JP3889386B2 - インプリント装置及びインプリント方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施の形態に係るインプリント装置2aは、図1に示すように、基板10上に磁性膜11とレジスト膜12を順次積層させた積層体1を載置するプレス底板20と、プレス底板20との間に積層体1を挟みプレス底板20と対向するプレス天板22と、プレス天板22のプレス底板20と対向する面に配置され、レジスト膜12に転写すべき凹凸を有するスタンパ30と、積層体1と同一平面レベルにおいて、積層体1を周囲する位置にレジスト膜12の方向を向いて配置された光源40とを備える。
本発明の第2の実施の形態に係るインプリント装置2bは、図8に示すように、図1に示したインプリント装置2aに対して円筒形の遮光板42を更に備える点が異なる。他は図1に示したインプリント装置2aと実質的に同様であるので、重複した記載を省略する。
上記のように、本発明は実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす記述及び図面はこの発明を限定するものであると理解するべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例及び運用技術が明らかになるはずである。
10…基板
11…磁性膜
12…レジスト膜
14…貫通穴
2a,2b…インプリント装置
20…プレス底板
22…プレス天板
24…位置合わせ用円柱
26…第1の嵌合穴
30…スタンパ
32…第2の嵌合穴
40,41…光源
42…遮光板
5…磁気記録媒体
Claims (5)
- 基板上に磁性膜とレジスト膜を順次積層させた積層体を載置するプレス底板と、
前記プレス底板との間に前記積層体を挟み前記プレス底板と対向するプレス天板と、
前記プレス天板の前記プレス底板と対向する面に配置され、前記レジスト膜に転写すべき凹凸を有するスタンパと、
前記積層体と同一平面レベルにおいて、前記積層体を周囲する位置に前記レジスト膜の方向を向いて配置され、前記レジスト膜を硬化させる紫外線を出射する光源
とを備えることを特徴とするインプリント装置。 - 前記スタンパは、10MPa以上〜200MPa以下の圧力に耐久性を有する材料からなることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記積層体と前記光源の間に配置された遮光板を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。
- 基板上に磁性膜とレジスト膜を順次積層させた積層体をプレス底板に載置するステップと、
前記積層体と前記レジスト膜に転写すべき凹凸が形成された面とが向き合うようにスタンパをプレス天板に配置するステップと、
前記プレス底板と前記プレス天板とを互いにプレスすることで、前記凹凸を前記積層体に転写し、前記プレスの途中で前記積層体の側面から前記レジスト膜に紫外線を照射して前記レジスト膜を硬化させるステップと、
硬化した前記レジスト膜をマスクとして用いて前記積層体をエッチングし、パターンドメディアを有する磁気記録媒体を得るステップ
とを含むことを特徴とするインプリント方法。 - 前記レジスト膜を硬化させるステップは、
前記積層体と前記紫外線を照射する光源の間に配置された遮光板によって前記紫外線を前記レジスト膜に到達させないようにして前記光源の照度を安定させるステップと、
前記照度の安定後、前記遮光板を移動させて前記積層体の側面から前記レジスト膜に前記紫外線の照射を開始するステップ
とを含むことを特徴とする請求項4に記載のインプリント方法。
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