JP3935480B2 - フレキシブル基板製造方法 - Google Patents
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請求項2記載の発明は、前記樹脂原料皮膜は、前記金属箔の前記金属バンプが形成されている表面に液状の樹脂原料を塗布して形成する請求項1記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項3記載の発明は、前記樹脂原料皮膜のエッチングは、アルカリ溶液で行う請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項4記載の発明は、前記樹脂原料の被膜は複数の被膜が積層されている請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項5記載の発明は、前記樹脂原料の被膜の、少なくとも最上層の被膜は熱可塑性を有する請求項4記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項6記載の発明は、前記樹脂原料皮膜のエッチングは、前記金属箔の裏面にキャリアフィルムを貼付した状態で行なう請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項7記載の発明は、前記樹脂原料にポリイミド前駆体を含有する液を用い、前記樹脂フィルムをポリイミドで構成させる請求項6記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項8記載の発明は、前記金属箔のエッチング後、前記金属配線の裏面に支持フィルムを形成し、前記金属配線を支持する請求項1乃至請求項7のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項9記載の発明は、前記支持フィルムが有する開口の底面に前記金属配線の接続部分を露出させる請求項8記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項10記載の発明は、請求項9記載のフレキシブル基板製造方法で製造したフレキシブル基板の前記開口底面に露出する前記金属配線に、請求項1乃至請求項9のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法で製造したフレキシブル基板の前記金属バンプを接続するフレキシブル基板製造方法である。
請求項11記載の発明は、請求項1乃至請求項10のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法で製造されたフレキシブル基板の前記金属バンプ上に少なくとも半導体素子を接続するフレキシブル基板製造方法である。
請求項12記載の発明は、前記金属バンプは電解メッキ法によって成長させる請求項1乃至請求項11のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項13記載の発明は、前記金属バンプの前記樹脂フィルム表面からの高さは、35μm以下にされている請求項1乃至請求項12のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法である。
請求項14記載の発明は、前記金属バンプは茸状に形成する請求項1乃至請求項13のいずれか1項記載のフレキシブル基板の製造方法である。
図1(a)〜(e)、図2(f)〜(j)、図3(k)〜(n)は、本発明のフレキシブル基板の一例の製造工程図である。
バンプ高さを35μm以下にしたので、バンプ高さのバラツキが少なくなり、可撓性を有さないICチップ等を接続する場合に不良が少なくなる。
11……金属箔
13……マスクフィルム
16……金属バンプ
20、21……樹脂原料の被膜
23……樹脂フィルム
25……金属配線
Claims (14)
- 金属箔上に、露光、現像によりパターニングされたマスクフィルムを形成し、
前記マスクフィルムの開口部底面に露出する前記金属箔上に金属バンプを成長させ、
前記金属バンプを成長させた後、前記マスクフィルムを除去し、
前記金属箔の前記金属バンプが形成されている表面に、平坦な部分が前記金属バンプの高さよりも低い樹脂原料皮膜を形成した後、前記金属バンプ先端を前記樹脂原料皮膜の平坦な部分から突き出させた状態で、前記樹脂原料皮膜の表面をエッチングし、前記金属バンプ表面を露出させるフレキシブル基板製造方法であって、
前記樹脂原料皮膜のエッチング後、前記樹脂原料皮膜を硬化させ、前記樹脂原料皮膜を樹脂フィルムに変化させ、
前記樹脂フィルムを形成した後、前記金属箔を裏面側から部分的にエッチングし、パターニングされた金属配線を形成するフレキシブル基板製造方法。 - 前記樹脂原料皮膜は、前記金属箔の前記金属バンプが形成されている表面に液状の樹脂原料を塗布して形成する請求項1記載のフレキシブル基板製造方法。
- 前記樹脂原料皮膜のエッチングは、アルカリ溶液で行う請求項1又は請求項2のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法。
- 前記樹脂原料の被膜は複数の被膜が積層されている請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法。
- 前記樹脂原料の被膜の、少なくとも最上層の被膜は熱可塑性を有する請求項4記載のフレキシブル基板製造方法。
- 前記樹脂原料皮膜のエッチングは、前記金属箔の裏面にキャリアフィルムを貼付した状態で行なう請求項1乃至請求項5のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法。
- 前記樹脂原料にポリイミド前駆体を含有する液を用い、
前記樹脂フィルムをポリイミドで構成させる請求項6記載のフレキシブル基板製造方法。 - 前記金属箔のエッチング後、前記金属配線の裏面に支持フィルムを形成し、前記金属配線を支持する請求項1乃至請求項7のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法。
- 前記支持フィルムが有する開口の底面に前記金属配線の接続部分を露出させる請求項8記載のフレキシブル基板製造方法。
- 請求項9記載のフレキシブル基板製造方法で製造したフレキシブル基板の前記開口底面に露出する前記金属配線に、請求項1乃至請求項9のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法で製造したフレキシブル基板の前記金属バンプを接続するフレキシブル基板製造方法。
- 請求項1乃至請求項10のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法で製造されたフレキシブル基板の前記金属バンプ上に少なくとも半導体素子を接続するフレキシブル基板製造方法。
- 前記金属バンプは電解メッキ法によって成長させる請求項1乃至請求項11のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法。
- 前記金属バンプの前記樹脂フィルム表面からの高さは、35μm以下にされている請求項1乃至請求項12のいずれか1項記載のフレキシブル基板製造方法。
- 前記金属バンプは茸状に形成する請求項1乃至請求項13のいずれか1項記載のフレキシブル基板の製造方法。
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