JP3914603B2 - 不揮発性半導体記憶装置の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法に関し、詳しくは、浮遊ゲートと制御ゲート多結晶シリコン膜の間の層間絶縁膜の容量が大きく、プログラム電圧が低い不揮発性半導体装置およびこのような不揮発性半導体装置を容易に製造することができる不揮発性半導体装置の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
不揮発性半導体記憶装置の代表であるフラッシュメモリは、携帯性および耐衝撃性が優れ、オンボードで電気的に一括消去することが可能であるため、将来の小型携帯情報機器のファイルメモリとして注目を集めている。
【0003】
フラッシュメモリは、通常、ソースおよびドレイン拡散層を有するシリコン(Si)基板、このシリコン基板上に形成された主に多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲートおよび制御ゲート、この浮遊ゲートおよび制御ゲートを互いに分離する層間絶縁膜、および浮遊ゲートとシリコン基板を互いに分離するトンネル絶縁膜からなるMOS型電界効果トランジスタを1つの記憶単位とするメモリセルを、複数個行列状に配置して構成される。
【0004】
基板に対して正の外部電圧を上記制御ゲートに印加することによって電子を浮遊ゲートに注入し、そのしきい値電圧の違いから情報の“0”“1”が判別される。
【0005】
フラッシュメモリを小型携帯情報機器のファイルとして使用するためには、上記外部電圧を低くする必要があり、そのためには、書込み/消去時の動作電圧、いわゆるプログラム電圧を低減することが重要である。
【0006】
書換え動作時に浮遊ゲートに印加される電圧Vfgは、
Vfg=C2Vcg/(C1+C2) (1)
で与えられる。ここで、Vcgは制御ゲート印加電圧、C1はトンネル膜の容量、C2は制御ゲートと浮遊ゲートを互いに分離する層間絶縁膜の容量であり、C2/(C1+C2)はカップリング比と呼ばれる。
【0007】
制御ゲートに印加された電圧を、効率良く浮遊ゲートに伝達してプログラム電圧を低減させるためには、多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲートと制御ゲートを互いに分離する層間絶縁膜の容量C2を大きくして、カップリング比を大きくすることが有効である。そのため、浮遊ゲートを2層の多結晶シリコン膜で形成し、上層である多結晶シリコン膜の面積を下層の多結晶シリコン膜に比べ大きくとることによって、浮遊ゲートの表面積を増大し、上記層間絶縁膜の容量C2を増加する技術が、例えば、1992年インターナショナル・エレクトロン・デバイシズ・ミーテイング・テクニカル・ダイジェスト、991頁から993頁(International Electron Devices Meeting Technical Digest,1992 pp.991-993)に記載されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
フラッシュメモリの高集積化の要求にともない、1994年インターナショナル・エレクトロン・デバイシズ・ミーテイング・テクニカル・ダイジェスト、921頁から923頁(International Electron Devices Meeting Technical Digest,1994 pp.921-923)に記載されているように、例えばデータ線に垂直な断面における浮遊ゲート間のピッチを、最小加工寸法の4倍から3倍へと縮小すると、上記従来技術によって形成された多結晶シリコン膜からなる上層の浮遊ゲートのデータ線に垂直な断面における寸法が最小加工寸法の3倍から2倍の長さへと2/3に縮小されてしまう。そのため浮遊ゲートの表面積が相対的に減少し、上記層間絶縁膜の容量C2が低下してカップリング比が減少するという問題があった。そのためプログラム電圧が上昇するという問題が生じた。
【0009】
本発明の目的は、従来の不揮発性半導体記憶装置の有する上記問題を解決し、浮遊ゲートの表面積が十分大きく、浮遊ゲート間のピッチが減少してもカップリング比の減少を抑制することができ、プログラム電圧を低減できる不揮発性半導体記憶装置およびその製造方法を提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するための本発明の不揮発性半導体記憶装置は、第1導電型を有する半導体基板と、当該半導体基板の表面領域に形成された上記第1導電型とは逆の導電型を有するソースおよびドレインと、上記半導体基板上にゲート絶縁膜を介して形成された浮遊ゲート電極と、当該浮遊ゲート電極上部に絶縁膜を介して形成された制御ゲート電極を具備したMOS型電界効果トランジスタを一つのメモリセルとし、上記浮遊ゲート電極は2層の多結晶シリコン膜から構成され、該2層の多結晶シリコン膜の上層の多結晶シリコン膜が屈曲して形成された凹部が、上記2層の多結晶シリコン膜の下層の多結晶シリコン膜の直上のみに形成されていることを特徴とする。
【0011】
すなわち、浮遊ゲートを2層の多結晶シリコン膜から構成し、上層の多結晶シリコン膜で凹部を形成することにより、浮遊ゲートの表面積は増加してカップリング比が大きくなり、プログラム電圧が低減される。
【0012】
上記上層の多結晶シリコン膜は、上記下層の多結晶シリコン膜上から、上記浮遊ゲート電極の側部上に形成された側壁絶縁膜の上に延在していると、さらに好ましい。
【0013】
この場合、上記凹部の幅W、高さH、下層の多結晶シリコン膜の厚さd1、上層の多結晶シリコン膜の厚さd2、側壁絶縁膜の高さhおよびゲート長Lgの間に
W=Lg−2d2 (2)
H=h−d1 (3)
なる関係があると、極めて好ましい。
【0014】
さらに上記h、d1およびd2の間に、
h>d1+d2 (4)
なる関係が存在すれば、浮遊ゲート多結晶シリコン膜の表面積がより一層増大し、カップリング比がさらに増大して、プログラム電圧をさらに低減できる。
【0015】
上記側壁絶縁膜としては酸化シリコン膜若しくは窒化シリコン膜を用いることができ、上記絶縁膜としては、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜および酸化シリコン膜の3層膜、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜および窒化シリコン膜の4層膜、単層の酸化シリコン膜、若しくは酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の2層膜を用いることができる。
【0016】
複数の上記メモリセルが行列状に配置されてメモリセルアレイが構成される。
【0017】
本発明の半導体記憶装置は、シリコン基板上に第1の酸化シリコン膜(ゲート絶縁膜)、第1の多結晶シリコン膜、第2の酸化シリコン膜および第1の窒化シリコン膜を順次積層して積層膜を形成した後、同一のマスクを用いて上記積層膜をエッチングして所定の形状に加工する工程と、絶縁膜を全面に形成する工程と、当該絶縁膜を異方性エッチングして上記積層膜の側壁部上のみに残し、他の部分は除去して側壁絶縁膜を形成するする工程と、上記第1の窒化シリコン膜および第2の酸化シリコン膜を除去して上記第1の多結晶シリコン膜の表面を露出させ、上記側壁絶縁膜の内面を側面とし、上記第1の多結晶シリコン膜を底部とする凹部を形成する工程と、上記第1の多結晶シリコン膜上から上記側壁絶縁膜の表面の所望部分上へ延在する第2の多結晶シリコン膜を形成し、上記第1および第2の多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲート電極を形成する工程を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法によって製造することができる。
【0018】
上記側壁絶縁膜としては窒化シリコンや酸化シリコンなどの絶縁物を使用することができ、また、上記第1の窒化シリコン膜の除去は熱リン酸水溶液を用いて行われることができる。
【0019】
この製造方法では、第1の窒化シリコン膜と第2の酸化シリコン膜を除去することによって、側壁絶縁膜の内面を側面とし、上記第1の多結晶シリコン膜を底部とする凹部が形成される。さらに、この凹部に沿って第2の多結晶シリコン膜を形成すると、上記第1および第2の多結晶シリコン膜からなり、上面に凹部を有する浮遊ゲート電極が形成される。
【0020】
なお、第1の多結晶シリコン膜の上に第2の酸化シリコン膜を形成した後に、第1の窒化シリコン膜が形成されているので、第1の窒化シリコン膜をエッチングして除去する際に、第2の酸化シリコン膜がエッチングストッパ膜として働くため、第1の多結晶シリコン膜がエッチされる恐れはない。
【0021】
また、本発明の半導体記憶装置は、シリコン基板上に第1の酸化シリコン膜(ゲート絶縁膜)、第1の多結晶シリコン膜、および第2の酸化シリコン膜、第2の多結晶シリコン膜を順次積層して形成して積層膜を形成する工程と、上記積層膜を同一マスクを用いてエッチングして所定の形状に加工する工程と、絶縁膜を全面に形成する工程と、当該絶縁膜を異方性エッチングし上記積層膜の側壁部上のみに残し他の部分は除去して側壁絶縁膜を形成する工程と、上記第2の多結晶シリコン膜および第2の酸化シリコン膜を除去して第1の多結晶シリコン膜の表面を露出させ、上記側壁絶縁膜の内面を側面とし上記第1の多結晶シリコン膜を底部とする凹部を形成する工程と、上記第1の多結晶シリコン膜上から上記側壁絶縁膜の所望部分上に延在する第3の多結晶シリコン膜を形成して、上記第1および第3の多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲート電極を形成する工程を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法によっても製造できる。
【0022】
この製造方法においては、上記製造方法において使用された第1の窒化シリコン膜に代えて第2の多結晶シリコン膜を使用した。この場合は、第2の多結晶シリコン膜をエッチングして除去しているので、第1の多結晶シリコン膜がこの工程でエッチングされるのを防止するため、両者の間に第2の酸化シリコン膜を介在させた。この場合、上記第2の多結晶シリコン膜の除去は、等方性ドライエッチングによって行うことにより支障なく行なうことができる。
【0023】
この場合は、上記第2の多結晶シリコン膜と第2の酸化シリコン膜を除去することによって、上記側壁絶縁膜の内面を側面とし上記第1の多結晶シリコン膜を底部とする凹部が形成され、この凹部に沿って第3の多結晶シリコン膜が形成される。そにより、第1および第3の多結晶シリコン膜の積層膜からなり、上面に凹部を有する浮遊ゲート電極が形成される。
【0024】
上記第2の多結晶シリコン膜の除去は、等方性ドライエッチングによって行うことにより、好ましい結果が得られる。
【0025】
【発明の実施の形態】
本発明の不揮発性半導体記憶装置においては、浮遊ゲート電極が第1および第2の多結晶シリコン膜の2層膜からなり、上層である第2の多結晶シリコン膜による凹部が形成されている。このような凹部を有する浮遊ゲート電極上に、絶縁膜および制御ゲート電極が積層して形成されて不揮発性半導体記憶装置が構成される。
【0026】
上記浮遊ゲート電極および制御ゲート電極としては、例えばリンなどの不純物が高濃度にドープされた低抵抗の多結晶シリコン膜が好ましい。上記浮遊ゲート電極と制御ゲート電極を互いに分離するための絶縁膜としては、酸化シリコン膜/窒化シリコン膜/酸化シリコン膜からなる3層膜、酸化シリコン膜/窒化シリコン膜/酸化シリコン膜/窒化シリコン膜からなる4層膜、窒化シリコン膜/酸化シリコン膜からなる2層膜または単層の酸化シリコン膜などを使用できる。浮遊ゲート電極の側壁上には側壁絶縁膜を形成するのが好ましく、この側壁絶縁膜としては酸化シリコンや窒化シリコンを使用できる。
【0027】
本発明はAND型に代表されるコンタクトレスアレイ型のメモリセル、NOR型、NAND型、DiNOR型、スプリットゲート型など、他のメモリセルに適用できる。また、上記メモリセルが複数個行列状に配置されたメモリセルアレイから構成された半導体記憶装置にも適用できる。
【0028】
【実施例】
〈実施例1〉
本実施例は、窒化シリコン膜をスペーサとして用いて、多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲートに凹部を形成し、多結晶シリコン膜からなる制御ゲートと浮遊ゲートの間の層間膜の容量を増大して、メモリセルのカップリング比を増大した例である。
【0029】
図1〜図3を用いて本実施例の製造方法を説明する。図1〜図3はワード線に平行でデータ線に垂直なメモリセルの断面構造を示す。
【0030】
まず、図1(a)に示したように、面方位(100)のp型シリコン基板101の主表面に、周知の熱酸化法を用いてゲート酸化膜102を形成した。次に、第1の多結晶シリコン膜103、第1の酸化シリコン膜104、第1の窒化シリコン膜105、第2の酸化シリコン膜106および第2の窒化シリコン膜107を、周知のLPCVD法を用いて順次形成した後、レジストマスクを用いた周知のリソグラフィとドライエッチング技術によって不要部分をエッチして、所定の形状を有する積層膜を形成した。
【0031】
次に、LPCVD法により第3の窒化シリコン膜108を形成した後、全面異方性ドライエッチングを行って、図1(b)に示したように、上記積層膜の側壁部上のみに残し、他の部分は除去した。
【0032】
次に、周知のウエット酸化法によって、上記シリコン基板101の露出された部分を酸化して、図1(c)に示したように、素子間分離用の酸化シリコン膜109を形成してメモリセル間の分離を行なった後、図1(d)に示したように、熱リン酸水溶液を用いたウエットエッチングによって第2および第3の窒化シリコン膜107、108を除去した。
【0033】
周知のイオン打込み技術を用いて、ボロンイオンをシリコン基板101に打込んで、図2(a)に示したように、パンチスルーストッパ領域110を形成した後、ヒ素イオンをシリコン基板101に打込んで、ドレイン領域111およびソース領域112を形成した。
【0034】
次に、周知のLPCVD法を用いて第3の酸化シリコン膜113を形成した後、上記第1の窒化シリコン膜105の表面が露出するまで全面異方性ドライエッチングを行って、図2(b)に示したように、第3の酸化シリコン膜113を上記積層膜の側壁上のみに残し他の部分は除去した。
【0035】
熱リン酸水溶液を用いたウエットエッチングによって第1の窒化シリコン膜105を除去した。この際、第1の窒化シリコン膜105の直下に存在する第1の酸化シリコン膜104が、エッチングのストッパとして作用するので、その下の第1の多結晶シリコン膜103がエッチングされることはない。
【0036】
次に、上記第1の酸化シリコン膜104をウェットエッチングにより除去して、図2(c)に示したように、第3の酸化シリコン膜113によって包囲された凹部を、第1の多結晶シリコン膜103の上に形成した。
【0037】
図2(d)に示したように、リンがドーピングされた第2の多結晶シリコン膜114を形成した後、周知のリソグラフィとドライエッチング技術を用いて、図3(a)に示したように、上記第3の酸化シリコン膜113の上に端部が存在するように、第2の多結晶シリコン膜114を所定の形状にパターニングした。
【0038】
本実施例のメモリセルでは、2層の多結晶シリコン膜103、114によって浮遊ゲートが構成される。そのため、上層である第2の多結晶シリコン膜114の端部が第3の酸化シリコン膜113の内側になると、第2の多結晶シリコン膜114をパターニングする際に、下層である第1の多結晶シリコン膜103もエッチングされてしまって、ゲート酸化膜102が損傷を受ける。そのため、第2の多結晶シリコン膜114の端部が、側壁部分に形成されたの第3の酸化シリコン膜113上になるようにパターニングを行なって、ゲート酸化膜102の損傷を防止した。
【0039】
次に、周知のCVD技術を用いて、図3(b)に示したように、一般にONO膜と呼ばれる酸化シリコン膜/窒化シリコン膜/酸化シリコン膜という構造の積層膜からなる層間絶縁膜115を形成した後、図3(c)に示したように、リンをドーピングした第3の多結晶シリコン膜116を形成し、周知のリソグラフィとドライエッチング技術により、所定の形状にパターニングして制御ゲートを形成した。図3(c)から明らかなように、浮遊ゲートである第2の多結晶シリコン膜114と制御ゲートである第3の多結晶シリコン膜116は、上記層間絶縁膜115によって互いに分離されている。
【0040】
図3(d)に示したように、酸化シリコンからなる層間絶縁膜117を形成し、ソース領域112およびドレイン領域111に達するコンタクト孔(図示せず)を形成した後、周知の配線工程によって、金属膜118からなる電極、配線を形成し、最後に水素雰囲気中で熱処理を行なってメモリセルを完成した。
【0041】
本実施例で得られた不揮発性半導体記憶装置の、浮遊ゲート周辺部分を拡大して示した図4において、d1およびd2は、それぞれ下層である第1の多結晶シリコン膜103および上層である第2の多結晶シリコン膜114の膜厚、hは側壁部に形成された第3の酸化シリコン膜113の高さ、WおよびHは本実施例において形成された浮遊ゲートの凹部の幅および高さである。図4から明らかなように、本実施例によって形成された各部分の寸法は、概ね
W=Lg−2d2 (2)
H=h−d1 (3)
なる関係を有しており、凹部が形成されるためには
Lg>2d2 (5)
h>d1 (6)
となる必要がある。本実施例ではLg=0.3um、d2=50nm、h=250nm、d1=100nmとした。また、d1とd2の和がhよりも大になると、凹部の高さおよび幅が減少して、本発明の効果が小さくなってしまうので、
h>d1+d2 (4)
とすればさらに効果的である。
【0042】
比較のため、上記従来技術によって形成された不揮発性半導体記憶装置の断面構造を図5に示した。図5から明らかなように、この従来技術においては、第1層の多結晶シリコン膜103´およびその上に形成された上記多結晶シリコン膜103´より大きな第2層の多結晶シリコン膜114´によって、浮遊ゲートが構成されている。この従来技術は平坦化には有利であるが、大きな表面積を得るのが困難であるという問題があった。
【0043】
本実施例の不揮発性半導体記憶装置は、上記従来技術の不揮発性半導体記憶装置に比べて、多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲート電極の表面積が30%大きく、層間絶縁膜115の容量が30%増大した。その結果、カップリング比が向上して、書込み/消去時のプログラム電圧が低減された。
【0044】
また、上記凹部を形成する際に新たなホトマスク工程を追加する必要はなく、従来とほぼ同一の工程数で、多結晶シリコン膜間の層間絶縁膜容量を増大することができた。
【0045】
本実施例によれば、浮遊ゲートを2層の多結晶シリコン膜103、114により形成し、窒化シリコン膜をスペーサに用い、上記2層の多結晶シリコン膜のうち、下層である第1の多結晶シリコン膜103の直上部分に、上層である第2の多結晶シリコン膜114による凹部が形成される。そのため、従来とほぼ同一の工程数で、不揮発性半導体記憶装置における制御ゲート電極と浮遊ゲート電極の間の層間絶縁膜の容量を増大し、カップリング比を向上して、プログラム電圧を低減できた。
【0046】
〈実施例2〉
本実施例は、実施例1において使用された窒化シリコン膜に代えて、多結晶シリコン膜をスペーサとして用い、浮遊ゲートである多結晶シリコン膜に凹部を形成して、浮遊ゲート電極と制御ゲート電極の間の膜容量を増大して、メモリセルのカップリングを増大した例である。
【0047】
本実施例におけるメモリセルの製造方法を図6〜8に示した。図6〜図8はワード線に平行でデータ線に垂直なメモリセルの断面構造を示している。
【0048】
まず、図6(a)に示したように、面方位(100)のp型シリコン基板101に、酸化シリコンからなるゲート酸化膜102を周知の熱酸化法を用いて形成した。 次に、周知のLPCVD法を用いて、第1の多結晶シリコン膜103、第1の酸化シリコン膜104、第2の多結晶膜Si膜119、第2の酸化シリコン膜106および第1の窒化シリコン膜107を順次積層して積層膜を形成した後、レジストマスク(図示せず)を用いた周知のリソグラフィとドライエッチング技術によって、上記積層膜の露出された部分を順次エッチして所定の形状とした。
【0049】
次に、周知のLPCVD法を用いて第2の窒化シリコン膜108を全面に形成した後、異方性ドライエッチングを行って、図6(b)に示したように、上記第2の窒化シリコン膜108を、上記積層膜の側壁上のみに残し、他の部分は除去した。
【0050】
図6(c)に示したように、上記Si基板101の露出された表面を、周知のウエット酸化法によって酸化して素子分離用の熱酸化膜109を形成し、メモリセル間の分離を行なった。
【0051】
図6(d)に示したように、上記第1および第2の窒化シリコン膜107、108を、熱リン酸水溶液を用いた周知のウエットエッチングを用いて除去した。
【0052】
次に、周知のイオン打込み技術を用いて、ボロンイオンをシリコン基板101にイオン打込みして、図7(a)に示したように、パンチスルーストッパ領域110を形成した後、ヒ素イオンをシリコン基板101にイオン打込みしてドレイン領域111およびソース領域112を形成した。
【0053】
次に、周知のLPCVD法を用いて第3の酸化シリコン膜113を全面に形成した後、第2の多結晶シリコン膜119の表面が露出するまで異方性エッチングを行って、図7(b)に示したように、上記第3の酸化シリコン膜113のうち、上記積層膜の側壁上に形成された部分のみを残し、他の部分は除去した。
【0054】
次に、図7(c)に示したように、第2の多結晶シリコン膜119を等方性ドライエッチングによって除去した。この際、第2の多結晶シリコン膜119の直下には第1の酸化シリコン膜104が存在するので、この第1の酸化シリコン膜104が上記ドライエッチングのストッパとなり、第1の多結晶シリコン膜103がエッチングされることはない。その後、上記第1の酸化シリコン膜104をウェットエッチングにより除去した。これにより、第3の酸化シリコン膜113を側面とし、第1の多結晶シリコン膜103膜を底部とする凹部が形成された。
【0055】
図7(d)に示したように、リンがドープされた多結晶シリコン膜114を全面に形成した後、図8(a)に示したように、周知のリソグラフィとドライエッチング技術を用いて、端部が上記第3の酸化シリコン膜113上にくるようにパターニングした。
【0056】
本実施例においても、上記実施例1と同様に2層の多結晶シリコン膜103、114によって浮遊ゲートが構成される。上層である第3の多結晶シリコン膜114の端部が、第3の酸化シリコン膜113の内側、すなわち下層である第1の多結晶シリコン膜103上にくると、第1の多結晶シリコン膜103がエッチングされてしまい、ゲート酸化膜102が損傷を受けてしまう。従って、第3の多結晶シリコン膜114の端部が第3の絶縁膜113上にくるように、第3の多結晶シリコン膜114をパターニングした。
【0057】
次に、図8(b)に示したように、酸化シリコン/窒化シリコン/酸化シリコンの積層膜、いわゆるONO膜115を周知の技術を用いて形成した後、図8(c)に示したように、リンがドープされた第4の多結晶シリコン膜116を形成し、これを周知のリソグラフィとドライエッチング技術を用いて所定の形状にパターニングして制御ゲート電極を形成した。図8(c)から明らかなように、第4の多結晶シリコン膜116からなる制御ゲート電極と第3の多結晶シリコン膜114を含む浮遊ゲート電極は、上記ONO膜115によって、互いに絶縁分離される。
【0058】
その後、層間絶縁膜117、ソース/ドレイン領域に至るコンタクト孔(図示せず)、および金属膜118からなる電極、配線を周知の方法を用いて形成した後、最後に水素雰囲気中で熱処理を行なって、図8(d)に示すメモリセルを完成した。
【0059】
なお、実施例1と同様、本実施例においても、ゲート長Lg=0.3um、多結晶シリコン膜103および114の膜厚はそれぞれd1=100nm、d2=50nm、第3の酸化シリコン膜113の高さh=250nmとした。
【0060】
本実施例において形成された不揮発性半導体記憶装置は、従来技術に比べ浮遊ゲート電極の表面積が40%増大し、浮遊ゲート電極と制御ゲート電極の間の層間絶縁膜115の容量は40%増大した。これにより、カップリング比が向上して、書込み/消去時のプログラム電圧が低減された。
【0061】
また、浮遊ゲート電極に凹部を形成する際、新たなホトマスク工程を追加する必要がないので、従来とほぼ同一の工程数で浮遊ゲート電極と制御ゲート電極の間の層間絶縁膜容量を増大することが可能であった。
【0062】
本実施例によれば、浮遊ゲートが2層の多結晶シリコン膜103、114によって形成され、他の多結晶シリコン膜113がスペーサとして用いられ、上記2層の多結晶シリコン膜103、114のうち、下層の多結晶シリコン膜103の直上に、上層の多結晶シリコン膜114による凹部が形成される。それにより、従来とほぼ同一の工程数で、不揮発性半導体記憶装置の浮遊ゲート電極と制御ゲート電極の間の層間絶縁膜容量を増大するとともに、カップリング比が向上して、プログラム電圧が低減した。
【0063】
なお、実施例1および2においては浮遊ゲート側壁上の絶縁膜としては酸化シリコン膜113を用いたが、窒化シリコン膜など他の種類の絶縁膜で、不揮発性半導体記憶装置の動作や信頼性に悪影響をおよぼさないものであれば使用してもよい。また、実施例1および2においては浮遊ゲート電極と制御ゲート電極の間の層間絶縁膜115としてONO膜を用いたが、ONO膜に代えて単層の酸化シリコン膜や酸化シリコン膜と窒化シリコン膜の積層膜あるいは酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、酸化シリコン膜および窒化シリコ膜からなる4層の積層膜を用いても同様の効果が得られる。
【0064】
また、上記実施例1および2においては、AND型に代表されるコンタクトレスアレイ型のメモリセルの作成を例にとって説明したが、NOR型やNAND型、DiNOR型、スプリットゲート型など、他のメモリセルに適用しても同様の効果が得られた。
【0065】
【発明の効果】
本発明によれば、従来とほぼ同一の工程数で不揮発性半導体記憶装置の浮遊ゲート電極と制御ゲート電極の間の層間絶縁膜の容量を増大し、カップリング比を向上してプログラム電圧を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例を示す工程図、
【図2】本発明の第1の実施例を示す工程図、
【図3】本発明の第1の実施例を示す工程図、
【図4】本発明の浮遊ゲート近傍の寸法を示す断面図
【図5】従来技術を示す断面概略図
【図6】本発明の第2の実施例を示す工程図、
【図7】本発明の第2の実施例を示す工程図、
【図8】本発明の第2の実施例を示す工程図。
【符号の説明】
101…シリコン基板、102…ゲート酸化膜、103…多結晶シリコン膜、104…酸化シリコン膜、105…窒化シリコン膜、106…酸化シリコン膜、107、108…窒化シリコン膜、109…熱酸化膜、110…パンチスルーストッパ領域、111…ドレイン領域、112…ソース領域、113…酸化シリコン膜、114…多結晶シリコン膜、115…層間絶縁膜、116…多結晶シリコン膜、117…層間絶縁膜、118…金属膜、119…多結晶シリコン膜。
Claims (7)
- シリコン基板上に第1の酸化シリコン膜、第1の多結晶シリコン膜、第2の酸化シリコン膜および第2の多結晶シリコン膜を順次積層して形成して積層膜を形成する工程と、上記積層膜を同一マスクを用いてエッチングして所定の形状に加工する工程と、絶縁膜を全面に形成する工程と、当該絶縁膜を異方性エッチングし上記積層膜の側壁部上のみに残し他の部分は除去して側壁絶縁膜を形成する工程と、上記第2の多結晶シリコン膜および第2の酸化シリコン膜を除去して第1の多結晶シリコン膜の表面を露出させ、上記側壁絶縁膜の内面を側面とし上記第1の多結晶シリコン膜を底部とする凹部を形成する工程と、上記第1の多結晶シリコン膜上から上記側壁絶縁膜の所望部分上に延在する第3の多結晶シリコン膜を形成して、上記第1および第3の多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲート電極を形成する工程を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 上記第2の多結晶シリコン膜の除去は、等方性ドライエッチングによって行われることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- シリコン基板上に第1の酸化シリコン膜、第1の多結晶シリコン膜、第2の酸化シリコン膜および第2の多結晶シリコン膜を順次積層して形成して積層膜を形成する工程と、
上記積層膜を同一マスクを用いてエッチングして所定の形状に加工する工程と、
上記積層膜の側壁に絶縁膜を形成する工程と、
上記第2の多結晶シリコン膜および第2の酸化シリコン膜を除去して上記第1の多結晶シリコン膜の上面を露出させ、上記絶縁膜の内面を側壁とし上記第1の多結晶シリコン膜を底部とする凹部を形成する工程と、
上記第1の多結晶シリコン膜上に第3の多結晶シリコン膜を形成して、上記第1および第3の多結晶シリコン膜からなる浮遊ゲート電極を形成する工程を含むことを特徴とする不揮発性半導体記憶装置の製造方法。 - 上記第2の多結晶シリコン膜の除去は、等方性ドライエッチングによって行われることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 上記浮遊ゲート電極に凹部が形成されていることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 上記積層膜の側壁に絶縁膜を形成する工程は、上記積層膜を覆うように絶縁膜を形成する工程と、当該絶縁膜を異方性エッチングし上記積層膜の側壁部にのみに残し他の部分は除去する工程であることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
- 上記第3の多結晶シリコン膜は上記絶縁膜の所望部分上に延在するように形成することを特徴とする請求項3に記載の不揮発性半導体記憶装置の製造方法。
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