一の隅部Ｃ１の形状が、他の隅部と異なっている。ここでは、隅部Ｃ１が、開口部中心に向かって、突出している。そして、形状が他と異なる隅部Ｃ１によって、集積回路素子１の１番ピン１２の位置が判別でき、パッケージの向きも判別できるようになっている。
【００３６】
なお、開口部の形状は、集積回路素子１の所定のピンの位置が判別できるようなものであれば、どのようなものでもかまわない。図３（ｂ）〜（ｅ）に開口部形状の他の例を示しており、いずれの例も隅部Ｃ１を特定することができる。また、開口部以外、例えば、底面の形状でピン位置を特定することも可能である。
【００３７】
（第２の参考例）
図４は本発明の第２の参考例に係る集積回路素子の実装構造を示す断面図である。図４では、封止部３の受光部１１上方に円錐台形状の孔部６が形成されている。そして、集積回路素子１の受光部１１を含む領域上には薄膜１３が形成されている。薄膜１３は窒化膜および酸化膜から形成されている。
【００３８】
図４に示すように、受光部１１上方に孔部６を形成することによって、受光部１１表面に封止部３をなくすことができる。これにより、第１の参考例と同様の効果が得られる。また、チップの保護の観点からみても、集積回路素子１は、受光部１１領域以外は保護されている。また、集積回路素子１とリード片２とを電気的に接続するワイヤ４も封止部３によって保護されている。
【００３９】
さらに、受光部１１の表面には薄膜１３が形成されているので、受光部１１領域も薄膜１３によって保護されており、信頼性の点でも問題はない。この薄膜１３は、受光部１１を保護する保護膜と、反射防止膜とから形成されているのが好ましい。この例では、窒化膜が保護膜に相当し、酸化膜が反射防止膜に相当する。また、受光面が十分な強度を持っている等、場合によっては、この窒化膜を形成しなくてもかまわない。
【００４０】
また、第１の参考例と同様に、孔部６の形状は、円錐台状の他に、円柱状、角柱状、または角錐台状等であってもかまわない。また、孔部５の内壁面が、深さ方向において内側に向いた曲面形状を有してもよい。
【００４１】
さらに、第１の参考例と同様に、孔部６を、上方から見たとき、集積回路素子１の所定のピンの位置が判別できる形状に、形成してもよい。
【００４２】
（第１の実施形態）
図５は本発明の第１の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。図５において、図４と共通の構成要素には、図４と同一の符号を付している。
【００４３】
まず、図５（ａ）に示すように、受光部１１を有する集積回路素子１と、ワイヤ４によって集積回路素子１と電気的に接続されたリード片２とを準備する。そして図５（ｂ）に示すように、ピン２１と、ピン２１挿入用の孔２２ａが形成された型２２とを設置する。このとき、ピン２１が、型２２の孔２２ａを介して集積回路素子１の受光部１１上方に配置されるように位置決めする（第１の工程）。ピン２１の内部には気体を吹き付けるための第１の貫通孔２１ａと吹き付けた気体が抜けるための第２の貫通孔２１ｂとが形成されている。またピン２１の先端部の形状は、円錐台状である。また、受光部１１にダメージを与えないように、ピン２１の先端と受光部１１との間にわずかな隙間を空けて、ピン２１の先端が受光部１１表面に接触しないようにする。
【００４４】
そして図５（ｃ）に示すように、封止部形成用の熱硬化性樹脂を流し込む（第２の工程）とともに、受光部１１表面に、ピン２１の貫通孔２１ａを介して、高温の不活性ガスを吹き付ける（第３の工程）。不活性ガスの温度は、流し込む熱硬化性樹脂を硬化させるために十分な温度であればよい。これにより、流し込まれた熱硬化性樹脂は、受光部１１周辺に到達する前に、不活性ガスの熱によって硬化する。
【００４５】
その後、ピン２１および型２２を取り除くと、図５（ｄ）に示すように、受光部１１上方に孔部６を有する封止部３が形成されている。孔部６の形状は、ピン２１の先端部が円錐台形状であったので、円錐台状になっている。
【００４６】
なお、第１の工程において、ピン２１と型２２とのどちらを先に設置してもかまわない。すなわち、型２２を先に設置してからその孔２２ａにピン２１を位置決めしてもよいし、先にピン２１を配置してから型２２を配置してもよい。あるいは、予めピン２１と型２２とを組み合わせておいてから、集積回路素子１に対して位置決めしてもかまわない。
【００４７】
また、ピン２１を、その先端が集積回路素子１の表面に接触するように、配置してもよい。これにより、受光面上の樹脂を完全に、またはほぼ完全に、なくすことができる。また、第１の参考例で示したような凹部５を形成するために、ピン２１を、その先端が集積回路素子１の表面から所定距離だけ離れるように、設置してもよい。そして、その所定距離を適宜設定することによって、凹部５の底面の厚さを制御することが可能になる。例えば、ワイヤ４の高さに相当する長さよりも短い距離だけ離すことによって、底面の厚さがワイヤ４の高さよりも薄い凹部５を形成することができる。
【００４８】
また、高温ガスを吹き付ける代わりに、封止部用材料を硬化させるような液体を流し込んでもかまわない。
【００４９】
ガスは、不活性ガスの代わりに、不活性ガスを主成分とするものでもよい。
【００５０】
ピン２１の先端部の形状は、円錐台状の他に、円柱状、角柱状、または角錐台状などであってもかまわない。この場合、ピン２１の先端部の形状に応じた形状の孔部５または凹部６が形成される。
【００５１】
また、第３の工程は、第２の工程とともに行う代わりに、第２の工程の前、または後でもよい。さらに、第３の工程の前に、または、第３の工程とともに、ピン２１の少なくとも先部を加熱すれば、より効果的に封止部３を形成することができる。
【００５２】
（第２の実施形態）
図６は本発明の第２の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。図６において、図４と共通の構成要素には、図４と同一の符号を付している。
【００５３】
まず、受光部１１を有する集積回路素子１と、ワイヤ４によって集積回路素子１と電気的に接続されたリード片２とを準備する。そして図６（ａ）に示すように、ピン２３と、ピン２３挿入用の孔２２ａが形成された型２２とを設置する。このとき、ピン２３が、型２２の孔２２ａを介して集積回路素子１の受光部１１上方に配置されるように位置決めする（第１の工程）。ピン２３の内部には、封止部形成用樹脂を吸い取るための貫通孔２３ａが形成されている。またピン２３の先端部の形状は円錐台状である。また、ピン２３の先端と受光部１１との間にわずかな隙間を空けて、ピン２３の先端が受光部１１表面に接触しないようにする。
【００５４】
そして図６（ｂ）に示すように、封止部形成用の熱硬化性樹脂を流し込み（第２の工程）、受光部１１表面から、ピン２３の貫通孔２３ａを介して、流し込まれた樹脂を吸い取る（第３の工程）。これにより、流し込まれた樹脂は、受光部１１表面からは除去される。樹脂を吸い取るタイミングは、樹脂が硬化する前であってもよいし、硬化途中や硬化した後であってもよい。
【００５５】
その後、ピン２３および型２２を取り除くと、図６（ｃ）に示すように、受光部１１上方に孔部６を有する封止部３が形成されている。孔部６の形状は、ピン２３の先端部が円錐台形状であったので、円錐台状になっている。
【００５６】
（第３の実施形態）
図７は本発明の第３の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。図７において、図４と共通の構成要素には、図４と同一の符号を付している。
【００５７】
まず、受光部１１を有する集積回路素子１と、ワイヤ４によって集積回路素子１と電気的に接続されたリード片２とを準備する。そして図７（ａ）に示すように、ピン２４と、ピン２４挿入用の孔２２ａが形成された型２２とを設置する。このとき、ピン２４が、型２２の孔２２ａを介して集積回路素子１の受光部１１上方に配置されるように位置決めする（第１の工程）。ピン２４の内部には、受光部１１の表面の封止部形成用樹脂を吸着させて除去するための貫通孔２４ａが形成されている。またピン２４の先端部の形状は円錐台状である。また、ピン２４の先端と受光部１１との間にわずかな隙間を空けて、ピン２３の先端が受光部１１表面に接触しないようにする。
【００５８】
そして図７（ｂ）に示すように、封止部形成用の熱硬化性樹脂を流し込む（第２の工程）。このとき、ピン２４の少なくとも先部を加熱するのが好ましい。あるいは、樹脂を流し込む前に予め加熱しておいてもよい。そして図７（ｃ）に示すように、受光部１１表面で硬化した樹脂３ａを、貫通孔２４ａから吸引することによってピン２４に吸着させ、ピン２４とともに除去する（第３の工程）。その後、ピン２４および型２２を取り除くと、受光部１１上方に孔部６を有する封止部３が形成されている。孔部６の形状は、ピン２３の先端部が円錐台形状であったので、円錐台状になっている。
【００５９】
なお、第２の工程において、ピン２４の貫通孔２４ａを介して高温のガスを吹き付けても良い。これにより、樹脂の硬化が促進される。
【００６０】
また、ピン２４の貫通孔２４ａ内部を掃除するために、第２の工程の前に、貫通孔２４ａに気体を通しても良いし、第３の工程の後に、貫通孔２４ａに気体を通してもかまわない。
【００６１】
（第３の参考例）
図８は本発明の第３の参考例に係る集積回路素子の実装方法を示す図である。本参考例では、紫外線硬化性樹脂を、紫外線を照射しつつ塗布することによって、受光部１１上方に孔部６を有する封止部を形成する。
【００６２】
図８（ａ）の場合には、受光部１１を有する集積回路素子１、リード片２およびワイヤ４に対して、紫外線硬化性樹脂を、受光部１１表面を避けつつ、塗布する。そして、樹脂を塗布しながら、紫外線を照射して瞬間的に固めていく。いわば、樹脂を塗りつけていくような感じである。これによって、受光部１１表面以外の、ワイヤ４を含む部分についてのみ、封止を行うことでき、これにより、孔部６を有する封止部を形成することができる。
【００６３】
また図８（ｂ）の場合には、集積回路素子１の裏面、すなわち受光部１１の形成面と反対側の面に紫外線硬化性樹脂を塗布し、集積回路素子１の主面、すなわち受光部１１の形成面の方から紫外線を照射し、瞬間的に固める。このとき、受光部１１表面が封止されないようにする。表面張力によってワイヤ４の周辺のみを封止することができる。これにより、必要な部分にのみ封止を行うことができ、パッケージをより薄く軽くできる。
【００６４】
（第４の実施形態）
図９は本発明の第４の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す図である。本実施形態では、まず、図９（ａ）に示すように、受光部上方の入光側表面に凹部３１が形成され、かつ、凹部３１の底面に突起部３２が形成された封止部３Ａを形成する。図９（ｂ）は封止部３Ａの平面図であり、凹部３１の底面は円形状になっている。このような封止部３Ａは、例えば後述するように、型を利用したり、ピンを利用したりして形成することができる。
【００６５】
そして図９（ｃ）に示すように、突起部３２を折取ることによって、凹部３１の底面の部分を除去する。これにより、受光部１１の表面が封止部３から露出し、孔部６が形成される。
【００６６】
なお、凹部３１の底面の形状は、円の代わりに、楕円でもよいし、あるいは矩形や多角形であってもかまわない。ただし、折取りやすさの面からみると、円または楕円であるのが好ましい。
【００６７】
また、突起部３２の高さは、ワイヤ４を封止する部分の高さよりも高い方が、突起部３２が折取りやすくなるので好ましい。
【００６８】
図１０は図９（ａ）に示すような封止部３Ａを形成する工程を説明する断面図である。図１０（ａ）の場合には、上面に穴部２５ｂが形成された凸部２５ａを有する型２５を、受光部１１上方に凸部２５ａが位置するように設置している。そして、型２５内に、封止のための材料、例えば熱硬化性樹脂を流し込み、封止部３Ａを形成する。この場合、突起部３２が確実に形成されるように、圧力をかけて樹脂を押し込んだり、穴部２５ｂに貫通孔をあけておき、その貫通孔から樹脂を吸い上げたりしてもよい。
【００６９】
また図１０（ｂ）の場合には、内部に貫通孔２６ａが形成されたピン２６と、ピン挿入用の孔２２ａが形成された型２２とを、ピン２６が型２２の孔２２ａを介して受光部１１上方に配置されるように、設置する。そして、型２５内に、封止のための材料、例えば熱硬化性樹脂を流し込むとともに、ピン２６の貫通孔２６ａにも樹脂を流し込み、封止部３Ａを形成する。
【００７０】
なお、上述の各実施形態および参考例では、集積回路素子とリード片とがワイヤによって電気的に接続されているものとしたが、この接続は、例えば接着、圧着、溶着またはバンプなど、ワイヤ以外の手段によってなされていても、本発明は適用可能である。
【００７１】
【発明の効果】
以上のように本発明によると、短波長レーザ光を受光する集積回路素子について、実用上、適切な実装構造を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の参考例に係る実装構造を示す外観図である。
【図２】 本発明の第１の参考例に係る実装構造を示す断面図である。
【図３】 （ａ）は本発明の第１の参考例に係る実装構造の主要部の平面図、（ｂ）〜（ｅ）は凹部開口部の他の形状の例である。
【図４】 本発明の第２の参考例に係る実装構造を示す断面図である。
【図５】 本発明の第１の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。
【図６】 本発明の第２の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。
【図７】 本発明の第３の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。
【図８】 本発明の第３の参考例に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。
【図９】 本発明の第４の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す図である。
【図１０】 本発明の第４の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す図である。
【図１１】 レーザーユニットを有する光ディスク装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１ 集積回路素子
２ リード片
３，３Ａ 封止部
４ ワイヤ
５ 凹部
６ 孔部
１１ 受光部
１２ １番ピン（所定のピン）
１３ 薄膜
２１，２３，２４，２６ ピン
２１ａ 第１の貫通孔
２１ｂ 第２の貫通孔
２２，２５ 型
２２ａ 孔
２３ａ，２４ａ，２６ａ 貫通孔
２５ａ 凸部
２５ｂ 穴部
３１ 凹部
３２ 突起部
Ｃ１ 一の隅部
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ディスク装置用のアンプ内蔵受光素子のような、受光部を有する集積回路素子の実装構造に関する技術に属する。
【０００２】
【従来の技術】
図１１はレーザユニット（ＬＤＵ）を有する光ディスク装置の構成を機能的に示すブロック図である。図１１に示すように、レーザユニットはレーザ素子５２と、受光部を有する集積回路素子（ＯＥＩＣ：光電子集積回路）５３とを備えており、レーザ素子５２から光ディスク５１に対してレーザ光を照射し、その反射光を集積回路素子５３の受光部によって受ける。
【０００３】
そして、光ディスクの記録密度の向上を図るために、照射するレーザ光のビーム径が絞られており、このため、レーザ光の波長も次第に短くなってきている。例えば、ＣＤの場合にはレーザ波長は７８０ｎｍであったのが、ＤＶＤの場合には６５０ｎｍ、そして、現在開発中の次世代ＤＶＤの場合にはレーザー波長は、高密度化のためさらに短波長になっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本願発明者等による波長の短いブルーレザーを用いた試作や実験によって、次のような問題が明らかになった。すなわち、従来のＤＶＤ用ＯＥＩＣと同様に、透明樹脂を用いて封止したところ、波長の短いブルーレーザ光を受光したときに封止樹脂が一部変形・変質してしまう、という問題が生じた。
【０００５】
これは、従来のＤＶＤ用ＯＥＩＣでは起きなかった問題である。その原因は、今のところ明確には分かっていないが、レーザ光の波長が短くなったことによりそのエネルギーが従来に比べて増大し、樹脂で吸収された光が熱となることが、要因の１つとしてこの問題に関係していると推察される。
【０００６】
前記の問題に鑑み、本発明は、短波長レーザ光を受光する集積回路素子に適した実装方法を提供することを課題とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
本発明は、受光部を有する集積回路素子の実装方法として、前記集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように設置する第１の工程と、前記型内に封止のための材料を流し込む第２の工程と、前記第２の工程とともに、または、前記第２の工程の後に、前記受光部表面に、前記ピンの前記貫通孔を介して、前記材料を硬化させるための気体を吹き付ける第３の工程とを備えたものである。
【０００８】
また、本発明は、前記本発明に係る実装方法における第３の工程は、前記材料を硬化させるための気体を吹き付ける代わりに、前記材料を硬化させるための液体を流し込むものである。
【０００９】
そして、前記本発明に係る実装方法において、前記材料は熱硬化性樹脂であり、前記気体または液体は、前記熱硬化性樹脂を硬化させるための温度を有するのが好ましい。
【００１０】
また、前記本発明に係る実装方法におけるピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状であるのが好ましい。
【００１１】
また、前記本発明に係る実装方法における気体は、不活性ガス、または、不活性ガスを主成分とするものであるのが好ましい。
【００１２】
また、前記本発明に係る実装方法におけるピンは、内部に、吹き付けた前記気体、または流し込んだ前記液体が抜けるための第２の貫通孔が形成されているのが好ましい。
【００１３】
また、前記本発明に係る実装方法における第２の工程は、前記ピンを、その先端が前記集積回路素子の表面に接触するように、設置するのが好ましい。
【００１４】
また、前記本発明に係る実装方法における第１の工程は、前記ピンを、その先端が前記集積回路素子の表面から所定距離だけ離れるように、設置するのが好ましい。さらに、前記集積回路素子と前記リード片とはワイヤによって接続されており、前記所定距離は、前記ワイヤの高さに相当する長さよりも短いことが好ましい。
【００１５】
また、前記本発明に係る実装方法において、前記第３の工程の前に、または、前記第３の工程とともに、前記ピンの少なくとも先部を加熱するのが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、受光部を有する集積回路素子の実装方法として、前記集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように設置する第１の工程と、前記型内に、封止のための材料を流し込む第２の工程と、前記受光部表面から、前記ピンの前記貫通孔を介して、流し込まれた前記材料を吸い取る第３の工程とを備えたものである。
【００１７】
そして、前記本発明に係る実装方法におけるピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状であるのが好ましい。
【００１８】
また、本発明は、受光部を有する集積回路素子の実装方法として、前記集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように設置する第１の工程と、前記型内に、封止のための材料を流し込む第２の工程と、前記第２の工程において流し込まれ、前記受光部表面で硬化した材料を、前記ピンに前記貫通孔を介して吸着させ、除去する第３の工程とを備えたものである。
【００１９】
そして、前記本発明に係る実装方法において、前記材料は、熱硬化性樹脂であり、前記第２の工程の前に、または、前記第２の工程とともに、前記ピンの少なくとも先部を加熱するのが好ましい。
【００２０】
また、前記本発明に係る実装方法におけるピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状であるのが好ましい。
【００２１】
また、前記本発明に係る実装方法において、前記第２の工程の前に、前記貫通孔に気体を通すのが好ましい。
【００２２】
また、前記本発明に係る実装方法において、前記第３の工程の後に、前記貫通孔に気体を通すのが好ましい。
【００２３】
また、本発明は、受光部を有する集積回路素子の実装方法として、前記集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、前記受光部上方の入光側表面に凹部が形成され、かつ、前記凹部の底面に突起部が形成された封止部を形成する封止工程と、前記封止部における前記凹部底面の部分を、前記突起部を折取ることによって、除去する工程とを備えているものである。
【００２４】
そして、前記本発明に係る実装方法における封止工程は、上面に穴部が形成された凸部を有する型を、前記集積回路素子およびリード片に対して、前記受光部上方に前記凸部が位置するように設置する工程と、前記型内に、封止のための材料を流し込む工程とを備えているのが好ましい。
【００２５】
また、前記本発明に係る実装方法における封止工程は、前記集積回路素子およびリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように、設置する工程と、前記型内に、封止のための材料を流し込むとともに、前記ピンの前記貫通孔に、前記材料を流し込む工程とを備えているのが好ましい。
【００２６】
また、前記本発明に係る実装方法における凹部底面の形状は、円または楕円であるのが好ましい。
【００２７】
また、前記本発明に係る実装方法における突起部の高さは、前記封止部における前記集積回路素子と前記リード片との接続部分の高さよりも高いことが好ましい。
【００２８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２９】
（第１の参考例）
図１は本発明の第１の参考例に係る集積回路素子の実装構造を示す外観図である。図１において、１は受光部１１を有する集積回路素子、２は集積回路素子１とワイヤ（図示せず）によって電気的に接続されたリード片、３は集積回路素子１とリード片２を封止する例えば樹脂によって形成された封止部である。そして、封止部３の受光部１１上方の入光側表面には、円錐台形状の凹部５が形成されている。
【００３０】
図２は本参考例に係る実装構造を示す断面図である。図２に示すように、集積回路素子１とリード片２とを接続するためにワイヤ４が設けられており、ワイヤ４は集積回路素子１やリード片２とともに、封止部３によって封止されている。そして、凹部５はワイヤ４の高さよりも深く形成されており、凹部５底面の高さはワイヤ４の高さよりも低くなっている。
【００３１】
図１および図２に示すように、受光部１１の入光側表面に凹部５を形成することによって、受光部１１表面における封止部３の厚みを薄くすることができる。これにより、受光部１１表面の封止部３における光透過率が上がり、吸収される光のエネルギーが少なくなる。すなわち、封止部３で熱に変わってしまう前に、光を受光部１１に到達させることができる。したがって、従来のような樹脂が融けるといった問題を、未然に回避することができる。しかも、ワイヤ４部分の保護はなされており、また受光部１１表面の保護も可能である。
【００３２】
また、受光部１１表面の封止部３で吸収される光のエネルギーが少なくなるので、その分、レーザー素子のパワーを落とすことができる。これにより、消費電力を小さくできるとともに、その寿命を長く伸ばすことも可能になる。
【００３３】
さらに、凹部５の形状が円錐台状になっているので、二次光や散乱光が受光部１１に入りにくくなる。なお、凹部５の形状は、円錐台状の他に、円柱状、角柱状、または角錐台状等であってもかまわない。また、凹部５の内壁面が、深さ方向において内側に向いた曲面形状を有してもよい。特に、内壁面が放物面であるのが好ましい。これにより、内壁面での反射光が受光部１１に入ることを防ぐことができる。
【００３４】
また、凹部５を、上方から見たとき、集積回路素子１の所定のピン、例えば１番ピンの位置が判別できる形状に、形成してもよい。これにより、マーキングを省略し、実装・組立時に必要となるパッケージの向きを判別することができる。
【００３５】
図３（ａ）は本参考例に係る実装構造の主要部の平面図である。図３（ａ）では、凹部５の開口部の形状が矩形であり、かつ、その開口部の一の隅部Ｃ１の形状が、他の隅部と異なっている。ここでは、隅部Ｃ１が、開口部中心に向かって、突出している。そして、形状が他と異なる隅部Ｃ１によって、集積回路素子１の１番ピン１２の位置が判別でき、パッケージの向きも判別できるようになっている。
【００３６】
なお、開口部の形状は、集積回路素子１の所定のピンの位置が判別できるようなものであれば、どのようなものでもかまわない。図３（ｂ）〜（ｅ）に開口部形状の他の例を示しており、いずれの例も隅部Ｃ１を特定することができる。また、開口部以外、例えば、底面の形状でピン位置を特定することも可能である。
【００３７】
（第２の参考例）
図４は本発明の第２の参考例に係る集積回路素子の実装構造を示す断面図である。図４では、封止部３の受光部１１上方に円錐台形状の孔部６が形成されている。そして、集積回路素子１の受光部１１を含む領域上には薄膜１３が形成されている。薄膜１３は窒化膜および酸化膜から形成されている。
【００３８】
図４に示すように、受光部１１上方に孔部６を形成することによって、受光部１１表面に封止部３をなくすことができる。これにより、第１の参考例と同様の効果が得られる。また、チップの保護の観点からみても、集積回路素子１は、受光部１１領域以外は保護されている。また、集積回路素子１とリード片２とを電気的に接続するワイヤ４も封止部３によって保護されている。
【００３９】
さらに、受光部１１の表面には薄膜１３が形成されているので、受光部１１領域も薄膜１３によって保護されており、信頼性の点でも問題はない。この薄膜１３は、受光部１１を保護する保護膜と、反射防止膜とから形成されているのが好ましい。この例では、窒化膜が保護膜に相当し、酸化膜が反射防止膜に相当する。また、受光面が十分な強度を持っている等、場合によっては、この窒化膜を形成しなくてもかまわない。
【００４０】
また、第１の参考例と同様に、孔部６の形状は、円錐台状の他に、円柱状、角柱状、または角錐台状等であってもかまわない。また、孔部５の内壁面が、深さ方向において内側に向いた曲面形状を有してもよい。
【００４１】
さらに、第１の参考例と同様に、孔部６を、上方から見たとき、集積回路素子１の所定のピンの位置が判別できる形状に、形成してもよい。
【００４２】
（第１の実施形態）
図５は本発明の第１の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。図５において、図４と共通の構成要素には、図４と同一の符号を付している。
【００４３】
まず、図５（ａ）に示すように、受光部１１を有する集積回路素子１と、ワイヤ４によって集積回路素子１と電気的に接続されたリード片２とを準備する。そして図５（ｂ）に示すように、ピン２１と、ピン２１挿入用の孔２２ａが形成された型２２とを設置する。このとき、ピン２１が、型２２の孔２２ａを介して集積回路素子１の受光部１１上方に配置されるように位置決めする（第１の工程）。ピン２１の内部には気体を吹き付けるための第１の貫通孔２１ａと吹き付けた気体が抜けるための第２の貫通孔２１ｂとが形成されている。またピン２１の先端部の形状は、円錐台状である。また、受光部１１にダメージを与えないように、ピン２１の先端と受光部１１との間にわずかな隙間を空けて、ピン２１の先端が受光部１１表面に接触しないようにする。
【００４４】
そして図５（ｃ）に示すように、封止部形成用の熱硬化性樹脂を流し込む（第２の工程）とともに、受光部１１表面に、ピン２１の貫通孔２１ａを介して、高温の不活性ガスを吹き付ける（第３の工程）。不活性ガスの温度は、流し込む熱硬化性樹脂を硬化させるために十分な温度であればよい。これにより、流し込まれた熱硬化性樹脂は、受光部１１周辺に到達する前に、不活性ガスの熱によって硬化する。
【００４５】
その後、ピン２１および型２２を取り除くと、図５（ｄ）に示すように、受光部１１上方に孔部６を有する封止部３が形成されている。孔部６の形状は、ピン２１の先端部が円錐台形状であったので、円錐台状になっている。
【００４６】
なお、第１の工程において、ピン２１と型２２とのどちらを先に設置してもかまわない。すなわち、型２２を先に設置してからその孔２２ａにピン２１を位置決めしてもよいし、先にピン２１を配置してから型２２を配置してもよい。あるいは、予めピン２１と型２２とを組み合わせておいてから、集積回路素子１に対して位置決めしてもかまわない。
【００４７】
また、ピン２１を、その先端が集積回路素子１の表面に接触するように、配置してもよい。これにより、受光面上の樹脂を完全に、またはほぼ完全に、なくすことができる。また、第１の参考例で示したような凹部５を形成するために、ピン２１を、その先端が集積回路素子１の表面から所定距離だけ離れるように、設置してもよい。そして、その所定距離を適宜設定することによって、凹部５の底面の厚さを制御することが可能になる。例えば、ワイヤ４の高さに相当する長さよりも短い距離だけ離すことによって、底面の厚さがワイヤ４の高さよりも薄い凹部５を形成することができる。
【００４８】
また、高温ガスを吹き付ける代わりに、封止部用材料を硬化させるような液体を流し込んでもかまわない。
【００４９】
ガスは、不活性ガスの代わりに、不活性ガスを主成分とするものでもよい。
【００５０】
ピン２１の先端部の形状は、円錐台状の他に、円柱状、角柱状、または角錐台状などであってもかまわない。この場合、ピン２１の先端部の形状に応じた形状の孔部５または凹部６が形成される。
【００５１】
また、第３の工程は、第２の工程とともに行う代わりに、第２の工程の前、または後でもよい。さらに、第３の工程の前に、または、第３の工程とともに、ピン２１の少なくとも先部を加熱すれば、より効果的に封止部３を形成することができる。
【００５２】
（第２の実施形態）
図６は本発明の第２の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。図６において、図４と共通の構成要素には、図４と同一の符号を付している。
【００５３】
まず、受光部１１を有する集積回路素子１と、ワイヤ４によって集積回路素子１と電気的に接続されたリード片２とを準備する。そして図６（ａ）に示すように、ピン２３と、ピン２３挿入用の孔２２ａが形成された型２２とを設置する。このとき、ピン２３が、型２２の孔２２ａを介して集積回路素子１の受光部１１上方に配置されるように位置決めする（第１の工程）。ピン２３の内部には、封止部形成用樹脂を吸い取るための貫通孔２３ａが形成されている。またピン２３の先端部の形状は円錐台状である。また、ピン２３の先端と受光部１１との間にわずかな隙間を空けて、ピン２３の先端が受光部１１表面に接触しないようにする。
【００５４】
そして図６（ｂ）に示すように、封止部形成用の熱硬化性樹脂を流し込み（第２の工程）、受光部１１表面から、ピン２３の貫通孔２３ａを介して、流し込まれた樹脂を吸い取る（第３の工程）。これにより、流し込まれた樹脂は、受光部１１表面からは除去される。樹脂を吸い取るタイミングは、樹脂が硬化する前であってもよいし、硬化途中や硬化した後であってもよい。
【００５５】
その後、ピン２３および型２２を取り除くと、図６（ｃ）に示すように、受光部１１上方に孔部６を有する封止部３が形成されている。孔部６の形状は、ピン２３の先端部が円錐台形状であったので、円錐台状になっている。
【００５６】
（第３の実施形態）
図７は本発明の第３の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。図７において、図４と共通の構成要素には、図４と同一の符号を付している。
【００５７】
まず、受光部１１を有する集積回路素子１と、ワイヤ４によって集積回路素子１と電気的に接続されたリード片２とを準備する。そして図７（ａ）に示すように、ピン２４と、ピン２４挿入用の孔２２ａが形成された型２２とを設置する。このとき、ピン２４が、型２２の孔２２ａを介して集積回路素子１の受光部１１上方に配置されるように位置決めする（第１の工程）。ピン２４の内部には、受光部１１の表面の封止部形成用樹脂を吸着させて除去するための貫通孔２４ａが形成されている。またピン２４の先端部の形状は円錐台状である。また、ピン２４の先端と受光部１１との間にわずかな隙間を空けて、ピン２３の先端が受光部１１表面に接触しないようにする。
【００５８】
そして図７（ｂ）に示すように、封止部形成用の熱硬化性樹脂を流し込む（第２の工程）。このとき、ピン２４の少なくとも先部を加熱するのが好ましい。あるいは、樹脂を流し込む前に予め加熱しておいてもよい。そして図７（ｃ）に示すように、受光部１１表面で硬化した樹脂３ａを、貫通孔２４ａから吸引することによってピン２４に吸着させ、ピン２４とともに除去する（第３の工程）。その後、ピン２４および型２２を取り除くと、受光部１１上方に孔部６を有する封止部３が形成されている。孔部６の形状は、ピン２３の先端部が円錐台形状であったので、円錐台状になっている。
【００５９】
なお、第２の工程において、ピン２４の貫通孔２４ａを介して高温のガスを吹き付けても良い。これにより、樹脂の硬化が促進される。
【００６０】
また、ピン２４の貫通孔２４ａ内部を掃除するために、第２の工程の前に、貫通孔２４ａに気体を通しても良いし、第３の工程の後に、貫通孔２４ａに気体を通してもかまわない。
【００６１】
（第３の参考例）
図８は本発明の第３の参考例に係る集積回路素子の実装方法を示す図である。本参考例では、紫外線硬化性樹脂を、紫外線を照射しつつ塗布することによって、受光部１１上方に孔部６を有する封止部を形成する。
【００６２】
図８（ａ）の場合には、受光部１１を有する集積回路素子１、リード片２およびワイヤ４に対して、紫外線硬化性樹脂を、受光部１１表面を避けつつ、塗布する。そして、樹脂を塗布しながら、紫外線を照射して瞬間的に固めていく。いわば、樹脂を塗りつけていくような感じである。これによって、受光部１１表面以外の、ワイヤ４を含む部分についてのみ、封止を行うことでき、これにより、孔部６を有する封止部を形成することができる。
【００６３】
また図８（ｂ）の場合には、集積回路素子１の裏面、すなわち受光部１１の形成面と反対側の面に紫外線硬化性樹脂を塗布し、集積回路素子１の主面、すなわち受光部１１の形成面の方から紫外線を照射し、瞬間的に固める。このとき、受光部１１表面が封止されないようにする。表面張力によってワイヤ４の周辺のみを封止することができる。これにより、必要な部分にのみ封止を行うことができ、パッケージをより薄く軽くできる。
【００６４】
（第４の実施形態）
図９は本発明の第４の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す図である。本実施形態では、まず、図９（ａ）に示すように、受光部上方の入光側表面に凹部３１が形成され、かつ、凹部３１の底面に突起部３２が形成された封止部３Ａを形成する。図９（ｂ）は封止部３Ａの平面図であり、凹部３１の底面は円形状になっている。このような封止部３Ａは、例えば後述するように、型を利用したり、ピンを利用したりして形成することができる。
【００６５】
そして図９（ｃ）に示すように、突起部３２を折取ることによって、凹部３１の底面の部分を除去する。これにより、受光部１１の表面が封止部３から露出し、孔部６が形成される。
【００６６】
なお、凹部３１の底面の形状は、円の代わりに、楕円でもよいし、あるいは矩形や多角形であってもかまわない。ただし、折取りやすさの面からみると、円または楕円であるのが好ましい。
【００６７】
また、突起部３２の高さは、ワイヤ４を封止する部分の高さよりも高い方が、突起部３２が折取りやすくなるので好ましい。
【００６８】
図１０は図９（ａ）に示すような封止部３Ａを形成する工程を説明する断面図である。図１０（ａ）の場合には、上面に穴部２５ｂが形成された凸部２５ａを有する型２５を、受光部１１上方に凸部２５ａが位置するように設置している。そして、型２５内に、封止のための材料、例えば熱硬化性樹脂を流し込み、封止部３Ａを形成する。この場合、突起部３２が確実に形成されるように、圧力をかけて樹脂を押し込んだり、穴部２５ｂに貫通孔をあけておき、その貫通孔から樹脂を吸い上げたりしてもよい。
【００６９】
また図１０（ｂ）の場合には、内部に貫通孔２６ａが形成されたピン２６と、ピン挿入用の孔２２ａが形成された型２２とを、ピン２６が型２２の孔２２ａを介して受光部１１上方に配置されるように、設置する。そして、型２５内に、封止のための材料、例えば熱硬化性樹脂を流し込むとともに、ピン２６の貫通孔２６ａにも樹脂を流し込み、封止部３Ａを形成する。
【００７０】
なお、上述の各実施形態および参考例では、集積回路素子とリード片とがワイヤによって電気的に接続されているものとしたが、この接続は、例えば接着、圧着、溶着またはバンプなど、ワイヤ以外の手段によってなされていても、本発明は適用可能である。
【００７１】
【発明の効果】
以上のように本発明によると、短波長レーザ光を受光する集積回路素子について、実用上、適切な実装構造を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の第１の参考例に係る実装構造を示す外観図である。
【図２】 本発明の第１の参考例に係る実装構造を示す断面図である。
【図３】 （ａ）は本発明の第１の参考例に係る実装構造の主要部の平面図、（ｂ）〜（ｅ）は凹部開口部の他の形状の例である。
【図４】 本発明の第２の参考例に係る実装構造を示す断面図である。
【図５】 本発明の第１の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。
【図６】 本発明の第２の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。
【図７】 本発明の第３の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。
【図８】 本発明の第３の参考例に係る集積回路素子の実装方法を示す工程断面図である。
【図９】 本発明の第４の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す図である。
【図１０】 本発明の第４の実施形態に係る集積回路素子の実装方法を示す図である。
【図１１】 レーザーユニットを有する光ディスク装置の構成を示すブロック図である。
【符号の説明】
１ 集積回路素子
２ リード片
３，３Ａ 封止部
４ ワイヤ
５ 凹部
６ 孔部
１１ 受光部
１２ １番ピン（所定のピン）
１３ 薄膜
２１，２３，２４，２６ ピン
２１ａ 第１の貫通孔
２１ｂ 第２の貫通孔
２２，２５ 型
２２ａ 孔
２３ａ，２４ａ，２６ａ 貫通孔
２５ａ 凸部
２５ｂ 穴部
３１ 凹部
３２ 突起部
Ｃ１ 一の隅部
Claims (22)
- 受光部を有する集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように、設置する第１の工程と、
前記型内に、封止のための材料を流し込む第２の工程と、
前記第２の工程とともに、または、前記第２の工程の後に、前記受光部表面に、前記ピンの前記貫通孔を介して、前記材料を硬化させるための気体を吹き付ける第３の工程とを備えた
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１において、
前記第３の工程は、
前記材料を硬化させるための気体を吹き付ける代わりに、前記材料を硬化させるための液体を流し込むものである
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１または２において、
前記材料は、熱硬化性樹脂であり、
前記気体または液体は、前記熱硬化性樹脂を硬化させるための温度を有する
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１または２において、
前記ピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状である
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１において、
前記気体は、不活性ガス、または、不活性ガスを主成分とするものである
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１または２において、
前記ピンは、内部に、吹き付けた前記気体、または流し込んだ前記液体が抜けるための第２の貫通孔が形成されている
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１または２において、
前記第２の工程は、前記ピンを、その先端が、前記集積回路素子の表面に接触するように、設置するものである
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１または２において、
前記第１の工程は、前記ピンを、その先端が、前記集積回路素子の表面から所定距離だけ離れるように、設置するものである
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項８において、
前記集積回路素子と前記リード片とは、ワイヤによって接続されており、
前記所定距離は、前記ワイヤの高さに相当する長さよりも、短い
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１または２において、
前記第３の工程の前に、または、前記第３の工程とともに、前記ピンの少なくとも先部を加熱する
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 受光部を有する集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように、設置する第１の工程と、
前記型内に、封止のための材料を流し込む第２の工程と、
前記受光部表面から、前記ピンの前記貫通孔を介して、流し込まれた前記材料を吸い取る第３の工程とを備えた
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１１において、
前記ピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状である
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 受光部を有する集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように、設置する第１の工程と、
前記型内に、封止のための材料を流し込む第２の工程と、
前記第２の工程において流し込まれ、前記受光部表面で硬化した材料を、前記ピンに前記貫通孔を介して吸着させ、除去する第３の工程とを備えた
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１３において、
前記材料は、熱硬化性樹脂であり、
前記第２の工程の前に、または、前記第２の工程とともに、前記ピンの少なくとも先部を加熱する
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１３において、
前記ピンの先端部は、円柱若しくは円錐台形状、または、角柱若しくは角錐台形状である
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１３において、
前記第２の工程の前に、前記貫通孔に、気体を通す
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１３において、
前記第３の工程の後に、前記貫通孔に、気体を通す
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 受光部を有する集積回路素子、およびこれと電気的に接続されたリード片に対して、前記受光部上方の入光側表面に凹部が形成され、かつ、前記凹部の底面に突起部が形成された封止部を形成する封止工程と、
前記封止部における前記凹部底面の部分を、前記突起部を折取ることによって、除去する工程とを備えている
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１８において、
前記封止工程は、
上面に穴部が形成された凸部を有する型を、前記集積回路素子およびリード片に対して、前記受光部上方に前記凸部が位置するように設置する工程と、
前記型内に、封止のための材料を流し込む工程とを備えたものである
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１８において、
前記封止工程は、
前記集積回路素子およびリード片に対して、内部に貫通孔が形成されたピンと、ピン挿入用の孔が形成された型とを、前記ピンが前記型の孔を介して前記受光部上方に配置されるように、設置する工程と、
前記型内に、封止のための材料を流し込むとともに、前記ピンの前記貫通孔に、前記材料を流し込む工程とを備えたものである
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１８において、
前記凹部底面の形状は、円または楕円である
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。 - 請求項１８において、
前記突起部の高さは、前記封止部における前記集積回路素子と前記リード片との接続部分の高さよりも高い
ことを特徴とする集積回路素子の実装方法。
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