JP3933574B2 - 電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、本発明は、電子部品実装用フィルムキャリアテープ（ＴＡＢ（Tape AutomatedBonding）テープ、Ｔ-ＢＧＡ(Tape Ball Grid Array)テープ、ＣＳＰ（Chip Size Package）テープ、 ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）テープなど）（以下、単に「電子部品実装用フィルムキャリアテープ」と言う。）について、出荷前にサンプルを抽出して、そのサンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
エレクトロニクス産業の発達に伴い、ＩＣ（集積回路）、ＬＳＩ（大規模集積回路）などの電子部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加しているが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望されている。
これら電子部品の実装方法として、最近ではＴＡＢテープ、Ｔ-ＢＧＡテープおよびＡＳＩＣテープなどの電子部品実装用フィルムキャリアテープを用いた実装方式が採用されている。特に、パーソナルコンピュータなどのように高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要望されている液晶表示素子（ＬＣＤ）を使用する電子産業においてその重要性が高まっている。
【０００３】
このような電子部品実装用フィルムキャリアテープでは、出荷前に電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを抽出して、そのサンプルの、例えば、デバイスホール内に突設するインナーリードなどの幅、ピッチ、長さ、位置など（以下、単に「リード寸法」と言う。）が所定の範囲内にあるかどうかを測定する品質検査が行われている。
【０００４】
このように電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルのリード寸法を測定する場合、ソルダーレジストなどを塗布した後に、ソルダーレジストを硬化させるために乾燥炉内で乾燥させているため、電子部品実装用フィルムキャリアテープが乾燥して縮んだ状態となっているので、正確な測定を行うために、通常、湿度を、一定に保った恒温恒湿槽内で、例えば、２５℃、湿度６０％、４８時間、調湿して寸法を安定させた後、これをいったん恒温恒湿槽内から取り出した後、別途設けられた測長装置でリード寸法を測定していた。
【０００５】
しかしながら、このような測定方法では、恒温恒湿槽内で調湿して寸法を安定させた後、サンプルをいったん恒温恒湿槽内から取り出した後、別途設けられた測長装置でリード寸法を測定するので、測定までの時間が長い場合には、取り出した後の外部の雰囲気の影響を受けて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが吸湿して伸びたり、乾燥して縮んで反りが発生したりする場合があり、正確な測定を行うことができなかった。
【０００６】
また、このように、恒温恒湿槽内で湿して寸法を安定させた後、サンプルをいったん恒温恒湿槽内から取り出した後、別途設けられた測長装置でリード寸法を測定するので、煩雑な作業が必要となり、大量のサンプルを測定するのには、非常に時間と手間がかかることとなっていた。また、従来では、恒温恒湿槽での処理時間の管理を、サンプルに付設したタグ等に記載した情報に基づいて、恒温恒湿槽を設定する必要があるので、煩雑な作業が必要であった。
【０００７】
このため、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード寸法を、自動的に、短時間に測定するための方法として、特許文献１では、図１５に示したような測定装置２１０が提案されている。
すなわち、この測定装置２１０では、外部の雰囲気と遮断した測定室２１６の内部に配設した調湿用のテープ載置台２３６に、サンプル用の電子部品実装用フィルムキャリアテープを装着した測定用プレートを、テープ載置台２３６のプレート載置棚２３８に挿入して載置して、一定の湿度に調湿した空気を測定室２１６内に供給して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを調湿している。
【０００８】
そして、調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、テープ載置台２３６から取り出して、測定室２１６の内部に配設した測長装置２６４に搬送し、搬送装置２４４により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなどを測長装置２６４を用いて測定するようになっている。
【０００９】
【特許文献１】
特開２００１−１８９３５０号公報（特に、段落[００４５]〜段落[００５８]、図１、図３、図４参照）
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前述したような特許文献１に開示された測定装置２１０では、測長装置２６４の下方には、図示しないが、パソコンなどの制御装置や、ハロゲンランプなどの光源装置などの機器類が配設されている。
従って、これらの機器類から発生する熱はかなりの量であり、この熱の影響を受けて、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが伸びたり、乾燥して縮んで反りが発生したりする場合があり、正確な測定を行うことができなかった。
【００１１】
また、特許文献1の測定装置２１０では、一定の温度、湿度、例えば、２５℃、湿度６０％に維持された測定室２１６の内部に、測長装置２６４、搬送装置２４４などを配設しているために、これらの機器の部品が腐食するおそれがあった。
また、特許文献1の測定装置２１０では、測定室２１６の内部に、テープ載置台２３６を配置しているので、スペース的に制約があるため、テープ載置台２３６の大きさ、すなわち、プレート載置棚２３８の数に制限があり、測定用プレートの挿入枚数に限界がある。
【００１２】
その結果、テープ載置台２３６への測定用プレートの入れ替え回数が多くなるため、煩雑な作業が必要であり、測定効率も低下することとなっている。
さらに、従来の測定装置の測長装置は、レーザーを照射することによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープから反射したレーザーを用いて、レーザーフォーカス（焦点合わせ）を行って、インナーリードなどの測長を行っている。
【００１３】
このため、例えば、インナーリードがデバイスホール内で曲がっている場合には、その箇所のインナーリードに焦点が合わないため、焦点合わせ制御が複雑になって時間がかかることになる。また、レーザーによる測長では、箇所毎に測定を行い、移動して測長を実施しなければならず、煩雑で時間がかかることになっている。
【００１４】
本発明は、このような現状を考慮して、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード寸法を、自動的に、短時間に、しかも、正確に精度良く、大量のサンプルのリード寸法を測定可能な電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置および電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法を提供することを目的とする。
【００１５】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明なされたものであって、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置であって、
相互に連通する調温・調湿室と測定室とを備えた測定室本体と、
一定の温度、湿度に調温・調湿した空気を前記調温・調湿室内に供給する調温・調湿装置と、
電子部品実装用フィルムキャリアテープを調温・調湿するために、前記調温・調湿室に配設した調温・調湿用のテープ載置台と、
前記調温・調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、前記テープ載置台から取り出し、前記測定室内部に配設した測長装置に搬送する搬送装置と、
前記搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなど測定する測長装置とを備えるとともに、
前記測定室に、測定室内の空気を排気する排気装置と、測定室内に外部の空気を導入する吸気装置とを配設して、測定室内部の温度、湿度を一定に維持するように構成したことを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法は、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定する電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法であって、
相互に連通する調温・調湿室と測定室とを備えた測定室本体の調温・調湿室内部に配設した調温・調湿用のテープ載置台に電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置し、
一定の温度、湿度に調温・調湿した空気を調温・調湿室内に供給して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを調温・調湿し、
前記調温・調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、テープ載置台から取り出して、前記測定室内部に配設した測長装置に搬送し、
前記搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなどを測長装置を用いて測定する際に、
前記測定室に配設した排気装置を介して、測定室内の空気を排気するとともに、
前記測定室に配設した吸気装置を介して、測定室内に外部の空気を導入して、
測定室内部の温度、湿度を一定に維持することを特徴とする。
【００１７】
このようにすることによって、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルに対して、測定室本体の調温・調湿室の内部で、一定時間調湿を行い、その寸法を安定させた状態で、測定室本体の測定室の内部に配設された測長装置で、サンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード寸法を測定するので、従来のようにサンプルをいったん恒温恒湿槽内から取り出す必要がない。
【００１８】
従って、自動的に、短時間に行え、その作業性が極めて向上するとともに、サンプルの寸法が安定した状態のままで測定できるので、正確に精度良く、大量のサンプルのリード寸法を測定することが可能である。
しかも、この測定室における測長装置による測長の際に、測定室に配設した排気装置を介して、測定室内の空気を排気するとともに、測定室に配設した吸気装置を介して、測定室内に外部の空気を導入して、測定室内部の温度、湿度を一定に維持するようになっている。
【００１９】
従って、測長装置の下方に配設した、パソコンなどの制御装置や、ハロゲンランプなどの光源装置などの機器類から発生する熱の影響を除去することができるので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが伸びたり、乾燥して縮んで反りが発生したりすることがなく、極めて正確な測定を行うことができる。
【００２０】
また、本発明では、測定室本体が、相互に連通する調温・調湿室と測定室とに分離されており、調温・調湿室に調温・調湿用のテープ載置台を配設するとともに、この調温・調湿室と分離した測定室に搬送装置と測長装置を配設している。
従って、測定室に配設した搬送装置と測長装置などの機器類の部品が、調温・調湿室の雰囲気の影響によって腐食するおそれがない。
【００２１】
また、測定室に配設した搬送装置と測長装置などの機器類の部品が、調温・調湿室の雰囲気と遮断されることになるので、調温・調湿室の雰囲気の影響によって腐食するおそれがなく、しかも、測定室を測長装置による測定に適した一定の温度、湿度に維持することが可能となる。
さらに、測定室とは別個の調温・調湿室を設けて、調温・調湿室を設けるようにしているので、調温・調湿室を広くすることによって、その内部に配設したテープ載置台の大きさ、すなわち、プレート載置棚の数を増加できることになり、測定用プレートの挿入枚数を増やすことが可能である。
【００２２】
その結果、テープ載置台への測定用プレートの入れ替え回数が少なくてすむため、煩雑な作業が必要であり、測定効率も向上することになる。
また、本発明は、前記調温・調湿室と測定室とが、開閉可能なシャッターによって連通・隔離可能に構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、正確な測定を行うために、例えば、２５℃、湿度６０％、４８時間、調湿して、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの寸法を安定させる際に、シャッターを閉じて調温・調湿室と測定室とを隔離することによって、調温・調湿室において一定の調温・調湿度を維持することができる。
【００２３】
また、このように調温・調湿室において、一定の調温・調湿処理を行った後、測定室の測長装置で測定する際には、このシャッターを開けることによって、調温・調湿のテープ載置台から取り出し、測定室内部に配設した測長装置に搬送することができる。
従って、測定室に配設した搬送装置と測長装置などの機器類の部品が、調温・調湿室の雰囲気と開閉シャッターによって完全に遮断されることになるので、調温・調湿室の雰囲気の影響によって腐食するおそれがなく、しかも、測定室を測長装置による測定に適した一定の温度、湿度に維持することが可能となる。
【００２４】
また、本発明は、前記吸気装置に、フィルターが設けられていることを特徴とする。
このように吸気装置にフィルターが設けられているので、吸気装置を介して、測定室内に導入される外部の空気に含まれる塵埃などを取り除くことができるので、測定室内をクリーンな環境に維持することができ、測長装置による測定を精度良く実施することができる。
【００２５】
また、本発明は、前記測長装置が、画像処理によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するように構成されていることを特徴とする。
このように測長装置が、画像処理によって測定するように構成されているので、従来のように、レーザーを用いて、レーザーフォーカス（焦点合わせ）を行っていないので、焦点合わせ制御が複雑になって時間がかかることがなく、箇所毎に測定を行い、移動して測長を実施する必要もなく、短時間で測定することができる。
【００２６】
また、本発明は、前記測長装置が、リードのエッジフォーカスによる画像処理によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するように構成されていることを特徴とする。
このように測長装置が、リードのエッジフォーカスによる画像処理によって測定するように構成されているので、測定ポイントでの焦点合わせがより短時間で正確に行うことができ、短時間で正確な測定を実施することができる。
【００２７】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定する測定用固定プレートを備え、該測定用固定プレートが前記テープ載置台に形成されたプレート載置棚に脱着自在に挿入されるように構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、測定用固定プレートに電子部品実装用フィルムキャリアテープを固定した状態で、測定室本体の調温・調湿室で調湿し、測定室の測長装置に搬送して測定するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが、搬送の際に損傷することなく、しかも、測長装置で測定する際に電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが移動することがないので、正確な測定を行うことができる。
【００２８】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記テープ載置台には、複数のプレート載置棚が形成され、それぞれのプレート載置棚に、電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定した測定用固定プレートが脱着自在に挿入されるように構成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、一度に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを、測定室本体の調温・調湿室内で調湿して、測定室の測長装置で順に測定することができるので、大量のサンプルについて、調湿と測定を自動的に実施することができる。
【００２９】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記測定用固定プレートには、該測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを脱着自在に固定するサンプル情報固定部が備えられていることを特徴とする。
これにより、サンプル情報固定部に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する製品の種類、ロット番号などの固有情報を有するバーコードを、バーコードリーダなどの読みとり装置で読みとり、測長装置に入力することによって、固有情報に対応した測定値を得ることができる。
【００３０】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記測定用固定プレートには、該測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部に対応した位置を示す位置指定部が形成されていることを特徴とする。
このように構成することによって、位置指定部で示された電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部の位置を、測長装置で検知して正確に測定すべき電子部品実装部を測定することができる。
【００３１】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記測長装置が、前記測定用固定プレート上のバーコードを読み込んだ電子部品実装用フィルムキャリアテープの固有情報と、前記位置指定部から検出した位置情報に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定するように構成されていることを特徴とする。
【００３２】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法は、測定用固定プレートに脱着自在に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを読み込み、測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部に対応した位置を示す位置指定部から位置情報を検出し、これに基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定することを特徴とする。
【００３３】
従って、電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する製品の種類、ロット番号などの固有情報に対応し、しかも正確に測定すべき電子部品実装部を測定した測定値を得ることができる。
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置は、前記搬送装置が、取り出し位置と、待機位置と、受け渡し位置との間で移動可能な搬送アームを備えるとともに、
前記測長装置が、待機位置と、受け渡し位置と、測長位置との間で移動可能に構成され、
前記搬送アームを調温・調湿室のテープ載置台に接近する方向に移動して、調温・調湿室で調温・調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、テープ載置台から取り出した後、前記搬送アームをテープ載置台に離反する方向に移動して、待機位置に移動し、
前記待機位置にある測長装置を、受け渡し位置へと移動して、
前記待機位置にある搬送アームを受け渡し位置へと移動して、
前記搬送アームで搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープを測長装置に受け渡した後、
前記測長装置を測長位置に移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなど測定するように構成したことを特徴とする。
【００３４】
また、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法は、前記搬送装置が、取り出し位置と、待機位置と、受け渡し位置との間で移動可能な搬送アームを備えるとともに、
前記測長装置が、待機位置と、受け渡し位置と、測長位置との間で移動可能に構成され、
前記搬送アームを調温・調湿室のテープ載置台に接近する方向に移動して、調温・調湿室で調温・調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、テープ載置台から取り出した後、前記搬送アームをテープ載置台に離反する方向に移動して、待機位置に移動し、
前記待機位置にある測長装置を、受け渡し位置へと移動して、
前記待機位置にある搬送アームを受け渡し位置へと移動して、
前記搬送アームで搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープを測長装置に受け渡した後、
前記測長装置を測長位置に移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなど測定することを特徴とする。
【００３５】
これにより、電子部品実装用フィルムキャリアテープの調温・調湿室からの取り出し、測長装置への搬送、測長装置の測定位置での測定を自動的に実施することができ、測定効率が上昇することになる。
【００３６】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態（実施例）について説明する。
図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の正面図、図２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の上面図、図３は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室本体内部の正面図、図４は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室本体内部の上面図、図５は、図４のＶ方向端面図、図６は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置のテープ載置台の正面図、図７は、図６のテープ載置台の上面図、図８は、図６のテープ載置台の側面図、図９は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の作動を説明する概略図である。
【００３７】
図１〜図５に示したように、１０は全体で本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置（以下、単に「測定装置」と言う。）を示している。測定装置１０は、工場の床などの上に設置された測定装置本体１２と、測定装置本体１２の側部に配置された調湿制御装置１４を備えている。
また、測定装置本体１２には、測定室本体１６が設けられている。この測定室本体１６は、略箱体形状であり、隔壁１１で画成された調温・調湿室１８と測定室２０とを備えている。
【００３８】
調温・調湿室１８には、開閉自在な開閉扉２２が設けられ、調温・調湿室１８の内部に測定対象である電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを出し入れできるようになっている。なお、図示しないが、この開閉扉２２には、シール部材が装着されており、外部の雰囲気と遮断されるように気密構造となっている。
【００３９】
なお、測定室２０の前部にも、透明な耐熱ガラスからなる開閉自在な開閉扉２１が設けられており、装置のメンテナンスなどの際に内部にアクセスできるように構成されている。
調温・調湿室１８の一方の側方には、図示しない吸気口と排気口とを介して調湿制御装置１４が接続されている。この調湿制御装置１４は、図示しないブロワーなどにより、吸気口から吸い込んだ、調温・調湿室１８の内部の空気を、図示しない加熱装置と加湿装置によって、所定の温度と湿度に加熱、加湿して、排気口を介して、再び、調温・調湿室１８の内部に送り込むように構成されている。これにより、調温・調湿室１８内を一定の温度、湿度、例えば、２５℃、湿度６０％に維持するように制御されている。
【００４０】
測定室本体１６の調温・調湿室１８の内部には、図３〜図５に示したように、調温・調湿室１８の底壁に一対の案内レール３４が、調温・調湿室１８の横方向に設けられており、その上をテープ載置台３６が、測定用プレート挿入位置Aである手前側、すなわち開閉扉２２側と、図４に示した調湿、測定位置Ｂとの間を、図示しないモータ、ピストンシリンダ機構などの駆動機構により移動自在に構成されている。
【００４１】
また、このテープ載置台３６は、図６に示したように、図示しない回転機構によって、回転軸６２が回転して、測定用プレート挿入位置Aでは、その開口側４２が、手前側、すなわち開閉扉２２側に位置して、作業員が後述する測定用プレート９０を挿着できるようになっている。
そして、測定位置Ｂでは、その開口側４２が、調温・調湿室１８と測定室２０との間の隔壁２６に設けられた開口部２８側に向く様に、回転するようになっている。
【００４２】
また、図６〜図８に示したように、このテープ載置台３６には、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを固定した測定用プレート９０を出し入れするための複数のプレート載置棚３８が形成されている。
これらのプレート載置棚３８には、両側部内壁に複数のガイド溝４０が形成されており、これらのガイド溝４０に、測定用プレート９０を、テープ載置台３６の開口側４２から挿入することによって、プレート載置棚３８に測定用プレート９０を載置することができるようになっている。なお、この場合、このプレート載置棚３８は、テープ載置台３６の左右に一対形成されている。
【００４３】
さらに、図３および図４に示したように、調温・調湿室１８と測定室２０との間の隔壁２６の開口部２８には、開閉可能なシャッター６０が設けられており、このシャッター６０によって、調温・調湿室１８と測定室２０とが、連通・隔離可能に構成されている。
一方、図３〜図５に示したように、測定室２０の内部には、測定用プレート９０をテープ載置台３６から取り出し、測定室２０の内部に配設した測長装置６４に搬送するための搬送装置４４が設けられている。
【００４４】
この搬送装置４４には、測定室２０の後壁４６の内部に設けられ測定室２０の長手方向に、テープ載置台３６から測定室２０の他方の側壁２４まで延設された案内レール４８が設けられている。この案内レール４８に沿って、搬送アーム５０が、測定室２０の長手方向に移動自在に装着されている。また、この搬送アーム５０は、図示しない案内レールに沿って上下方向にも移動可能に構成されている。
【００４５】
また、測定室２０内には、手前側、すなわち、開閉扉２１側に、搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなどのリード形状を測定する測長装置６４が設けられている。この測長装置６４は、測定室２０の底壁３２に設けられた基台６６を備えている。この基台６６上には、X軸方向およびY軸方向に移動可能なＸＹステージ６８が配置されている。
【００４６】
また、この測長装置６４の基台６６は、測定室２０の底壁３２に配設された案内レール７０上を測定室２０の長手方向に移動可能であるとともに、案内レール７２に沿って、測定室２０の横方向に移動可能に構成されている。
また、測長装置６４には、図示しないが、搬送装置４４の搬送アーム５０にて搬送されてきた測定用プレート９０を、ＸＹステージ６８に移載する搬送アームが搬送装置４４側に伸縮自在に配置されている。
【００４７】
さらに、測長装置６４には、一方、このＸＹステージ６８の上方には、Ｚ軸ステージ８０が配置されている。すなわち、基台６６上には、アーチ型の支持柱部材８２が立設されており、この支持柱部材８２の中央部分に上下方向に設けられたガイドレール８４の上をＺ方向に移動可能に、自動焦点式の画像処理装置（CCDカメラ）８８が配置されている。
【００４８】
このように構成される測長装置６４では、ＸＹステージ６８上に搬送された測定用プレート９０上に固定された電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの幅、ピッチなどのリード形状を、ＸＹステージ６８をそれぞれＸ方向、Ｙ方向に移動することによって、平面的な長さを、Ｚ軸ステージ８０をＺ方向に移動させることによって焦点距離によって、Ｚ方向、すなわち上下方向の長さを測定して、リードの形状を三次元的に解析できるように構成されている。
【００４９】
なお、図示しないが、この測長装置６４の下方には、透過光照射装置が配設されており、この透過光照射装置から照射された透過光が、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを透過することによって、画像処理装置（CCDカメラ）８８によりリード形状が測定できるようになっている。なお、この場合、透過光式の代わりに、反射式の顕微鏡を用いることも勿論可能である。
【００５０】
また、この場合、測長装置６４は、画像処理装置（CCDカメラ）８８の画像処理によって測定するように構成されており、好ましくは、電子部品実装用フィルムキャリアテープのリードのエッジフォーカスによる画像処理によって測定するように構成されている。
すなわち、図１０に示したように、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプル９８を測定用プレート９０の所定の位置にセットする。そして、係止部材１０４のスプロケット孔係止用ピン１１０を、例えば、予め決められた２つめのスプロケット孔９３に係合させて、サンプル９８を所定位置に固定する。
【００５１】
そして、図１０に示したように、画像処理装置（CCDカメラ）８８が、測長装置６４が所定のプログラムに基づいて移動して、例えば、デバイスホールＤの端部から３番目の位置にあるインナーリードＩｎの位置を認識する。
このインナーリードＩｎの側辺を、図１４に示したように、例えば、５箇所（×印で示した）を、エッジフォーカスによって認識する（すなわち、スプロケット孔の部分は黒く、その他のフィルムキャリアテープの部分は白く認識される、以下も同様な原理に基づく）ことによって測定し、インナーリードＩｎの幅Tを求める。
【００５２】
さらに、図１４に示したように、所定の間隔離間したインナーリードＩｎの中心線間Ｐ３の間の距離を測定することによって累積ピッチQを測定することができる。
なお、以上は、エッジフォーカスによる認識の一例を示したものであって、何らこれに限定されるものではないことは勿論である。
【００５３】
さらに、図１および図２に示したように、測定室２０の開閉扉２１の下方には、コンピュータ、ハロゲンランプなどの機器類を収容する部分であり、これらの機器類にアクセスできるように、開閉扉２３が設けられている。そして、この開閉扉２３に、吸気窓２５が設けられており、この吸気窓２５にも、測定室２０内に導入される外部の空気に含まれる塵埃などを取り除くためのフィルターが設けられている。
【００５４】
一方、測定室２０の後壁４６には、下方に排気ダクト管５４が接続されており、排気ダクト管５４には、排気ファン５６が設けられている。なお、この実施例では、これらの排気ダクト管５４には、排気ファン５６は、測定室２０の後壁４６にそれぞれ、２箇所設けた例を示したが、その数は適宜変更でき、例えば、１箇所だけ設けることも勿論可能である。
【００５５】
これにより、吸気窓２５から導入された外部の空気が、排気ファン５６、排気ダクト管５４を介して外部に排出されるようになっている。
また、測定室２０の中段の側壁２４にも、同様なフィルター付きの吸気窓５２が設けられている。さらに、測定室２０の頂壁には、排気ファン５７が設けられている。
【００５６】
これにより、吸気窓５２から導入された外部の空気が、排気ファン５７を介して外部に排出されるようになっている。
このように構成することによって、測定室における測長装置による測長の際に、測定室２０に配設した排気装置を構成する排気ダクト管５４、排気ファンを介して、測定室２０内の空気を排気するとともに、測定室２０に配設した吸気装置を構成する吸気ダクト管５２、吸気ファン介して、測定室２０内に外部の空気を導入して、測定室２０内部の温度、湿度を、測定に影響することのない、例えば、温度を２２±２℃、湿度を５５±５％ＲＨになるように、一定に維持するようになっている。
【００５７】
一方、図１０および図１１に示したように、測定用プレート９０は、略平板形状の枠部材９２を備えており、その一部分に矩形状の開口部９４が形成されており、この開口部９４に透明なガラス９６が嵌め込まれている。このガラス９６上に、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプル９８が、所定位置に固定されるサンプル固定部９５となっている。
【００５８】
すなわち、略平板形状の枠部材９２の開口部９４の左端側には、開口部９４の左側部９４ａに沿って、平行な２本のスライド溝１００、１０２が形成されている。これらのスライド溝１００、１０２には、図９に示したような形状のサンプル９８を係止固定するための係止部材１０４が脱着自在に装着されるものである。
【００５９】
なお、開口部９４の右端側にも、同様にスライド溝１００、１０２が形成されており、長いサンプル９８を両方の係止部材１０４で確実に保持できるように構成されている。
この係止部材１０４は、図１２および図１３に示したように、略三角形形状の係止板部材１０６と、この係止板部材１０６の基端部の下面に突設された２個の係止ピン１０８と、係止板部材１０６の先端部の下面に突設されたスプロケット孔係止用ピン１１０と、係止板部材１０６の中央部の上面に突設された操作摘み部材１１２とから構成されている。
【００６０】
この係止部材１０４としては、材質は特に限定されるものではなく、金属製でピンを接着剤で固定したものを用いてもよいが、頻繁に使用しているうちにガタが生じず、測定精度を向上するためには、合成樹脂で一体成形で作製するのが好ましい。
また、この溝１００、１０２の上下の終端の両側には、ぞれぞれ、係止部材１０４を固定するために、係止部材１０４の係止ピン１０８とスプロケット孔係止用ピン１１０にそれぞれ対応する係止部材固定用係止孔１１４、１１６が形成されている。
【００６１】
さらに、枠部材９２の開口部９４の下方の枠部分１２４には、サンプル情報固定部１２６が形成されている。すなわち、下方の枠部分１２４の左端部近傍には、クリップ部材１２５が設けられている。このクリップ部材１２５は、その基端部１２８が、ネジなどの締結部材１３０で下方の枠部分１２４で固定されるとともに、蝶番部材１３２を介して、クリップ部１３４が開閉できるようになっている。
【００６２】
また、下方の枠部分１２４には、平行な２本のスライド用金具１３６が形成され、このスライド用金具１３６に沿って、左右に移動自在にクリップ部材１３８が装着されている。このクリップ部材１３８は、クリップ部材１２５とほぼ同様な構成であり、基端部１４０が、ネジなどの締結部材１４２で下方のスライド用金具１３６にスライド可能に固定されるとともに、蝶番部材１４４を介して、クリップ部１４６が開閉できるようになっている。
【００６３】
このように構成される測定用プレート９０を用いる場合には、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプル９８の端部のスプロケット孔９３、９３にそれぞれ、係止部材１０４のスプロケット孔係止用ピン１１０を係合する。そして、片方の係止部材１０４を、係止部材固定用係止孔１１４にそれぞれ、係止部材１０４の係止ピン１０８とスプロケット孔係止用ピン１１０を嵌合させる。
【００６４】
一方、他方の係止部材１０４を、係止ピン１０８をスライド溝１００に、スプロケット孔係止用ピン１１０をスライド溝１０２に嵌合することによって、図１０に示したように、サンプル９８を開口部９４のガラス９６上に所定位置に固定する。
なお、２枚のサンプル９８を開口部９４のガラス９６上の所定位置に固定する必要がある場合には、同様にして、開口部９４のガラス９６上に所定位置に固定する。但し、この場合には、係止部材固定用係止孔１１４の代わりに、係止部材固定用係止孔１１６を用いればよい。この場合、片方の係止部材１０４が、スライド溝１００とスライド溝１０２に沿ってスライドできるようになっているので、サンプル９８の幅が異なる場合でも、固定できるようになっている。
【００６５】
そして、サンプル９８の測定すべき電子部品実装部９９に対応した位置の位置指定ピン用孔１１８、１２０にそれぞれ、位置指定ピン１２２を嵌合させる。また、サンプル９８を保護するカバー部材１５０には、サンプル９８に対応した製品の種類、ロット番号などの固有情報が記載されたバーコード部材１５２が貼付されており、このカバー部材１５０を、クリップ部材１２５のクリップ部１３４と、クリップ部材１３８のクリップ部１４６に挟んで固定するようになっている。
【００６６】
この場合、クリップ部材１３８が、スライド用金具１３６に沿って左右に移動できるようになっているので、サンプル９８の長さが異なる場合、すなわち、カバー部材１５０の長さが異なる場合でも、カバー部材１５０を固定できるようになっている。
このように構成される本発明の測定用プレート９０を用いて測定装置１０で、サンプル９８のリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード形状を測定する方法について、以下に説明する。
【００６７】
先ず、前述したように、測定用プレート９０のサンプル固定部９５の所定位置にサンプル９８を固定し、位置指定部１０１でサンプル９８の測定すべき電子部品実装部９９に対応した位置に位置指定ピン１２２を嵌合させるとともに、バーコード部材１５２が貼付されたカバー部材１５０をサンプル情報固定部１２６に固定する。
【００６８】
そして、調温・調湿室１８において、制御部装置の制御によって、テープ載置台３６が測定用プレート挿入位置Aである手前側、すなわち開閉扉２２側まで一対の案内レール３４上を移動させる。
そして、測定用プレート挿入位置Aにおいて、テープ載置台３６を、図６に示したように、図示しない回転機構によって、回転軸６２が回転して、その開口側４２が、手前側、すなわち開閉扉２２側に位置するようにする。
【００６９】
この状態で、上記のように準備した複数の測定用プレート９０を、測定室２０の開閉扉２２を開けて、テープ載置台３６の複数のプレート載置棚３８のガイド溝４０に、テープ載置台３６の開口側４２から挿入することによって、プレート載置棚３８にそれぞれ載置する。
なお、この場合、テープ載置台３６を回転することによって、左右一対のプレート載置棚３８にそれぞれ、複数の測定用プレート９０を載置する。
【００７０】
そして、開閉扉２２を閉めて、制御部に開始信号を、キーボードなどの図示しない入力手段で入力する。これにより、制御部の制御によって、テープ載置台３６が、案内レール３４上を、調湿、測定位置Ｂまで移動される。
なお、測定位置Ｂでは、その開口側４２が、調温・調湿室１８と測定室２０との間の隔壁２６に設けられた開口部２８側に向く様に、回転するようになっている。
【００７１】
測定位置Ｂまでテープ載置台３６が移動したことを検知した後、調湿制御装置１４が作動して、調温・調湿室１８の内部の空気を、吸気口から吸い込んで加熱装置と加湿装置によって、制御部に入力しておいたプログラムに従って、所定の温度と湿度（例えば、２５℃、湿度６０％）に加熱、加湿して、排気口を介して、再び調温・調湿室１８の内部に送り込む。
【００７２】
なお、この際には、調温・調湿室１８と測定室２０との間の隔壁２６の開口部２８に設けられたシャッター６０は閉じられた状態となっている。
これにより、調温・調湿室１８の内部で、テープ載置台３６のプレート載置棚３８に載置された測定用プレート９０に固定したサンプル９８について、一定時間調湿が行われ、その寸法を安定させることができる。
【００７３】
そして、予め、制御部に入力しておいたプログラムに従って、一定時間、例えば、４８時間経過した後には、図９に示したように作動されるようになっている。
先ず、調温・調湿室１８と測定室２０との間の隔壁２６の開口部２８に設けられたシャッター６０が開かれた状態となる。
【００７４】
そして、図９の矢印(1)で示したように、搬送装置４４が作動して、搬送アーム５０が、案内レール４８に沿って、テープ載置台３６の方向に移動する。
この際、搬送アーム５０が、案内レールに沿って上方向に移動して、テープ載置台３６のプレート載置棚３８の最上部に位置する測定用プレート９０のすぐ下方に、搬送アーム５０が位置するようになっている。
【００７５】
この状態で、搬送アーム５０が、案内レール４８に沿って、テープ載置台３６の方向にさらに、調温・調湿室１８と測定室２０との間の隔壁２６の開口部２８を介して移動して、テープ載置台３６の開口側４２を介して、テープ載置台３６のプレート載置棚３８の最上部に位置する測定用プレート９０のすぐ下方に、搬送アーム５８が挿入される。この状態で、図示しない真空源を作動して、搬送アーム５０の上面に測定用プレート９０を吸着支持する。
【００７６】
次に、図９の矢印(2)で示したように、搬送アーム５０が、案内レール４８に沿って、テープ載置台３６から離反する方向に移動して、テープ載置台３６の開口側４２を介して、プレート載置棚３８の最上部に位置する測定用プレート９０を、搬送アーム５０とともにガイド溝４０に沿って引き抜く。
さらに、図９の矢印(2)で示したように、搬送アーム５０が、案内レール４８に沿って、調温・調湿室１８と測定室２０との間の隔壁２６の開口部２８を介して、テープ載置台３６から離反する方向に移動して、図９に示したように、測定室２０の他方の側壁２４側の待機位置Ｃへと移動される。
【００７７】
そして、この際、調温・調湿室１８と測定室２０との間の隔壁２６の開口部２８に設けられたシャッター６０が閉じられた状態となる。
そして、予め、案内レール７０、７２に沿って移動されて、測定室２０の他方の側壁２４側の待機位置Ｄへと移動されていた測長装置６４の基台６６上のＸＹステージ６８が、図９の矢印(3)で示したように、案内レール７０、７２に沿って移動して、図９に示したように、受け渡し位置（移載位置）Ｅへと移動される。
【００７８】
この受け渡し位置（移載位置）Ｅにおいて、図９の矢印(4)で示したように、搬送装置４４の搬送アーム５０にて搬送されてきた測定用プレート９０を、ＸＹステージ６８に移載する測長装置６４の搬送アームが搬送装置４４側に突出する。
そして、図９の待機位置Ｃに待機していた搬送装置４４の搬送アーム５０が、案内レール４８に沿って、図９の矢印(5)で示したように、受け渡し位置（移載位置）Ｆまで移動される。そして、この受け渡し位置（移載位置）Ｆにおいて、搬送アーム５０の負圧を解除することによって、測定用プレート９０の吸着を解除することによって、測定用プレート９０を、測長装置６４の搬送アームに移載する。
【００７９】
なお、図示しないが、この測長装置６４の搬送アームも負圧によって、測定用プレート９０を吸着保持するようになっている。
測定用プレート９０が測長装置６４の搬送アームに移載された後、図９の矢印(6)に示したように、測長装置６４の搬送アームが搬送装置４４側から離反して、測長装置６４のＸＹステージ６８側に移動する。
【００８０】
そして、測長装置６４の搬送アームの負圧を解除して、測定用プレート９０の吸着を解除することによって、測定用プレート９０を、ＸＹステージ６８上に移載する。
続いて、測長装置６４の基台６６上のＸＹステージ６８が、図９の矢印(7)で示したように、案内レール７０、７２に沿って移動されて、図９に示したように、受け渡し位置（移載位置）Ｅから、画像処理装置（CCDカメラ）８８の下方の測長位置Ｇへと移動される。
【００８１】
この状態で、図示しない、測長装置６４に付設したバーコードリーダにより、固定用治具１５４上に固定された測定用プレート９０上のカバー部材１５０のバーコード部材１５２を走査して、サンプル９８に対応した製品の種類、ロット番号などの固有情報を読み込む。
これらの情報に基づいて、予め設定されたプログラムに従い、上記したようなエッジフォーカスによって、ＸＹステージ６８上に搬送された測定用プレート９０上に固定された電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの幅、ピッチなどのリード形状を、ＸＹステージ６８をそれぞれＸ方向、Ｙ方向に移動することによって、平面的な長さを、Ｚ軸ステージ８０をＺ方向に移動させることによって焦点距離によって、Ｚ方向、すなわち上下方向の長さを測定して、リードの形状を三次元的に解析され、この情報が、制御部に入力され記憶される。
【００８２】
このように電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの幅、ピッチなどのリード形状の測定が終了した後、上記の逆の順に作動することによって、測定の終了したサンプルの測定用プレート９０が、テープ載置台３６のプレート載置棚３８の元の位置に戻される。
続いて、制御部プログラムに従って、同様なサイクルが繰り返され、テープ載置台３６の上方のプレート載置棚３８から下方へ順に測定用プレート９０が取り出され、測長装置６４でサンプルのリード形状の測定が行われる。
【００８３】
そして、全てのプレート載置棚３８の測定用プレート９０サンプルのリード形状の測定が行われた後、制御部の制御によって調湿制御装置１４の作動が停止する。
次に、テープ載置台３６が、案内レール３４上を、測定用プレート挿入位置Ａ、すなわち、開閉扉２２側まで移動される。そして、開閉扉２２を開けて、それぞれの測定用プレート９０を、テープ載置台３６のプレート載置棚３８のガイド溝４０に沿って、テープ載置台３６の開口側４２から引き抜いて取り出すことにより、一連の測定操作が終了する。
【００８４】
このようにすることによって、大量のサンプルについて、自動的に品質管理を集中的に管理して実施することができるようになっている。
以上、本発明の好ましい実施の態様を説明してきたが、本発明はこれに限定されることはなく、例えば、本発明では、テープ載置台３６の上方のプレート載置棚３８から下方へ順に測定用プレート９０が取り出され、測長装置６４でサンプルのリード形状の測定が行われるようにしたが、この順番は予め入力されたプログラムに沿って適宜変更できるなど本発明の目的を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【００８５】
【発明の効果】
本発明によれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルに対して、測定室本体の調温・調湿室の内部で、一定時間調湿を行い、その寸法を安定させた状態で、測定室本体の測定室の内部に配設された測長装置で、サンプルのリードの幅、ピッチ、長さ、位置などのリード寸法を測定するので、従来のようにサンプルをいったん恒温恒湿槽内から取り出す必要がない。
【００８６】
従って、自動的に、短時間に行え、その作業性が極めて向上するとともに、サンプルの寸法が安定した状態のままで測定できるので、正確に精度良く、大量のサンプルのリード寸法を測定することが可能である。
しかも、この測定室における測長装置による測長の際に、測定室に配設した排気装置を介して、測定室内の空気を排気するとともに、測定室に配設した吸気装置を介して、測定室内に外部の空気を導入して、測定室内部の温度、湿度を一定に維持するようになっている。
【００８７】
従って、測長装置の下方に配設した、パソコンなどの制御装置や、ハロゲンランプなどの光源装置などの機器類から発生する熱の影響を除去することができるので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが伸びたり、乾燥して縮んで反りが発生したりすることがなく、極めて正確な測定を行うことができる。
【００８８】
また、本発明によれば、測定室本体が、相互に連通する調温・調湿室と測定室とに分離されており、調温・調湿室に調温・調湿用のテープ載置台を配設するとともに、この調温・調湿室と分離した測定室に搬送装置と測長装置を配設している。
従って、測定室に配設した搬送装置と測長装置などの機器類の部品が、調温・調湿室の雰囲気の影響によって腐食するおそれがない。
【００８９】
また、測定室に配設した搬送装置と測長装置などの機器類の部品が、調温・調湿室の雰囲気と遮断されることになるので、調温・調湿室の雰囲気の影響によって腐食するおそれがなく、しかも、測定室を測長装置による測定に適した一定の温度、湿度に維持することが可能となる。
さらに、測定室とは別個の調温・調湿室を設けて、調温・調湿室を設けるようにしているので、調温・調湿室を広くすることによって、その内部に配設したテープ載置台の大きさ、すなわち、プレート載置棚の数を増加できることになり、測定用プレートの挿入枚数を増やすことが可能である。
【００９０】
その結果、テープ載置台への測定用プレートの入れ替え回数が少なくてすむため、煩雑な作業が必要であり、測定効率も向上することになる。
また、本発明によれば、調温・調湿室と測定室とが、開閉可能なシャッターによって連通・隔離可能に構成されているので、正確な測定を行うために、例えば、２５℃、湿度６０％、４８時間、調湿して、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルの寸法を安定させる際に、シャッターを閉じて調温・調湿室と測定室とを隔離することによって、調温・調湿室において一定の調温・調湿度を維持することができる。
【００９１】
また、このように調温・調湿室において、一定の調温・調湿処理を行った後、測定室の測長装置で測定する際には、このシャッターを開けることによって、調温・調湿のテープ載置台から取り出し、測定室内部に配設した測長装置に搬送することができる。
従って、測定室に配設した搬送装置と測長装置などの機器類の部品が、調温・調湿室の雰囲気と開閉シャッターによって完全に遮断されることになるので、調温・調湿室の雰囲気の影響によって腐食するおそれがなく、しかも、測定室を測長装置による測定に適した一定の温度、湿度に維持することが可能となる。
【００９２】
また、本発明によれば、吸気装置にフィルターが設けられているので、吸気装置を介して、測定室内に導入される外部の空気に含まれる塵埃などを取り除くことができるので、測定室内をクリーンな環境に維持することができ、測長装置による測定を精度良く実施することができる。
また、本発明によれば、測長装置が、画像処理によって測定するように構成されているので、従来のように、レーザーを用いて、レーザーフォーカス（焦点合わせ）を行っていないので、焦点合わせ制御が複雑になって時間がかかることがなく、箇所毎に測定を行い、移動して測長を実施する必要もなく、短時間で測定することができる。
【００９３】
また、本発明によれば、測長装置が、リードのエッジフォーカスによる画像処理によって測定するように構成されているので、測定ポイントでの焦点合わせがより短時間で正確に行うことができ、短時間で正確な測定を実施することができる。
また、本発明によれば、測定用固定プレートに電子部品実装用フィルムキャリアテープを固定した状態で、測定室本体の調温・調湿室で調湿し、測定室の測長装置に搬送して測定するので、電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが、搬送の際に損傷することなく、しかも、測長装置で測定する際に電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルが移動することがないので、正確な測定を行うことができる。
【００９４】
また、本発明によれば、テープ載置台には、複数のプレート載置棚が形成され、それぞれのプレート載置棚に、電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定した測定用固定プレートが脱着自在に挿入されるように構成されているので、一度に複数の電子部品実装用フィルムキャリアテープのサンプルを、測定室本体の調温・調湿室内で調湿して、測定室の測長装置で順に測定することができるので、大量のサンプルについて、調湿と測定を自動的に実施することができる。
【００９５】
また、本発明によれば、サンプル情報固定部に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する製品の種類、ロット番号などの固有情報を有するバーコードを、バーコードリーダなどの読みとり装置で読みとり、測長装置に入力することによって、固有情報に対応した測定値を得ることができる。
さらに、本発明によれば、電子部品実装用フィルムキャリアテープの調温・調湿室からの取り出し、測長装置への搬送、測長装置の測定位置での測定を自動的に実施することができ、測定効率が上昇することになるなどの幾多の顕著で特有な作用効果を奏する極めて優れた発明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の正面図である。
【図２】図２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の上面図である。
【図３】図３は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室本体内部の正面図である。
【図４】図４は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室本体内部の上面図である。
【図５】図５は、図４のＶ方向端面図である。
【図６】図６は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置のテープ載置台の正面図である。
【図７】図７は、図６のテープ載置台の上面図である。
【図８】図８は、図６のテープ載置台の側面図である。
【図９】図９は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の作動を説明する概略図である。
【図１０】図１０は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置に用いる測定用プレートの上面図である。
【図１１】図１１は、図１０のＸＩ−ＸＩでの断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置に用いる測定用プレートの係止部材の平面図である。
【図１３】図１３は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置に用いる測定用プレートの係止部材の側面図である。
【図１４】図１４は、本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定方法の一例を示す概略図である。
【図１５】図１５は、従来の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置の測定室内部の正面図である。
【符号の説明】
１０ 測定装置
１１ 隔壁
１２ 測定装置本体
１４ 調湿制御装置
１６ 測定室本体
１８ 調温・調湿室
２０ 測定室
２１ 開閉扉
２２ 開閉扉
２３ 開閉扉
２４ 側壁
２５ 吸気窓
２６ 隔壁
２８ 開口部
３２ 底壁
３４ 案内レール
３６ テープ載置台
３８ プレート載置棚
４０ ガイド溝
４２ 開口側
４４ 搬送装置
４６ 後壁
４８ 案内レール
５０ 搬送アーム
５２ 吸気窓
５４ 排気ダクト管
５６ 排気ファン
５７ 排気ファン
５８ 搬送アーム
６０ シャッター
６２ 回転軸
６４ 測長装置
６６ 基台
６８ ＸＹステージ
７０ 案内レール
７２ 案内レール
８０ Ｚ軸ステージ
８２ 支持柱部材
８４ ガイドレール
９０ 測定用プレート
９２ 枠部材
９３ スプロケット孔
９４ｂ 上下端
９４ａ 左側部
９４ 開口部
９５ サンプル固定部
９６ ガラス
９８ サンプル
９９ 電子部品実装部
１００ スライド溝
１０２ スライド溝
１０４ 係止部材
１０６ 係止板部材
１０８ 係止ピン
１１０ スプロケット孔係止用ピン
１１２ 操作摘み部材
１１４ 係止部材固定用係止孔
１１６ 係止部材固定用係止孔
１１８ 位置指定ピン用孔
１２２ 位置指定ピン
１２４ 枠部分
１２５ クリップ部材
１２６ サンプル情報固定部
１２８ 基端部
１３０ 締結部材
１３２ 蝶番部材
１３４ クリップ部
１３６ スライド用金具
１３８ クリップ部材
１４０ 基端部
１４２ 締結部材
１４４ 蝶番部材
１４６ クリップ部
１５０ カバー部材
１５２ バーコード部材
１５４ 固定用治具
２１０ 測定装置
２１６ 測定室
２３６ テープ載置台
２３８ プレート載置棚
２４４ 搬送装置
２６４ 測長装置
Ａ 測定用プレート挿入位置
Ｂ 測定位置
Ｃ、Ｄ 待機位置
Ｅ、Ｆ 受け渡し位置（移載位置）

Claims (18)

1. 電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するための電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置であって、
   相互に連通する調温・調湿室と測定室とを備えた測定室本体と、
   一定の温度、湿度に調温・調湿した空気を前記調温・調湿室内に供給する調温・調湿装置と、
   電子部品実装用フィルムキャリアテープを調温・調湿するために、前記調温・調湿室に配設した調温・調湿用のテープ載置台と、
   前記調温・調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、前記テープ載置台から取り出し、前記測定室内部に配設した測長装置に搬送する搬送装置と、
   前記搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなど測定する測長装置とを備えるとともに、
   前記測定室に、測定室内の空気を排気する排気装置と、測定室内に外部の空気を導入する吸気装置とを配設して、測定室内部の温度、湿度を一定に維持するように構成したことを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
2. 前記調温・調湿室と測定室とが、開閉可能なシャッターによって連通・隔離可能に構成されていることを特徴とする請求項１に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
3. 前記吸気装置に、フィルターが設けられていることを特徴とする請求項１から２のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
4. 前記測長装置が、画像処理によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するように構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
5. 前記測長装置が、リードのエッジフォーカスによる画像処理によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
6. 前記電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定する測定用固定プレートを備え、該測定用固定プレートが前記テープ載置台に形成されたプレート載置棚に脱着自在に挿入されるように構成されていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
7. 前記テープ載置台には、複数のプレート載置棚が形成され、それぞれのプレート載置棚に、電子部品実装用フィルムキャリアテープを脱着自在に固定した測定用固定プレートが脱着自在に挿入されるように構成されていることを特徴とする請求項６に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
8. 前記測定用固定プレートには、該測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを脱着自在に固定するサンプル情報固定部が備えられていることを特徴とする請求項６から７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
9. 前記測定用固定プレートには、該測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部に対応した位置を示す位置指定部が形成されていることを特徴とする請求項６から８のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
10. 前記測長装置が、前記測定用固定プレート上のバーコードを読み込んだ電子部品実装用フィルムキャリアテープの固有情報と、前記位置指定部から検出した位置情報に基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定するように構成されていることを特徴とする請求項８から９のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
11. 前記搬送装置が、取り出し位置と、待機位置と、受け渡し位置との間で移動可能な搬送アームを備えるとともに、
    前記測長装置が、待機位置と、受け渡し位置と、測長位置との間で移動可能に構成され、
    前記搬送アームを調温・調湿室のテープ載置台に接近する方向に移動して、調温・調湿室で調温・調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、テープ載置台から取り出した後、前記搬送アームをテープ載置台に離反する方向に移動して、待機位置に移動し、
    前記待機位置にある測長装置を、受け渡し位置へと移動して、
    前記待機位置にある搬送アームを受け渡し位置へと移動して、
    前記搬送アームで搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープを測長装置に受け渡した後、
    前記測長装置を測長位置に移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなど測定するように構成したことを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定装置。
12. 電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定する電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法であって、
    相互に連通する調温・調湿室と測定室とを備えた測定室本体の調温・調湿室内部に配設した調温・調湿用のテープ載置台に電子部品実装用フィルムキャリアテープを載置し、
    一定の温度、湿度に調温・調湿した空気を調温・調湿室内に供給して、電子部品実装用フィルムキャリアテープを調温・調湿し、
    前記調温・調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、テープ載置台から取り出して、前記測定室内部に配設した測長装置に搬送し、
    前記搬送装置により搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなどを測長装置を用いて測定する際に、
    前記測定室に配設した排気装置を介して、測定室内の空気を排気するとともに、
    前記測定室に配設した吸気装置を介して、測定室内に外部の空気を導入して、
    測定室内部の温度、湿度を一定に維持することを特徴とする電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
13. 前記調温・調湿室と測定室とが、開閉可能なシャッターによって連通・隔離可能に構成されていることを特徴とする請求項１２に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
14. 前記吸気装置に、フィルターが設けられていることを特徴とする請求項１２から１３のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
15. 前記測長装置が、画像処理によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するように構成されていることを特徴とする請求項１２から１４のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
16. 前記測長装置が、リードのエッジフォーカスによる画像処理によって、電子部品実装用フィルムキャリアテープの配線パターンを形成するリードの幅、ピッチ、長さ、位置などを測定するように構成されていることを特徴とする請求項１５に記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
17. 測定用固定プレートに脱着自在に固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープに対応する固有情報を有するバーコードを読み込み、測定用固定プレートに固定した電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部に対応した位置を示す位置指定部から位置情報を検出し、これに基づいて、電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定すべき電子部品実装部を測定することを特徴とする請求項１２から１６のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。
18. 前記搬送装置が、取り出し位置と、待機位置と、受け渡し位置との間で移動可能な搬送アームを備えるとともに、
    前記測長装置が、待機位置と、受け渡し位置と、測長位置との間で移動可能に構成され、
    前記搬送アームを調温・調湿室のテープ載置台に接近する方向に移動して、調温・調湿室で調温・調湿された電子部品実装用フィルムキャリアテープを、テープ載置台から取り出した後、前記搬送アームをテープ載置台に離反する方向に移動して、待機位置に移動し、
    前記待機位置にある測長装置を、受け渡し位置へと移動して、
    前記待機位置にある搬送アームを受け渡し位置へと移動して、
    前記搬送アームで搬送された電子部品実装用フィルムキャリアテープを測長装置に受け渡した後、
    前記測長装置を測長位置に移動して、電子部品実装用フィルムキャリアテープの幅、ピッチなど測定することを特徴とする請求項１２から１７のいずれかに記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの測定方法。

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