JP3902808B2 - ２つの集積回路を有する基板 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は２つの集積回路を有する基板に関する。
【０００２】
【従来の技術】
多くの集積回路が取付けられている基板はその製造後に一般に工場側で機能検査を受ける。この機能検査の計画の際の重要な目標は、検査時間を短縮することである。従って、一般に個々の検査工程は、頻繁に生ずる不良品をできるだけ早く検出し、またその後の検査工程を省略できるように順次実施される。それに応じて特に不良を生じやすい機能に関する検査が先ず行われる。
【０００３】
個々の集積回路の検査の際に最初の工程として集積回路の端子と自動検査装置の端子との電気的接続の検査を行うことは知られている。一般にこのような接触検査は、特定の電位が集積回路の端子と接続されている自動検査装置の接触部に与えられ、またその際に生ずる電流が測定されるような仕方で行われる。完全な電気的接続の際の電流値が知られているならば、検査作動の間に測定された電流値により電気的接続に関する判定結果が得られる。その際に１つまたは多くの集積回路端子との電気的接続が完全でないことが示されるならば、その後の機能検査は省略される。
【０００４】
同一の基板の上に取付けられた多数の集積回路の端子と基板の相応の接触部との間の電気的接続の検査を行うことが望まれることがある。しかしその際に、特に同一形式の集積回路が基板の上に取付けられているならば（たとえばメモリ集積回路を有するいわゆるモジュール基板において）、種々の集積回路の端子が基板を介して互いに接続されているという問題が生ずる。その例は集積回路の共通のアドレス端子である。従って、接触検査を個々の集積回路に対して以上に述べた方法により行う試みは成功していない。より複雑な全体回路に基づいて期待すべき電流の決定に困難を伴い、また集積回路の相互の影響が過大である。さらに、集積回路のどれに接触不良が生じているかが確認できない。
【０００５】
米国特許第 3,867,693号明細書にはこれらの個々の集積回路と検査ピンとの間の接触を検査するための検査回路を有する集積回路が示されている。
【０００６】
米国特許第 4,894,605号明細書には基板の上に取付けられた多数の回路の接触検査を行うことが示されている。この従来技術では、集積回路の互いに接続されている端子の順次検査、すなわち時間的に次々と行われる検査が示されている。同時には常に端子のただ１つのみが検査される。
【０００７】
ヨーロッパ特許出願公開第 0008002号によれば共通の基板の上の多数の集積回路の間の電気的接続が検査され得る。集積回路の各々はそのために、集積回路のいずれにせよ必要な端子に追加して必要とされる特別な端子（“共通出力端子”）を有する。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、基板の上に取付けられた多数のこのような集積回路の接触検査を可能にする基板を提供することである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
この課題は請求項１の特徴を有する基板により解決される。
【００１０】
基板の上に配置されている集積回路はそれぞれ集積回路の端子と接続されている基本装置を含んでいる。基本装置は集積回路が特別な検査作動の外側で満足すべきすべての機能を実行する役割をする。
【００１１】
集積回路は基本装置とならんで、集積回路の第１の端子における検査信号の存在の際に相応の結果信号を集積回路の１つまたは多数の端子に伝達する追加的な検査装置を含んでいる。基板の上に取付けられた集積回路の接触検査を一義的な仕方で行うためには、検査信号を集積回路の第１の端子との電気的接続を検査されるべき基板の第１の接触面に与えることが必要である。集積回路の第２の端子と接続されている基板の第２の接触面から次いで結果信号が取り出され得る。その際に検査装置の同一の出力端において検査装置の種々の入力端における検査信号に対する結果信号が次々と出力され得る。同時に検査装置の多数の入力端に与えられている検査信号に対して、共通の結果信号が検査装置の出力端において出力されることも可能である。
【００１２】
一義的な結果信号、従ってまた集積回路の端子の電気的接続に関する一義的な判定結果を得るための前提条件は、基板の第２の接触面に与えられている結果信号が他の信号により誤らせられないことである。従って、第２の接触面として、接触検査の間に同時に結果信号を誤らせる信号を与えられる基板の点への電気的接続を有していないもののみが考慮の対象になる。特に第２の接触面は第２の接触面に結果信号が与えられている間に結果信号を乱す検査信号が与えられる第１の接触面と接続されていてはならない。また、同時に同一形式の結果信号が与えられている多数の第２の接触面が互いに接続されていてはならない。しかし、２つの結果信号がたとえばそれらの周波数に関して相違しているならば、両結果信号は互いに接続されている第２の接触面に同時に生じ得る。２つのこのような相い異なる結果信号は集積回路において同一の第２の端子において重なり得る。
【００１３】
本発明による基板により、結果信号に基づいて、電気的接続が完全でない集積回路を検出することが可能である。
【００１４】
本発明により、接触面と第１の端子との間の電気的接続だけでなく、同時にこれらの端子と集積回路の内部との間の電気的接続をも検査することが可能である。この接続は一般にボンディングワイヤを介していわゆるボンディングパッドへ形成される。第１の端子の１つと検査装置の入力端の１つと接続されている相応のボンディングパッドとの間のボンディングワイヤによる電気的接続がこうして同じく検査可能となる。
【００１５】
【実施例】
本発明を以下に図面により一層詳細に説明する。
【００１６】
図１には２つの第１の端子５および２つの第２の端子６ならびに基本装置２０を有する集積回路１０が示されている。その際に基本装置２０は集積回路１０が正常作動の間に満足すべき機能を保証するために必要なすべての回路構成要素を含んでいるものとする。基本装置２０は２つの入力端２５および２つの出力端２６を有し、それらの各々は第１の端子５または第２の端子６の１つと接続されている。
【００１７】
基本装置２０に対して追加的に回路１０は検査作動の間に回路１０の端子５の接触検査を実施するための、２つの入力端２３および２つの出力端２４を有する検査装置２１を有する。その際に検査装置２１の入力端２３は第１の端子５と、また出力端２４は第２の端子６と接続されている。この実施例では検査装置２１の入力端２３の１つは基本装置２０の入力端２５の１つと、また入力端２３の他方は基本装置２０の入力端２６の１つと接続されている。同じく検査装置２１の出力端２４の１つは基本装置２０の入力端２５の他方と、また検査装置２１の出力端２４の他方は基本装置２０の出力端２６の他方と接続されている。
【００１８】
検査装置２１の入力端２３と接続されている第１の端子５に検査信号が与えられ得る。検査装置２１はその受信の際に相応の結果信号をその出力端２４と接続されている第２の端子６に伝達する。
【００１９】
本発明による集積回路の機能にとって、第１の端子５および第２の端子６が基本装置２０の入力端２５または出力端２６と接続されているかどうかは重要なことではない。検査作動中に検査信号も結果信号も基本装置２０により影響されないことだけが必要である。
【００２０】
結果信号が基本装置２０の出力信号により影響されないように、検査装置２１の出力端２４は基本装置２０の入力端２５とのみ接続するように構成し得る。
【００２１】
このことはたとえば、基本装置２０が接触検査の間は、たとえば供給電位が回路１０に与えられないことによって、不能動化されることにより達成され得る。また、基本装置２０はたとえばダイナミックメモリにおけるＣＡＳ（行アドレスストローブ）およびＲＡＳ（列アドレスストローブ）のような特別な制御信号の使用により不能動状態に移すことも考えられる。たとえば基本装置２０の出力端２６が３状態出力端であれば、それらは高抵抗状態に移され得る。さらに、基本装置２０の出力端２６が不能動化される特別な検査モードを用意することも考えられる。
【００２２】
検査装置２１が正常作動中に基本装置２０の機能を阻害しないように、検査装置２１は、それが正常作動中は不能動であり、また検査の間のみ能動化信号Ｃにより能動化されているように構成することもできる。その際に能動化信号Ｃは検査モード認識回路２２の出力信号であってよい（図５）。
【００２３】
さらに、検査信号および／または結果信号の電位は正常作動中に相応の端子５、６に与えられている信号の電位から偏差していてよい。このようにして、たとえばダイオードの使用により、検査および結果信号が検査装置のみに影響し、または正常作動の間は外部から回路１０に与えられる信号が基本装置２０のみに影響することが容易に達成される。相応の検査装置２１の実施例は後で図３および図４により説明される。
【００２４】
図１中で、概要を示されている検査装置２１はさらに２つの構成要素２１ａおよび２１ｂに分けられている。これらの構成要素２１ａ、２１ｂはたとえば図３または図４中の実施形態により構成されていてよい。図１によれば第１の端子５の各々は入力端２３の１つ、検査装置２１の構成要素２１ａ、２１ｂの１つおよびそれらの出力端２４の１つを介して第２の端子６のそれぞれ１つと接続されている。
【００２５】
それに対して図２には、２つの第１の端子５が検査装置２１の各１つの入力端２３と接続されており、他方において検査装置２１が第２の端子６と接続されているただ１つの出力端２４を有する実施例が示されている。この場合、検査装置２１は両方の第１の端子５に与えられている検査信号に対して相応の結果信号を同一の第２の端子６に伝達する。その際に第１の端子５の接触検査が順次または同時に行われ得る。後者の場合に対してはたとえば検査装置２１に配置されているアンド論理回路Ｕを介しての論理演算が適している。このようなアンド論理回路Ｕはたとえば、図５および図６に示されており、また後でさらに説明する検査装置２１に対する実施例の構成部分である。
【００２６】
図３には、検査信号および結果信号の電位が回路１０の基準電位である接地電位にくらべて負である検査装置２１の実施例が示されている。それに対して正常作動中は第１の端子５および第２の端子６における信号は正の電位を有し得る。こうしてこの実施例では正常作動中の検査装置２１の不能動化が達成される。
【００２７】
第１のダイオードＤ１の陰極は第１の端子５の１つと接続されている。第１のダイオードＤ１の陽極は第１の回路節点Ａおよび第１のｎチャネル電界効果トランジスタＮ１のチャネルパスを介して第２の端子６の１つと接続されている。第１の電界効果トランジスタＮ１のゲートは回路１０の基準電位Ｖｒｅｆと接続されている。第１の回路節点Ａは第２のｎチャネル電界効果トランジスタＮ２のチャネルパスを介して基準電位Ｖｒｅｆと接続されている。第２の電界効果トランジスタＮ２のゲートは回路１０の供給電位ＶＣＣと接続されている。基準電位Ｖｒｅｆはたとえば接地電位であってよい。
【００２８】
第２の電界効果トランジスタＮ２を介して、第１の端子５に与えられている信号が基準電位Ｖｒｅｆにくらべて正である集積回路１０の正常作動の間の第１の回路節点Ａにおける電位が、基準電位Ｖｒｅｆに保たれる。検査作動中に第１の端子５に基準電位Ｖｒｅｆにくらべて負の検査信号が第１の端子５に与えられると、電界効果トランジスタＮ１およびＮ２ならびに第１のダイオードＤ１の相応のディメンジョニングの際に検査信号の負の電位が回路節点Ａに生ずる。回路節点Ａに生ずる検査信号が第２の端子６に通されるように、第１の電界効果トランジスタＮ１が開かれる。この実施例では、第１の電界効果トランジスタＮ１が遮断するように、正常作動の間の第２の端子６における信号は基準電位Ｖｒｅｆにくらべて正である。
【００２９】
図３中の第１のダイオードＤ１はたとえば相応に接続された電界効果トランジスタにより実現されていてよい。多数の第１の端子５を順次検査し得るように、それらの各々をそれぞれ第１のダイオードＤ１を介して回路節点Ａと接続することも可能である。
【００３０】
図４には、検査装置２１の他の実施例が示されており、この実施例では正常作動中の第１の端子５における信号が基準電位Ｖｒｅｆにくらべて負の電位を有する。それに対して検査信号は基準電位Ｖｒｅｆにくらべて正の電位を有する。第２のダイオードＤ２の陽極は第１の端子５の１つと接続されており、他方において第２のダイオードＤ２の陰極は第２の回路節点Ｂを介して第３のダイオードＤ３の陽極と接続されている。第３のダイオードＤ３の陰極は第２の端子６の１つと接続されている。第２の回路節点Ｂは第３のｎチャネル電界効果トランジスタＮ３を介して基準電位Ｖｒｅｆと接続されている。第３の電界効果トランジスタＮ３のゲートは供給電位ＶＣＣと接続されている。
【００３１】
第２のダイオードＤ２および第３のダイオードＤ３は相応に接続された電界効果トランジスタとして構成されてもよい。多数の第１の端子５を順次検査し、また相応の結果信号に対して同一の第２の端子６を利用し得るように、第１の端子５の各々がそれぞれ第２のダイオードＤ２を介して第２の回路節点Ｂと接続され得る。
【００３２】
図５には、検査装置２１の別の実施例として、検査および結果信号の電位が基準電位Ｖｒｅｆにくらべて正である実施例が示されている。この実施例は第２の端子の多数を同時に検査するのに適している。第１の端子５の２つが各１つの第４のｎチャネル電界効果トランジスタＮ４および第５のｎチャネル電界効果トランジスタＮ５のゲートと接続されている。第４の電界効果トランジスタＮ４および第５の電界効果トランジスタＮ５のチャネル区間は供給電位ＶＣＣと第２の端子６との間に直列に配置されている。両電界効果トランジスタＮ４およびＮ５により両方の第１の端子５の間のアンド論理回路Ｕが実現されている。供給電位ＶＣＣと接続されているアンド論理回路Ｕと第２の端子６との間に第６のｎチャネル電界効果トランジスタＮ６を挿入することにより、能動化信号Ｃにより第６の電界効果トランジスタＮ６をそのゲートを介して駆動する際に検査装置２１が検査作動に能動化され得る。能動化信号Ｃはたとえば検査モード認識回路２２の出力信号であってよい。検査モード認識回路２２はたとえば追加的な検査コードを回路１０の端子に与えることにより能動化され得る。
【００３３】
図６には、検査装置２１の別の実施例として、検査および結果信号の電位が基準電位Ｖｒｅｆにくらべて正である実施例が示されている。この実施例においても、２つの第１の端子５が、第７の電界効果トランジスタＮ７および第８の電界効果トランジスタＮ８の直列回路から形成されるアンド論理回路Ｕを介して同時に検査可能である。アンド論理回路Ｕは一方では供給電位ＶＣＣと、また他方では第３の回路節点Ｃと接続されている。第３の回路節点Ｃは第１の抵抗Ｒ１および第９のｎチャネル電界効果トランジスタＮ９のチャネル区間を介して基準電位Ｖｒｅｆと接続されている。さらに供給電位ＶＣＣは、たとえば電界効果トランジスタとして構成された第４のダイオードＤ４、第２の抵抗Ｒ２および第１０のｎチャネル電界効果トランジスタＮ１０のチャネル区間を介して基準電位Ｖｒｅｆと接続されている。第９の電界効果トランジスタＮ９のドレインは第１０の電界効果トランジスタＮ１０のゲートと、またその逆に接続されている。さらに第１の供給電位ＶＣＣは第１１のｎチャネル電界効果トランジスタＮ１１のチャネル区間を介して第２の端子６と接続されている。第１１の電界効果トランジスタＮ１１のゲートは第３の回路節点Ｃと接続されている。
【００３４】
正常作動中は両方の第１の端子５における信号は同時に基準電位Ｖｒｅｆの上側の特定のしきい値を超過してはならない。このしきい値は回路のディメンジョニング（たとえばトランジスタのカットオフ電圧）から生ずる。次いで、第７の電界効果トランジスタＮ７および第８の電界効果トランジスタＮ８により形成されるフリップフロップにより第３の回路節点Ｃにおける電位が基準電位Ｖｒｅｆに保たれる。それにより、基準電位Ｖｒｅｆよりも大きいかそれに等しい第２の端子６における信号の際に第１１の電界効果トランジスタＮ１１が遮断する。検査作動中に両方の第１の端子５に正の検査信号が与えられていると、第３の回路節点Ｃが供給電位ＶＣＣと接続される。フリップフロップが切換わり、また第１１の電界効果トランジスタＮ１１が第２の端子６を供給電位ＶＣＣと接続する。
【００３５】
図７には、本発明による２つの集積回路１０が取付けられている基板１１が示されている。第１の端子５は基板１１の第１の接触面１と、また第２の端子６は第２の接触面２と接続されている。図７に示されている実施例は図２による２つの同一形式の集積回路１０である。この実施例では第１の端子５のそれぞれ２つが相応の第１の接触面１および基板１１の上に配置された接続線を介して互いに、また基板１１の各１つの第１の外部端子３０と接続されている。結果信号を供給する第２の端子６は相応の第２の接触面２を介して基板１１の第２の外部端子３１と接続されている。
【００３６】
基板１１の上に取付けられた集積回路１０の接触検査を行うために、いま検査信号が第１の外部端子３０に与えられる。第１の接触面１と第１の端子５との間および相応の第２の端子６と第２の接触面２との間の電気的接続が存在すると、相応の結果信号が第２の外部端子３１において記録され得る。
【００３７】
他の実施例では第１の外部端子３０および／または第２の外部端子３１は省略され得る。その場合、検査信号または結果信号は接触ピンおよび相応の接触個所を介して基板１１に直接に与えられ、またはそれから取り出されなければならない。
【００３８】
接触検査の一義的な結果が得られるように、結果信号に基づいて第２の接触面２に生ずる信号が一義的に相応の結果信号に帰することが必要である。このことがその誤りなしに可能であるかぎり、第２の接触面２における結果信号は他の信号により重畳され得る。
【００３９】
特に基板１１を介して第２の端子６のいずれも検査作動の際に等しい時点で完全な電気的接続の際に同一形式の結果信号を有する他の第２の端子６と接続されていてはならない。なぜならば、その場合には、これらの第２の端子の１つが誤りのある電気的接続に基づいて結果信号を供給しないのかどうかが確認可能でないからである。
【００４０】
結果信号の誤りは、図７中のように、第２の接触面２が互いに、または他の接触面と接続されていないならば、有利な仕方で避けられ得る。従って、本発明による基板１１によれば、特に第１の端子５は互いに接続されているが第２の端子６は互いに隔てられている同一形式の本発明による集積回路１０の使用の際に第１の端子５ならびに第２の端子６の接触検査を行うことが特に簡単である。
【００４１】
相応の第２の接触面２における期待される結果信号の存在は同時にこれらの第２の接触面２とそれらと接触している第２の端子６との間の正常な電気的接続に関する証拠である。
【図面の簡単な説明】
【図１】基板の上に位置している集積回路の実施例を示すブロック図。
【図２】集積回路の他の実施例を示すブロック図。
【図３】集積回路に含まれている検査装置の実施例を示すブロック図。
【図４】集積回路に含まれている検査装置の別の実施例を示すブロック図。
【図５】集積回路に含まれている検査装置の別の実施例を示すブロック図。
【図６】集積回路に含まれている検査装置の別の実施例を示すブロック図。
【図７】本発明による基板の実施例を示すブロック図。
【符号の説明】
１ 第１の接触面
２ 第２の接触面
５ 第１の端子
６ 第２の端子
１０ 集積回路
１１ 基板
２０ 基本装置
２１ 検査装置
２３ 入力端
２４ 出力端
２５ 入力端
２６ 出力端
３０ 第１の外部端子
３１ 第２の外部端子
Ｕ アンド論理回路
Ｖｒｅｆ 基準電位
ＶＣＣ 供給電位

Claims (8)

1. ２つの集積回路（１０）を有する基板において、集積回路（１０）が各々基本装置（２０）および検査装置（２１）を有し、
   基本装置（２０）が集積回路（１０）の正常作動の間に各回路（１０）に予定されている機能を満足する構成要素を含んでおり、
   各基本装置（２０）が入力端（２５）および出力端（２６）を有し、それらの各々が各集積回路（１０）の各１つの第１の端子（５）または第２の端子（５）と接続されており、
   各検査装置（２１）が入力端（２３）および少なくとも１つの出力端（２４）を有し、その際に各入力端（２３）が第１の端子（５）の各１つと接続されており、それによって各回路（１０）の検査作動の間に第１の端子（５）に与えられている検査信号が検査装置（２１）により受信され、
   検査装置（２１）の各出力端（２４）が第２の端子（６）の各１つと接続されており、それによって検査装置（２１）により検査信号に関係して結果信号が相応の第２の端子（６）に伝達され、
   基本装置（２０）が検査および結果信号が与えられている間はこれらの信号に影響せず、
   第１の端子（５）の各々が基板（１１）の各１つの第１の接触面（１）と、また第２の端子（５）の各々が基板（１１）の各１つの第２の接触面（２）と接続されており、
   検査信号が相応の第１の端子（５）との電気的接続を検査されるべき第１の接触面（１）に印加され、
   第２の接触面（２）から結果信号が取り出され、
   集積回路（１０）の第１の端子（５）の各１つが相応の第１の接触面（１）を介して電気的に互いに接続されており、かつ同時に検査され、
   これらの第１の端子（５）に検査装置（２１）を介して対応付けられている第２の端子（６）が電気的に互いに隔てられており、更に
   集積回路（１０）の１つにおいて検査信号の電位が基準電位（Ｖｒｅｆ）にくらべて負であり、
   検査装置（２１）が第１の端子（５）の１つと第２の端子（６）の１つとの間に少なくとも１つの第１のダイオード（Ｄ１）およびｎチャネル形式の第１の電界効果トランジスタ（Ｎ１）から成る直列回路を有し、
   その際に第１のダイオード（Ｄ１）の陰極が第１の端子（５）と接続されており、
   第１の電界効果トランジスタ（Ｎ１）のゲートが基準電位（Ｖｒｅｆ）と接続されており、
   第１のダイオード（Ｄ１）と第１の電界効果トランジスタ（Ｎ１）との間の第１の回路節点（Ａ）がｎチャネル形式の第２の電界効果トランジスタ（Ｎ２）のチャネルパスを介して基準電位（Ｖｒｅｆ）と接続されており、
   かつ第２の電界効果トランジスタ（Ｎ２）のゲートが供給電位（ＶＣＣ）と接続されている
   ことを特徴とする２つの集積回路を有する基板。
2. ２つの集積回路（１０）を有する基板において、集積回路（１０）が各々基本装置（２０）および検査装置（２１）を有し、
   基本装置（２０）が集積回路（１０）の正常作動の間に各回路（１０）に予定されている機能を満足する構成要素を含んでおり、
   各基本装置（２０）が入力端（２５）および出力端（２６）を有し、それらの各々が各集積回路（１０）の各１つの第１の端子（５）または第２の端子（５）と接続されており、
   各検査装置（２１）が入力端（２３）および少なくとも１つの出力端（２４）を有し、その際に各入力端（２３）が第１の端子（５）の各１つと接続されており、それによって各回路（１０）の検査作動の間に第１の端子（５）に与えられている検査信号が検査装置 （２１）により受信され、
   検査装置（２１）の各出力端（２４）が第２の端子（６）の各１つと接続されており、それによって検査装置（２１）により検査信号に関係して結果信号が相応の第２の端子（６）に伝達され、
   基本装置（２０）が検査および結果信号が与えられている間はこれらの信号に影響せず、
   第１の端子（５）の各々が基板（１１）の各１つの第１の接触面（１）と、また第２の端子（５）の各々が基板（１１）の各１つの第２の接触面（２）と接続されており、
   検査信号が相応の第１の端子（５）との電気的接続を検査されるべき第１の接触面（１）に印加され、
   第２の接触面（２）から結果信号が取り出され、
   集積回路（１０）の第１の端子（５）の各１つが相応の第１の接触面（１）を介して電気的に互いに接続されており、かつ同時に検査され、
   これらの第１の端子（５）に検査装置（２１）を介して対応付けられている第２の端子（６）が電気的に互いに隔てられており、更に
   集積回路（１０）の１つにおいて検査信号の電位が基準電位（Ｖｒｅｆ）にくらべて正であり、
   検査装置（２１）が第１の端子（５）の１つと第２の端子（６）の１つとの間に少なくとも１つの第２のダイオード（Ｄ２）および第３のダイオード（Ｄ３）から成る直列回路を有し、
   その際に第２のダイオード（Ｄ２）の陽極が第１の端子（５）と、また第３のダイオード（Ｄ３）の陰極が第２の端子（６）と接続されており、
   第２のダイオード（Ｄ２）と第３のダイオード（Ｄ３）との間の第２の回路節点（Ｂ）がｎチャネル形式の第３の電界効果トランジスタ（Ｎ３）のチャネル区間を介して基準電位（Ｖｒｅｆ）と接続されており、
   かつ第３の電界効果トランジスタ（Ｎ３）のゲートが供給電位（ＶＣＣ）と接続されている
   ことを特徴とする２つの集積回路を有する基板。
3. 基本装置（２０）の１つが検査の間に不能動化されることを特徴とする請求項１または２記載の基板。
4. 基本装置（２０）の１つが検査を実行するために能動化信号（Ｃ）により能動化されることを特徴とする請求項１または２記載の基板。
5. 能動化信号（Ｃ）が検査モード認識回路（２２）の出力信号であることを特徴とする請求項４記載の基板。
6. 集積回路（１０）の第１の端子（５）の幾つかが、検査装置（２１）の構成部分であるアンド論理回路（Ｕ）を介して結合されていることを特徴とする請求項１ないし５の１つに記載の基板。
7. 集積回路（１０）の１つにおける結果信号の電位が、正常作動中に第２の端子（６）に与えられている信号の電位と異なっていることを特徴とする請求項１ないし６の１つに記載の基板。
8. 集積回路（１０）の１つにおいて供給電位（ＶＣＣ）と基準電位（Ｖｒｅｆ）との間に第１の直列回路（Ｓ１）および第２の直列回路（Ｓ２）が配置されており、
   第１の直列回路（Ｓ１）が少なくとも１つのｎチャネル形式の第７の電界効果トランジスタ（Ｎ７）および第９の電界効果トランジスタ（Ｎ９）を有し、
   第２の直列回路（Ｓ２）が少なくとも１つの第４のダイオード（Ｄ４）、第２の抵抗（Ｒ２）およびｎチャネル形式の第１０の電界効果トランジスタ（Ｎ１０）を有し、
   第９の電界効果トランジスタ（Ｎ９）のドレインが第１０の電界効果トランジスタ（Ｎ１０）のゲートと、また第１０の電界効果トランジスタ（Ｎ１０）のドレインが第９の電界効果トランジスタ（Ｎ９）のゲートと接続されており、
   第１１の電界効果トランジスタ（Ｎ１１）が供給電位（ＶＣＣ）と第２の端子（６）と の間に配置されており、
   かつ第８の電界効果トランジスタ（Ｎ８）と第１の抵抗（Ｒ１）との間の第３の回路節点（Ｃ）が第１１の電界効果トランジスタ（Ｎ１１）のゲートと接続されている
   ことを特徴とする請求項１ないし６の１つに記載の基板。

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