JP3904240B2 - セラミック素子 - Google Patents

Description

発明の背景
Ｉ．技術分野
本発明は、アクチュエータ、各種振動子、ディスプレイ、リレー等に用いられる電気エネルギーを機械エネルギーに変換する素子ないしは、フィルタ、共振回路等に用いられるコンデンサ素子であって、特に反強誘電相−強誘電相転移を利用したセラミック素子に関する。
ＩＩ．背景技術
近年、光学や精密加工等の分野において、サブミクロンのオーダーで光路長や位置を調整する変位素子が所望されるようになってきている。
これに応えるものとして、強誘電体等の圧電材料に電界を加えた時に起きる逆圧電効果に基づくところの変位の発現を利用したアクチュエータの開発が進められている。
その中で、本出願人にあっても、先に、特開平３−１２８６８１号公報や特開平５−４９２７０号公報等において、各種の用途に好適に用いられるセラミックス製の圧電／電歪膜型素子を提案している。
前記提案例に係る圧電／電歪膜型素子は、小型で安価な、高信頼性の電気機械変換素子であるとともに、低い駆動電圧にて大変位を得られ、また応答速度が速く、かつ発生力も大きいという優れた特徴を有しており、アクチュエータ、ディスプレイ、リレー等の構成部材等として有用である。
ところで、前記圧電／電歪膜型素子は、圧電／電歪作動部（アクチュエータ部）に電圧を印加することによって、その逆圧電効果あるいは電歪効果で機械的変位を得るようにしているため、印加電圧に対して変位量の大小を精密に制御可能な利点を有する反面、微細な素子では大きな変位の発生力を得ることが困難であるという欠点を有する。
また、圧電／電歪膜型素子は、一方向に変位した状態を一定時間にわたって維持する必要がある場合には、圧電／電歪膜作動部に対して電圧を印加し続ける必要がある。
このため、例えば本発明者らが特開平７−２８７１７６号公報で開示したような表示装置に適用する場合、発光状態を維持する必要のある期間中、前記圧電／電歪膜作動部に電圧を印加しつづけなければならない。
この場合、多数の発光素子が２次元的に配列されて構成される表示装置等を作製する際に、駆動用の電気配線を１素子ずつ独立して配設する必要があり、設計的、製造的に大きな制約となる。
本発明は、このような課題を考慮してなされたものであり、印加電圧に対応して変位量の大小を精密に制御可能であって、かつ、微細な素子においても、圧電／電歪膜型素子を上回る大きな変位発生力を得ることが可能なセラミック素子を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、前記条件に加えて、駆動電圧の印加終了後における電圧無負荷状態ないし低負荷状態において、駆動電圧印加時とほぼ同等の変位量を維持することができるセラミック素子を提供することを目的とする。
また、本発明の他の目的は、前記条件に加えて、様々なアプリケーション（表示装置やフィルタ等）を構成した場合に、駆動用の電気配線を簡素化でき、製造コストの低廉化を有効に図ることができるセラミック素子を提供することにある。
発明の開示
反強誘電体膜と該反強誘電体膜に形成された少なくとも一対の電極とを有するアクチュエータ部本体と、前記アクチュエータ部本体を支持する振動部と、前記振動部を振動可能に支持する固定部とを設けて構成する。
ここで、反強誘電体膜の動作原理について説明する。反強誘電体膜においては、強誘電相が温度、応力、電界などの変化によって誘起されたとすると、その歪みｘ_Fは、以下の式で与えられる。
ｘ_F＝Ｑ（１＋Ω）Ｐ_F ²
但し、Ｐ_Fは強誘電的分極でＰ_F＝（Ｐａ＋Ｐｂ）／２であり、Ｐａ及びＰｂは副格子分極を示す。
ペロブスカイト型結晶では、電歪定数Ｑｈ（＝Ｑ₁₁＋２Ｑ₁₂）が正値をとるため、通常の強誘電体の自発体積歪みは常に正であるのに対して、反強誘電体では、Ωの値によってその自発歪みｘ_Aは正にも負にもなり得る。なお、ジルコン酸鉛（ＰｂＺｒＯ₃）ではΩ＝１．８である。
仮に、反強誘電相−強誘電相転移の前後で副格子分極の絶対値｜Ｐａ｜，｜Ｐｂ｜があまり変化しないと考えた場合、この転移に伴う歪み変化量Δｘは、
Δｘ＝ｘ_F−ｘ_A＝２ＱΩＰ_F ²
となる。また、反強誘電相−強誘電相転移を利用する方が、常誘電相−反強誘電相転移を用いるよりも大きな変位が得られることが知られている。
例えば、ジルコン酸チタン酸鉛（ＰＺＴ）派生系セラミックス（多結晶体）は、高温相の立方晶常誘電相から温度の降下につれて擬正方晶反強誘電相、斜方晶強誘電相へと逐次転移を示すことが知られている。従って、室温での反強誘電相が安定な組成を選ぶと、外部電界の印加によって容易に強誘電相を誘起することが可能であり、それに付随して大きな歪みの変化が行われることが予想される。
そして、強誘電相が誘起されると電界を零にしても反強誘電相に戻ることはなく、「強誘電相の歪みの状態を記憶する効果（形状記憶効果）」を示す。元の反強誘電状態に戻すには、小さな逆バイアス電界を印加する、あるいは昇温アニールすればよい。
つまり、反強誘電体は、外部電界の印加により電界誘起相転移を生じるため、前記一対の電極に所定電圧以上の電圧を印加することにより、反強誘電相から強誘電相に相転移して体積変化し、容易に機械的変位を得ることができる。
この変位量は、前記相転移に伴うことから、圧電／電歪素子のように、印加電圧値によって変位量の大小を精度よく制御することはできないが、逆に印加電圧を下げても、該印加電圧が、強誘電相から元の反強誘電相に相転移する所定の電圧まで下がらなければ前記変位を維持しつづけることができるという特性を示す。
これを知って、本発明に係るセラミック素子をみると、該セラミック素子は、固定部にて振動可能に支持された振動部上に反強誘電体膜を有するアクチュエータ部本体が形成されたかたちとなるため、一対の電極に所定電圧を印加することにより、アクチュエータ部本体における反強誘電体膜は、前記所定電圧による外部電界によって電界誘起相転移が生じ、その相転移に伴って機械的変位が発生する。この変位は振動部によって増幅され、アクチュエータ部本体は一方向（例えばアクチュエータ部本体が自由空間を臨む方向）に変位することになる。
一旦、アクチュエータ部本体が一方向に変位した場合、一対の電極への電圧印加を停止（例えば電界＝０）しても、その変位はそのまま維持される。そのため、アクチュエータ部本体に生じた変位を一定期間にわたって維持する必要がある場合においても、一対の電極に電圧を印加し続ける必要がなくなる。なお、アクチュエータ部本体に生じた変位を元に戻すには、一対の電極に小さな逆バイアス電圧、具体的には、強誘電相から反強誘電相に相転移する電圧を印加すればよい。
このように、本発明に係るセラミック素子においては、一対の電極への印加電圧に応じて機械的変位量がデジタル的に変化し、更に電圧の印加終了後における電圧無負荷状態において、電圧印加時と同等の変位量を維持することができる。
そして、前記構成において、前記一対の電極として、該一対の電極への印加電圧によって発生する電界の強さが空間的に異なる形態を有するようにしてもよい。これにより、アクチュエータ部本体のうち、一部の領域が例えば低い電圧印加によって変位し、その他の部分は変位しないという現象が生じ、その後、例えば高い電圧を一対の電極に印加することによって、前記その他の部分も変位して、アクチュエータ部本体全体が変位する。
即ち、アクチュエータ部本体は、印加電圧を昇圧していくにつれて、逐次、比較的高電界のかかる部分から順次デジタル的に変位していくことになる。
このように、本発明に係るセラミック素子においては、一対の電極に印加される電圧値により複数の変位形態及び／又は変位分布を選択することができ、準アナログ的な機械的変位の実現を図ることができる。
前記変位形態等の選択性に富んだ素子を得る場合、具体的には、前記一対の電極における電極間距離が大きい領域と小さい領域を有するようにすればよい。一対の電極パターンによって電極間距離の大きい領域と小さい領域を形成することにより、一対の電極に一定電圧を印加した場合において、常に前記大きい領域よりも前記小さい領域の方が高い電界が発生するため、印加電圧が低いときは、ある電圧で、前記反強誘電体膜のうち、前記小さい領域に対応する部分だけが相転移して、変位することになる。次に、より大きな電圧を一対の電極に印加すると、ある電圧で前記大きい領域が相転移して変位する。結果として、２つの印加電圧レベルのうちのいずれかを選択することにより、２つの変位形態・変位分布を任意に選択できるという効果を得ることができる。
もちろん、一対の電極に印加する電圧レベルと変位形態・変位分布の数は３つ以上でも実現可能である。
また、前記構成において、分極後の前記反強誘電体膜に前記電極に印加される電圧に応じて、その平均誘電率がアナログ的に増加する領域を有するようにしてもよい。この場合、電極に電圧を印加することにより、アクチュエータ部本体における反強誘電体膜は、印加される電圧に応じた領域にわたって電界誘起相転移が生じることとなる。印加電圧というときは、正電圧及び負電圧の絶対値を指す。
具体的に、本発明に係るセラミック素子の作用について説明すると、印加電圧が徐々に上昇することによって、まず、印加電圧が所定電圧に達するまでは、アクチュエータ部本体に発生する電界が弱いため、反強誘電体膜には電界誘起相転移（以下、単に相転移と記す）は生じない。
印加電圧が所定電圧を越えた段階から、電極間の距離が最も短い領域や電極に最も近い領域が相転移させるのに十分な電界強度を有することとなって、これらの領域において相転移が生じ、その相転移に伴って機械的変位が発生する。この変位は振動部によって増幅され、アクチュエータ部本体は一方向（例えばアクチュエータ部本体が自由空間を臨む方向）に変位することになる。
更に、前記印加電圧が上昇するに従って、相転移させるのに十分な電界強度の領域が徐々に広がり、電極間の距離が長い領域や電極から遠い領域においても相転移が生じることになる。この場合、相転移領域の拡大に応じてアクチュエータ部本体の機械的変位も大きくなる。
即ち、本発明に係るセラミック素子においては、アクチュエータ部本体に生じた一方向への変位が印加電圧の上昇に応じてアナログ的に増大することとなる。
一旦、アクチュエータ部本体が一方向に変位した場合、一対の電極への電圧印加を停止（例えば電界＝０）しても、その変位はそのまま維持される。そのため、アクチュエータ部本体に生じた変位を一定期間にわたって維持する必要がある場合においても、一対の電極に電圧を印加し続ける必要がなくなる。なお、アクチュエータ部本体に生じた変位を元に戻すには、一対の電極に小さな逆バイアス電圧、具体的には、強誘電相から反強誘電相に相転移する電圧を印加すればよい。
このように、本発明に係るセラミック素子においては、電極への印加電圧に応じて機械的変位量がアナログ的に変化し、更に電圧の印加終了後における電圧無負荷状態において、電圧印加時と同等の変位量を維持することができる。
そのため、印加電圧に対応して変位量の大小を精密に制御可能であって、かつ、微細な素子においても、圧電／電歪膜型素子を上回る大きな変位発生力を得ることができる。
また、本発明に係るセラミック素子においては、駆動電圧の印加終了後における電圧無負荷状態ないし低負荷状態において、駆動電圧印加時とほぼ同等の変位量を維持することができ、当該セラミック素子を様々なアプリケーション（表示装置やフィルタ等）に適用した場合に、駆動用の電気配線を簡素化でき、製造コストの低廉化を有効に図ることができる。
なお、前記構成において、前記印加電圧に応じて平均誘電率がアナログ的に増加する領域を複数組み合わせるようにしてもよい。この場合、印加電圧に応じて変位する割合（変位増大率）の異なる領域が複数存在することになる。また、印加電圧値によって複数の変位形態及び／又は変位分布を選択することができ、変位形態等の選択性に富んだ素子を得ることができる。
前記変位形態等の選択性に富んだ素子を得る場合、具体的には、例えば前記一対の電極における電極間距離が大きい領域と小さい領域を有するようにすればよい。一対の電極パターンによって電極間距離の大きい領域と小さい領域を形成することにより、一対の電極に一定電圧を印加した場合において、常に前記大きい領域よりも前記小さい領域の方が高い電界が発生するため、印加電圧が低いときは、ある電圧で、前記反強誘電体膜のうち、前記小さい領域に対応する部分だけが相転移して、変位することになる。次に、より大きな電圧を一対の電極に印加すると、ある電圧で前記大きい領域が相転移して変位する。結果として、２つの印加電圧レベルのうちのいずれかを選択することにより、２つの変位形態・変位分布を任意に選択できるという効果を得ることができる。
もちろん、一対の電極に印加する電圧レベルと変位形態・変位分布の数は３つ以上でも実現可能である。
そして、前記構成において、前記振動部及び固定部を、セラミックグリーンシート又はセラミックグリーンテープを積層し、一体焼成して構成された基体に設けるようにしてもよい。
この場合、少なくとも振動部を、主として部分安定化ジルコニアにて構成するようにしてもよい。これにより、高強度かつ高靱性の振動部とすることができ、セラミック素子の長寿命化を図ることができる。
また、前記構成において、前記反強誘電体膜の組成を、主として下記の組成としてもよい。
Ｐｂ_0.99Ｎｂ_0.02｛［Ｚｒ_xＳｎ_1-x］_1-yＴｉ_y｝_0.98Ｏ₃
但し、0.5＜ｘ＜0.6，0.05＜ｙ＜0.063，0.01＜Ｎｂ＜0.03
この場合、反強誘電相−強誘電相転移を利用するため、常誘電相−反強誘電相転移を用いるよりも大きな変位が得られる。特に、前記組成は、室温での反強誘電相が安定であるため、外部電界の印加によって容易に強誘電相を誘起することが可能であり、それに付随して大きな歪みの変化を行わせることができる。
特に、前記反強誘電体膜の材料として、前記組成にＡｇを酸化銀換算で１〜１０重量％含有することが、より緻密で大きな変位を得る上で、また、より安定な形状記憶特性を得る上で好適である。
なお、前記のＡｇを含有させる手段としては、反強誘電体膜を合成する過程において、酸化物の形態で他の原料粉末と同時に添加してもよいし、予め合成した反強誘電体材料粉末に、酸化銀として、あるいは硝酸銀の水溶液として粉砕混合してもよい。また、あるいは印刷ペーストを調合する際に、酸化銀粉末の形態やＡｇの有機金属化合物の形態で混合してもよい。
そして、基体の構成としては、窓部が設けられたスペーサプレートと該スペーサプレートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレートとを積層し、一体焼成して構成するようにしてもよい。この場合、振動部上の微細な領域にアクチュエータ部本体を形成することが可能となり、アクチュエータ部本体の高集積化を実現させることができる。
また、前記スペーサプレートの他方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋し、かつ該窓部に対応する位置に１つ以上の貫通孔を有する少なくとも１層のベースプレートを積層し、前記スペーサプレート及び閉塞プレートと共に一体焼成して基体を構成するようにしてもよい。この場合、スペーサプレート、閉塞プレート及びベースプレートの積層体が一体焼成されて振動部及び固定部が形成されることになるが、一般に、窓部の両開口部を閉塞して一体焼成した場合、窓部での圧力上昇によって焼成体自体が破壊されるおそれがある。しかし、本発明では、ベースプレートに１つ以上の貫通孔を設けるようにしているため、一体焼成時に発生する窓部の圧力が貫通孔を通じて外部に逃げ、前記積層体の一体焼成に伴う破壊は回避される。これは、振動部及び固定部の信頼性の向上において有利となる。
少なくとも反強誘電体膜の一部における前記一対の電極の形成の態様としては、前記一対の電極を共に、前記反強誘電体膜の一主面に形成するようにしてもよいし、前記対の電極のうち、一方の電極を前記反強誘電体膜の一主面に形成し、他方の電極を前記反強誘電体膜の他主面に形成するようにしてもよい。
特に、一対の電極を反強誘電体膜の一主面に形成した場合においては、前記反強誘電体膜の平均膜厚をｔ、電極間のピッチをｐとしたとき、ｐ／ｔ≦２．５を満足することが好ましい。また、前記振動部を、主としてアルミナを０．５モル％以上含有する部分安定化ジルコニアにて構成することが好ましい。この場合、振動部上に直接反強誘電体膜が形成される形となるため、反強誘電体膜と振動部とが強固に結合し、これにより、高い変位量のセラミック素子を得ることができる。
また、一方の電極を反強誘電体膜の一主面に形成し、他方の電極を反強誘電体膜の他主面に形成した場合においては、前記一方の電極の面積をＡ、前記他方の電極の面積をＢとしたとき、Ａ／Ｂ≧２又はＡ／Ｂ≦０．５を満足することが好ましく、あるいは前記電極間に挟まれた領域の膜厚分布に２０％以上のばらつきがあることが好ましい。
特に、上述のような電極形態においては、前記振動部を主として酸化チタンを０．５モル％以上含有する部分安定化ジルコニアにて構成するようにしてもよい。この場合、他方の電極を介して反強誘電体膜と振動部とが強固に結合されるため、信頼性が増すと共に、反強誘電体膜と振動部の相対する面において、電極の存在しない領域においては、反強誘電体膜と振動部とが固着しない。そのため、アクチュエータ部本体の振動変位に対して拘束されず、高い変位量のセラミック素子を得ることができる。
そして、一対の電極を反強誘電体膜の一主面に形成した場合においては、前記振動部と反強誘電体膜との間に中間層を設けるようにしてもよい。この場合、前記中間層は、Ｐｔ又はＰｄの金属、あるいは両者の合金であることが好ましい。また、中間層の厚みは１μｍ以上、１０μｍ以下であることが適当であり、２μｍ以上、６μｍ以下であることが好ましい。
また、前記構成において、前記振動部の厚みを反強誘電体膜の厚みよりも薄くすることが好ましい。この場合、振動部の中心を通る最短寸法における前記固定４部の上面と前記振動部の上面との境界部分を境界点と定義し、該境界点から前記反強誘電体膜の形成端までの距離をＬｎ、前記振動部の厚みをｔｖとしたとき、Ｌｎ＜ｔｖ×１５を満足する場合、前記基体の厚みｔｂがｔｂ≦３５０μｍであることが適当であり、好ましくはｔｂ≦２５０μｍ、より好ましくはｔｂ≦１３０μｍであり、ｔｂ≦７０μｍが最も好ましい。
また、前記境界点から前記反強誘電体膜の形成端までの距離ＬｎがＬｎ≧ｔｖ×１５を満足する場合においては、前記振動部の厚みｔｖは１〜５０μｍが好ましく、３〜２０μｍが更に好ましい。一方、反強誘電体膜２２の平均厚さは、１〜１００μｍが好ましく、３〜５０μｍが更に好ましく、５〜４０μｍが最も好ましい。
また、前記基体上に形成された前記反強誘電体膜は、荷重が付与されながら焼成処理されていることが望ましい。この場合、前記荷重としては、０．４ｋｇ／ｃｍ²以上であることが好ましい。更に、前記振動部直下の空間の深さが１０μｍ以下であることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
図１は、第１の実施の形態に係るセラミック素子の構成を示す断面図である。
図２は、第１の実施の形態に係るセラミック素子のアクチュエータ部本体を構成する振動部の平面形状、反強誘電体膜の平面形状及び一対の電極にて形づくられる外周形状を示す平面図である。
図３は、第１の実施の形態に係るセラミック素子の反強誘電体膜上に形成される一対の電極の平面形状（渦巻き状）を示す平面図である。
図４は、第１の実施の形態に係るセラミック素子の反強誘電体膜上に形成される一対の電極の平面形状（多枝形状）を示す平面図である。
図５Ａは、第１の実施の形態に係るセラミック素子の反強誘電体膜上にくし歯形状の一対の電極を形成した場合の構成を示す平面図である。
図５Ｂは、図５ＡにおけるＡ−Ａ線上の断面図であり、図５Ｃは図５ＡにおけるＢ−Ｂ線上の断面図である。
図６Ａは、第１の実施の形態に係るセラミック素子（アナログ変位タイプ）におけるアクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝０を印加した状態を示す説明図である。
図６Ｂは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ１を印加した状態を示す説明図である。
図６Ｃは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ２を印加した状態を示す説明図である。
図６Ｄは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ３を印加した状態を示す説明図である。
図７は、第１の実施の形態に係るセラミック素子におけるアナログ変位タイプの屈曲変位特性の一例を示す特性図である。
図８Ａは、第１の実施の形態に係るセラミック素子（デジタル変位タイプ）におけるアクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝０を印加した状態を示す説明図である。
図８Ｂは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ１を印加した状態を示す説明図である。
図８Ｃは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ２を印加した状態を示す説明図である。
図８Ｄは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ３を印加した状態を示す説明図である。
図９Ａは、第１の実施の形態に係るセラミック素子（アナログ変位タイプ及びデジタル変位タイプ）におけるアクチュエータ部の初期状態を示す説明図である。
図９Ｂは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧を印加して該アクチュエータ部を変位させた状態を示す説明図である。
図９Ｃは、前記アクチュエータ部の一対の電極への電圧印加を停止した状態（電圧無負荷状態）を示す説明図である。
図１０Ａは、比較例に係る圧電／電歪膜型素子におけるアクチュエータ部の初期状態を示す説明図である。
図１０Ｂは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧を印加して該アクチュエータ部を変位させた状態を示す説明図である。
図１０Ｃは、前記アクチュエータ部の一対の電極への電圧印加を停止した状態（電圧無負荷状態）を示す説明図である。
図１１Ａは、一対の電極の平面形状が渦巻き形状である場合の反強誘電体膜及び圧電／電歪膜の膨張方向を説明するための図である。
図１１Ｂは、図１１Ａにおいて□で囲む部分の反強誘電体膜の膨張方向を示す拡大図である。
図１１Ｃは、図１１Ａにおいて□で囲む部分の圧電／電歪膜の膨張方向を示す拡大図である。
図１２Ａは、アクチュエータ部の最短寸法での断面形状を一部省略して示す断面図である。
図１２Ｂは、一方の最外極小点と他方の最外極小点が固定部の上面よりも下方に存在する場合を一部省略して示す断面図である。
図１２Ｃは、一方の最外極小点と他方の最外極小点が固定部の上面よりも上方に存在する場合を一部省略して示す断面図である。
図１３は、アクチュエータ部の最短寸法での断面形状において、他方の極小点存在領域内に他方の最外極小点が存在せず、他方の境界点が他方の最外極小点として認定される場合の例を一部省略して示す断面図である。
図１４Ａは、第１の実施の形態に係るセラミック素子の変形例を示す平面図である。
図１４Ｂは、図１４ＡにおけるＣ−Ｃ線上の断面図である。
図１５Ａは、前記変形例に係るセラミック素子の一対の電極に低い電圧範囲（電圧レベルＶ１〜Ｖ２）を印加した状態での変位形態を示す説明図である。
図１５Ｂは、前記変形例に係るセラミック素子の一対の電極に高い電圧範囲（電圧レベルＶ２〜Ｖ３）を印加した状態での変位形態を示す説明図である。
図１６は、第２の実施の形態に係るセラミック素子の構成を示す断面図である。
図１７Ａは、第２の実施の形態に係るセラミック素子（第１のアナログ変位タイプ）におけるアクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝０を印加した状態を示す説明図である。
図１７Ｂは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ１を印加した状態を示す説明図である。
図１７Ｃは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ２を印加した状態を示す説明図である。
図１７Ｄは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ３を印加した状態を示す説明図である。
図１８Ａは、第２の実施の形態に係るセラミック素子（第１のアナログ変位タイプ）における上部電極の平面形状の一例（渦巻き形状）を示す平面図である。
図１８Ｂは、その他の例（ジグザグ形状）を示す平面図である。
図１９Ａは、第２の実施の形態に係るセラミック素子（第２のアナログ変位タイプ）におけるアクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝０を印加した状態を示す説明図である。
図１９Ｂは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ１を印加した状態を示す説明図である。
図１９Ｃは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ２を印加した状態を示す説明図である。
図１９Ｄは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ３を印加した状態を示す説明図である。
図２０Ａは、第２の実施の形態に係るセラミック素子（デジタル変位タイプ）におけるアクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝０を印加した状態を示す説明図である。
図２０Ｂは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ１を印加した状態を示す説明図である。
図２０Ｃは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ２を印加した状態を示す説明図である。
図２０Ｄは、前記アクチュエータ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ３を印加した状態を示す説明図である。
図２１は、第２の実施の形態に係るセラミック素子におけるデジタル変位タイプの屈曲変位特性の一例を示す特性図である。
図２２は、第２の実施の形態に係るセラミック素子の変形例を示す断面図である。
図２３Ａは、前記変形例に係るセラミック素子の一対の電極に低い電圧範囲（電圧レベルＶ１〜Ｖ２）を印加した状態での変位形態を示す説明図である。
図２３Ｂは、前記変形例に係るセラミック素子の一対の電極に高い電圧範囲（電圧レベルＶ２〜Ｖ３）を印加した状態での変位形態を示す説明図である。
図２４は、第３の実施の形態に係るセラミック素子の構成を示す断面図である。
図２５は、バルク型素子の構成を示す斜視図である。
図２６は、第１の実験例（中間層の厚みによる変位保持率の変化をみた実験例）の結果を示す表図である。
図２７は、第２の実験例（基体の厚みによる変位保持率の変化をみた実験例）の結果を示す表図である。
図２８は、基体及び振動部の厚みの寸法関係を説明するための図である。
図２９は、ホットプレス法を示す説明図である。
図３０Ａは、ホットプレス法の第１の具体的手法を概略的に示す説明図である。
図３０Ｂは、ホットプレス法の第２の具体的手法を概略的に示す説明図である。
図３１は、第３の実験例（ホットプレス荷重による反強誘電体膜の緻密度の変化をみた実験例）の結果を示す表図である。
図３２は、反強誘電体セラミック材料の粉末を合成する場合における通常の方法を示す工程ブロック図である。
図３３は、見越し補正を行う場合の反強誘電体セラミック材料の粉末の合成方法を示す工程ブロック図である。
図３４は、第４の実験例（見越し補正量による変位保持率の変化をみた実験例）の結果を示す表図である。
図３５は、鉛成分の後補正を行う場合の反強誘電体セラミック材料の粉末の合成方法を示す工程ブロック図である。
図３６は、第５の実験例（鉛成分の後補正量による膜の緻密度の変化をみた実験例）の結果を示す表図である。
図３７は、見越し補正及び鉛成分の後補正を組み合わせる場合の反強誘電体セラミック材料の粉末の合成方法を示す工程ブロック図である。
図３８は、第６の実験例（ＳｎＯ₂の比表面積の違いによるヒステリシス特性の変化をみた実験例）の結果を示す表図である。
図３９Ａは、振動部が沈み込んだ状態を示す断面図である。
図３９Ｂは、振動部の沈み込みを抑制した構成を示す断面図である。
図４０は、空所の深さが１０μｍであるセラミック素子の第１の製造方法を示す説明図である。
図４１Ａは、空所の深さが１０μｍであるセラミック素子の第２の製造方法を示すもので、ベースプレートとなる第１層上にペーストを形成して第２層とした状態を示す工程図である。
図４１Ｂは第２層上に閉塞プレートとなる第３層を積層した状態を示す工程図である。
図４１Ｃは、３層の積層体を焼成して基体として一体化させた状態を示す工程図である。
図４２は、第７の実験例（第２層と反強誘電体膜の厚みによる振動部の沈み込み量とピーク電圧通常印加時の変位の変化をみた実験例）における振動部の沈み込み量を説明するための図である。
図４３は、第７の実験例の結果を示す表図である。
図４４は、第８の実験例（実施例１７と比較例１６についての各ヒステリシス特性（電圧−屈曲変位特性）と各変位保持率の違いをみた実験例）の結果を示す表図である。
図４５は、バルク型素子の印加電圧に対する歪みの変化（ヒステリシス特性）を示す特性図である。
図４６は、実施例１７及び比較例１６についての電圧−屈曲変位特性を測定するために、一対の電極に印加すべき電位波形を示すタイミングチャートである。
図４７は、実施例１７における電圧−屈曲変位特性（ヒステリシス特性）を示す特性図である。
図４８は、比較例１６における電圧−屈曲変位特性（ヒステリシス特性）を示す特性図である。
図４９は、第１の実施の形態に係るセラミック素子（アナログ変位タイプ及びデジタル変位タイプ）を表示装置に適用した応用例を示す構成図である。
図５０は、応用例に係る表示装置におけるアクチュエータ部（画素）の配置を拡大して示す平面図である。
図５１Ａは、応用例に係る表示装置の動作（発光状態及び消光状態）を示す説明図である。
図５１Ｂは、比較例に係る表示装置の動作（発光状態及び消光状態）を示す説明図である。
図５２は、第３の実施の形態に係るセラミック素子を表示装置に適用した応用例を示す構成図である。
図５３は、第１及び第２の実施の形態に係るセラミック素子をリレー装置に適用した応用例（以下、単に応用例に係るリレー装置と記す）を分解して示す構成図である。
図５４は、応用例に係るリレー装置を示す組立構成図である。
図５５Ａは、応用例に係るリレー装置のアクチュエータ部（スイッチング素子）を変位させないで板ばねを対向端子板に対して非接触状態とした例を示す説明図である。
図５５Ｂは、応用例に係るリレー装置のアクチュエータ部（スイッチング素子）を変位させて板ばねを対向端子板に対して接触状態とした例を示す説明図である。
図５６Ａは、第１の実施の形態に係るセラミック素子（アナログ変位タイプ）を容量可変コンデンサに適用した第１応用例におけるコンデンサ部の一対の制御電極に電圧Ｖ＝０を印加した状態を示す説明図である。
図５６Ｂは、前記コンデンサ部の一対の制御電極に電圧Ｖ＝Ｖ１を印加した状態を示す説明図である。
図５７Ａは、前記コンデンサ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ２を印加した状態を示す説明図である。
図５７Ｂは、前記コンデンサ部の一対の電極に電圧Ｖ＝Ｖ３を印加した状態を示す説明図である。
図５８は、第２の実施の形態に係るセラミック素子（第１のアナログ変位タイプ）を容量可変コンデンサに適用した第２応用例を示す構成図である。
発明を実施するための最良の形態
以下、本発明に係るセラミック素子の３つの実施の形態例を図１〜図４８を参照しながら説明し、更に、応用例に係る表示装置と、応用例に係るリレー装置と、応用例に係る容量可変コンデンサを図４９〜図５８を参照しながら説明する。
まず、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａは、図１に示すように、例えばセラミックスにて構成された基体１０を有し、該基体１０の所定箇所にアクチュエータ部１２が配設されている。
前記基体１０は、一主面が連続した面（面一）とされ、前記アクチュエータ部１２に対応した位置に空所１４が設けられている。各空所１４は、基体１０の他端面に設けられた径の小さい貫通孔１６を通じて外部と連通されている。
前記基体１０のうち、空所１４の形成されている部分が薄肉とされ、それ以外の部分が厚肉とされている。薄肉の部分は、外部応力に対して振動を受けやすい構造となって振動部１８として機能し、空所１４以外の部分は厚肉とされて前記振動部１８を支持する固定部２０として機能するようになっている。
つまり、基体１０は、最下層であるベースプレート１０Ａと中間層であるスペーサプレート１０Ｂと最上層である閉塞プレート１０Ｃの積層体であって、スペーサプレート１０Ｂのうち、画素に対応する箇所に空所１４が形成された一体構造体として把握することができる。ベースプレート１０Ａは、補強用基板として機能するほか、配線用の基板としても機能するようになっている。なお、上記基体１０は、一体焼成であっても、別途製作したものを接合してもよい。
前記アクチュエータ部１２は、図１に示すように、前記振動部１８と固定部２０のほか、該振動部１８上に直接形成された反強誘電体膜２２と、該反強誘電体膜２２の上面に形成された一対の電極（一方の電極２４ａ及び他方の電極２４ｂ）とを有するアクチュエータ部本体２６を有して構成されている。
ここで、各部材の形状について、図２〜図５Ｃを参照しながら説明する。まず、図２に示すように、基体１０（図１参照）に形成される空所１４の周面形状、即ち振動部１８の平面形状は例えば円形とされ（破線参照）、反強誘電体膜２２の平面形状（一点鎖線）並びに一対の電極２４ａ及び２４ｂにて形づくられる外周形状（実線参照）も円形状とされている。この場合、振動部１８の大きさが最も大きく、次いで一対の電極２４ａ及び２４ｂの外周形状とされ、反強誘電体膜２２の平面形状が最も小さく設定されている。なお、一対の電極２４ａ及び２４ｂの外周形状が最も大きくなるように設定してもよい。
反強誘電体膜２２上に形成される一対の電極２４ａ及び２４ｂの平面形状は、例えば図３に示すように、これら一対の電極２４ａ及び２４ｂが互いに平行し、かつ相互に離間された数ターンの渦巻き状とされている。この渦巻きのターン数は、実際は、５ターン以上であるが、図３の例では、図面の複雑化を避けるために３ターンとして記載してある。
前記一対の電極２４ａ及び２４ｂの平面形状としては、図３に示す渦巻き形状のほかに、図４に示すような形状としてもよい。具体的には、一対の電極２４ａ及び２４ｂが共に、前記反強誘電体膜２２上の中心に向かって延びる幹部２８及び３０と該幹部２８及び３０から多数枝分かれしてなる枝部３２及び３４を有する形状とし、かつ一対の電極２４ａ及び２４ｂが、相互に離間されて相補形に配列された形状（以下、便宜的に多枝形状と記す）にしてもよい。
前記例では、振動部１８の平面形状、反強誘電体膜２２の平面形状並びに一対の電極２４ａ及び２４ｂにて形づくられる外周形状を円形状とした場合を示したが、その他、長円形状や楕円形状としてもよい。また、振動部１８の平面形状及び反強誘電体膜２２の平面形状を共に矩形状とし、コーナー部が角のとれた形状にしてもよいし、振動部１８の平面形状及び反強誘電体膜２２の平面形状を共に多角形状（例えば八角形状）とし、各頂角部分が丸みを帯びた形状にしてもよい。
また、振動部１８の形状、反強誘電体膜２２の平面形状、一対の電極２４ａ及び２４ｂにて形づくられる外周形状は、円と楕円の組み合わせでもよいし、矩形状と楕円の組み合わせでもよく、特に限定されるものではない。
前記一対の電極２４ａ及び２４ｂの平面形状としては、前記渦巻き形状や多枝形状のほか、図５Ａに示すように、くし型形状であってもかまわない。この場合、振動部１８の形状を縦横比（アスペクト比）で０．２５以下又は４．０以上とし、多数のくし歯部分の配列方向が振動部１８の長手方向に沿うように一対のくし型電極２４ａ及び２４ｂを形成することが好ましい。
そして、この第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａにおいては、反強誘電体膜２２の平均膜厚と一対の電極２４ａ及び２４ｂ間のピッチを規定することによって、一対の電極２４ａ及び２４ｂに印加される電圧（印加電圧）に応じてアクチュエータ部１２の変位量がアナログ的に変化するアナログ変位タイプと、印加電圧がある電圧値となった時点でアクチュエータ部１２の変位量が急激に変化して、ほとんど瞬時に最大変位量に達するデジタル変位タイプになることが判明した。なお、前記印加電圧は、正電圧及び負電圧の絶対値を示す。
具体的には、例えば図５Ａ及び図５Ｂに示すように、アクチュエータ部１２における反強誘電体膜２２の平均膜厚をｔ（図５Ｂ参照）、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間のピッチをｐとしたとき（図５Ａ参照）、ｐ／ｔ≦２．５を満足させればアナログ変位タイプとなり、ｐ／ｔ＞２．５を満足させればデジタル変位タイプとなることが判明した。これらの関係式から、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間のピッチｐが一定という条件を与えたとき、平均膜厚ｔを厚くすればアナログ変位タイプとなり、反対に平均膜厚ｔを薄くすればデジタル変位タイプとなることがわかる。
前記アナログ変位タイプとデジタル変位タイプの各動作原理について図６Ａ〜図８Ｄを参照しながら説明する。
図６Ａ〜図６Ｄ及び図８Ａ〜図８Ｄにおいては、説明を簡単化するために、一対の電極２４ａ及び２４ｂをそれぞれ１本ずつ形成した例を示す。また、図６Ａ〜図６Ｄ及び図８Ａ〜図８Ｄの例は、反強誘電体膜２２に予め所定の電界を印加して反強誘電体膜２２を分極処理した後の動作を示すものである。なお、図６Ａ〜図６Ｄ及び図８Ａ〜図８Ｄにおける相転移領域（斜線で示す領域）Ｚｔは厳密な分布ではなく、あくまでも概念的なイメージを示す。
まず、アナログ変位タイプについての動作原理について図６Ａ〜図６Ｄの動作概念図を参照しながら説明する。
最初に、図６Ａに示すように、一方の電極２４ａ及び他方の電極２４ｂをそれぞれ例えば接地電位として、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の印加電圧Ｖを０とした場合は、アクチュエータ部１２に電界は生じないため、初期状態、即ち、一方向（反強誘電体膜２２上に形成された一対の電極２４ａ及び２４ｂが自由空間を臨む方向）への屈曲変位は生じない。
次に、前記一対の電極２４ａ及び２４ｂに印加される電圧ＶをＶ１、Ｖ２及びＶ３というように徐々に電圧値（レベル）を上げていった場合についてみると、まず、図６Ｂに示すように、印加電圧Ｖ＝Ｖ１（＞０Ｖ）のとき、即ち、印加電圧Ｖが反強誘電体膜２２に相転移が生じるのに必要な所定電圧Ｖｄ（以下、単に所定電圧Ｖｄと記す）よりも小さい電圧Ｖ１のときは、アクチュエータ部１２に発生する電界が弱いため、反強誘電体膜２２には相転移は生じず、このため、アクチュエータ部１２の一方向への屈曲変位は生じない（図７の電圧Ｖ１時における屈曲変位量参照）。
図６Ｃに示すように、印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄを越えた段階から、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の距離が最も短い領域や一対の電極２４ａ及び２４ｂに最も近い領域が相転移させるのに十分な電界強度を有することとなって、これらの領域において相転移が生じ（相転移領域Ｚｔの発生）、その相転移に伴って機械的変位が発生する。この変位は振動部１８によって増幅され、アクチュエータ部１２は一方向に変位することになる（図７の電圧Ｖ２時における屈曲変位量参照）。
図６Ｄに示すように、印加電圧Ｖが更に上昇することに伴って、相転移させるのに十分な電界強度の領域が徐々に広がり、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の距離が長い領域や一対の電極２４ａ及び２４ｂから遠い領域においても相転移が生じることになる（相転移領域Ｚｔの拡大）。この場合、相転移領域Ｚｔの拡大に応じてアクチュエータ部１２の機械的変位も大きくなる（図７の電圧Ｖ３時における屈曲変位量参照）。
このように、アナログ変位タイプにおいては、印加電圧Ｖの上昇に応じてアクチュエータ部１２の屈曲変位量がアナログ的に変化することとなる。図７にアナログ変位タイプの屈曲変位特性の一例を示す。この図７の屈曲変位特性を示すセラミック素子は、６０Ｖ〜１８０Ｖの印加電圧Ｖに対してアナログ的に変位する素子であり、反強誘電体膜２２の平均膜厚ｔは３０μｍ、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間のピッチｐは１５μｍであり、振動部１８の寸法は、平面形状が直径１ｍｍの円形であって、厚みが０．０１ｍｍである。
次に、デジタル変位タイプについての動作原理について図８Ａ〜図８Ｄの動作概念図を参照しながら説明する。
最初に、図８Ａに示すように、一方の電極２４ａ及び他方の電極２４ｂをそれぞれ例えば接地電位として、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の印加電圧を０とした場合は、アクチュエータ部１２に電界は生じないため、初期状態、即ち、一方向への屈曲変位は生じない。
次に、前記一対の電極２４ａ及び２４ｂに印加される電圧ＶをＶ１、Ｖ２及びＶ３というように徐々に電圧値（レベル）を上げていった場合についてみると、まず、図８Ｂに示すように、印加電圧Ｖ＝Ｖ１（＞０Ｖ）のとき、即ち、印加電圧Ｖが所定電圧Ｖｄよりも小さい電圧Ｖ１のときは、アクチュエータ部１２に発生する電界が弱いため、反強誘電体膜２２には相転移は生じず、このため、アクチュエータ部１２の一方向への屈曲変位は生じない。
図８Ｃに示すように、印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄを越えた段階、例えば印加電圧Ｖ＝Ｖ２の段階において、アクチュエータ部１２は急激に一方向に変位する。これは、反強誘電体膜２２の平均膜厚ｔと一対の電極２４ａ及び２４ｂ間のピッチｐがｐ／ｔ＞２．５の関係にあり、前記印加電圧Ｖ（＝Ｖ２）によって発生する電界分布が均一であるため、わずかな電圧上昇で大半の領域が相転移して相転移領域Ｚｔとなるからである。従って、アクチュエータ部１２は、印加電圧Ｖが所定電圧Ｖｄを越えた時点で、屈曲変位特性上、わずかな電圧変化にて急激に一方向に変位することになり、電圧Ｖ２よりもわずかに高い電圧を与えるだけで、アクチュエータ部１２は最大変位量まで一方向に変位することになる。
図８Ｄに示すように、印加電圧Ｖが前記電圧Ｖ２よりも上昇して例えば電圧Ｖ３となった時点においては、アクチュエータ部１２に発生する電界が強いことから、反強誘電体膜２２のうち、一対の電極２４ａ及び２４ｂに挟まれた領域全体が相転移領域Ｚｔとされており、しかも、電圧Ｖ２をわずかに越えた電圧にて最大変位量まで変位しているため、この段階では、アクチュエータ部１２のそれ以上の屈曲変位増加は起こらない。
このように、デジタル変位タイプにおいては、印加電圧Ｖの上昇に応じてアクチュエータ部１２の屈曲変位量が徐々に増加するという特性ではなく、印加電圧Ｖが反強誘電体膜２２に相転移が生じるのに必要な所定電圧Ｖｄを越えた時点で、アクチュエータ部１２は急激に一方向に変位し、前記所定電圧Ｖｄからわずかな電圧上昇にて最大変位量まで変位することとなる。
次に、前記アナログ変位タイプにおけるアクチュエータ部１２の一方向変位に伴う作用について図９Ａ〜図９Ｃ及び図１０Ａ〜図１０Ｃを参照しながら比較例と共に説明する。これら図９Ａ〜図９Ｃ及び図１０Ａ〜図１０Ｃで示す例は、図５Ａに示すアクチュエータ部のＢ−Ｂ線上の断面に沿った一方向変位の経過を示すものである。
また、比較例は、図７Ａに示すように、本実施の形態の反強誘電体膜２２に代えて圧電／電歪膜３６としたものであり、これはデジタル変位タイプと類似した屈曲変位特性を示す。
まず、図９Ａに示すように、初期状態においては、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間に電圧（電位差）は生じていないため、反強誘電体膜２２に伸びは生じず、アクチュエータ部１２の変位は０を保ったままである。これは、比較例においても同様である（図１０Ａ参照）。
次に、アクチュエータ部１２の一対の電極２４ａ及び２４ｂに電圧Ｖが印加されて、該印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄを越えた時点でアクチュエータ部１２が一方向に変位し始め、前記印加電圧Ｖの上昇に従って、その変位量は大きくなる。図９Ｂは一対の電極２４ａ及び２４ｂへの印加電圧Ｖを電圧Ｖ３とした場合の屈曲変位状態を示す。
一方、比較例においては、図１０Ｂに示すように、一対の電極２４ａ及び２４ｂへの印加電圧Ｖが所定電圧Ｖｄとなった時点でアクチュエータ部１２が急激に最大変位量までデジタル的に変化する。
次に、一対の電極２４ａ及び２４ｂへの電圧印加を停止して、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の電圧を０Ｖとした場合、図９Ｃに示すように、反強誘電体膜２２の「強誘電相の歪みの状態を記憶する効果（形状記憶効果）」により、一旦生じた変位はそのまま維持される。一方、比較例においては、図１０Ｃに示すように、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の電圧が０Ｖとなって電圧無負荷状態となった場合、電圧印加にて生じていた変位は、その後の電圧印加の停止と共に零の状態（即ち、初期状態）に戻る。
つまり、前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａにおいては、固定部２０にて振動可能に支持された振動部１８上に反強誘電体膜２２を有するアクチュエータ部本体２６が形成されたかたちとなるため、一対の電極２４ａ及び２４ｂに電圧Ｖを印加することにより、アクチュエータ部本体２６における反強誘電体膜２２は、前記印加電圧Ｖによる外部電界によって相転移が生じ、その相転移に伴って機械的変位が発生する。この変位は振動部１８によって増幅され、アクチュエータ部１２は一方向に変位することになる。
一旦、アクチュエータ部１２が一方向に変位した場合、一対の電極２４ａ及び２４ｂへの電圧印加を停止（例えば電界＝０）しても、その変位はそのまま維持される。そのため、アクチュエータ部１２に生じた変位を一定期間にわたって維持する必要がある場合においても、一対の電極２４ａ及び２４ｂに電圧を印加し続ける必要がなくなる。なお、アクチュエータ部１２に生じた変位を元に戻すには、一対の電極２４ａ及び２４ｂに小さな逆バイアス電圧、具体的には、強誘電相から反強誘電相に相転移する電圧を印加すればよい。
このように、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａにおいては、一対の電極２４ａ及び２４ｂへの印加電圧Ｖに応じて機械的変位量がアナログ的あるいはデジタル的に変化し、更に印加電圧Ｖの印加終了後における電圧無負荷状態において、電圧印加時と同等の変位量を維持することができる。
また、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａにおいては、図１１Ａに示すように、一対の電極２４ａ及び２４ｂの平面形状が例えば渦巻き形状である場合を例にとると、一対の電極２４ａ及び２４ｂに所定電圧Ｖｄ以上の電圧Ｖが印加された場合、図１１Ｂに示すように、反強誘電体膜２２の表面中、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の部分が面方向に膨張するため、アクチュエータ部１２（図１参照）は、一方向に安定にかつ大きく屈曲変位することになる。
一方、比較例においては、一対の電極２４ａ及び２４ｂに所定電圧Ｖｄ以上の電圧Ｖが印加された場合、図１１Ｃに示すように、圧電／電歪膜３６の表面中、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の部分が異方的に膨張する（一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の方向は伸びるが、その垂直方向は収縮する）ため、アクチュエータ部１２の屈曲変位量は小さくなり、屈曲する方向性も不安定となる。
このように、前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａにおいては、一対の電極２４ａ及び２４ｂへの印加電圧Ｖに応じて機械的変位量がアナログ的あるいはデジタル的に変化し、更に印加電圧Ｖの印加終了後における電圧無負荷状態ないし低負荷状態において、電圧印加時と同等の変位量を維持することができる。そのため、印加電圧Ｖに対応して変位量の大小を精密に制御可能であって、かつ、微細な素子においても、圧電／電歪膜型素子を上回る大きな変位発生力を得ることができる。
また、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａにおいては、上述のように、印加電圧Ｖの印加終了後における電圧無負荷状態ないし低負荷状態において、電圧印加時とほぼ同等の変位量を維持することができることから、当該セラミック素子を様々なアプリケーション（表示装置やフィルタ等）に適用した場合に、駆動用の電気配線を簡素化でき、製造コストの低廉化を有効に図ることができる。
この第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａにおいては、図１２Ａ〜図１３に示すように、前記振動部１８の中心を通る最短寸法ｍにおける断面形状が、以下の条件を満足することが好ましい。なお、図１２Ａ〜図１３では、図面の複雑化を避けるために一対の電極２４ａ及び２４ｂの記載を省略してある。
即ち、図１２Ｂに示すように、前記固定部２０に近接する一方の最外極小点Ｐ１と他方の最外極小点Ｐ２とを結ぶことによって構成される基準線Ｌより、前記反強誘電体膜２２の中央部付近における上面の少なくとも一部分が、電圧無負荷状態（電界Ｅ＝０の状態）で前記振動部１８と反対方向に突出していることである。
ここで、反強誘電体膜２２の中央部付近とは、図１２Ａに示すように、前記最短寸法ｍにおいて、固定部２０の上面と振動部１８の上面との境界部分をそれぞれ一方の境界点Ｋ１及び他方の境界点Ｋ２と定義し、前記最短寸法ｍを１００としたとき、前記一方の境界点Ｋ１から最短寸法ｍの中心に向かって３０％の範囲ａ１と、前記他方の境界点Ｋ２から最短寸法ｍの中心に向かって３０％の範囲ａ２を除く、中央の４０％の範囲ａ３を指す。
また、図１２Ｂに示すように、前記一方の最外極小点Ｐ１とは、前記最短寸法ｍにおいて、振動部１８の上面（場合によっては反強誘電体膜２２の一主面）の前記最短寸法面に対する投影線に形成される複数の極小点のうち、前記一方の境界点Ｋ１に最も近接する極小点をいい、他方の最外極小点Ｐ２とは前記複数の極小点のうち、前記他方の境界点Ｋ２に最も近接する極小点をいう。
この場合、前記最短寸法ｍを１００としたとき、前記一方の境界点Ｋ１から最短寸法ｍの中心に向かって４０％の範囲（一方の極小点存在領域ｂ１）内に存在するもので、かつ一方の境界点Ｋ１に最も近接する極小点が一方の最外極小点Ｐ１として認定され、前記他方の境界点Ｋ２から最短寸法ｍの中心に向かって４０％の範囲（他方の極小点存在領域ｂ２）内に存在するもので、かつ他方の境界点Ｋ２に最も近接する極小点が他方の最外極小点Ｐ２として認定される。
前記最外極小点Ｐ１及びＰ２は、図１２Ｂに示すように、固定部２０の上面よりも下方に存在する場合や、図１２Ｃに示すように、固定部２０の上面よりも上方に存在する場合がある。
なお、図１３に示すように、例えば他方の極小点存在領域ａ２内に他方の最外極小点Ｐ２が存在しない場合は、前記他方の境界点Ｋ２が他方の最外極小点Ｐ２として認定される。これは、一方の最外極小点Ｐ１でも同じである。
そして、前記条件、つまり、「基準線Ｌより反強誘電体膜２２の中央部付近における上面の少なくとも一部分が、電圧無負荷状態で振動部１８と反対方向に突出すること。」という条件において、前記最短寸法長をｍとしたとき、その突出量ｔがｍ／１０００≦ｔ≦ｍ／１０を満たすことがより好ましい。
前記条件を満たすことにより、作製されたアクチュエータ部１２に対して必ず一方向に大きな変位を行わせることができるようになるため、各種電子機器等に使用した場合の歩留まりの向上を達成させることができる。
しかも、図１２Ｂ、図１２Ｃ及び図１３の形状を有するアクチュエータ部１２は、振動部１８の上面のうち、最外極小点Ｐ１及びＰ２の部分で屈曲された形となっているため、図１２Ａの形状を有するアクチュエータ部１２と比較して、振動部１８のたわみ剛性が大きくなる。その結果、同一の変位量を発生させた際に、振動部１８に生じる応力が小さくて済み、振動部１８の強度、信頼性のマージンが増すという利点を有する。前記形状は、大きな変位を得ることができる前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａの特性に対して特に有効である。
次に、前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａの変形例（１００Ａａ）について図１４Ａ〜図１５Ｂを参照しながら説明する。なお、図５Ａ及び図５Ｂと対応するものについては同符号を付してその重複説明を省略する。
この変形例に係るセラミック素子１００Ａａは、図１４Ａ及び図１４Ｂに示すように、前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａとほぼ同様の構成を有するが、一対の電極２４ａ及び２４ｂにおけるくし歯の配列ピッチが密である領域（ａ）と粗である領域（ｂ）を有する点で異なる。配列ピッチが密である領域（ａ）は、一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の距離が小さいため、一対の電極２４ａ及び２４ｂに一定電圧を印加した場合、常に、配列ピッチが粗である領域（ｂ）（一対の電極２４ａ及び２４ｂ間の距離が大きい）よりも高い電界が発生する。
そのため、一対の電極２４ａ及び２４ｂに印加される電圧Ｖが低いときは、図１５Ａに示すように、ある電圧範囲（電圧レベルＶ１〜Ｖ２）で、前記反強誘電体膜２２のうち、配列ピッチが密である領域（ａ）に対応する部分だけが印加電圧Ｖの上昇に応じて相転移領域が広がり、印加電圧Ｖのレベルに応じた変位量ほど一方向に屈曲変位することになる。
次に、印加電圧Ｖが、前記電圧範囲よりも大きな電圧範囲（電圧レベルＶ２〜Ｖ３）である場合は、図１５Ｂに示すように、配列ピッチが粗である領域（ｂ）に対応する部分も印加電圧Ｖの上昇に応じて相転移領域が広がることから、該部分も前記配列ピッチが密である領域（ａ）に対応する部分と共に、印加電圧Ｖのレベルに応じた変位量ほど一方向に屈曲変位することになる。
結果として、この変形例に係るセラミック素子１００Ａａにおいては、空間的に分離した複数の領域において、それぞれ変位形態が異なるアクチュエータ部１２を得ることができる。
次に、第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂについて図１６〜図２１を参照しながら説明する。なお、図１と対応するものについては同符号を付してその重複説明を省略する。
この第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂは、図１６に示すように、前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａとほぼ同様の構成を有するが、アクチュエータ部本体２６が、反強誘電体膜２２と該反強誘電体膜２２の上面及び下面にそれぞれ形成された上部電極４０ａと下部電極４０ｂとを具備している点で異なる。
そして、この第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂにおいては、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂの各面積、あるいは上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂに挟まれた反強誘電体膜２２の膜厚分布を規定することによって、上部電極４０ａと下部電極４０ｂ間に印加される電圧（印加電圧Ｖ）に応じてアクチュエータ部１２の変位量がアナログ的に変化するアナログ変位タイプと、印加電圧Ｖがある電圧値となった時点でアクチュエータ部１２の変位量が急激に変化して、ほとんど瞬時に最大変位量に達するデジタル変位タイプになることが判明した。なお、印加電圧Ｖは、正電圧及び負電圧の絶対値を示す。
具体的には、アクチュエータ部１２における上部電極４０ａの面積をＡ、下部電極４０ｂの面積をＢとしたとき、（Ａ／Ｂ）≧２又は（Ａ／Ｂ）≦０．５の関係を満足するか、あるいは反強誘電体膜２２の膜厚分布に２０％以上のばらつきがあればアナログ変位タイプとなり、０．５＜（Ａ／Ｂ）＜２の関係を満足するか、あるいは反強誘電体膜２２の膜厚分布のばらつきが２０％未満であればデジタル変位タイプとなることが判明した。
即ち、例えば反強誘電体膜２２の膜厚分布のばらつきが２０％未満である場合は、（Ａ／Ｂ）≧２又は（Ａ／Ｂ）≦０．５の関係を満足することによってアナログ変位タイプとなり（図１７Ａ参照）、０．５＜（Ａ／Ｂ）＜２の関係を満足することによってデジタル変位タイプとなる（図２０Ａ参照）。また、上部電極４０ａの面積Ａと下部電極４０ｂの面積Ｂが０．５＜（Ａ／Ｂ）＜２の関係を有する場合は、反強誘電体膜２２の膜厚分布のばらつきが２０％以上であればアナログ変位タイプとなり（図１９Ａ参照）、反強誘電体膜２２の膜厚分布のばらつきが２０％未満であればデジタル変位タイプとなる（図２０Ａ参照）。
そして、この第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂの第１のアナログ変位タイプは、図１７Ａに示すように、反強誘電体膜２２の膜厚分布のばらつきが２０％未満であって、かつ（Ａ／Ｂ）≦０．５の関係を満足するように構成されている。
この場合、上部電極４０ａの平面形状としては、例えば図１８Ａに示すように、１本の連続した渦巻き形状や、図１８Ｂに示すように、１本の連続したジグザグ形状がある。
ここで、この第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂの第１のアナログ変位タイプの動作原理について図１７Ａ〜図１７Ｄを参照しながら説明する。
最初に、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂをそれぞれ例えば接地電位として、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間の印加電圧Ｖを０とした場合は、アクチュエータ部１２に電界は生じないため、初期状態、即ち、一方向（反強誘電体膜２２上に形成された上部電極４０ａが自由空間を臨む方向）への屈曲変位は生じない。
次に、前記上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間に印加される電圧ＶをＶ１、Ｖ２及びＶ３というように徐々に電圧値（レベル）を上げていった場合についてみると、まず、印加電圧Ｖ＝Ｖ１（＞０Ｖ）のとき、即ち、印加電圧Ｖが所定電圧Ｖｄよりも小さい電圧Ｖ１のときは、アクチュエータ部１２に発生する電界が弱いため、反強誘電体膜２２には相転移は生じず、このため、アクチュエータ部１２の一方向への屈曲変位は生じない。
図１７Ｃに示すように、印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄを越えた段階から、反強誘電体膜２２に発生する電界分布のうち、強電界部分（例えば上部電極４０ａに最も近い領域）が相転移し（相転移領域Ｚｔの発生）、該強電界部分の相転移に伴って反強誘電体膜２２に機械的変位が発生する。この変位は振動部１８によって増幅され、アクチュエータ部１２は一方向に変位することになる。
図１７Ｄに示すように、印加電圧Ｖが上昇するに従って、相転移させるのに十分な電界強度の領域が徐々に広がり、上部電極４０ａから遠い領域においても相転移が生じることになる（相転移領域Ｚｔの拡大）。この場合、相転移領域Ｚｔの拡大に応じてアクチュエータ部１２の機械的変位も大きくなる。
このように、第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂの第１のアナログ変位タイプにおいても、前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ（アナログ変位タイプ）と同様に、印加電圧Ｖの上昇に応じてアクチュエータ部１２の屈曲変位量がアナログ的に変化することとなる。
次に、第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂの第２のアナログ変位タイプは、図１９Ａに示すように、上部電極４０ａの面積Ａと下部電極４０ｂの面積Ｂが０．５＜（Ａ／Ｂ）＜２の関係を有するものであって、かつ、反強誘電体膜２２の膜厚分布のばらつきが２０％以上となるように構成されている。
ここで、この第２のアナログ変位タイプの動作原理について図１９Ａ〜図１９Ｄを参照しながら説明する。
最初に、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂをそれぞれ例えば接地電位として、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間の印加電圧Ｖを０とした場合は、アクチュエータ部１２に電界は生じないため、初期状態、即ち、一方向への屈曲変位は生じない。
次に、前記上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間に印加される電圧ＶをＶ１、Ｖ２及びＶ３というように徐々に電圧値（レベル）を上げていった場合についてみると、まず、印加電圧Ｖ＝Ｖ１（＞０Ｖ）のとき、即ち、印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄよりも小さい電圧Ｖ１のときは、アクチュエータ部１２に発生する電界が弱いため、反強誘電体膜２２には相転移は生じず、このため、アクチュエータ部１２の一方向への屈曲変位は生じない。
図１９Ｃに示すように、印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄを越えた段階から、反強誘電体膜２２に発生する電界分布のうち、強電界部分（例えば上部電極４０ａと下部電極４０ｂとの間隔が狭い領域）が相転移し（相転移領域Ｚｔの発生）、該強電界部分の相転移に伴って反強誘電体膜２２に機械的変位が発生する。この変位は振動部１８によって増幅され、アクチュエータ部１２は一方向に変位することになる。
図１９Ｄに示すように、印加電圧Ｖが更に上昇するに従って、相転移させるのに十分な電界強度の領域が徐々に広がり、上部電極４０ａと下部電極４０ｂとの間隔が広い領域においても相転移が生じることになる（相転移領域Ｚｔの拡大）。この場合、相転移領域Ｚｔの拡大に応じてアクチュエータ部１２の機械的変位も大きくなる。
このように、第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂの第２のアナログ変位タイプにおいても、前記第１のアナログ変位タイプと同様に、印加電圧Ｖの上昇に応じてアクチュエータ部１２の屈曲変位量がアナログ的に変化することとなる。次に、デジタル変位タイプについての動作原理について図２０Ａ〜図２０Ｄの動作概念図及び図２１の屈曲変位特性を参照しながら説明する。
最初に、図２０Ａに示すように、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂをそれぞれ例えば接地電位として、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ問の印加電圧Ｖを０とした場合は、アクチュエータ部１２に電界は生じないため、初期状態、即ち、一方向への屈曲変位は生じない。
次に、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間に印加される電圧ＶをＶ１、Ｖ２及びＶ３というように徐々に電圧値（レベル）を上げていった場合についてみると、まず、図２０Ｂに示すように、印加電圧Ｖ＝Ｖ１（＞０Ｖ）のとき、即ち、印加電圧Ｖが所定電圧Ｖｄ（例えば１１０Ｖ）よりも小さい電圧Ｖ１のときは、アクチュエータ部１２に発生する電界が弱いため、反強誘電体膜２２には相転移は生じず、このため、アクチュエータ部１２の一方向への屈曲変位は生じない（図２１の電圧Ｖ１時における屈曲変位量参照）。
図２０Ｃに示すように、印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄを越えた段階、例えば印加電圧Ｖ＝Ｖ２の段階において、アクチュエータ部１２は急激に一方向に変位する（図２１の電圧Ｖ２時における屈曲変位量参照）。これは、上部電極４０ａの面積Ａと下部電極４０ｂの面積Ｂが０．５＜（Ａ／Ｂ）＜２の関係を有し、かつ、反強誘電体膜２２の膜厚分布のばらつきが２０％未満の関係にあり、前記印加電圧Ｖによって発生する電界分布が均一であるため、わずかな電圧上昇で大半の領域が相転移領域Ｚｔとなるからである。従って、アクチュエータ部１２は、印加電圧Ｖが所定電圧Ｖｄを越えた時点で最大変位量まで急激に変化することとなる。
図２０Ｄに示すように、印加電圧Ｖが前記電圧Ｖ２よりも上昇して例えば電圧Ｖ３となった時点においては、アクチュエータ部１２に発生する電界が強いことから、反強誘電体膜２２のうち、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間に挟まれた領域全体が相転移領域Ｚｔとなって、アクチュエータ部１２の一方向への変位量は、印加電圧Ｖが所定電圧Ｖｄを越えた段階で最大変位量まで変化しているため、電界が強いにも拘わらずその変位量は変わらない（図２１の電圧Ｖ３時における屈曲変位量参照）。
このように、前記デジタル変位タイプにおいては、印加電圧Ｖの上昇に応じてアクチュエータ部１２の屈曲変位量が徐々に増加するという特性ではなく、印加電圧Ｖが所定電圧Ｖｄを越えた時点で、アクチュエータ部１２が急激に最大変化量までデジタル的に変化することとなる。
図２１にデジタル変位タイプの屈曲変位特性の一例を示す。この図２１の屈曲変位特性を示すセラミック素子は、印加電圧Ｖが約１１０Ｖとなった時点で最大変位量までデジタル的に変位する素子であり、反強誘電体膜２２の平均膜厚ｔは１５μｍ、振動部１８の寸法は、平面形状が直径１ｍｍの円形であって、厚みが０．０１ｍｍである。
この第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂ（第１及び第２のアナログ変位タイプ並びにデジタル変位タイプ）においても、巨視的には前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａと同様の作用・効果（図６Ａ〜図６Ｃ参照）を奏し、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂへの印加電圧Ｖに応じて機械的変位量がアナログ的あるいはデジタル的に変化し、更に印加電圧Ｖの印加終了後における電圧無負荷状態において、電圧印加時と同等の変位量を維持することができる。
次に、第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂの変形例（１００Ｂａ）について図２２〜図２３Ｂを参照しながら説明する。
この変形例に係るセラミック素子１００Ｂａは、図２２に示すように、前記第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂとほぼ同様の構成を有するが、上部電極４０ａと下部電極４０ｂとの間隔が広い領域（ｃ）と狭い領域（ｄ）を有する点で異なる。これは、反強誘電体膜２２の膜厚分布を選択的に形成することで達成できる。
上部電極４０ａと下部電極４０ｂとの間隔が狭い領域（ｄ）は、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間の距離が小さいため、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間に一定電圧を印加した場合、常に、上部電極４０ａと下部電極４０ｂとの間隔が広い領域（ｃ）（電極４０ａ及び４０ｂ間の距離が大きい）よりも高い電界が発生する。
そのため、上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間に印加される電圧が低いときは、図２３Ａに示すように、ある電圧範囲（電圧レベルＶ１〜Ｖ２）で、前記反強誘電体膜２２のうち、上部電極４０ａと下部電極４０ｂとの間隔が狭い領域（ｄ）に対応する部分だけが印加電圧の上昇に応じて相転移領域が広がり、前記印加電圧Ｖのレベルに応じた変位量ほど一方向に屈曲変位することになる。
次に、印加電圧Ｖが、前記電圧範囲よりも大きな電圧範囲（電圧レベルＶ２〜Ｖ３）である場合は、図２３Ｂに示すように、上部電極４０ａと下部電極４０ｂとの間隔が広い領域に対応する部分も印加電圧Ｖの上昇に応じて相転移領域が広がることから、該部分も前記上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂとの間隔が狭い部分（ｄ）と共に、印加電圧Ｖのレベルに応じた変位量ほど一方向に屈曲変位することになる。
結果として、この第２の実施の形態に係るセラミック素子の変形例１００Ｂａにおいても、前記第１の実施の形態に係るセラミック素子の変形例１００Ａａと同様に、空間的に分離した複数の領域において、それぞれ変位形態が異なるアクチュエータ部１２を得ることができる。
前記第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ（変形例１００Ａａも含む）においては、アクチュエータ部１２に形成される電極パターンとして、反強誘電体膜２２の表面に一対の電極２４ａ及び２４ｂを形成するようにし、第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂ（変形例１００Ｂａも含む）においては、アクチュエータ部１２に形成される電極パターンとして、反強誘電体膜２２の上面及び下面にそれぞれ上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂを形成するようにしたが、その他、１つのセラミック素子内において、あるいは１つの連続した反強誘電体膜２２内において、電極パターンが、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａと同様の電極パターンの領域と第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂと同様の電極パターンの領域とが共存するようにしてもよい。また、１つのセラミック素子内において、あるいは１つの連続した反強誘電体膜２２内において、アナログ変位タイプとデジタル変位タイプとが共存するような構成を採用することも可能である。
次に、第１及び第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ及び１００Ｂにおける前記アクチュエータ部１２の各構成部材、特に各構成部材の材料等の選定について説明する。
まず、振動部１８を構成するセラミックスとしては例えば酸化ジルコニウム、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、スピネル、ムライト、窒化アルミニウム、窒化珪素、ガラス、これらの混合物等を用いることができる。
安定化された酸化ジルコニウムは振動部１８の厚さが薄くても、機械的強度が高いこと、靱性が高いことなどから特に好ましい。安定化された酸化ジルコニウムとは、安定化酸化ジルコニウム及び部分安定化酸化ジルコニウムを包含する。
安定化酸化ジルコニウムを得るための安定化剤としては、酸化カルシウム、酸化マグネシウム、酸化イットリウム、酸化スカンジウム、酸化イッテルビウム、酸化セリウム又はその他の希土類金属の酸化物等を１〜３０モル％含有する。特に、振動部１８の機械的強度を高めるために、酸化イットリウムを１．５〜６モル％含有することが望ましく、更に好ましくは２〜５モル％含有することが好ましい。
また、部分安定化ジルコニウムを主成分とする振動部１８を用いる場合、更に０．１〜５モル％の酸化アルミニウム、あるいは０．１〜１０モル％の酸化チタン、又は酸化チタンと酸化アルミニウムの混合物を含有させることも、相対的変位量の増大、あるいは振動部１８と反強誘電体膜２２との反応性、密着性を制御する上で適宜添加することが望ましい。
即ち、例えば反強誘電体膜２２として下記組成を用い、振動部１８と反強誘電体膜２２との密着性を向上したい場合には、酸化アルミニウムを０．１モル％添加することが好ましい。
Ｐｂ_0.99Ｎｂ_0.02｛［Ｚｒ_x、Ｓｎ_1-x］_1-yＴｉ_y｝_0.98Ｏ₃
但し、0.5＜ｘ＜0.6，0.05＜ｙ＜0.063，0.01＜Ｎｂ＜0.03
これは、特に、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａのように、反強誘電体膜２２の他主面が振動部１８と密着し、相対する一主面上に一対の電極２４ａ及び２４ｂが形成された構成のセラミック素子の場合に好ましい。
逆に、振動部１８と反強誘電体膜２２との密着を阻害したい場合には、酸化チタンを０．１〜１０モル％添加することが好ましい。これは、特に、第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂのように、振動部１８上に下部電極４０ｂを形成し、その上に反強誘電体膜２２を形成し、更にその上に上部電極４０ａを形成する構成のセラミック素子の場合に特に好ましい。その理由は、例えば図２２に示すように、下部電極４０ｂ上から外方へ延びた（あるいは張り出した）反強誘電体膜２２の外縁部２２ａが振動部１８と密着結合した場合に生ずる結合部（反強誘電体膜２２と振動部１８との結合部）の拘束により変位量が低下することを防止できるからである。
なお、酸化アルミニウムを含有させた振動部１８において、振動部１８と反強誘電体膜２２との密着を阻害したい場合には、酸化アルミニウム量を２モル％以下とし、かつ厚膜形成方法により反強誘電体膜２２を形成するに際して、焼成後に反強誘電体膜２２となるペーストを厚膜形成方法により塗布した後、焼成前に酸化雰囲気下で加熱して脱バインダー処理を施し、その後、所定の雰囲気で反強誘電体膜２２を焼成することも好ましい。
ここで述べた酸化アルミニウムや酸化チタンは、安定化酸化ジルコニウム原料に混合添加してもよいが、安定化酸化ジルコニウム原料を合成する過程で共沈法等により混合添加することにより、より均一な原料粉末が得られ、ひいては均一な組織で機械的強度、耐久性等により優れた振動部１８を得ることができる。
振動部１８は多数のセラミックス結晶からなるが、振動部１８の機械的強度を高めるため、結晶粒の平均粒径は０．０５〜２μｍであることが望ましい。
スペーサプレート１０Ｂ及び閉塞プレート１０Ｃは、グリーンシートの積層及び焼成一体化により振動部１８及び固定部２０として結合一体化されるため、同じ種類のセラミックスであることが望ましい。
但し、アルミナ等の添加量については、積層、焼成一体化後の基体１０のうねり等の歪みを緩和するため、必要に応じて、振動部１８と異なる添加量に調整することが望ましい。
なお、セラミックスの焼結助剤として一般には粘土等を加えることもあるが、反強誘電体膜２２との反応性を高めすぎて反強誘電体膜２２の組成や特性が変化しないように助剤成分を調整する必要がある。即ち、基体１０中の酸化珪素等は、重量比で３％以下、更に好ましくは１％以下となるように制限することが望ましい。
反強誘電体膜２２の材料としては、ジルコン酸鉛を主成分とするもの、ジルコン酸鉛とスズ酸鉛とからなる成分を主成分とするもの、更にはジルコン酸鉛に酸化ランタンを添加したもの、ジルコン酸鉛とスズ酸鉛とからなる成分に対してチタン酸鉛やニオブ酸鉛を添加したものが望ましい。
特に下記の組成のようにジルコン酸鉛とスズ酸鉛からなる成分を含む反強誘電体膜２２を第１及び第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ及び１００Ｂのような膜型素子として適用する場合、比較的低電圧で駆動することができるため、特に好ましい。
Ｐｂ_0.99Ｎｂ_0.02｛［Ｚｒ_xＳｎ_1-x］_1-yＴｉ_y｝_0.98Ｏ₃
但し、0.5＜ｘ＜0.6，0.05＜ｙ＜0.063，0.01＜Ｎｂ＜0.03
また、この反強誘電体膜２２は、多孔質であってもよく、多孔質の場合には気孔率３０％以下であることが望ましい。
なお、反強誘電体膜２２の原料として用いる反強誘電体粉末は、印刷用ペーストの調合前に、乾式振動ミル、乾式アトライタ等により乾式粉砕することが、より緻密で屈曲変位特性の高い反強誘電体膜２２を得る上で好適である。
この場合、特に、前記反強誘電体膜２２の材料として、上述した組成にＡｇを酸化銀換算で１〜１０重量％含有することが、より緻密で大きな変位を得る上で、また、より安定な形状記憶特性を得る上で好適である。
Ａｇを含有させる手段としては、反強誘電体膜２２を合成する過程において、酸化物の形態で他の原料粉末と同時に添加してもよいし、予め合成した反強誘電体材料粉末に、酸化銀として、あるいは硝酸銀の水溶液として粉砕混合してもよい。また、あるいは印刷ペーストを調合する際に、酸化銀粉末の形態やＡｇの有機金属化合物の形態で混合してもよい。
そして、反強誘電体膜２２の厚さと振動部１８の厚さとは、同次元の厚さであることが望ましい。なぜなら、振動部１８の厚さが極端に（１桁以上）、反強誘電体膜２２よりも厚くなると、反強誘電体膜２２の焼成工程における収縮に対して振動部１８がその収縮を妨げるように拘束するため、反強誘電体膜２２が振動部１８から剥離しやすくなったり、反強誘電体膜２２の緻密化を阻害したり、更には焼成後の反強誘電体膜２２の中に残留応力が存在して特性を低下させる要因となる。
反対に、厚さの次元が同程度であれば、反強誘電体膜２２の焼成工程における収縮に振動部１８が追従して変形しやすくなり、緻密で高変位な特性を有する反強誘電体膜２２を得ることができる。
具体的には、振動部１８の厚さは１〜５０μｍが好ましく、３〜２０ｍが更に好ｍしい。一方、反強誘電体膜２２の平均厚さは、１〜１００ｍが好ましく、３〜５０μｍが更に好ましく、５〜４０μｍが最も好ましい。
電極２４ａ及び２４ｂ（４０ａ及び４０ｂ）は、振動部１８や強誘電体膜２２に対して薄い方が、アクチュエータ部１２の変位動作に対する拘束力が弱まるため好ましく、具体的には、厚さ０．０１μｍ〜１０μｍであることがより好ましく、０．０１〜５μｍが更に好ましい。
前記電極２４ａ及び２４ｂ（４０ａ及び４０ｂ）の材質は、室温で固体であって導電性の物質で構成されていることが好ましい。例えば、アルミニウム、チタン、クロム、鉄、コバルト、ニッケル、銅、亜鉛、ニオブ、モリブデン、ルテニウム、ロジウム、銀、スズ、タンタル、タングステン、イリジウム、白金、金、鉛、ベリリウム等を含有する金属単体又は合金が挙げられる。これらの元素が任意の組み合わせで含有されていてもよいことはいうまでもない。
第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂのように、下部電極４０ｂが振動部１８と反強誘電体膜２２との間に介在する構成のセラミック素子の場合には、反強誘電体膜２２の焼成温度に耐える耐熱性を有することが望ましく、必要に応じて耐蝕性に優れた材質を選んでもよい。
次に、第１及び第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ及び１００Ｂの製造方法を説明する。
振動部１８及び固定部２０を含む基体１０は、グリーンシート又はグリーンテープである成形層を熱圧着等で積層し、次いで焼成することで一体化することができる。例えば、図１に示す基体１０では、３層のグリーンシート又はグリーンテープを積層するが、その第２層に空所１４となる所定形状の窓部を積層前に予め設けておけばよい。また、成形型を用いる加圧成形、鋳込み成形、射出成形等によって、成形層を作製し、切削、研削加工、レーザ加工、プレス加工による打ち抜き等の機械加工により、空所（窓部）１４等を設けてもよい。図１では、３層構造となっているが、４層構造、５層構造として、基体１０の剛性を向上させたり、裏面配線板として使用する層を同時に積層して形成してもよい。
次に、前記基体１０の振動部１８上にアクチュエータ部本体２６を形成する。この場合、金型を用いたプレス成形法又はスラリー原料を用いたテープ成形法等によって反強誘電体膜２２を成形し、この焼成前の反強誘電体膜２２を焼成前の基体１０における振動部１８上に熱圧着で積層し、同時に焼成して、基体１０の振動部１８上に反強誘電体膜２２を形成する方法と、以下に示す膜形成法とがある。
膜形成法は、振動部１８上に反強誘電体膜２２と一対の電極２４ａ及び２４ｂをこの順序で積層する方法であるが、例えば、スクリーン印刷のような厚膜法、ディッピング等の塗布法、イオンビーム、スパッタリング、真空蒸着、イオンプレーティング、化学蒸着法（ＣＶＤ）、メッキ等の薄膜法等が適宜用いられる。一対の電極２４ａ及び２４ｂにつながる配線や端子パッドの形成も前記厚膜法や薄膜法が用いられる。
第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａは、その一例として、例えば以下のような製法が採用される。まず、基体１０の振動部１８上にスクリーン印刷法によって反強誘電体膜２２を形成する。その後、焼成を行って、基体１０の振動部１８上に反強誘電体膜２２を接合する。この場合、基体１０と反強誘電体膜２２との接合性を向上させて、これら基体１０と反強誘電体膜２２との一体化を有利にするには、反強誘電体膜２２に対する焼成を反強誘電体材料の雰囲気下において密閉容器内で実施することが好ましい。更に好ましくは、雰囲気濃度は高くすることが望ましい。
雰囲気焼成は次の方法等により行われる。
（１）反強誘電体材料と同成分系の粉末を蒸発源として一緒に密閉容器内に置く。
（２）反強誘電体材料の組成として、鉛成分を予め過剰とする。
（３）反強誘電体材料の板をセッターとして使用する。
また、焼成温度は、９００〜１４００℃が好ましく、更に好ましくは１１００〜１４００℃が望ましい。
前記基体１０と反強誘電体膜２２との接合が終了した後、一対の電極２４ａ及び２４ｂを含む配線層をスクリーン印刷にて積層する。この配線層のパターンは、例えば図５０に示すように、垂直選択線５８のパターン、信号線６０のパターン及び電極パターンであって、電極パターンは、この段階（スクリーン印刷段階）では図３に示すような渦巻き形状や図４に示すような多枝形状ではなく、単に円形状とされた状態である。
その後、例えばエキシマレーザによって円形状の電極パターンの所要箇所を蒸発させることにより、図３に示すような渦巻き形状や図４に示すような多枝形状にパターニングして一対の電極２４ａ及び２４ｂとする。
前記エキシマレーザによるパターニングが終了した後、熱処理することにより、基体１０上へのアクチュエータ部本体２６の形成が終了する。なお、薄膜法により、一対の電極２４ａ及び２４ｂを形成する場合においては、必ずしも前記熱処理は必要としない。
次に、前記第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂを製造する場合について説明すると、この場合、膜形成法として振動部１８上に下部電極４０ｂ、反強誘電体膜２２、上部電極４０ａをこの順序で積層する方法が採用されるわけだが、具体的には、例えば、その一例として以下のような製法が採用される。まず、基体１０の振動部１８に、予め酸化アルミニウムを１モル％添加して形成し、該振動部１８上に白金粉末と有機バインダーを主成分とするペーストをスクリーン印刷法によって印刷塗布し、乾燥工程を経た後に焼成することによって、下部電極４０ｂを形成する。
その後、反強誘電体粉末と有機バインダーを主成分とするペーストを同じくスクリーン印刷法によって印刷塗布し、乾燥後、酸化雰囲気中で５００〜６００℃１時間の脱脂処理を行う。
次いで、第１の実施の形態の場合と同様に、雰囲気焼成を行い、反強誘電体膜２２を形成する。その後、金を含有する有機金属化合物と溶剤とを主体とするペーストをスクリーン印刷法によって印刷塗布し、乾燥後、焼成して上部電極４０ａを形成する
次に、第３の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｃについて図２４〜図４８を参照しながら説明する。
この第３の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｃは、上述した第１及び第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ及び１００Ｂのように、振動部１８上に反強誘電体膜２２を形成してなるセラミック素子において、その形状記憶効果をより高めたセラミック素子を提供するものである。
この第３の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｃを作製するにあたって、本発明者らは、図２５に示すように、反強誘電体膜２２の両面に電極１０２ａ及び１０２ｂを形成したいわゆるバルク型素子１０４と、例えば図１に示すように、振動部１８上に形成された反強誘電体膜２２上に一対の電極２４ａ及び２４ｂを形成してなる第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａと、例えば図１４に示すように、振動部１８上に下部電極４０ｂ、反強誘電体膜２２及び上部電極４０ａを順次積層してなる第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂについて、その形状記憶効果を確かめた。
その結果、図２５に示すバルク型素子１０４は、相転移電界を超える電圧を印加した後、印加電圧を下げて数秒間以上保持しても、屈曲変位が維持されるが、前記セラミック素子１００Ａ及び１００Ｂにおいては、相転移電界を超える電圧を印加した後、印加電圧を下げると、数ミリ秒又は数１０ミリ秒間の保持のあいだで屈曲変位が減少し、短時間の形状記憶効果しか得られないことがわかった。特に、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａは、第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂよりも屈曲変位の減少率がわずかに大きいことが判明した。
これは、反強誘電体膜２２の焼成過程から冷却過程において、振動部１８の応力的な拘束により、反強誘電体膜２２に残留応力が発生し、有害な結晶歪みを誘起していることが要因と推定される。従って、後述する表示装置２００に応用した場合に、輝度が低下する、あるいは隣接画素に対する駆動時の電圧変動によって輝度の変動が生じるおそれがある。
そこで、本発明者らは、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａにおける前記不都合を解決するために、以下の５つの条件について検討を行った。
（１）中間層１０６（図２４参照）の形成
（２）基体１０及び振動部１８の薄膜化
（３）荷重焼成（ホットプレス法：図２９参照）
（４）組成の見越し補正及び鉛成分の後補正並びに酸化スズ粉末の微粉化
（５）反強誘電体膜２２の焼結後における振動部１８の沈み込み量の抑制
第３の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｃは、前記５つの条件をすべて満足するものであり（図２４参照）、これら５つの条件による効果並びに有効範囲について詳細に説明する。
まず、変位保持率について定義付けをしておく。変位保持率とは、反強誘電体膜２２に対してあるピーク電圧（例えば１３０Ｖ）を印加して屈曲変位を行わせた後に、印加電圧を下げて所定電圧（例えば５０Ｖ）における変位を測定し、ピーク電圧における変位量を１００％としたときの、電圧降下時の前記所定電圧印加時における変位の百分率を指す。
印加電圧に対する前記変位動作は、例えば図４７に示すように、例えば初期値（０Ｖ）から正のピーク電圧（１３０Ｖ）にかけて丸１で示す曲線に沿って変位し、正のピーク電圧から初期値にかけて丸２で示す曲線に沿って変位し、初期値から負のピーク電圧（−１３０Ｖ）にかけて丸３で示す曲線に沿って変位し、負のピーク電圧から初期値にかけて丸４
で示す曲線に沿って変位する。
［１．振動部１８と反強誘電体膜２２の間への中間層１０６の形成］
中間層１０６の形成とは、例えば図２４に示すように、反強誘電体膜２２の上面に一対の電極２４ａ及び２４ｂが形成されたセラミック素子１００Ｃにおいて、振動部１８と反強誘電体膜２２との間に金属膜層（即ち、中間層１０６）を形成することである。この中間層１０６の形成によって、変位保持率を７０％程度に高めることができた。
これは、振動部１８と反強誘電体膜２２との間に、高温で軟らかい金属膜層（中間層１０６）を介在させることで、反強誘電体膜２２の焼成過程から冷却過程において、振動部１８の応力的な拘束によって反強誘電体膜２２に発生する応力が緩和されていることによるものと推定される。
そして、前記中間層１０６の材質として好ましいのは、Ｐｔ又はＰｄ、あるいは両者の合金である。中間層１０６の厚みとしては、１μｍ以上、１０μｍ以下が適当である。好ましくは２μｍ以上、６μｍ以下である。
なぜならば、１μｍ未満では上述した応力緩和の効果が現れず、１０μｍを超えると中間層１０６の焼成時における焼成収縮により、中間層１０６が振動部１８から剥離してしまうからである。
ここで、１つの実験例（便宜的に第１の実験例と記す）について説明する。この第１の実験例は、中間層１０６の厚みによって変位保持率がどのように変わるかを実施例１〜実施例３並びに比較例１〜比較例３に基づいて確かめたものである。
実施例１はＰｔの中間層１０６を４μｍ形成したものであり、実施例２はＰｄの中間層１０６を２μｍ形成したものであり、実施例３はＰｄの中間層１０６を８μｍ形成したものである。一方、比較例１はＰｔの中間層１０６を１５μｍ形成したものであり、比較例２はＰｔの中間層１０６を０．５μｍ形成したものであり、比較例３は中間層１０６を形成しなかったものである。
その実験結果を図２６に示す。中間層１０６が１５μｍである比較例１の場合、中間層の剥離により測定できず、中間層１０６が０．５μｍである比較例２の場合、変位保持率が５８％程度と低下し、中間層１０６のない比較例３にいたっては、変位保持率が５４％と非常に低くなっている。
従って、この結果から中間層１０６の厚みとしては、１μｍ以上、１０μｍ以下が適当であり、好ましくは２μｍ以上、６μｍ以下である。
［２．基体及び振動部の薄膜化］
振動部１８の厚みを反強誘電体膜２２の厚みよりも薄くし、併せて基体１０の全体の厚みを薄膜化する。これによって、反強誘電体膜２２に対する基体１０の応力的な拘束が減るため、反強誘電体膜２２の焼結性の増加と、応力緩和の効果が得られる。
ここで、１つの実験例（便宜的に第２の実験例と記す）について説明する。この第２の実験例は、基体１０の厚みを変えた場合の変位保持率の変化を実施例４〜実施例７に基づいて確かめたものである。その結果を図２７に示す。この図２７の表中、基体１０の厚みの（）内の数値は順に、振動部１８、スペーサプレート１０Ｂ、ベースプレート１０Ａ（図２４参照）の厚みである。実施例４〜実施例７はいずれも中間層１０６がなく、荷重焼成並びに粉末の見越し補正及び鉛成分の後補正を行わず、ＳｎＯ₂の比表面積を１３ｍ²／ｇとしたものである。
この実験結果から、振動部１８の厚みを反強誘電体膜２２の厚みよりも薄くし、併せて基体１０の全体の厚みを薄膜化することが変位保持率を高める上で好ましいことがわかる。
前記例は、図２８に示すように、振動部１８の中心を通る最短寸法ｍにおいて、固定部２０の上面と振動部１８の上面との境界部分を境界点ｋと定義し、該境界点ｋから反強誘電体膜２２の形成端までの距離をＬｎ（μｍ）、振動部１８の厚みをｔｖ（μｍ）としたとき、Ｌｎ＜ｔｖ×１５を満足する場合に成立し、この場合、基体１０の厚みｔｂは、ｔｂ≦３５０μｍが適当であり、好ましくはｔｂ≦２５０μｍ、より好ましくはｔｂ≦１３０μｍであり、最も好ましくはｔｂ≦７０μｍである。一方、Ｌｎ≧ｔｖ×１５を満足する場合は、振動部１８の厚みｔｖは１〜５０μｍが好ましく、３〜２０μｍが更に好ましい。一方、反強誘電体膜２２の平均厚さは、１〜１００μｍが好ましく、３〜５０μｍが更に好ましく、５〜４０μｍが最も好ましい。
［３．荷重焼成（ホットプレス法）］
図２９に示すように、基体１０上に形成された反強誘電体膜２２に荷重（ホットプレス荷重）Ｐをかげながら反強誘電体膜２２を焼成処理する方法である。基体１０上に反強誘電体膜２２を印刷により形成した段階のものを、以下、サンプル１０８と記す。
具体的な方法としては、例えば図３０Ａに示すように、ヒータ１１０への通電によって焼成を行う電気炉１１２の内部に台１１４を設置し、該台１１４の上に、基体１０の底面が台１１４の上面に接するようにしてサンプル１０８を載置し、該サンプル１０８の上部におもし１１６を載せた状態で焼成する方法や、図３０Ｂに示すように、前記電気炉１１２内に設置された台１１４の上に、反強誘電体膜２２の上面が台１１４の上面に接するようにしてサンプル１０８を載置し、基体１０の底面におもし１１６を載せた状態で焼成する方法等がある。
この荷重焼成によって、反強誘電体膜２２の焼結性が増し、より緻密な膜を得ることができる。
ホットプレス荷重Ｐとしては０．４ｋｇ／ｃｍ²以上がよい。但し、振動部１８の厚みに応じて振動部１８が破壊しない程度の荷重とする。荷重が大きいと、スペーサプレート１０Ｂと振動部１８の端部ｓ（図２９参照）において、振動部１８が割れるおそれがあるからである。
ここで、１つの実験例（便宜的に第３の実験例と記す）について説明する。この第３の実験例は、ホットプレス荷重Ｐを変えた場合の反強誘電体膜２２の緻密度の変化を実施例８及び比較例４〜比較例６に基づいて確かめたものである。膜の緻密度とは、緻密度＝１００％−表面の気孔率である。
その実験結果を図３１に示す。この結果からホットプレス荷重Ｐとしては０．４ｋｇ／ｃｍ²以上で、その上限は振動部１８の厚みによって異なり、好ましくは振動部１８が破壊しない程度の荷重であることが望ましい。
［４．組成の見越し補正及び鉛成分の後補正並びに酸化スズ粉末の微粉化］
［ａ．組成の見越し補正］
反強誘電体膜２２を形成するにあたり、反強誘電体セラミック材料の粉末を合成するが、その際に、反強誘電体膜２２における焼成中の振動部１８との相互拡散による組成変動を見越して、反強誘電体セラミック材料の粉末組成を最適組成からずらして調製する。
具体的には、反強誘電体膜２２の焼成時において振動部１８からジルコニウムが拡散流入し、反強誘電体膜２２からチタニウムが振動部１８へ拡散流出していくため、予めジルコニウムの量を減らし、チタニウムの量を増やしておく。
なお、各成分の調整量は、焼成条件及び振動部１８の組成、並びに反強誘電体膜２２の厚み等とも関連するため、個々に最適調整量を決定することが重要である。
次に、見越し補正をしない通常の合成方法と見越し補正を行う前記合成方法との違いについて、図３２及び図３３の工程ブロック図を参照しながら説明する。
通常の合成方法は、図３２に示すように、反強誘電体セラミック材料の粉末を最適組成に合わせて秤量し、その後、粉末をボールミルで混合する（５０時間）。その後、混合された粉末に対して１０００℃、５時間の仮焼を施し、次いで、ボールミルで粉砕する（１０時間）。
見越し補正を行う合成方法は、図３３に示すように、秤量する粉末の組成が若干異なるものの、全体として見た場合、その工程は通常の合成方法とほぼ同じである。この場合、ＺｒＯ₂は最適な焼結体組成より少なめに秤量され、ＴｉＯ₂は最適な焼結体組成より多めに秤量される。
ここで、１つの実験例（便宜的に第４の実験例と記す）について説明する。この第４の実験例は、見越し補正量によって変位保持率がどのように変わるかを実施例９−１、実施例９−２、実施例１０−１及び実施例１０−２並びに比較例７に基づいて確かめたものである。ここでの見越し補正量とは、加えるＺｒＯ₂及びＴｉＯ₂の各量について、それぞれの所定量を１００％とした場合の百分率を示す。
その実験結果を図３４に示す。この結果から、ＺｒＯ₂の量は最適な焼結体組成を１００％とした場合の９５〜９８％であり、かつ／又は、ＴｉＯ₂の量は最適な焼結体組成を１００％とした場合の１０２〜１０４％が適当である。
［ｂ．鉛成分の後補正］
反強誘電体膜２２は、振動部１８上にスクリーン印刷法によって形成されるが、その印刷材料をつくる際、特に、反強誘電体セラミック材料粉末の合成の際に、予め酸化鉛を１０％少ない組成で合成した後、不足分の１０％を酸化鉛の形態で混合し、その混合材料を反強誘電体膜形成用の印刷材料として用いる。この場合、酸化鉛の粉末が混在することで、反強誘電体膜２２の焼結性が向上する。
この鉛成分の後補正は、図３５に示すように、反強誘電体セラミック材料の粉末のうち、酸化鉛を除いたものを最適組成に合わせて秤量し、酸化鉛のみは所定配合量の９０％とする。その後、これら粉末をボールミルで混合し（５０時間）、次いで、混合された粉末に対して１０００℃、５時間の仮焼を施す。その後、酸化鉛を所定配合量の１０％を混合し、ボールミルで混合、粉砕する（１０時間）。
ここで、１つの実験例（便宜的に第５の実験例と記す）について説明する。この第５の実験例は、鉛成分の後補正量によって膜の緻密度がどのように変わるかを実施例１１〜実施例１３並びに比較例１０及び比較例１１に基づいて確かめたものである。ここでの鉛成分の後補正量とは、鉛成分１００％中の後補正量（ｗｔ％）を示す。
その実験結果を図３６に示す。この結果から、鉛成分の後補正量は、３％以上、２０％以下が適当であり、好ましくは５％以上、１５％以下である。
［ｃ．組成の見越し補正＋鉛成分の後補正］
反強誘電体セラミック材料の粉末を合成する際に、上述した組成の見越し補正と鉛成分の後補正を組み合わせることにより、変位保持率が増加し、かつ、反強誘電体膜２２の緻密度を上げることができる。
この組み合わせに係る合成方法は、図３７に示すように、秤量の段階で、酸化鉛を所定配合量の９０％とし、ＺｒＯ₂を所定量より少なめに秤量し、ＴｉＯ₂を所定量より多めに秤量する。その後、これら粉末をボールミルで混合し（５０時間）、次いで、混合された粉末に対して１０００℃、５時間の仮焼を施す。その後、酸化鉛を所定配合量の１０％を混合し、ボールミルで混合、粉砕する（１０時間）。
［ｄ．酸化スズ粉末の微粉化］
振動部１８上での反強誘電体膜２２の均質性と変位特性を向上させるために、反強誘電体セラミック材料の粉末の合成の際に、原材料として用いる酸化スズ（ＳｎＯ₂）の比表面積を１０ｍ²／ｇ以上にする。この酸化スズの微粉化は、ＳｎＯ₂粉末のみを予め粉砕しておいて秤量に取りかかることで達成できる。
ここで、１つの実験例（便宜的に第６の実験例と記す）について説明する。この第６の実験例は、ＳｎＯ₂の比表面積の違いによってヒステリシス特性（電圧−歪み特性）の測定結果がどのように変化するかを実施例１４並びに比較例１２及び比較例１３に基づいて確かめたものである。
その実験結果を図３８に示す。比表面積が５ｍ²／ｇの比較例１２においては、ＳｎＯ₂粒子の残存があるため、組成のばらつきが大きく変位せず、比表面積が２２ｍ²／ｇの比較例１３においては、ＳｎＯ₂粒子同士の凝集があるため、組成のばらつきが大きく変位しなかった。一方、比表面積が１３ｍ²／ｇの実施例１４においては、図４８に示す特性と同様に、良好なヒステリシスを得ることができた。
従って、ＳｎＯ₂の比表面積は８ｍ²／ｇ以上、２０ｍ²／ｇ以下とすることが適当である。
［５．反強誘電体膜の焼結後における振動部の沈み込み量の抑制］
前記（２）の条件で示したように、反強誘電体膜２２の厚みを振動部１８の厚みよりも厚くしていくと、反強誘電体膜２２の焼成時における焼成収縮力が増加し、図３９Ａに示すように、振動部１８の下方へのたわみ変形が促進され、振動部１８の沈み込み量が大きくなる。
例えば、スペーサプレート１０Ｂの厚みが１５０μｍの場合、振動部１８の沈み込み量が最大１５０μｍまで発生する可能性がある。振動部１８の沈み込み量が大きいと、反強誘電体膜２２の中央部付近の表面が基体１０の表面よりも沈み込んでしまい、アクチュエータ部１２としたときの屈曲変位が小さくなるおそれがある。
そこで、図３９Ｂに示すように、振動部１８直下の空間、即ち、空所１４の深さを１０μｍ以下にする。これにより、振動部１８の沈み込み量を１０μｍ以下に抑制でき、反強誘電体膜２２の中央付近の表面が基体１０の表面よりも沈み込むことがなくなる。これは、図１２Ａ〜図１３で示す条件を簡単に実現できる手法でもあり、アクチュエータ部１２の一方向変位を確実に達成させることができる。
次に、空所１４の深さが１０μｍであるセラミック素子の２種類の製造方法について説明する。
まず、第１の方法は、基体１０は、グリーンシート又はグリーンテープである成形層を熱圧着等で積層し、次いで焼成することで一体化することができる。例えば、図４０に示すように、３層のグリーンシート又はグリーンテープ（ベースプレート１０Ａとなる層１２０Ａ、スペーサプレート１０Ｂとなる層１２０Ｂ及び閉塞プレート１０Ｃとなる層１２０Ｃ）を積層するが、そのうちの第２層（スペーサプレート１０Ｂとなる層１２０Ｂ）に、後に空所１４となる所定形状の窓部１２２を積層前に予め設けておけばよい。
また、成形型を用いる加圧成形、鋳込み成形、射出成形等によって成形層を作製し、切削、研削加工、レーザ加工、プレス加工による打ち抜き等の機械加工により、空所１４（窓部１２２）等を設けてもよい。このときに、第２層１２０Ｂの厚みを１〜１５μｍにすることが好ましい。
第２の方法は、まず、例えば図４１Ａに示すように、ベースプレート１０Ａとなるグリーンシート又はグリーンテープ１２０Ａ上に、該グリーンシート又はグリーンテープ１２０Ａと同素材のペースト１２４を印刷法により塗布して第２層（スペーサプレート１０Ｂとなる層１２０Ｂ）とする。このときの印刷パターンは窓部１２６を設けた形状とする。その後、図４１Ｂに示すように、前記第２層１２０Ｂを含む全面に第３層（閉塞プレート１０Ｃとなる層１２０Ｃ）を積層し、次いで、焼成することで、図４１Ｃに示すように、基体１０として一体化することができる。このとき、前記窓部１２６の部分に空所１４が形成され、振動部１８が形成されることになる。この場合も、第２層１２０Ｂ（この例では、ペースト１２４）の印刷パターンの厚みを１〜１５μｍにすることが好ましい。
ここで、１つの実験例（便宜的に第７の実験例と記す）について説明する。この第７の実験例は、第２層（スペーサプレート１０Ｂとなる層１２０Ｂ）と反強誘電体膜２２の厚みによって、反強誘電体膜２２の焼成後における振動部１８の沈み込み量δとピーク電圧通常印加時の変位がどのように変わるかを実施例１５及び実施例１６並びに比較例１４及び比較例１５に基づいて確かめたものである。
振動部１８の沈み込み量δとは、図４２に示すように、反強誘電体膜２２の焼成後において、振動部１８の上面中、空所１４の中央部分に対応する部分が、基体１０の上面よりも下方に沈み込んだ量を示す。
第７の実験結果を図４３に示す。この実験結果から、第２層１２０Ｂの厚みが薄いと下方への沈み込みが抑制され、かつ、大きな変位が得られるが、第２層１２０Ｂの厚みが厚いと前記沈み込みが大きく、変位も小さくなることがわかる。
なお、上記の２種類の製造方法のほかに、更に以下のような方法を採用することも可能である。
即ち、ベースプレート１０Ａとなるグリーンシートの一主面に、数１００℃の加熱で熱分解し、ガス化する有機物ペーストを空所形状のパターンで印刷塗布し、その後、閉塞プレート１０Ｃとなるグリーンシートをその表面に積層し、次いで、焼成することにより、空所１４の深さが１０μｍ以下の基体１０を得る。そして、上述のように、基体１０上に反強誘電体膜２２及び一対の電極２４ａ及び２４ｂを形成することにより、空所１４の深さが１０μｍ以下のセラミック素子を得ることができる。この場合、前記有機物ペーストとしては、例えばテオブロミン（Ｃ₇Ｈ₃Ｎ₄Ｏ₂）を適用することができる。
また、更に別の製造方法としては、ベースプレート１０Ａとなるグリーンシートの一主面に、空所形状のパターンでレーザ光を照射し、表面層を分解除去し、その後、閉塞プレート１０Ｃとなるグリーンシートをその表面に積層し、次いで、焼成することにより、空所１４の深さが１０μｍ以下の基体１０を得る。そして、上述のように、基体１０上に反強誘電体膜２２及び一対の電極２４ａ及び２４ｂを形成することにより、空所１４の深さが１０μｍ以下のセラミック素子を得ることができる。この場合、レーザ光としては、グリーンシート組成物中の有機物の化学結合を直接分解しうるエキシマレーザが、ＣＯ₂レーザ等と比較して、照射表面における熱発生が少なく、付随して生じるグリーンシートの変形や変質を最小限に抑制できる点で好ましい。
次に、第３の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｃと同様の構成を有する実施例１７と前記５つの条件を一部において満足しない比較例１６についての各ヒステリシス特性（電圧−屈曲変位特性）と各変位保持率の違いについて１つの実験例（便宜的に、第８の実験例と記す）に基づいて図２５、図４４〜図４８を参照しながら説明する。第８の実験結果を図４４に示す。
まず、比較として、バルク型素子１０４の作製条件及び歪み測定条件について説明する。バルク型素子１０４は、図２５に示すように、反強誘電体仮焼粉末を一軸プレスで成形し、焼成したものを、１２×３×１ｍｍに加工後、両主面にＡｇ電極１０２ａ及び１０２ｂを形成して作製した。そして、一方のＡｇ電極１０２ａ上に歪みゲージ１１８を貼り付け、両電極１０２ａ及び１０２ｂ間に周波数０．６Ｈｚで±４ｋＶの電圧ｅを印加し、そのときの歪みを導線１３０ａ及び１３０ｂを通じて測定した。その測定結果を図４５に示す。このバルク型素子１０４の変位保持率は１００〜１０７％であった（図４４参照）。
次に、実施例１７に係るセラミック素子の作製条件は次の通りである。前記（１）の条件である中間層１０６として厚み４μｍのＰｔ膜を形成し、前記（２）及び（５）の条件を満足するために、基体１０として厚みが５０μｍのもの（振動部１８の厚み１０μｍ、スペーサプレート１０Ｂの厚み１０μｍ、ベースプレート１０Ａの厚み３０μｍ）を使用した。また、前記（３）の条件を満足するために、ホットプレス荷重Ｐを０．６ｋｇ／ｃｍ²とし、前記（４）の条件を満足するために、反強誘電体膜２２の焼成前組成（即ち、印刷後の組成）は見越し補正と鉛成分の後補正の組み合わせで、かつ、ＳｎＯ₂粉末の比表面積を１．１ｍ²／ｇとした。
そして、反強誘電体膜２２上の一対の電極２４ａ及び２４ｂ間に周波数が１ｋＨｚ、ピーク値が±１３０Ｖのサイン波（図４６参照）を印加し、そのときの変位量をレーザ変位計を用いて連続的に測定すると、一例として図４７に示すような特性図を得た。この実施例１７においては、ピーク電圧（１３０Ｖ）での変位λｐｅと、電圧降下時における所定電圧（５０Ｖ）での変位λｃｅから、その変位保持率が８１〜９５％（図４４参照）であり、形状記憶効果が十分に発揮されていることがわかる。
一方、比較例１６に係るセラミック素子の作製条件は次の通りである。中間層１０６は形成せず、基体１０として厚みが３１０μｍのもの（振動部１８の厚み１０μｍ、スペーサプレート１０Ｂの厚み１５０μｍ、ベースプレート１０Ａの厚み１５０μｍ）を使用した。また、荷重焼成は行わず、反強誘電体膜２２の焼成前組成（即ち、印刷後の組成）においては見越し補正及び鉛成分の後補正とも行わなかった。但し、ＳｎＯ₂粉末の比表面積は１３ｍ²／ｇとした。これは、ＳｎＯ₂粉末の比表面積が８ｍ²／ｇ未満、２０ｍ²／ｇを超えると反強誘電性を示さなくなるため、ＳｎＯ₂粉末の比表面積は前記（４）の条件の指定組成範囲内とした。
そして、反強誘電体膜２２上の一対の電極２４ａ及び２４ｂ間に周波数が１ｋＨｚ、ピーク値が±１３０Ｖのサイン波（図４６参照）を印加し、そのときの変位量をレーザ変位計を用いて連続的に測定すると、図４８に示すような特性図を得た。この比較例１６においては、ピーク電圧（１３０Ｖ）での変位λｐｃと、電圧降下時における所定電圧（５０Ｖ）での変位λｃｃから、変位保持率が５０〜５４％であり（図４４参照）、形状記憶効果が十分でないことがわかる。
上述した第３の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｃでは、高い変位保持率を得るために、前記５つの条件をすべて満足させるようにしたが、７０％程度以上の変位保持率を満足させる場合は、前記５つの条件をすべて満足させる必要はなく、適宜選択して行えばよい。
［応用例］
［応用例１］
次に、応用例に係る表示装置２００について図４９〜図５２を参照しながら説明する。この応用例に係る表示装置２００は、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ（アナログ変位タイプ及びデジタル変位タイプ）を表示装置２００に適用したものである。従って、図１と対応するものについては同符号を付してその重複説明を省略する。
この応用例に係る表示装置２００は、図４９に示すように、光５０が導入される光導波板５２と、該光導波板５２の背面に対向して設けられ、かつ多数のアクチュエータ部１２が画素に対応して配列された駆動部５４を有して構成されている。
駆動部５４は、例えばセラミックスにて構成された基体１０を有し、該基体１０の各画素に応じた位置にアクチュエータ部１２が配設されている。前記基体１０は、一主面が光導波板５２の背面に対向するように配置されており、該一主面は連続した面（面一）とされ、各画素に対応した位置にそれぞれ空所１４を有する。
各アクチュエータ部１２上には、光導波板５２との接触面積を大きくして画素に応じた面積にする変位伝達部５６が接続されている。この変位伝達部５６は、実質的な発光面積を規定する板部材５６ａとアクチュエータ部１２の変位を板部材５６ａに伝達するための変位伝達部材５６ｂを有する。
変位伝達部５６の変位伝達部材５６ｂは、アクチュエータ部１２の変位を直接光導波板５２に伝達できる程度の硬度を有するものが好ましい。従って、上記変位伝達部材５６ｂの材質としては、ゴム、有機樹脂、有機接着フイルム、ガラス等が好ましいものとして挙げられるが、電極層そのもの、あるいは圧電体、ないしは上述したセラミックス等の材質であってもかまわない。最も好ましくは、エポキシ系、アクリル系、シリコーン系、ポリオレフィル系等の有機樹脂又は有機接着フイルムがよい。更に、これらにフィラーを混ぜて硬化収縮を抑制することも有効である。
板部材５６ａの材質としては、前記変位伝達部材５６ｂの材料のほか、エポキシ系、アクリル系、シリコーン系等の有機樹脂に高屈折率を有するセラミック粉末、例えばジルコニア粉末、チタニア粉末、酸化鉛粉末、それらの混合粉末等を高分散させた材料が、発光効率、平坦性維持の点で望ましい。この場合、樹脂重量：セラミック粉末重量=１：（０．１〜１０）がよい。更に、前記組成に平均粒径０．５〜１０μｍのガラス粉末をセラミック粉末に対して１：（０．１〜１．０）の割合で添加すると、光導波板５２の面との接触性、離型性が改良されるため好ましい。
なお、前記板部材５６ａは、光導波板５２と接触する部分（面）の平坦度、平滑度が、アクチュエータ部１２の変位量に比較して十分小さくすることが好ましく、具体的には、１μｍ以下、更に好ましくは０．５μｍ、特に好ましくは０．１μｍ以下である。但し、変位伝達部５６の光導波板５２と接触する部分（面）の平坦度は、変位伝達部５６が光導波板５２に接触した状態での隙間を減ずるために重要であって、接触した状態で当該接触部分が変形するものであれば上記平坦度に必ずしも限定されるものではない。
前記変位伝達部５６のアクチュエータ部本体２６への接続は、変位伝達部５６として上述した材料を使用する場合にあっては、接着剤を使って上述した材料の変位伝達部５６を積層するか、上述した材料の溶液、ペーストないしスラリーをコーティングする等の方法によりアクチュエータ部本体２６の上部、あるいは光導波板５２上に形成することにより行えばよい。
前記変位伝達部５６をアクチュエータ部本体２６に接続する場合は、好ましくは、変位伝達部材５６ｂの材料を接着剤として兼ねる材料とすればよい。特に、有機接着フイルムを採用すれば、熱をかけることで接着剤として使えるため、好ましい。
光導波板５２は、その内部に導入された光５０が前面及び背面において光導波板５２の外部に透過せずに全反射するような光屈折率を有するものであり、可視光波長領域での透過率が均一で、かつ高いものであることが必要である。このような特性を具備するものであれば、特にその材質は制限されないが、具体的には、例えばガラス、石英、アクリル等の透光性プラスチック、透光性セラミックスなど、あるいは異なる屈折率を有する材料の複数層構造体、又は表面にコーティング層を設けたものなどが一般的なものとして挙げられる。
そして、各電極２４ａ及び２４ｂに通じる配線は、図５０に示すように、多数の画素の行数に応じた本数の垂直選択線５８と、多数の画素の列数に応じた本数の信号線６０とを有する。各垂直選択線５８は、各画素（アクチュエータ部１２）における一方の電極２４ａに電気的に接続され、各信号線６０は、各画素１２の他方の電極２４ｂに電気的に接続されている。
また、前記各垂直選択線５８は、前列の画素１２に関する一方の電極２４ａから導出されて当該画素１２に関する一方の電極２４ａに接続されて、一つの行に関し、シリーズに配線された形となっている。信号線６０は、列方向に延びる本線６０ａと該本線６０ａから分岐して各画素１２の他方の電極２４ｂに接続される支線６０ｂからなる。
各垂直選択線５８への電圧信号の供給は、基体１０の他主面からスルーホール６２を通じて行われ、各信号線６０への電圧信号の供給も、基体１０の他主面からスルーホール６４を通じて行われるようになっている。
スルーホール６２及び６４の配置パターンとしては種々のものが考えられるが、図５０の例では、垂直選択線５８のスルーホール６２は、行数をＭ、列数をＮとしたとき、Ｎ＝Ｍ又はＮ＞Ｍの場合においては、ｎ行ｎ列（ｎ＝１，２・・・）の画素の近傍で、かつ（ｎ−１）列の信号線（本線）寄りの位置に形成され、Ｎ＜Ｍの場合においては、（αＮ＋ｎ）行ｎ列（α＝０，１・・・（Ｍ／Ｎの商−１））の画素の近傍で、かつ（ｎ−１）列の信号線（本線）寄りの位置に形成される。
また、垂直選択線５８のスルーホール６２は、信号線６０の場合と異なって、垂直選択線５８上に形成されないため、スルーホール６２と一方の電極２４ａ間にそれらの電気的導通を図るための中継導体６６が形成される。
なお、各垂直選択線５８と各信号線６０とが交差する部分には、互いの配線５８及び６０間の絶縁をとるためにシリコン酸化膜、ガラス膜、樹脂膜等からなる絶縁膜６８（二点鎖線で示す）が介在されている。
そして、この応用例に係る表示装置２００に対する駆動においては、画素１２に対して基本的に３つの動作（ＯＮ選択、ＯＦＦ選択及び非選択）を行わせることによって画像表示するようになっている。
具体的には、表示装置２００への画像信号の入力に基づいて、例えばシフトレジスタにて構成された垂直シフト回路による垂直選択線５８への電位供給に従って、１水平走査期間毎に、例えば１行目、２行目、・・・ｎ行目というように１行ずつ画素群が選択されていくが、選択された行のうち、ＯＮ選択すべき画素１２に関する信号線６０に対して、例えばシフトレジスタにて構成された水平シフト回路から所定の選択時点において電位供給が行われる。その結果、垂直シフト回路と水平シフト回路によってＯＮ選択された画素１２には、その反強誘電体膜２２に相転移を起こすに十分な所定電圧が印加される。このとき、当該画素におけるアクチュエータ部１２は凸状に変位し、この状態は表示装置でみた場合、ＯＮ選択状態であり、このＯＮ選択状態では、アクチュエータ部１２の凸状変形によって変位伝達部５６が光導波板５２側に変位し、該変位伝達部５６は光導波板５２に接触することとなる。
前記変位伝達部５６は、アクチュエータ部１２の変位に対応して光導波板５２の背面に接触するものであるが、変位伝達部５６が光導波板５２の背面に接触すると、例えば光導波板５２内で全反射されていた光５０が、光導波板５２の背面を透過して変位伝達部５６の表面まで透過し、変位伝達部５６の表面で散乱し、反射する。
変位伝達部５６は、光導波板５２の背面を透過した光を散乱し、反射するため、更には光導波板５２との接触面積を所定以上に大きくするために設けられるものである。即ち、変位伝達部５６と光導波板５２との接触面積により、発光面積が規定される。
なお、変位伝達部５６と光導波板５２との接触とは、変位伝達部５６と光導波板５２とが光（光導波板５２に導入される光）５０の波長以下の距離に位置することを意味する。
一方、垂直シフト回路にて選択された行に関する画素群のうち、ＯＮ選択しない画素、即ち、ＯＦＦ選択すべき画素１２については、所定の選択時点において当該画素１２に関する信号線６０の電位がＯＮ選択時の電位とは異なる電位とされ、この場合、アクチュエータ部１２の凸状変位を元に戻すに十分な電圧（逆バイアス電圧）とされる。このとき、当該画素におけるアクチュエータ部１２は、元の状態に復帰する。この状態は、表示装置２００でみた場合、ＯＦＦ選択状態であり、このＯＦＦ選択状態では、アクチュエータ部１２の前記変位動作によって変位伝達部５６が光導波板５２側から離間した状態となる。
垂直シフト回路によって選択されない行に関する全ての画素群については、非選択状態とされ、この場合、一対の電極２４ａ及び２４ｂへの電圧印加は停止される。
次に、本応用例に係る表示装置２００の動作を図４９を参照しながら説明する。まず、光導波板５２の例えば端部から光５０が導入される。この場合、光導波板５２の屈折率の大きさを調節することにより、全ての光５０が光導波板５２の前面及び背面において透過することなく内部で全反射する。この状態において、あるアクチュエータ部１２が励起状態とされて、光導波板５２の背面に前記アクチュエータ部１２に対応する変位伝達部５６が光の波長以下の距離で接近あるいは接触すると、それまで全反射していた光５０は、光導波板５２の背面に接触している変位伝達部５６の表面まで透過する。
一旦、変位伝達部５６の表面に到達した光５０は、変位伝達部５６の表面で反射して散乱光７０として、一部は再度光導波板５２の中で反射するが、散乱光７０の大部分は光導波板５２で反射されることなく、光導波板５２の前面を透過することになる。
つまり、光導波板５２の背面にある変位伝達部５６の接触の有無により、光導波板５２の前面における光の発光（漏れ光）の有無を制御することができる。特に、本応用例に係る表示装置２００では、光導波板５２に対して変位伝達部５６を接触・離隔方向に変位動作させる１つの単位を１画素とし、更にこの画素１２を多数マトリクス状、あるいは各行に関し、千鳥状に配列するようにしているため、入力される画像信号の属性に応じて各画素１２での変位動作を制御することにより、陰極線管や液晶表示装置と同様に、光導波板５２の前面に画像信号に応じた映像（文字や図形等）を表示させることができる。
このように、本応用例に係る表示装置２００においては、変位伝達部５６を選択的に変位させるアクチュエータ部本体２６の構成として、反強誘電体膜２２と、該反強誘電体膜２２に形成された一対の電極２４ａ及び２４ｂとを有するようにしている。この場合、一対の電極２４ａ及び２４ｂに所定の電圧が印加されると、アクチュエータ部本体２６に印加電圧に応じた電界が生じ、この発生電界によって反強誘電体膜２２が例えば一方向に変位する。この反強誘電体膜２２の一方向の変位によって変位伝達部５６が光導波板５２側に変位し、上述したような光導波板５２からの漏れ光の発生を誘起する。
特に、反強誘電体膜２２は、上述したように、一旦、変位が行われると、電圧無負荷状態にした場合においても、その変位を維持することから、画像表示のために、所要画素について電圧印加を行って、該所要画素１２のアクチュエータ部本体２６を変位させれば、変位が解除されるまでの期間にわたって当該所要画素１２の一対の電極２４ａ及び２４ｂへの電圧印加を停止しても、その変位が維持されて所要画素１２の発光が持続する。
ここで、本応用例に係る表示装置２００と比較例に係る表示装置の発光動作上の違いを図５１Ａ及び図５１Ｂに基づいて説明する。なお、比較例に係る表示装置は、本応用例に係る表示装置２００の反強誘電体膜２２に代えて圧電／電歪膜３６（図１０Ａ参照）を用いたものである。
比較例に係る表示装置は、選択行（垂直シフト回路にて選択された行）に関しては、一対の電極２４ａ及び２４ｂに所定電圧が印加されることから、ＯＮ選択された画素１２が発光することになるが、選択行以外の行、即ち非選択行に関する画素１２については電圧印加が停止状態となるため、これら非選択行に関する画素群のすべてのアクチュエータ部１２の変位が元に戻ってしまい、選択時での発光状態は維持されない。図５１Ｂにその様子を示す。図５１Ｂは、非選択行に関する画素１２がすべて消光状態であって、選択行のＯＮ選択された画素１２のみが発光している状態を示している。
一方、本応用例に係る表示装置２００においては、選択行に関しては、一対の電極２４ａ及び２４ｂに所定電圧が印加されることから、ＯＮ選択された画素１２が発光し、ＯＦＦ選択された画素１２は消光することになる。この発光状態は、反強誘電体膜２２の「強誘電相の歪みの状態を記憶する効果（形状記憶効果）」によって、一対の電極２４ａ及び２４ｂへの電圧印加を停止したとしても、そのまま維持される。図５１Ａにその様子を示す。この図５１Ａにおいて、選択行については、現在の水平走査線に関する画像信号に対応した発光状態を示し、選択行よりも上の行については、直前に選択したときの発光状態が維持されていることを示し、選択行よりも下の行については前フィールド期間（あるいは前フレーム期間）における発光状態が維持されていることを示す。
つまり、個別に信号配線と共通配線を形成した場合には、アクチュエータ部１２の変位を維持したい時間に対して、より短い時間だけ所定の電圧を印加すればよいため、圧電／電歪膜３６を用いた比較例に係る表示装置と比して省電力化が可能である。
更に、垂直選択線５８と信号線６０とを形成した場合において、比較例に係る表示装置のように、圧電／電歪膜３６を使用した場合には、全アクチュエータ部１２のうち、常に選択した行のアクチュエータ部１２しか同時に変位させることができないが、本応用例に係る表示装置２００においては、選択した行のアクチュエータ部１２は次の行を選択するタイミングにおいても変位を維持するため、全ての行を選択し終えた時点では、最大、全ての行の全てのアクチュエータ部１２を同時に変位維持することが可能である。
また、複雑な映像を表示可能な構成の場合には、必然的に画素数の多い構成となり、それに伴って垂直選択線５８と信号線６０を形成する構成が必要となるが、圧電／電歪膜３６を用いた比較例に係る表示装置の場合には、全アクチュエータ部１２のうち、常に選択した行のアクチュエータ部１２しか同時に変位させることができず、選択した行の画素しか発光させることができないが、本応用例に係る表示装置２００の場合には、選択した行のアクチュエータ部１２は、次の行を選択するタイミングにおいても変位を維持するため、すべての行を選択し終えた時点では、全ての行の全てのアクチュエータ部１２を同時に変位維持することが可能で、最大で、全画素を発光させることが可能となり、一定時間内における発光量を数倍から数十倍以上に増加させることが可能となる。
このようなことから、画像表示の例えば水平走査線に合わせて画素表示させる場合において、該当水平走査線に対応する画素列（画素群）に対してのみ電圧印加を行えばよいため、他の画素列（画素群）に対する電圧印加を考慮する必要がなくなり、その結果、駆動用の電気配線を行う場合に、１画素ずつ独立に配線する必要がなくなり、電気配線の簡素化を実現することができる。これは、駆動電圧供給系の負荷の低減化につながり、機械的構造及び回路構成の簡略化並びに製造コストの低廉化を図ることができる。
特に、図５２に示すように、第３の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｃ（図２４参照）を適用して表示装置２００ａとした場合、アクチュエータ部１２での変位保持率が高いため、輝度の低下や、隣接画素に対する駆動時の電圧変動による輝度の変動等は生じなくなり、高品位の画像を表示を行わせることが可能となる。
［応用例２］
次に、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ（図１参照）をリレー装置に適用した応用例に係るリレー装置２１０について図５３〜図５５Ｂを参照しながら説明する。なお、図１と対応するものについては同符号を付してその重複説明を省略する。
この応用例に係るリレー装置２１０は、図５３に示すように、例えば接地電位Ｖｓｓが印加された対向端子板８０と、該対向端子板８０の背面に対向して設けられ、かつ多数のアクチュエータ部１２がスイッチング素子として例えば１列に配列された駆動部８２を有して構成されている。
駆動部８２は、例えばセラミックスにて構成された基体１０を有し、該基体１０の各スイッチング素子に対応した位置にアクチュエータ部１２が配設されている。前記基体１０は、一主面が対向端子板８０の背面に対向するように配置されており、該一主面は連続した面（面一）とされ、各スイッチング素子（アクチュエータ部）１２に対応した位置にそれぞれ空所１４を有する。
各アクチュエータ部１２上の全面には、薄い絶縁シート（絶縁フイルム）８４．が配置され、更に、該絶縁シート８４と前記対向端子板８０との間には信号端子付きの基板８６が配置されている。なお、図５３〜図５５Ｂにおいては、図面の複雑化を避けるために一対の電極２４ａ及び２４ｂ（上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ）の記載を省略してある。
前記信号端子付き基板８６は、多数の開口８８が形成された絶縁基板９０の一方の板面（駆動部８２側を臨む板面）に、薄い金属板９２が例えば接着剤にて貼り合わされて構成され、この金属板９２は、絶縁基板９０に形成されている多数の開口８８と対応する箇所に前記開口８８と開口幅がほぼ同じとされた開口９４が多数形成され、更に、これら開口９４を閉塞するように極薄の例えばベリリウム銅からなる金属製の板ばね９６が設けられている。板ばね９６は、中央部分が一方向（対向端子板８０を臨む方向）に突出した断面形状を有する。この場合、信号端子付き基板８６における絶縁基板９０の開口８８と金属板９２の開口９４によって信号端子付き基板８６の開口９８が構成され、金属板９２と板ばね９６にて信号端子部が構成される。
また、駆動部８２の構成部材である基体１０の周囲には、アクチュエータ部本体２６の厚みとほぼ同じ高さを有する例えばセラミック部材からなる側壁９９が固着されている。
そして、本応用例に係るリレー装置２１０を作製する場合は、駆動部８２上に絶縁シート８４を例えば接着剤にて固着する。このとき、絶縁シート８４は、基体１０の側壁９９の上面と、各アクチュエータ部本体２６の上面に接着される。その後、絶縁シート８４上に信号端子付き基板８６を例えば接着剤にて貼り合わせ固着する。この貼り合わせにおいては、信号端子付き基板８６の金属板９２側の面を絶縁シート８４に対向させて貼り合わせる。このとき、板ばね９６の突出部分９６ａが信号端子付き基板８６の開口９８内を対向端子板８０側に進入するかたちとなる。その後、信号端子付き基板８６における絶縁基板９０上に対向端子板８０を例えば接着剤にて貼り合わせ固着する。この段階で、図５４に示す本応用例に係るリレー装置２１０が完成する。
前記板ばね９６の開口９８内での突出量は以下のようにして設定される。まず、図５５Ａに示すように、アクチュエータ部本体２６における反強誘電体膜２２が一方向（アクチュエータ部本体２６が対向端子板８０を臨む方向）に変位していない状態において、板ばね９６における突出部分９６ａの上端が対向端子板８０に接触しない程度とし、図５５Ｂに示すように、前記反強誘電体膜２２が一方向に変位（本実施例では５μｍ程度の変位）した状態において、板ばね９６における突出部分９６ａの上端が対向端子板８０に接触する程度とする。
そして、多数のスイッチング素子（アクチュエータ部）１２のうち、一部のスイッチング素子１２に対応する板ばね９６が対向端子板８０に接触すると、これら板ばね９６と対向端子板８０とが電気的に接続され、これら板ばね９６と対向端子板８０間に信号が流れ、例えばＯＮ動作が行われる。
このように、本応用例に係るリレー装置２１０においては、対向端子板８０の背面にある板ばね９６の接触の有無により、多数のスイッチング素子１２のＯＮ／ＯＦＦ動作を制御することができる。この場合、対向端子板８０に対して板ばね９６を接触・離隔方向に変位動作させる１つの単位を１スイッチング素子１２として考えれば、このスイッチング素子１２を例えば１列あるいはマトリクス状に配列し、入力されるスイッチング信号の属性に応じて各スイッチング素子１２での変位動作を制御することにより、多数のスイッチング形態の組み合わせを提供することができ、スイッチング動作の多様化を実現させることができる。
また、本応用例に係るリレー装置２１０は、板ばね９６を選択的に変位させるアクチュエータ部本体２６の構成として、反強誘電体膜２２と、該反強誘電体膜２２に形成された一対の電極２４ａ及び２４ｂ（上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ）とを有するようにしている。この場合、一対の電極２４ａ及び２４ｂに所定の電圧が印加されると、アクチュエータ部本体２６に印加電圧に応じた電界が生じ、この発生電界によって反強誘電体膜２２が例えば一方向に変位する。この反強誘電体膜２２の一方向の変位によって板ばね９６が対向端子板８０側に変位し、上述したようなスイッチング素子１２のＯＮ動作を誘起する。
特に、反強誘電体膜２２は、上述したように、一日、変位が行われると、電圧無負荷状態にした場合においても、その変位を維持するため、スイッチング動作のために、所要スイッチング素子１２について電圧印加を行って、該所要スイッチング素子１２のアクチュエータ部本体２６を変位させれば、変位が解除されるまでの期間にわたって当該所要スイッチング素子１２の一対の電極２４ａ及び２４ｂ（上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂ）への電圧印加を停止しても、その変位が維持されて所要スイッチング素子１２のＯＮ動作が持続するため、消費電力が大幅に低減され、ランニングコストの低廉化を実現させることができる。
また、スイッチング制御を行と列を特定して行う場合は、該当行に対応するスイッチング素子列に対してのみ電圧印加を行えばよく、他のスイッチング素子列に対する電圧印加を考慮する必要がなくなるため、駆動用の電気配線を行う場合に、１素子ずつ独立に配線する必要がなくなり、電気配線の簡素化を実現することができる。これは、駆動電圧供給系の負荷の低減化につながり、機械的構造及び回路構成の簡略化並びに製造コストの低廉化を図ることができる。
つまり、このリレー装置２１０は、従来のマグネット方式のリレー装置に比べて１ミリピッチという高集積化が可能であり、かつ制御電圧を常時印加しなくとも接触状態を維持できるため、省電力なリレー装置２１０となる。
［応用例３］
次に、応用例に係る容量可変コンデンサ２２０について図５６Ａ〜図５８を参照しながら説明する。この応用例に係る容量可変コンデンサは、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ（特にアナログ変位タイプ）あるいは第２の実施の形態に係るセラミック素子１００Ｂ（特に第１のアナログ変位タイプ）を容量可変コンデンサに適用したものである。従って、それぞれについて第１応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ａ及び第２応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ｂと記す。また、図１及び図１５Ａと対応するものについては同符号を付してその重複説明を省略する。
これらの応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ａ及び２２０Ｂは、コンデンサの容量Ｃを可変にするための制御電極とコンデンサの両端電極を有して構成されている。そして、コンデンサの容量Ｃが可変になる原理は、まず、反強誘電体膜２２において、相転移領域Ｚｔの誘電率は、相転移されていない領域の誘電率よりも高い。従って、制御電極に印加される電圧を変えて、反強誘電体膜２２内に発生する相転移領域Ｚｔの範囲を変えることによって、コンデンサの容量Ｃを可変にすることができる。
これを知って、まず、前記第１応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ａは、図５６Ａに示すように、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａを適用したものであり、例えばセラミックスにて構成された基体１０の所定箇所にコンデンサ部８０が配設されて構成されている。
コンデンサ部８０は、図５６Ａに示すように、前記振動部１８と固定部２０のほか、該振動部１８に形成された反強誘電体膜２２と、該反強誘電体膜２２の上面に形成された一対の制御電極（一方の制御電極２４ａ及び他方の制御電極２４ｂ）と、反強誘電体膜２２の上面及び下面にそれぞれ形成されたコンデンサの両端電極（上部電極４０ａと下部電極４０ｂ）とを有して構成されている。
次に、前記第１応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ａの動作原理について図５６Ａ〜図５７Ｂを参照しながら説明する。
まず、図５６Ａに示すように、一方の制御電極２４ａ及び他方の制御電極２４ｂをそれぞれ例えば接地電位として、一対の制御電極２４ａ及び２４ｂ間の印加電圧を０とした場合は、コンデンサ部８０に電界は生じないため、両端電極４０ａ及び４０ｂ間に現れる容量Ｃは、反強誘電体膜２２が本来持っている誘電率によって支配され、初期容量値Ｃ０とされる。
次に、前記一対の制御電極２４ａ及び２４ｂに印加される電圧ＶをＶ１、Ｖ２及びＶ３というように徐々に電圧値（レベル）を上げていった場合についてみると、まず、図５６Ｂに示すように、印加電圧Ｖ＝Ｖ１（＞０Ｖ）のとき、即ち、印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄよりも小さい電圧Ｖ１のときは、コンデンサ部８０に発生する電界が弱いため、反強誘電体膜２２には相転移は生じず、このため、両端電極４０ａ及び４０ｂ間に現れる容量Ｃは、反強誘電体膜２２が本来持っている誘電率によって支配され、この場合も初期容量値Ｃ０とされる。
図５７Ａに示すように、印加電圧Ｖが前記所定電圧Ｖｄを越えた段階から、一対の制御電極２４ａ及び２４ｂ間の距離が最も短い領域や一対の制御電極２４ａ及び２４ｂに最も近い領域が相転移させるのに十分な電界強度を有することとなって、これらの領域において相転移が生じ（相転移領域Ｚｔの発生）、その相転移に伴って反強誘電体膜２２の誘電率が高くなり、両端電極４０ａ及び４０ｂ間に現れる容量Ｃは、前記初期容量値Ｃ０よりも高い容量値Ｃ１となる。
図５７Ｂに示すように、前記印加電圧Ｖが更に上昇することに伴って、相転移させるのに十分な電界強度の領域が徐々に広がり、一対の制御電極２４ａ及び２４ｂ間の距離が長い領域や一対の制御電極２４ａ及び２４ｂから遠い領域においても相転移が生じることになる（相転移領域Ｚｔの拡大）。この場合、相転移領域Ｚｔの拡大に応じて反強誘電体膜２２の誘電率が更に高くなり、両端電極４０ａ及び４０ｂ間に現れる容量Ｃは、前記印加電圧Ｖ２時の容量値Ｃ１よりも更に高い容量値Ｃ２となる。
このように、第１の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ（特にアナログ変位タイプ）のものを利用することにより、一対の制御電極２４ａ及び２４ｂへの印加電圧Ｖの上昇に応じて両端電極４０ａ及び４０ｂに現れる容量Ｃがアナログ的に変化する容量可変コンデンサを簡単に構成することができる。しかも、薄膜タイプにて構成することができるため、可変コンデンサが組み込まれたパラメトリック増幅器や周波数自動制御回路（ＡＦＣ）並びに各種通信機器等の小型化を促進させることができる。
次に、第２応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ｂについて図５８を参照しながら説明する。なお、図５６Ａと対応するものについては同符号を付してその重複説明を省略する。
この第２応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ｂは、図５８に示すように、前記第１応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ａとほぼ同じ構成を有するが、反強誘電体膜２２の膜厚分布に２０％以上のばらつきを有し、かつ、反強誘電体膜２２の上面に形成された一対の電極２４ａ及び２４ｂがコンデンサの両端電極とされ、反強誘電体膜２２の上面及び下面に形成された上部電極４０ａ及び下部電極４０ｂが一対の制御電極（上部制御電極及び下部制御電極）とされている点で異なる。
この場合も、前記第１応用例に係る容量可変コンデンサ２２０Ａと同様に、上部制御電極４０ａ及び下部電極４０ｂ間に印加される電圧Ｖの上昇に応じて反強誘電体膜２２上に形成された両端電極２４ａ及び２４ｂに現れる容量Ｃがアナログ的に変化する容量可変コンデンサを簡単に構成することができる。
上述した例では、第１〜第３の実施の形態に係るセラミック素子１００Ａ〜１００Ｃを表示装置２００、リレー装置２１０及び容量可変コンデンサ（２２０Ａ，２２０Ｂ）に適用した例を示したが、その他、フィルター、超音波センサや角速度センサや加速度センサや衝撃センサ等の各種センサ、マイクロフォン、発音体（スピーカー等）、ディスクリミネータ、動力用や通信用の振動子や発振子や共振子にも適用させることができ、サーボ変位素子、パルス駆動モータ、超音波モータ、圧電ファン等に用いられるアクチュエータ等にも適用させることができる。
なお、本発明に係るセラミック素子の種々の実施の形態例並びに該セラミック素子を表示装置、リレー装置及び容量可変コンデンサに適用した場合の応用例を具体的に説明してきたが、本発明は、前記実施の形態例並びに応用例に係る表示装置、リレー装置及び容量可変コンデンサに限定されて解釈されるものではなく、本発明の範囲を逸脱しない限りにおいて、種々なる変更、修正、改良等を加えうるものである。
産業上の利用可能性
以上説明したように、本発明に係るセラミック素子によれば、反強誘電体膜と該反強誘電体膜に形成された少なくとも一対の電極とを有するアクチュエータ部本体と、前記アクチュエータ部本体を支持する振動部と、前記振動部を振動可能に支持する固定部とを有し、かつ、分極後の前記反強誘電体膜において、前記電極に印加される電圧に応じて、その平均誘電率がアナログ的に増加する領域を有することを特徴としている。
このため、印加電圧に応じて機械的変位量がアナログ的に変化し、更に駆動電圧の印加終了後における電圧無負荷状態において、駆動電圧印加時と同等の変位量を維持することができるという効果が達成される。
これにより、印加電圧に対応して変位量の大小を精密に制御可能であって、かつ、微細な素子においても、圧電／電歪膜型素子を上回る大きな変位発生力を得ることが可能となり、様々なアプリケーション（表示装置やフィルタ等）を構成した場合に、駆動用の電気配線を簡素化でき、製造コストの低廉化を有効に図ることができる。

Claims (25)

1. 少なくとも１つの空所によって薄肉とされた振動部と、該振動部を振動可能に支持する固定部とを一体に有する基体と、
   前記振動部上に形成された反強誘電体膜と、該反強誘電体膜に形成された少なくとも一対の電極とを有するアクチュエータ部本体とを有し、
   前記一対の電極は、前記反強誘電体膜の一主面に形成され、
   前記反強誘電体膜が分極された状態で、前記一対の電極に印加される電圧に応じて一方向への変位が連続的に増大する部分を有し、
   前記一対の電極への印加電圧によって発生する前記反強誘電体膜中の電界の強さが前記反強誘電体膜中の位置に応じて異なることを特徴とするセラミック素子。
2. 請求項１記載のセラミック素子において、
   前記一対の電極における電極間距離が大きい領域と小さい領域とを有することを特徴とするセラミック素子。
3. 請求項１又は２記載のセラミック素子において、
   分極後の前記反強誘電体膜は、前記一対の電極に印加される電圧に応じて、その平均誘電率が連続的に増加する領域を有することを特徴とするセラミック素子。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
   前記反強誘電体膜の組成が、Ａｇを酸化銀換算で１〜１０重量％含有する組成であることを特徴とするセラミック素子。
5. 請求項１〜４のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
   前記反強誘電体膜の平均膜厚をｔ、電極間のピッチをｐとしたとき、
   ｐ／ｔ≦２．５
   を満足することを特徴とするセラミック素子。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
   前記振動部の厚みが前記反強誘電体膜の厚みよりも薄く、
   少なくとも前記振動部と前記反強誘電体膜は、前記振動部上に前記反強誘電体膜を形成した後、焼成することにより一体化され、
   前記振動部直下の前記空所の深さが１０μｍ以下であることを特徴とするセラミック素子。
7. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
   少なくとも前記振動部が、部分安定化ジルコニアを含むセラミック材料で構成されていることを特徴とするセラミック素子。
8. 請求項１〜６のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
   前記反強誘電体膜の成分に錫を含有し、
   前記振動部は、アルミナを０．１〜５モル％含有する部分安定化ジルコニアを含むセラミック材料で構成されていることを特徴とするセラミック素子。
9. 少なくとも１つの空所によって薄肉とされた振動部と、該振動部を振動可能に支持する固定部とを一体に有する基体と、
   前記振動部上に形成された反強誘電体膜と、該反強誘電体膜に形成された少なくとも一対の電極とを有するアクチュエータ部本体とを有し、
   前記一対の電極のうち、一方の電極が前記反強誘電体膜の一主面に形成され、他方の電極が前記反強誘電体膜の他主面に形成され、
   前記反強誘電体膜が分極された状態で、前記一対の電極に印加される電圧に応じて一方向への変位が連続的に増大する部分を有し、
   前記一対の電極への印加電圧によって発生する前記反強誘電体膜中の電界の強さが前記反強誘電体膜中の位置に応じて異なることを特徴とするセラミック素子。
10. 請求項９記載のセラミック素子において、
    前記一対の電極における電極間距離が大きい領域と小さい領域とを有することを特徴とするセラミック素子。
11. 請求項９又は１０記載のセラミック素子において、
    分極後の前記反強誘電体膜は、前記一対の電極に印加される電圧に応じて、その平均誘電率が連続的に増加する領域を有することを特徴とするセラミック素子。
12. 請求項９〜１１のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
    前記反強誘電体膜が組成が、Ａｇを酸化銀換算で１〜１０重量％含有する組成であることを特徴とするセラミック素子。
13. 請求項９〜１２のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
    前記一方の電極の面積をＡ、前記他方の電極の面積をＢとしたとき、
    Ａ／Ｂ≧２又はＡ／Ｂ≦０．５
    を満足することを特徴とするセラミック素子。
14. 請求項９〜１３のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
    前記振動部の厚みが前記反強誘電体膜の厚みよりも薄く、
    少なくとも前記振動部と前記反強誘電体膜は、前記振動部上に前記反強誘電体膜を形成した後、焼成することにより一体化され、
    前記振動部直下の前記空所の深さが１０μｍ以下であることを特徴とするセラミック素子。
15. 請求項９〜１４のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
    少なくとも前記振動部が、部分安定化ジルコニアを含むセラミック材料で構成されていることを特徴とするセラミック素子。
16. 請求項９〜１４のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
    前記反強誘電体膜の成分に錫を含有し、
    前記振動部は、酸化チタンを０．１〜１０モル％含有する部分安定化ジルコニアを含むセラミック材料で構成されていることを特徴とするセラミック素子。
17. 請求項９、１２、１３、１４又は１６記載のセラミック素子において、
    前記電極間に挟まれた領域の膜厚分布に２０％以上のばらつきがあることを特徴とするセラミック素子。
18. 少なくとも１つの空所によって薄肉とされた振動部と、該振動部を振動可能に支持する固定部とを一体に有する基体と、
    前記振動部上に形成された反強誘電体膜と、該反強誘電体膜に形成された少なくとも一対の電極とを有するアクチュエータ部本体とを有し、
    前記一対の電極は、前記反強誘電体膜の一主面に形成され、
    前記振動部と前記反強誘電体膜との間に中間層を有することを特徴とするセラミック素子。
19. 請求項１８記載のセラミック素子において、
    前記中間層は、Ｐｔ又はＰｄの金属、あるいは両者の合金であることを特徴とするセラミック素子。
20. 請求項１８又は１９記載のセラミック素子において、
    前記中間層の厚みが１μｍ以上、１０μｍ以下であることを特徴とするセラミック素子。
21. 請求項２０記載のセラミック素子において、
    前記中間層の厚みが２μｍ以上、６μｍ以下であることを特徴とするセラミック素子。
22. 請求項１〜２１のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
    前記反強誘電体膜の組成が、下記の組成であることを特徴とするセラミック素子。
    Ｐｂ_0.99Ｎｂ_0.02｛［Ｚｒ_xＳｎ_1-x］_1-yＴｉ_y｝_0.98Ｏ₃
    但し、0.5＜ｘ＜0.6,0.05＜ｙ＜0.063,0.01＜Ｎｂ＜0.03
23. 請求項１〜２２のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
    前記基体の前記振動部及び前記固定部は、セラミックグリーンシート又はセラミックグリーンテープを積層し、一体焼成して構成されていることを特徴とするセラミック素子。
24. 請求項１〜２３のいずれか１項に記載のセラミック素子において、
    前記基体は、少なくとも、窓部が設けられたスペーサプレートと該スペーサプレートの一方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋する閉塞プレートとが積層され、一体焼成されて構成されていることを特徴とするセラミック素子。
25. 請求項２４記載のセラミック素子において、
    前記基体は、前記スペーサプレートの他方の側に重ね合わされて前記窓部を覆蓋し、かつ前記窓部に対応する位置に１つ以上の貫通孔を有する少なくとも１層のベースプレートが積層され、前記スペーサプレート及び前記閉塞プレートと共に一体焼成されて構成されていることを特徴とするセラミック素子。

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