JPH04372742A - スタンパーのスタンパーベースへの固定方法 - Google Patents
スタンパーのスタンパーベースへの固定方法Info
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- JPH04372742A JPH04372742A JP17588491A JP17588491A JPH04372742A JP H04372742 A JPH04372742 A JP H04372742A JP 17588491 A JP17588491 A JP 17588491A JP 17588491 A JP17588491 A JP 17588491A JP H04372742 A JPH04372742 A JP H04372742A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、紫外線硬化型樹脂を使
用したいわゆる2P(photo polymeri
zation)法による光ディスクの製造に際して使用
されるスタンパーをスタンパーベースに固定する方法に
関するもので、特にスタンパーを湾曲することなく平坦
にスタンパーベースに固定するための固定方法に関する
ものである。
用したいわゆる2P(photo polymeri
zation)法による光ディスクの製造に際して使用
されるスタンパーをスタンパーベースに固定する方法に
関するもので、特にスタンパーを湾曲することなく平坦
にスタンパーベースに固定するための固定方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】紫外線硬化型樹脂成形用スタンパーを製
造する場合、ガラス原盤の上にフオトポリマー層を設け
、フオトポリマー層の表面をフオトレジストすることに
より情報信号に対応した凹凸等の記録面を形成し、その
記録面にニッケル等の電鋳層を設けて、該電鋳層にフオ
トレジスト面の凹凸等の記録面を転写し、しかる後電鋳
層を剥離してスタンパーを形成し、該スタンパーは凹凸
等の記録面を転写した面を表面にしてスタンパーベース
に接着剤により固定し、これを用いて光デイスクを製造
していた。上記のスタンパーの固定後の製造工程は、例
えば前記のスタンパーをスタンパーベースに接着剤によ
り固定したものを用い、別に基板ガラスに紫外線硬化型
樹脂を一様に分散滴下したものを用意し、紫外線硬化型
樹脂面を前記のスタンパー面に接するように配置し、加
圧するとともに紫外線を照射し、紫外線硬化型樹脂層を
融着固化するもので、これによりスタンパーの記録面の
記録情報を紫外線硬化型樹脂層に転写し、その後スタン
パーの記録面より紫外線硬化型樹脂層を剥離することに
より基板ガラスの表面の紫外線硬化型樹脂層に記録情報
の凹凸すなわち記録溝を形成されたものが得られる。 通常は、この紫外線硬化型樹脂層の表面に磁化膜蒸着層
を設けて光ディスクを得るものである。
造する場合、ガラス原盤の上にフオトポリマー層を設け
、フオトポリマー層の表面をフオトレジストすることに
より情報信号に対応した凹凸等の記録面を形成し、その
記録面にニッケル等の電鋳層を設けて、該電鋳層にフオ
トレジスト面の凹凸等の記録面を転写し、しかる後電鋳
層を剥離してスタンパーを形成し、該スタンパーは凹凸
等の記録面を転写した面を表面にしてスタンパーベース
に接着剤により固定し、これを用いて光デイスクを製造
していた。上記のスタンパーの固定後の製造工程は、例
えば前記のスタンパーをスタンパーベースに接着剤によ
り固定したものを用い、別に基板ガラスに紫外線硬化型
樹脂を一様に分散滴下したものを用意し、紫外線硬化型
樹脂面を前記のスタンパー面に接するように配置し、加
圧するとともに紫外線を照射し、紫外線硬化型樹脂層を
融着固化するもので、これによりスタンパーの記録面の
記録情報を紫外線硬化型樹脂層に転写し、その後スタン
パーの記録面より紫外線硬化型樹脂層を剥離することに
より基板ガラスの表面の紫外線硬化型樹脂層に記録情報
の凹凸すなわち記録溝を形成されたものが得られる。 通常は、この紫外線硬化型樹脂層の表面に磁化膜蒸着層
を設けて光ディスクを得るものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
ては、ガラス原盤のフオトレジストの上に形成された電
鋳スタンパーをフオトレジストから剥がすと、そのスタ
ンパーの形は上に凸、又は凹のいわゆる逆お碗型もしく
はお碗型に湾曲している平坦でない形状を呈していた。 このようにスタンパーが平坦な形にならない理由はマス
タリング時の電鋳操作温度の約50℃から常温に戻した
時のガラス原盤とニッケル等のスタンパーの材質の相違
による収縮率の差と熱応力の影響によるためである。し
かし、2P法においてスタンパーから紫外線硬化型樹脂
層に記録情報を転写する工程においては、スタンパーが
スタンパーベースに平らに貼られているのが理想であり
、スタンパーが平らであれば適切な2P成型加工の条件
設定がし易く、成型物の機械的特性も優れたものとなる
。また、スタンパーの放射方向に起伏があっても、その
大きさが小さくかつ円周方向に同一形であれば光ディス
クとしての機械特性の面振れ加速度の値が小さくなり、
許容される場合がある。上記のような平坦でない形状の
スタンパーをスタンパーベースに接着剤を介して固定す
るのに、従来は手作業で貼る方法又は抑え治具を用いて
、スタンパー、接着剤、スタンパーベースが組み合わさ
れたものを、単にサンドウィッチ状にして重ね、上から
圧力を加える方法が行われていた。しかしこのような従
来技術ではスタンパー全面にわたって平坦な形状、又は
周方向にシンメトリーなスタンパー表面形状を得ること
は困難であった。スタンパーの表面形状を紫外線硬化型
樹脂の薄膜を介して平滑なガラス板表面に転写し、機械
的特性及び光特性に優れた平面性のある加工品をえるた
めには、スタンパーベース面にスタンパーを円周方向に
凹凸むらを生ずることなく均一に固定する必要があるが
従来技術では有効な方法は生まれていない。
ては、ガラス原盤のフオトレジストの上に形成された電
鋳スタンパーをフオトレジストから剥がすと、そのスタ
ンパーの形は上に凸、又は凹のいわゆる逆お碗型もしく
はお碗型に湾曲している平坦でない形状を呈していた。 このようにスタンパーが平坦な形にならない理由はマス
タリング時の電鋳操作温度の約50℃から常温に戻した
時のガラス原盤とニッケル等のスタンパーの材質の相違
による収縮率の差と熱応力の影響によるためである。し
かし、2P法においてスタンパーから紫外線硬化型樹脂
層に記録情報を転写する工程においては、スタンパーが
スタンパーベースに平らに貼られているのが理想であり
、スタンパーが平らであれば適切な2P成型加工の条件
設定がし易く、成型物の機械的特性も優れたものとなる
。また、スタンパーの放射方向に起伏があっても、その
大きさが小さくかつ円周方向に同一形であれば光ディス
クとしての機械特性の面振れ加速度の値が小さくなり、
許容される場合がある。上記のような平坦でない形状の
スタンパーをスタンパーベースに接着剤を介して固定す
るのに、従来は手作業で貼る方法又は抑え治具を用いて
、スタンパー、接着剤、スタンパーベースが組み合わさ
れたものを、単にサンドウィッチ状にして重ね、上から
圧力を加える方法が行われていた。しかしこのような従
来技術ではスタンパー全面にわたって平坦な形状、又は
周方向にシンメトリーなスタンパー表面形状を得ること
は困難であった。スタンパーの表面形状を紫外線硬化型
樹脂の薄膜を介して平滑なガラス板表面に転写し、機械
的特性及び光特性に優れた平面性のある加工品をえるた
めには、スタンパーベース面にスタンパーを円周方向に
凹凸むらを生ずることなく均一に固定する必要があるが
従来技術では有効な方法は生まれていない。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決することを目的とするもので、その概要は2P法によ
り光ディスク製造に用いるスタンパーを平坦なスタンパ
ーベースに接着剤で固定する場合に、直接これらを重ね
て加圧することをせず、スタンパー、接着剤及びスタン
パーベースからなる積層構造体の少なくとも該スタンパ
ーの上にゴム製緩衝材を介在させ、その上下に平坦な抑
え治具をセットして均等に圧力を加えることを特徴とす
るスタンパーのスタンパーベースへの固定方法である。
決することを目的とするもので、その概要は2P法によ
り光ディスク製造に用いるスタンパーを平坦なスタンパ
ーベースに接着剤で固定する場合に、直接これらを重ね
て加圧することをせず、スタンパー、接着剤及びスタン
パーベースからなる積層構造体の少なくとも該スタンパ
ーの上にゴム製緩衝材を介在させ、その上下に平坦な抑
え治具をセットして均等に圧力を加えることを特徴とす
るスタンパーのスタンパーベースへの固定方法である。
【0005】以下本発明を詳細に説明する。本発明の概
要は、図1に示すように、記録面を有するスタンパー1
の記録面を上にしてその下側には接着剤層3を介してス
タンパーベース2を設けて積層構造体9とし、スタンパ
ー1の上面には必要に応じて設ける保護膜5、剥離性フ
ィルム6及びプレスケール7を順次設け、その上面にふ
っ素ゴムやシリコーンゴムの円環状シートをゴム製緩衝
材4aとして介在させる。ゴム製緩衝材に用いる円環状
シートは厚さ1〜10mmのものを数枚重ねて使用する
ことができる(図では3枚を重ねている。)。又、図で
はスタンパーベースの下面にもゴム製緩衝材4bを設け
るが、該ゴム製緩衝材4bは本願の発明の必須構成要素
ではない。8は中心合わせ治具で各層を積層してできた
中央空所内にてスタンパーとスタンパーベースとを含む
層を中心を合わせて一体化するために用いられる。図で
は図1の組立体を総称してスタンパー組立体10と称し
ている。次に図2に示すように以上のスタンパー組立体
10の上下に金属製抑え治具11を組み合わせ、適当な
圧力を加えて一体に成形することによりスタンパーをス
タンパーベースに平らに固定することができ、平坦なス
タンパーが得られる。
要は、図1に示すように、記録面を有するスタンパー1
の記録面を上にしてその下側には接着剤層3を介してス
タンパーベース2を設けて積層構造体9とし、スタンパ
ー1の上面には必要に応じて設ける保護膜5、剥離性フ
ィルム6及びプレスケール7を順次設け、その上面にふ
っ素ゴムやシリコーンゴムの円環状シートをゴム製緩衝
材4aとして介在させる。ゴム製緩衝材に用いる円環状
シートは厚さ1〜10mmのものを数枚重ねて使用する
ことができる(図では3枚を重ねている。)。又、図で
はスタンパーベースの下面にもゴム製緩衝材4bを設け
るが、該ゴム製緩衝材4bは本願の発明の必須構成要素
ではない。8は中心合わせ治具で各層を積層してできた
中央空所内にてスタンパーとスタンパーベースとを含む
層を中心を合わせて一体化するために用いられる。図で
は図1の組立体を総称してスタンパー組立体10と称し
ている。次に図2に示すように以上のスタンパー組立体
10の上下に金属製抑え治具11を組み合わせ、適当な
圧力を加えて一体に成形することによりスタンパーをス
タンパーベースに平らに固定することができ、平坦なス
タンパーが得られる。
【0006】本発明の固定方法により、情報を記録した
凹凸又はグルーブのような記録溝を設けたスタンパーが
例えばステンレスの如きスタンパーベースに接着剤によ
り平らに固定されているので、これを用いて光ディスク
を製造する場合、基板ガラスの表面の紫外線硬化型樹脂
にスタンパーの記録情報を忠実に転写できる。一般的に
スタンパーを使用した2P法による成型では、平坦な基
板ガラスの表面に30〜50μm程度の紫外線硬化型樹
脂の薄い層を形成し、その表面にスタンパーの記録情報
が転写形成される。出来上がった成型物はガラス面が平
らなために、スタンパーの模様を忠実に転写することが
できるだけでなく、スタンパーの大きなうねりや起伏ま
でをも転写する。しかし、光ディスクにおいては円周方
向にうねりが大きかったり、起伏の頻度が多いと、記録
の読み取り、書き込みの誤動作が起こったり、レーザー
ヘッド磁気ヘッドの動きの頻度が大過ぎたり、ディスク
に接触したりしてディスクドライバーに対して不具合が
生じる。そこでこの不具合を避けるためにスタンパーは
できる限り平坦に、又円周方向に均一になるようにして
スタンパーベースに固定することが重要であるが本発明
はこの点を解決したものである。本発明で用いたスタン
パーの上側又はスタンパーの上下のサンドウィッチ状の
ゴム製緩衝材は金属製抑え治具による力をスタンパーの
全面にわたって均等に配分するために有効である。すな
わち、垂直方向の圧力を円の放射方向に分散させ、可能
な限り平坦にする。固定前のスタンパーのうねりや起伏
が大きい場合は、スタンパーに垂直方向の力を単に加え
ても平坦にすることは困難である。本発明によれば、こ
の歪の逃げをドーナツ状起伏に集中させて円周方向にほ
ぼ均一な厚みにし、しかも、その起伏が小さいようにし
て固定するものである。本発明において例えば常温硬化
型エポキシ樹脂を接着剤としてスタンパーベースにスタ
ンパーを固定する場合、その積層構造体の少なくともス
タンパーの上側に厚さ1〜10mmの円環状のシリコー
ンゴム、合成イソプレンゴム等を1〜5枚程度組み合わ
せて使用すればよい。また抑え治具によるスタンパー表
面の垂直方向の圧力分布のむらの有無を確かめるために
はプレスケールをスタンパー表面の極く近傍に設置し、
プレスケールの発色した濃度のレベルを測定するか観察
すればよい。
凹凸又はグルーブのような記録溝を設けたスタンパーが
例えばステンレスの如きスタンパーベースに接着剤によ
り平らに固定されているので、これを用いて光ディスク
を製造する場合、基板ガラスの表面の紫外線硬化型樹脂
にスタンパーの記録情報を忠実に転写できる。一般的に
スタンパーを使用した2P法による成型では、平坦な基
板ガラスの表面に30〜50μm程度の紫外線硬化型樹
脂の薄い層を形成し、その表面にスタンパーの記録情報
が転写形成される。出来上がった成型物はガラス面が平
らなために、スタンパーの模様を忠実に転写することが
できるだけでなく、スタンパーの大きなうねりや起伏ま
でをも転写する。しかし、光ディスクにおいては円周方
向にうねりが大きかったり、起伏の頻度が多いと、記録
の読み取り、書き込みの誤動作が起こったり、レーザー
ヘッド磁気ヘッドの動きの頻度が大過ぎたり、ディスク
に接触したりしてディスクドライバーに対して不具合が
生じる。そこでこの不具合を避けるためにスタンパーは
できる限り平坦に、又円周方向に均一になるようにして
スタンパーベースに固定することが重要であるが本発明
はこの点を解決したものである。本発明で用いたスタン
パーの上側又はスタンパーの上下のサンドウィッチ状の
ゴム製緩衝材は金属製抑え治具による力をスタンパーの
全面にわたって均等に配分するために有効である。すな
わち、垂直方向の圧力を円の放射方向に分散させ、可能
な限り平坦にする。固定前のスタンパーのうねりや起伏
が大きい場合は、スタンパーに垂直方向の力を単に加え
ても平坦にすることは困難である。本発明によれば、こ
の歪の逃げをドーナツ状起伏に集中させて円周方向にほ
ぼ均一な厚みにし、しかも、その起伏が小さいようにし
て固定するものである。本発明において例えば常温硬化
型エポキシ樹脂を接着剤としてスタンパーベースにスタ
ンパーを固定する場合、その積層構造体の少なくともス
タンパーの上側に厚さ1〜10mmの円環状のシリコー
ンゴム、合成イソプレンゴム等を1〜5枚程度組み合わ
せて使用すればよい。また抑え治具によるスタンパー表
面の垂直方向の圧力分布のむらの有無を確かめるために
はプレスケールをスタンパー表面の極く近傍に設置し、
プレスケールの発色した濃度のレベルを測定するか観察
すればよい。
【0007】
【実施例】次に本発明の実施例について説明する。
実施例1
図1及び図2に示すように、130mmφのスタンパー
をステンレス製の研磨済の平坦なスタンパーベースに固
定した。用いた接着剤は常温硬化型エポキシ樹脂(チバ
ガイギー社製アラルダイトAY103 100重量部
、硬化剤 HY956 17重量部)であり、スタ
ンパー上には保護膜としてふっ素樹脂製フィルム1枚、
プレスケール(富士フィルム社製 超低圧用ツーシー
トタイプ)、厚さ1mm及び3mmのシリコーンゴムを
積層し、スタンパーベースの下には厚さ3mmのシリコ
ーンゴムを設けた。このスタンパー組立体の上下に金属
製抑え治具をセットして圧力を加えた。すなわち、抑え
治具の外周環状部の8本のボルト・ナットをトルクゲー
ジ付ナット回しで締め付けた。圧力をプレスケールで確
認したところ、発色した色の濃度は均一であり、加えた
圧力は15kg/cm2である。この状態で3日間放置
した。このようにして固定したスタンパーを用いて2P
法に基づき成形して光ディスクを得、その特性値を測定
したところ面振れ加速度は最大値で2.3m/s2 で
あつた。なお、面振れ加速度の測定は、松井製作所製の
機械特性検査装置を使用し、1800RPMの条件にて
行った。
をステンレス製の研磨済の平坦なスタンパーベースに固
定した。用いた接着剤は常温硬化型エポキシ樹脂(チバ
ガイギー社製アラルダイトAY103 100重量部
、硬化剤 HY956 17重量部)であり、スタ
ンパー上には保護膜としてふっ素樹脂製フィルム1枚、
プレスケール(富士フィルム社製 超低圧用ツーシー
トタイプ)、厚さ1mm及び3mmのシリコーンゴムを
積層し、スタンパーベースの下には厚さ3mmのシリコ
ーンゴムを設けた。このスタンパー組立体の上下に金属
製抑え治具をセットして圧力を加えた。すなわち、抑え
治具の外周環状部の8本のボルト・ナットをトルクゲー
ジ付ナット回しで締め付けた。圧力をプレスケールで確
認したところ、発色した色の濃度は均一であり、加えた
圧力は15kg/cm2である。この状態で3日間放置
した。このようにして固定したスタンパーを用いて2P
法に基づき成形して光ディスクを得、その特性値を測定
したところ面振れ加速度は最大値で2.3m/s2 で
あつた。なお、面振れ加速度の測定は、松井製作所製の
機械特性検査装置を使用し、1800RPMの条件にて
行った。
【0008】比較例1
130mmφのスタンパーをステンレス製の研磨済の平
坦なスタンパーベースに手仕事で固定した。用いた接着
剤は両面接着テープ(日東電工社製 工業用No.5
32)を用いた。この固定したスタンパーを用いて2P
法により成形して光ディスクを得、その特性値を測定し
たところ面振れ加速度は最大値で11.5m/s2 で
あつた。
坦なスタンパーベースに手仕事で固定した。用いた接着
剤は両面接着テープ(日東電工社製 工業用No.5
32)を用いた。この固定したスタンパーを用いて2P
法により成形して光ディスクを得、その特性値を測定し
たところ面振れ加速度は最大値で11.5m/s2 で
あつた。
【0009】比較例2
130mmφのスタンパーをステンレス製の研磨済の平
坦なスタンパーベースに固定した。抑え治具及び接着剤
共に実施例1と同じものを用い、緩衝材を用いることな
く固定した。積層物はスタンパーの上に保護膜、ふっ素
系離型フィルム1枚である。プレスケールで圧力を測定
したところ発色した色の濃度は外周部で濃く、内周部で
薄い等の色むらがあり、加えた圧力は5〜15kg/c
m2であった。この状態で3日間放置した。このように
して固定したスタンパーを用いて2P法により成形して
光ディスクを得、その特性値を測定したところ面振れ加
速度は最大値で9.4m/s2 であつた。以上説明し
たように、本発明によりスタンパーを固定した実施例1
と、従来の技術に基づき、緩衝材を用いずにスタンパー
を固定した比較例1及び2とを用いて、それぞれ光ディ
スクを作成した場合、面振れ加速度の値を比較すると、
明らかに実施例1のものが値が小さく、光ディスクとし
ての特性値が向上する。例えば、面振れ加速度の値はオ
ーバーライト可能な光ディスクでは3m/s2 とされ
ていることから本発明によるものが非常に優れているこ
とがわかる。
坦なスタンパーベースに固定した。抑え治具及び接着剤
共に実施例1と同じものを用い、緩衝材を用いることな
く固定した。積層物はスタンパーの上に保護膜、ふっ素
系離型フィルム1枚である。プレスケールで圧力を測定
したところ発色した色の濃度は外周部で濃く、内周部で
薄い等の色むらがあり、加えた圧力は5〜15kg/c
m2であった。この状態で3日間放置した。このように
して固定したスタンパーを用いて2P法により成形して
光ディスクを得、その特性値を測定したところ面振れ加
速度は最大値で9.4m/s2 であつた。以上説明し
たように、本発明によりスタンパーを固定した実施例1
と、従来の技術に基づき、緩衝材を用いずにスタンパー
を固定した比較例1及び2とを用いて、それぞれ光ディ
スクを作成した場合、面振れ加速度の値を比較すると、
明らかに実施例1のものが値が小さく、光ディスクとし
ての特性値が向上する。例えば、面振れ加速度の値はオ
ーバーライト可能な光ディスクでは3m/s2 とされ
ていることから本発明によるものが非常に優れているこ
とがわかる。
【0010】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は光ディス
ク製造用のスタンパーをスタンパーベースに固定するの
に、ゴム製緩衝材を、スタンパー、接着剤及びスタンパ
ーベースからなる積層構造体の少なくとも該スタンパー
の上に積層して、その上下に加圧するのでスタンパーを
スタンパーベースに凹凸がなく均一に固定することがで
き、よつて該スタンパーを用いて作成した成形物の機械
的特性値、特に成形物の面振れ加速度を小さくする等特
性の優れた光ディスクを提供することができ、その生産
性の向上を図ることもできる。
ク製造用のスタンパーをスタンパーベースに固定するの
に、ゴム製緩衝材を、スタンパー、接着剤及びスタンパ
ーベースからなる積層構造体の少なくとも該スタンパー
の上に積層して、その上下に加圧するのでスタンパーを
スタンパーベースに凹凸がなく均一に固定することがで
き、よつて該スタンパーを用いて作成した成形物の機械
的特性値、特に成形物の面振れ加速度を小さくする等特
性の優れた光ディスクを提供することができ、その生産
性の向上を図ることもできる。
【図1】本発明の実施に際してスタンパーを固定する場
合の積層構造体及びスタンパー組立体の一例を示す断面
図である。
合の積層構造体及びスタンパー組立体の一例を示す断面
図である。
【図2】スタンパーを含むスタンパー組立体を上下両面
から抑え治具で挟んで加圧する状態を示す断面図である
。
から抑え治具で挟んで加圧する状態を示す断面図である
。
1 スタンパー
2 スタンパーベース
3 接着剤
4a,4b ゴム製緩衝材
5 保護膜
6 剥離性フィルム
7 プレスケール
8 中心合わせ治具
9 積層構造体
10 スタンパー組立体
11 抑え治具
Claims (1)
- 光ディスク製造に用いる紫外線硬化型樹脂成形用スタン
パーを平坦なスタンパーベースに接着剤で固定するに際
して、記録溝を設けたスタンパー、接着剤及びスタンパ
ーベースを重ね合わせた積層構造体の少なくとも該スタ
ンパーの上にゴム製緩衝材を介在せしめ、更にその上下
に平坦な抑え治具をセットして均等な圧力を加えること
を特徴とするスタンパーのスタンパーベースへの固定方
法
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17588491A JPH04372742A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | スタンパーのスタンパーベースへの固定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17588491A JPH04372742A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | スタンパーのスタンパーベースへの固定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04372742A true JPH04372742A (ja) | 1992-12-25 |
Family
ID=16003902
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17588491A Withdrawn JPH04372742A (ja) | 1991-06-21 | 1991-06-21 | スタンパーのスタンパーベースへの固定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04372742A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7343857B2 (en) * | 2003-09-30 | 2008-03-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Imprint apparatus and method for imprinting |
-
1991
- 1991-06-21 JP JP17588491A patent/JPH04372742A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7343857B2 (en) * | 2003-09-30 | 2008-03-18 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Imprint apparatus and method for imprinting |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19980903 |