JP3886793B2 - 半導体集積回路装置 - Google Patents

半導体集積回路装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3886793B2
JP3886793B2 JP2001369085A JP2001369085A JP3886793B2 JP 3886793 B2 JP3886793 B2 JP 3886793B2 JP 2001369085 A JP2001369085 A JP 2001369085A JP 2001369085 A JP2001369085 A JP 2001369085A JP 3886793 B2 JP3886793 B2 JP 3886793B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chip
pad
integrated circuit
semiconductor integrated
lead
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001369085A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003168702A (ja
Inventor
保夫 森口
信太郎 森
文彦 寺山
浩一 小森谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Renesas Technology Corp
Original Assignee
Renesas Technology Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Renesas Technology Corp filed Critical Renesas Technology Corp
Priority to JP2001369085A priority Critical patent/JP3886793B2/ja
Priority to US10/160,189 priority patent/US20030102556A1/en
Priority to DE10235251A priority patent/DE10235251A1/de
Priority to KR10-2002-0045724A priority patent/KR100491234B1/ko
Publication of JP2003168702A publication Critical patent/JP2003168702A/ja
Priority to US11/078,585 priority patent/US7148567B2/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3886793B2 publication Critical patent/JP3886793B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/02Bonding areas ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L24/06Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of a plurality of bonding areas
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/495Lead-frames or other flat leads
    • H01L23/49575Assemblies of semiconductor devices on lead frames
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/50Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor for integrated circuit devices, e.g. power bus, number of leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/023Redistribution layers [RDL] for bonding areas
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/0555Shape
    • H01L2224/05552Shape in top view
    • H01L2224/05554Shape in top view being square
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/02Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/04Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process
    • H01L2224/05Structure, shape, material or disposition of the bonding areas prior to the connecting process of an individual bonding area
    • H01L2224/0554External layer
    • H01L2224/05599Material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32135Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48135Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/48137Connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being arranged next to each other, e.g. on a common substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48247Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48245Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
    • H01L2224/48253Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a potential ring of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4911Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain
    • H01L2224/49113Disposition the connectors being bonded to at least one common bonding area, e.g. daisy chain the connectors connecting different bonding areas on the semiconductor or solid-state body to a common bonding area outside the body, e.g. converging wires
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/4912Layout
    • H01L2224/49175Parallel arrangements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/494Connecting portions
    • H01L2224/4943Connecting portions the connecting portions being staggered
    • H01L2224/49433Connecting portions the connecting portions being staggered outside the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/80Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
    • H01L2224/85Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a wire connector
    • H01L2224/8538Bonding interfaces outside the semiconductor or solid-state body
    • H01L2224/85399Material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01004Beryllium [Be]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01005Boron [B]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01006Carbon [C]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01015Phosphorus [P]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01019Potassium [K]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01023Vanadium [V]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01037Rubidium [Rb]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01068Erbium [Er]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01074Tungsten [W]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01088Radium [Ra]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1015Shape
    • H01L2924/1016Shape being a cuboid
    • H01L2924/10161Shape being a cuboid with a rectangular active surface
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1015Shape
    • H01L2924/1016Shape being a cuboid
    • H01L2924/10162Shape being a cuboid with a square active surface
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/10Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/11Device type
    • H01L2924/14Integrated circuits
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1517Multilayer substrate
    • H01L2924/15172Fan-out arrangement of the internal vias
    • H01L2924/15173Fan-out arrangement of the internal vias in a single layer of the multilayer substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/1901Structure
    • H01L2924/1904Component type
    • H01L2924/19043Component type being a resistor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19107Disposition of discrete passive components off-chip wires

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Logic Circuits (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、I/F(Interface:インタフェース)機能を付加した半導体集積回路チップを用いたSIP(System In a Package)の半導体集積回路装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
図18は、従来のSIP(System In a Package)の半導体集積回路装置(従来例1)の平面図であり、図において、10はボンディングパッド(ボンディングPAD)であり、20はボンディングPAD10の上に配置された半導体集積回路チップA(Chip A)であり、35はボンディングPAD10の上に配置されたI/F機能を含まない半導体集積回路チップB(Chip B)である。40a〜40eおよび43a〜43eはChip A20のパッド(PAD)であり、41a〜41eおよび42a〜42dはChip B35のパッド(PAD)である。50a〜50fおよび51a〜51iはボンディングPAD10の周囲に配置された接続用のリード(LEAD)である。60b,60d,60eは、Chip A20とChip B35またはLEAD50a〜50fとを接続するボンディングワイヤであり、62a,62b,62d,62fは、Chip A20とLEAD51a〜51iとを接続するボンディングワイヤであり,61a〜61dはChip B35とLEAD50a〜50fとを接続するボンディングワイヤである。
【0003】
次に、動作について説明する。
ボンディングワイヤ62b,62dは、各々、Chip A20のPAD43a,43bをLEAD51b,51dに接続し、ボンディングワイヤ61a,61b,61c,61dは、各々、Chip B35のPAD42a,42b,42c,42dをLEAD50a,50c,50d,50eに接続している。ボンディングワイヤ60dは、Chip A20のPAD40dをChip B35のPAD41dに接続している。これらのボンディングワイヤ62b,62d,61a,61b,61c,61d,60dは、隣接するPADとLEAD間または隣接するPAD間を接続するものなので、Chip A20またはChip B35をまたがるようには配線されていない。
【0004】
これに対して、ボンディングワイヤ60b,60eは、各々、Chip A20のPAD40b,40eをLEAD50b,50fに接続し、ボンディングワイヤ62a,62fは、各々、Chip A20のPAD40a,40cをLEAD51a,51fに接続している。これらのボンディングワイヤ60b,60e,62a,62fは、隣接していないPADとLEAD間を接続するものなので、Chip AまたはChip Bをまたがるように配線されている。
【0005】
図19は、従来のSIP(System In a Package)の半導体集積回路装置(従来例2)の平面図であり、図において、16はボンディングPADであり、253はボンディングPAD16の上に配置されたChip Aであり、254はボンディングPAD16の上に配置されたChip Bである。311a〜311h,311pはChip A253のPADであり、312i,312jはChip B254のPADである。321a,321c,321e,321g,321i,321jはボンディングPAD16の周囲に配置された信号用LEADであり、322b,322d,322f,322h,322pは電源LEADである。361a,361bはボンディングPAD固定用LEADである。352a〜352h,353i,353jはボンディングワイヤである。
【0006】
次に動作について説明する。
信号用LEAD321a,321c,321e,321g,321i,321jは、各々、Chip A253のPAD311a,311c,311e,311g、Chip B254のPAD312i,312jに、ボンディングワイヤ352a,352c,352e,352g,353i,353jによって接続されている。電源LEAD322b,322d,322f,322h,322pは、各々、Chip A253のPAD311b,311d,311f,311h,311pに、ボンディングワイヤ352b,352d,352f,352h,352pに接続されている。ボンディングPAD16は、ボンディングPAD固定用LEAD301a,361bによって固定されている。
【0007】
PAD311b,311d,311f,311h,311pは、対応する電源LEAD322b,322d,322f,322h,322pに接続されて電源が供給されるので、電源が供給されるPADと同じ個数の電源LEADが設けられている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
従来の半導体集積回路装置は以上のように構成されているので、複数のチップが搭載される場合に、さらにチップサイズを縮小すると、ボンディングワイヤの数が同一または増加された場合、チップのPADとLEAD間が隣接していない個所では、PADとLEAD間のボンディングワイヤの接続が困難となり、チップサイズの縮小化が妨げられているという課題があった。
【0011】
この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、PADとLEAD間のボンディングワイヤの接続を容易かつ確実にする半導体集積回路装置を得ることを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る半導体集積回路装置は、互いに近接配置された第1の半導体集積回路チップおよび第2の半導体集積回路チップと、第2の半導体集積回路チップを介して第1の半導体集積回路チップに電気的に接続される複数の信号用リードとを備えた半導体集積回路装置であって、第2の半導体集積回路チップをまたぐことなく配置されて、第1の半導体集積回路チップと第2の半導体集積回路チップとを直接接続する複数の信号用第1ボンディングワイヤと、第2の半導体集積回路チップと複数の信号用リードとの間に配置されて、第2の半導体集積回路チップと複数の信号用リードとを電気的に接続する複数の信号用第2ボンディングワイヤと、第2の半導体集積回路チップに設けられて、複数の信号用第1ボンディングワイヤを複数の信号用第2ボンディングワイヤに電気的に接続する複数の信号用配線と、を有し、複数の信号用配線は、互いに交差した2本の信号用配線を含み、第1の半導体集積回路チップと複数の信号用リードとの間での信号の授受は、複数の信号用第1ボンディングワイヤと、上記複数の信号用配線と、複数の信号用第2ボンディングワイヤとを介して行われる、ことを特徴とするものである。
【0036】
【発明の実施の形態】
以下、この発明の実施の一形態を説明する。
実施の形態1.
図1は、この発明の実施の形態1による半導体集積回路装置を示す平面図である。図1において、1は半導体集積回路装置である。10はボンディングパッド(ボンディングPAD)であり、20は、ボンディングPAD10の上に配置された半導体集積回路チップA(Chip A)であり、30は、ボンディングPAD10の上に配置されたインタフェース機能(I/F機能)を含む半導体集積回路チップB(Chip B)である。40a〜40eはChip A20のパッド(PAD)であり、41a〜41e,42a〜42dはChip B30のパッド(PAD)である。50a〜50dは、ボンディングPAD10の上に配置されたChip A20およびChip B30の配列の周囲に配置されたリード(LEAD)である。60a〜60e,61a〜61dは、ボンディングワイヤである。70aはChip B30のI/F機能をなす配線素子であり、70bはChip B30のI/F機能をなすドライバ素子であり、70cはChip B30のI/F機能をなすレシーバ素子であり、70dはChip B30のI/F機能をなす双方向バッファ素子である。
【0037】
次に接続について説明する。
Chip A20のPAD40a,40b,40c,40d,40eは、各々、ボンディングワイヤ60a,60b,60c,60d,60eによって、Chip B30のPAD41a,41b,41c,41d,41eに接続されている。Chip B30のPAD42a,42b,42c,42dは、各々、ボンディングワイヤ61a,61b,61c,61dによって、LEAD50a,50b,50c,50dに接続されている。
【0038】
Chip B30のPAD41aとPAD42aとの間には、I/F機能をなす配線素子70aが接続されている。Chip B30のPAD41bとPAD42cとの間には、I/F機能をなすドライバ素子70bが接続されている。Chip B30のPAD41cとPAD42bとの間には、I/F機能をなすレシーバ素子70cが接続されている。Chip B30のPAD41dおよびPAD41eとPAD42dとの間には、I/F機能をなす双方向バッファ素子70dが接続されている。
【0039】
この実施の形態1の半導体集積回路装置1は、Chip A20とLEAD50a〜50dとの間の配線を行うために、Chip A20とLEAD50a〜50dとの間にI/F機能を含むChip B30を配置している。Chip A20のPAD40aとLEAD50aを接続する場合には、Chip B30の配線素子70aを経由して接続している。Chip A20のPAD40bとLEAD50cを接続する場合には、Chip B30のドライバ素子70bを経由して接続している。Chip A20のPAD40cとLEAD50bを接続する場合には、Chip B30のレシーバ素子70cを経由して接続している。Chip A20のPAD40dおよびPAD40eとLEAD50dを接続する場合には、Chip B30の双方向バッファ素子70dを経由して接続している。
【0040】
図1では、Chip B30のドライバ素子70bおよびレシーバ素子70cが、Chip B30内で互いに交差して設けられているが、その他の配線素子70aおよび双方向バッファ素子70dが、他の素子と交差するように設けられてもよい。また、図1では、I/F機能として、配線素子70a、ドライバ素子70b、レシーバ素子70c、および双方向バッファ素子70dがひとつずつ設けられているが、I/F機能は、これら4種類の素子からなる集合から選択された少なくともひとつの種類の素子からなるようにしてもよい。
【0041】
次に動作について説明する。
Chip A20のPAD40aは、Chip B30の配線素子70aを経由してLEAD50aに接続されているので、PAD40aとLEAD50aとの間で信号の伝達(LEAD50aが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD50aが電源LEADの場合)が行われる。
【0042】
Chip A20のPAD40bは、Chip B30のドライバ素子70bを経由してLEAD50cに接続されているので、PAD40bから出力された信号がドライバ素子70bを介してLEAD50cに出力される。
【0043】
Chip A20のPAD40cは、Chip B30のレシーバ素子70cを経由してLEAD50bに接続されているので、LEAD50bに入力された信号がレシーバ素子70cを介してPAD40cに入力される。
【0044】
Chip A20のPAD40dおよびPAD40eは、Chip B30の双方向バッファ素子70dを経由してLEAD50dに接続されているので、PAD40dから出力された信号が双方向バッファ素子70dを介してLEAD50dに出力され、LEAD50dに入力された信号が双方向バッファ素子70dを介してPAD40eに入力される。
【0045】
以上のように、この実施の形態1の半導体集積回路装置1は、各々が複数のPAD(PAD40a〜40e,41a〜41e,42a〜42d)を備えた少なくとも2つの半導体集積回路チップ(Chip A20、Chip B30)と、半導体集積回路チップの配列の周囲に配置された複数のLEAD(LEAD50a〜50d)と、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ60a〜60e,61a〜61d)とを有し、複数のボンディングワイヤは、一方の半導体集積回路チップ(Chip B30)をまたがることがないように接続されて、もう一方の集積回路半導体チップ(Chip A20)のPAD(PAD40a〜40e)とLEAD(LEAD50a〜50d)間の配線を可能にする。
【0046】
更に、この実施の形態1の半導体集積回路装置1は、一方の半導体集積回路チップ(Chip 30B)が、もう一方の半導体集積回路チップ(Chip A20)とLEAD(LEAD50a〜50d)間のI/F機能を有する。
【0047】
更に、この実施の形態1の半導体集積回路装置1は、I/F機能が、配線素子(70a)、ドライバ素子(70b)、レシーバ素子(70c)、および双方向バッファ素子(70d)の集合から選択された少なくともひとつの素子を含む。
【0048】
以上のように、この実施の形態1によれば、I/F機能を含むChip B30を介してChip A20とLEAD50a〜50dを接続するようにしたので、Chip B30をまたがる長いボンディングワイヤの配線をなくすことができ、またChip A20とLEAD50a〜50d間の配線を交差することもできる効果が得られる。また、Chip A20とLEAD50a〜50dをドライバ素子70b、レシーバ素子70c、および双方向バッファ素子70dを経由して接続することができる効果が得られる。
【0049】
実施の形態2.
図2は、この発明の実施の形態2による半導体集積回路装置を示す平面図である。図2において、2は半導体集積回路装置である。11はボンディングパッド(ボンディングPAD)であり、21はボンディングPAD11の上に配置された半導体集積回路チップA(Chip A)であり、80はボンディングPAD11の上に配置されたインタフェース機能(I/F機能)を含む半導体集積回路チップ(I/F Chip)であり、31はI/F Chip80のI/F機能が設けられている部分の間の上に配置された半導体集積回路チップ(Chip B)である。90a〜90dはChip A21のパッド(PAD)であり、91a〜91d,92a〜92e,95a〜95e,96a〜96dはI/F Chip80のパッド(PAD)であり、93a〜93e,94a〜94eはChip B31のパッド(PAD)である。100a〜100dは、ボンディングPAD11の上に配置されたChip A21およびI/F Chip80の配列の周囲に配置されたリード(LEAD)である。110a〜110d,111a〜111e,112a〜112e,113a〜113dはボンディングワイヤである。120a,121aはI/F Chip80のI/F機能をなす配線素子であり、120b,121bはI/F Chip80のI/F機能をなすドライバ素子であり、120c,121cはI/F Chip80のI/F機能をなすレシーバ素子であり、120d,121dはI/F Chip80のI/F機能をなす双方向バッファ素子である。
【0050】
次に接続について説明する。
Chip A21のPAD90a,90b,90c,90dは、各々、ボンディングワイヤ110a,110b,110c,110dによって、I/F Chip80のPAD91a,91b,91c,91dに接続されている。I/F Chip80のPAD92a,92b,92c,92d,92eは、各々、ボンディングワイヤ111a,111b,111c,111d,111eによって、Chip B31のPAD93a,93b,93c,93d,93eに接続されている。Chip B31のPAD94a,94b,94c,94d,94eは、各々、ボンディングワイヤ112a,112b,112c,112d,112eによって、I/F Chip80のPAD95a,95b,95c,95d,95eに接続されている。I/F Chip80のPAD96a,96b,96c,96dは、各々、ボンディングワイヤ113a,113b,113c,113dによって、LEAD100a,100b,100c,100dに接続されている。
【0051】
I/F Chip80のPAD91aとPAD92aとの間およびPAD95aとPAD96aとの間には、各々、I/F機能をなす配線素子120aおよび配線素子121aが接続されている。I/F Chip80のPAD91bとPAD92cとの間およびPAD95bとPAD96cとの間には、各々、I/F機能をなすレシーバ素子120cおよびドライバ素子121bが接続されている。I/F Chip80のPAD91cとPAD92bとの間およびPAD95cとPAD96bとの間には、各々、I/F機能をなすドライバ素子120bおよびレシーバ素子121cが接続されている。I/F Chip80のPAD91dとPAD92dおよびPAD92eとの間およびPAD95dおよびPAD95eとPAD96dとの間には、各々、I/F機能をなす双方向バッファ素子120dおよび双方向バッファ素子121dが接続されている。
【0052】
この実施の形態2の半導体集積回路装置2は、Chip A21とChip B31との間およびChip B31とLEAD100a〜100dとの間の配線を行うために、Chip A21とLEAD100a〜100dとの間にI/F Chip80を配置し、I/F Chip80のI/F機能が設けられている部分の間の上にChip B31を配置している。Chip A21のPAD90aとChip B31のPAD93aを接続する場合には、I/F Chip80の配線素子120aを経由して接続している。Chip B31のPAD94aとLEAD100aを接続する場合には、I/F Chip80の配線素子121aを経由して接続している。Chip A21のPAD90bとChip B31のPAD93cを接続する場合には、I/F Chip80のレシーバ素子120cを経由して接続している。Chip B31のPAD94bとLEAD100cを接続する場合には、I/F Chip80のドライバ素子121bを経由して接続している。Chip A21のPAD90cとChip B31のPAD93bを接続する場合には、I/F Chip80のドライバ素子120bを経由して接続している。Chip B31のPAD94cとLEAD100bを接続する場合には、I/F Chip80のレシーバ素子121cを経由して接続している。Chip A21のPAD90dとChip B31のPAD93dおよびPAD93eとを接続する場合には、I/F Chip80の双方向バッファ素子120dを経由して接続している。Chip B31のPAD94dおよびPAD94eとLEAD100dを接続する場合には、I/FChip80の双方向バッファ素子121dを経由して接続している。
【0053】
図2では、I/F Chip80のドライバ素子120bおよびレシーバ素子120c、およびドライバ素子121bおよびレシーバ素子121cが、各々、I/F Chip80内で互いに交差して設けられているが、その他の配線素子120a,121aおよび双方向バッファ素子120d,121dが、他の素子と交差するように設けられてもよい。また、図2では、I/F機能として、配線素子120a,121a、ドライバ素子120b,121b、レシーバ素子120c,121c、および双方向バッファ素子120d,121dが設けられているが、I/F機能は、これら4種類の素子からなる集合から選択された少なくともひとつの種類の素子からなるようにしてもよい。
【0054】
次に動作について説明する。
Chip B31のPAD94aは、I/F Chip80の配線素子121aを経由してLEAD100aに接続されているので、PAD94aとLEAD100aとの間で信号の伝達(LEAD100aが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD100aが電源LEADの場合)が行われる。
【0055】
Chip B31のPAD94bは、I/F Chip80のドライバ素子121bを経由してLEAD100cに接続されているので、PAD94bから出力された信号がドライバ素子121bを介してLEAD100cに出力される。
【0056】
Chip B31のPAD94cは、I/F Chip80のレシーバ素子121cを経由してLEAD100bに接続されているので、LEAD100bに入力された信号がレシーバ素子121cを介してPAD94cに入力される。
【0057】
Chip B31のPAD94dおよびPAD94eは、I/F Chip80の双方向バッファ素子121dを経由してLEAD100dに接続されているので、PAD94dから出力された信号が双方向バッファ素子121dを介してLEAD100dに出力され、LEAD100dに入力された信号が双方向バッファ素子121dを介してPAD94eに入力される。
【0058】
Chip B31のPAD93aは、I/F Chip80の配線素子120aを経由してChip A21のPAD90aに接続されているので、PAD93aとPAD90aとの間で信号の伝達(PAD93aが信号用PADの場合)または電力の供給(PAD93aが電源PADの場合)が行われる。
【0059】
Chip B31のPAD93bは、I/F Chip80のドライバ素子120bを経由してChip A21のPAD90cに接続されているので、PAD93bから出力された信号がドライバ素子120bを介してPAD90cに供給される。
【0060】
Chip B31のPAD93cは、I/F Chip80のレシーバ素子120cを経由してChip A21のPAD90bに接続されているので、PAD90bから出力された信号がレシーバ素子120cを介してPAD93cに供給される。
【0061】
Chip B31のPAD93dおよびPAD93eは、I/F Chip80の双方向バッファ素子120dを経由してChip A21のPAD90dに接続されているので、PAD93dから出力された信号が双方向バッファ素子120dを介してPAD90dに供給され、PAD90dから出力された信号が双方向バッファ素子120dを介してPAD93eに供給される。
【0062】
以上のように、この実施の形態2の半導体集積回路装置2は、各々が複数のPAD(PAD90a〜90d、PAD93a〜93e、PAD94a〜94e)を備えた2つの半導体集積回路チップ(Chip A21、Chip B31)と、半導体集積回路チップの配列の周囲に配置された複数のLEAD(LEAD100a〜100d)と、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ111a〜111e,112a〜112e,113a〜113d)とを有し、複数のボンディングワイヤは、一方の半導体集積回路チップ(Chip B31)をまたがることがないように接続されて、もう一方の集積回路半導体チップ(Chip A21)のPAD(PAD90a〜90d)とLEAD(LEAD100a〜100d)間の配線を可能にする。
【0063】
更に、この実施の形態2の半導体集積回路装置2は、複数のPAD(PAD91a〜91d,92a〜92e,95a〜95e,96a〜96d)を備えた第3の半導体集積回路チップ(I/F Chip80)を更に有し、第3の半導体集積回路チップ(I/F Chip80)が、もう一方の半導体集積回路チップ(Chip A21)と一方の半導体集積回路チップ(Chip B31)間のI/F機能と、一方の半導体集積回路チップ(Chip B31)とLEAD(LEAD100a〜100d)間のI/F機能とを有する。
【0064】
更に、この実施の形態2の半導体集積回路装置2は、I/F機能が、配線素子(120a,121a)、ドライバ素子(120b,121b)、レシーバ素子(120c,121c)、および双方向バッファ素子(120d,121d)の集合から選択された少なくともひとつの素子を含む。
【0065】
以上のように、この実施の形態2によれば、I/F機能を含むI/F Chip80を介してChip A21とChip B31、およびChip B31とLEAD100a〜100dを接続するようにしたので、Chip A21とLEAD100a〜100dを接続する場合にChip B31をまたがる長いボンディングワイヤの配線をなくすことができ、またChip A21とLEAD100a〜100d間の配線を交差することもできる効果が得られる。また、Chip A21とLEAD100a〜100dをドライバ素子120b,121b、レシーバ素子120c,121c、および双方向バッファ素子120d,121dを経由して接続することができる効果が得られる。更に、Chip B31とChip A21を接続する場合、およびChip B31とLEAD100a〜100dを接続する場合に、I/F Chip80をまたがる長いボンディングワイヤの配線をなくすことができ、Chip B31とChip A21間、およびChip B31とLEAD100a〜100d間の配線を交差することもできる効果が得られる。また、Chip B31とChip A21、およびChip B31とLEAD100a〜100dをドライバ素子120b,121b、レシーバ素子120c,121c、および双方向バッファ素子120d,121dを経由して接続することができる効果が得られる。
【0066】
実施の形態3.
図3は、この発明の実施の形態3による半導体集積回路装置を示す平面図である。図4は、図3の線IV−IVに沿った断面図であり、図5は、図3の線V−Vに沿った断面図である。図4において、3は半導体集積回路装置である。12はボンディングパッド(ボンディングPAD)であり、22はボンディングPAD12の上に配置された半導体集積回路チップA(Chip A)であり、81はボンディングPAD12の上に配置されたインタフェース機能(I/F機能)を含むI/F半導体集積回路チップ(I/F Chip)であり、32はI/FChip81の上に配置された半導体集積回路チップB(Chip B)であり、130はI/F Chip81の上に配置されたインタフェース機能(I/F機能)を含む高さ調整半導体集積回路チップ(高さ調整Chip)である。140a〜140jはChip A22のパッド(PAD)であり、141a〜141e,142a〜142dは高さ調整Chip130のパッド(PAD)であり、141f〜141j,142f〜142jはChip B32のパッド(PAD)である。150a〜150d,150f〜150jは、ボンディングPAD12の上に配置されたChip A22およびI/F Chip81の配列の周囲に配置されたリード(LEAD)である。160a〜160j,161a〜161d,161f〜161jはボンディングワイヤである。170aは高さ調整Chip130のI/F機能をなす配線素子であり、170bは高さ調整Chip130のI/F機能をなすドライバ素子であり、170cは高さ調整Chip130のI/F機能をなすレシーバ素子であり、170dは高さ調整Chip130のI/F機能をなす双方向バッファ素子である。
【0067】
次に接続について説明する。
Chip A22のPAD140a,140b,140c,140d,140eは、各々、ボンディングワイヤ160a,160b,160c,160d,160eによって、高さ調整Chip130のPAD141a,141b,141c,141d,141eに接続されている。高さ調整Chip130のPAD142a,142b,142c,142dは、各々、ボンディングワイヤ161a,161b,161c,161dによって、LEAD150a,150b,150c,150dに接続されている。高さ調整Chip130のPAD141a〜141e,142a〜142dは、Chip A22のPAD140a〜140eと同一平面に配置されるような高さに配置されている。Chip A22のPAD140f,140g,140h,140i,140jは、各々、ボンディングワイヤ160f,160g,160h,160i,160jによって、Chip B32のPAD141f,141g,141h,141i,141jに接続されている。Chip B32のPAD142f,142g,142h,142i,142jは、各々、ボンディングワイヤ161f,161g,161h,161i,161jによって、LEAD150f,150g,150h,150i,150jに接続されている。
【0068】
高さ調整Chip130のPAD141aとPAD142aとの間にはI/F機能をなす配線素子170aが接続されている。高さ調整Chip130のPAD141bとPAD142cとの間にはI/F機能をなすドライバ素子170bが接続されている。高さ調整Chip130のPAD141cとPAD142bとの間にはI/F機能をなすおよびレシーバ素子170cが接続されている。高さ調整Chip130のPAD141dおよびPAD141eとPAD142dとの間にはI/F機能をなす双方向バッファ素子170dが接続されている。
【0069】
この実施の形態3の半導体集積回路装置3は、Chip A22とLEAD150a〜150dとの間の配線を行うために、Chip A22とLEAD150a〜150dとの間に配置されたI/F Chip81の上に高さ調整I/FChip130を配置している。また、I/F Chip81の高さ調整I/F Chip130が配置されていない部分には、Chip B32が配置されている。Chip A22のPAD140aとLEAD150aを接続する場合には、高さ調整I/F Chip130の配線素子170aを経由して接続している。Chip A22のPAD140bとLEAD150cを接続する場合には、高さ調整I/F Chip130のドライバ素子170bを経由して接続している。Chip A22のPAD140cとLEAD150bを接続する場合には、高さ調整I/F Chip130のレシーバ素子170cを経由して接続している。Chip A22のPAD140dおよびPAD140eとLEAD150dを接続する場合には、高さ調整I/F Chip130の双方向バッファ素子170dを経由して接続している。
【0070】
図3では、高さ調整I/F Chip130のドライバ素子170bおよびレシーバ素子170cが、高さ調整I/F Chip130内で互いに交差して設けられているが、その他の配線素子170aおよび双方向バッファ素子170dが、他の素子と交差するように設けられてもよい。また、図3では、I/F機能として、配線素子170a、ドライバ素子170b、レシーバ素子170c、および双方向バッファ素子170dがひとつずつ設けられているが、I/F機能は、これら4種類の素子からなる集合から選択された少なくともひとつの種類の素子からなるようにしてもよい。
【0071】
次に動作について説明する。
Chip A22のPAD140aは、高さ調整I/F Chip130の配線素子170aを経由してLEAD150aに接続されているので、PAD140aとLEAD150aとの間で信号の伝達(LEAD150aが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD150aが電源LEADの場合)が行われる。
【0072】
Chip A22のPAD140bは、高さ調整I/F Chip130のドライバ素子170bを経由してLEAD150cに接続されているので、PAD140bから出力された信号がドライバ素子170bを介してLEAD150cに出力される。
【0073】
Chip A22のPAD140cは、高さ調整I/F Chip130のレシーバ素子170cを経由してLEAD150bに接続されているので、LEAD150bに入力された信号がレシーバ素子170cを介してPAD140cに入力される。
【0074】
Chip A22のPAD140dおよびPAD140eは、高さ調整I/FChip130の双方向バッファ素子170dを経由してLEAD150dに接続されているので、PAD140dから出力された信号が双方向バッファ素子170dを介してLEAD150dに出力され、LEAD150dに入力された信号が双方向バッファ素子170dを介してPAD140eに入力される。
【0075】
以上のように、この実施の形態3の半導体集積回路装置3は、各々が複数のPAD(PAD140a〜140j,141f〜141j,142f〜142j)を備えた2つの半導体集積回路チップ(Chip A22、Chip B32)と、半導体集積回路チップの配列の周囲に配置された複数のLEAD(LEAD150a〜150j)と、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ160a〜160j,161a〜161d,161f〜161j)とを有し、複数のボンディングワイヤは、一方の半導体集積回路チップ(Chip B32)をまたがることがないように接続されて、もう一方の集積回路半導体チップ(Chip A22)のPAD(PAD140a〜140j)とLEAD(LEAD150a〜150d)間の配線を可能する。
【0076】
更に、この実施の形態3の半導体集積回路装置3は、一方の半導体集積回路チップ(Chip B32)の下に配置された第3の半導体集積回路チップ(I/F Chip81)と、第3の半導体集積回路チップ(I/F Chip81)の上に一方の半導体集積回路チップ(Chip B32)と隣接して配置された、複数のPAD(PAD141a〜141e,142a〜142d)を備えた高さ調整半導体集積回路チップ(高さ調整Chip130)とを更に有し、高さ調整半導体集積回路チップ(高さ調整Chip130)が、もう一方の半導体集積回路チップ(Chip A22)とLEAD(LEAD150a〜150d)間のI/F機能を有し、高さ調整半導体集積回路チップ(高さ調整Chip130)の複数のPAD(PAD141a〜141e,142a〜142d)が、もう一方の半導体集積回路チップ(Chip A22)の複数のPAD(PAD140a〜140j)と同一平面上に配置されている。
【0077】
更に、この実施の形態3の半導体集積回路装置3は、I/F機能が、配線素子(170a)、ドライバ素子(170b)、レシーバ素子(170c)、および双方向バッファ素子(170d)の集合から選択された少なくともひとつの素子を含む。
【0078】
以上のように、この実施の形態3によれば、I/F Chip81の上にChip B32と隣接して配置されたI/F機能を含む高さ調整Chip130を介してChip A22とLEAD150a〜150dを接続するようにしたので、Chip A22とLEAD150a〜150dを接続する場合にChipB32をまたがる長いボンディングワイヤの配線をなくすことができ、またChip A22とLEAD150a〜150d間の配線を交差することもできる効果が得られる。また、Chip A22とLEAD150a〜150dをドライバ素子170b、レシーバ素子170c、および双方向バッファ素子170dを経由して接続することができる効果が得られる。また、高さ調整Chip130のPAD141a〜141e,142a〜142dをChip A22のPAD140a〜140jと同一平面に配置されるようにしたので、ワイヤリング(配線)を容易に行える効果が得られる。
【0079】
実施の形態4.
図6は、この発明の実施の形態4による半導体集積回路装置の平面図である。図7は、図6の線VII−VIIに沿った断面図であり、半導体集積回路装置の構造をわかり易く示すために図6の線VIIa−VIIaに沿った断面に現れる構成要素も示している。図6において、4は半導体集積回路装置である。13はボンディングパッド(ボンディングPAD)であり、23はボンディングPAD13の上に配置された半導体集積回路チップA(Chip A)であり、82は、ボンディングPAD13の上に配置されたインタフェース機能(I/F機能)を含む半導体集積回路チップ(I/F Chip)であり、33は、I/F Chip82の上に配置された半導体集積回路チップB(Chip B)である。180a〜180hはChip A23のパッド(PAD)であり、181a,181c,181e,181g,181h、184a,184c,184e,184gは、I/F Chip82のパッド(PAD)であり、182b,182d,182f,183b,183d,183fはChip B33のパッド(PAD)である。190a〜190gは、ボンディングPAD13の上に配置されたChip A23およびI/F Chip82の配列の周囲に配置されたリード(LEAD)である。200a〜200h,201a〜201gはボンディングワイヤである。210aはI/F Chip82のI/F機能をなす配線素子であり、210bはI/F Chip82のI/F機能をなすドライバ素子であり、210cはI/F Chip82のI/F機能をなすレシーバ素子であり、210dはI/F Chip82のI/F機能をなす双方向バッファ素子である。
【0080】
次に接続について説明する。
Chip A23のPAD180a,180c,180e,180g,180hは、各々、ボンディングワイヤ200a,200c,200e,200g,200hによって、I/F Chip82のPAD181a,181c,181e,181g,181hに接続されている。Chip A23のPAD180b,180d,180fは、各々、ボンディングワイヤ200b,200d,200fによって、Chip B33のPAD182b,182d,182fに接続されている。I/F Chip82のPAD184a,184c,184e,184gは、各々、ボンディングワイヤ201a,201c,201e,201gによって、LEAD190a,190c,190e,190gに接続されている。Chip B33のPAD183b,183d,183fは、各々、ボンディングワイヤ201b,201d,201fによって、LEAD190b,190d,190fに接続されている。
【0081】
I/F Chip82のPAD181aとPAD184aとの間にはI/F機能をなす配線素子210aが接続されている。I/F Chip82のPAD181cとPAD184eとの間にはI/F機能をなすドライバ素子210bが接続されている。I/F Chip82のPAD181eとPAD184cとの間にはI/F機能をなすレシーバ素子210cが接続されている。I/F Chip82のPAD181gおよびPAD181hとPAD184gとの間にはI/F機能をなす双方向バッファ素子210dが接続されている。
【0082】
この実施の形態4の半導体集積回路装置4は、Chip A23とLEAD190a〜190gとの間の配線を行うために、Chip A23とLEAD190a〜190gとの間に配置されたChip B33の下にI/F Chip82を配置している。Chip A23のPAD180aとLEAD190aを接続する場合には、I/F Chip82の配線素子210aを経由して接続している。Chip A23のPAD180cとLEAD190eを接続する場合には、I/F Chip82のドライバ素子210bを経由して接続している。Chip A23のPAD180eとLEAD190cを接続する場合には、I/F Chip82のレシーバ素子210cを経由して接続している。Chip A23のPAD180gおよびPAD180hとLEAD190gを接続する場合には、I/F Chip82の双方向バッファ素子210dを経由して接続している。
【0083】
図6では、I/F Chip82のドライバ素子210bおよびレシーバ素子210cが、I/F Chip82内で互いに交差して設けられているが、その他の配線素子210aおよび双方向バッファ素子210dが、他の素子と交差するように設けられてもよい。また、図6では、I/F機能として、配線素子210a、ドライバ素子210b、レシーバ素子210c、および双方向バッファ素子210dがひとつずつ設けられているが、I/F機能は、これら4種類の素子からなる集合から選択された少なくともひとつの種類の素子からなるようにしてもよい。
【0084】
次に動作について説明する。
Chip A23のPAD180aは、I/F Chip82の配線素子210aを経由してLEAD190aに接続されているので、PAD180aとLEAD190aとの間で信号の伝達(LEAD190aが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD190aが電源LEADの場合)が行われる。
【0085】
Chip A23のPAD180cは、I/F Chip82のドライバ素子210bを経由してLEAD190eに接続されているので、PAD180cから出力された信号がドライバ素子210bを介してLEAD190eに出力される。
【0086】
Chip A23のPAD180eは、I/F Chip82のレシーバ素子210cを経由してLEAD190cに接続されているので、LEAD190cに入力された信号がレシーバ素子210cを介してPAD180eに入力される。
【0087】
Chip A23のPAD180gおよびPAD180hは、I/F Chip82の双方向バッファ素子210dを経由してLEAD190gに接続されているので、PAD180gから出力された信号が双方向バッファ素子210dを介してLEAD190gに出力され、LEAD190gに入力された信号が双方向バッファ素子210dを介してPAD180hに入力される。
【0088】
以上のように、この実施の形態4の半導体集積回路装置4は、各々が複数のPAD(PAD180a〜180h,182b,182d,182f,183b,183d,183f)を備えた2つの半導体集積回路チップ(Chip A23、Chip B33)と、半導体集積回路チップの配列の周囲に配置された複数のLEAD(LEAD190a〜190g)と、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ200a〜200h,201a〜201g)とを有し、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ200a〜200h,201a〜201g)は、一方の半導体集積回路チップ(Chip B33)をまたがることがないように接続されて、もう一方の集積回路半導体チップ(Chip A23)のPAD(PAD180a〜180h)とLEAD(LEAD190a〜190g)間の配線を可能にする。
【0089】
更に、この実施の形態4の半導体集積回路装置4は、一方の半導体集積回路チップ(Chip B33)の下に配置された、複数のPAD(PAD181a,181c,181e,181g,181h,184a,184c,184e,184g)を備えたI/F半導体集積回路チップ(I/F Chip82)を更に有し、I/F半導体集積回路チップ(I/F Chip82)が、もう一方の半導体集積回路チップ(Chip A23)とLEAD(LEAD190a〜190g)間のI/F機能を有する。
【0090】
更に、この実施の形態4の半導体集積回路装置4は、I/F機能が、配線素子(210a)、ドライバ素子(210b)、レシーバ素子(210c)、および双方向バッファ素子(210d)の集合から選択された少なくともひとつの素子を含む。
【0091】
以上のように、この実施の形態4によれば、Chip B33の下に配置されたI/F機能を含むI/F Chip82を介してChip A23とLEAD190a〜190gを接続するようにしたので、Chip A23とLEAD190a〜190gを接続する場合にChip B33をまたがる長いボンディングワイヤの配線をなくすことができ、またChip A23とLEAD190a〜190g間の配線を交差することもできる効果が得られる。また、Chip A23とLEAD190a〜190gをドライバ素子210b、レシーバ素子210c、および双方向バッファ素子210dを経由して接続することができる効果が得られる。また、I/F機能を含むI/FChip82をChip B33の下に配置したので、SIPの半導体集積回路全体の面積を削減できる効果が得られる。
【0092】
実施の形態5.
図8は、この発明の実施の形態5による半導体集積回路装置の平面図である。図9は、図8の線IX−IXに沿った断面図であり、半導体集積回路装置の構造をわかり易く示すために図8の線IXa−IXaおよび線IXb−IXbに沿った断面に現れる構成要素も示している。図8において、5は半導体集積回路装置である。14はボンディングパッド(ボンディングPAD)であり、24はボンディングPAD14の上に配置された半導体集積回路チップA(Chip A)であり、34はボンディングPAD14の上に配置された半導体集積回路チップB(ChipB)である。220a〜220dは、Chip Aのパッド(PAD)であり、221b,222bは、Chip B34のパッド(PAD)である。230a〜230dは、ボンディングPAD14の上に配置されたChipA24およびChip B34の配列の周囲に配置されたリード(LEAD)である。240a〜240d,241bはボンディングワイヤである。LEAD230c,230dは、Chip B34の下を延在して、Chip A24に隣接した位置に達している。
【0093】
次に接続について説明する。
Chip A24のPAD220aは、ボンディングワイヤ240aによってLEAD230aに接続されている。このボンディングワイヤ240aによる接続は、Chip B34をまたがっているので、この発明の半導体集積回路装置の意図する構造ではないが、以下に説明するこの実施の形態5の構造の特徴との比較のために図示した。Chip A24のPAD220bはボンディングワイヤ240bによってChip B34のPAD221bに接続されている。Chip A24のPAD220c,220dは、各々、ボンディングワイヤ240c,240dによって、LEAD230c,230dに接続されている。
【0094】
この実施の形態5の半導体集積回路装置では、Chip A24のPAD220c,220dは、各々、Chip B34の下を延在してChip A24に隣接した位置に達しているLEAD230c,230dに、ボンディングワイヤ240c,240dによって接続されている。このように、LEAD230c,230dがChip B34の下を延在してChip A24に隣接した位置に達しているので、LEAD230aにPAD220aを接続するためのボンディングワイヤ240aのようにChip B34をまたがることなく、ボンディングワイヤ240c,240dを配線することができる。
【0095】
次に動作について説明する。
Chip A24のPAD220bは、ボンディングワイヤ240bによってChip B34のPAD221bと接続されているので、PAD220bとPAD221bとの間では、信号の伝達または電力の供給が行われる。Chip A24のPAD220cはボンディングワイヤ240cによってLEAD230cに接続されているので、PAD220cとLEAD230cとの間で信号の伝達(LEAD230cが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD230cが電源LEADの場合)が行われる。Chip A24のPAD220dはボンディングワイヤ240dによってLEAD230dに接続されているので、PAD220dとLEAD230dとの間で信号の伝達(LEAD230dが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD230dが電源LEADの場合)が行われる。Chip B34のPAD222bはボンディングワイヤ241bによってLEAD230bに接続されているので、PAD222bとLEAD230bとの間で信号の伝達(LEAD230bが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD230bが電源LEADの場合)が行われる。
【0096】
以上のように、この実施の形態5の半導体集積回路装置5は、各々が複数のPAD(PAD220a〜220d,221b,222b)を備えた2つの半導体集積回路チップ(Chip A24、Chip B34)と、半導体集積回路チップの配列の周囲に配置された複数のLEAD(LEAD230a〜230d)と、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ240b〜240d,241b)とを有し、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ240b〜240d,241b)は、一方の半導体集積回路チップ(Chip B34)をまたがることがないように接続されて、もう一方の集積回路半導体チップ(Chip A24)のPAD(220b〜220d)とLEAD(LEAD230b〜230d)間の配線を可能にする。
【0097】
更に、この実施の形態5の半導体集積回路装置5は、一方の半導体集積回路チップ(Chip B34)の下を延在して、もう一方の半導体集積回路チップ(Chip A24)に隣接した位置に達するLEADが含まれている。
【0098】
以上のように、この実施の形態5によれば、Chip B34の下を延在してChip A24に隣接した位置に達するLEADを設けたので、Chip A24とLEAD間のワイヤリング(配線)を最短で行える効果が得られる。
【0099】
実施の形態6.
図10は、この発明の実施の形態6による半導体集積回路装置の平面図である。図10において、6は半導体集積回路装置であり、250は半導体集積回路チップ(Chip)である。260a〜260dはChip250のパッド(PAD)であり、270a〜270dはChip250の周囲に配置されたリード(LEAD)である。280a,280bはボンディングワイヤである。290は内部に直流電源(図示していない)を備えた電流計である。300a,300b,300cはChip250のチップ内配線である。
【0100】
次に接続について説明する。
Chip250のPAD260aおよびPAD260bは、各々、ボンディングワイヤ280aおよびボンディングワイヤ280bによってLEAD270bに接続されている。PAD260aは、チップ内配線300bによってPAD260dに接続されている。PAD260bは、チップ内配線300cによってPAD260cに接続されている。PAD260aおよびPAD260bはチップ内配線300aによって互いに接続されている。PAD260cとPAD260dの間には、電流計290が接続されている。
【0101】
図10の半導体集積回路装置では、PAD260aおよびPAD260bはチップ内配線300aによって互いに接続されているが、PAD260aおよびPAD260bはチップ内配線300aによって接続されていなくてもよい。また、電流計290は、チップ内配線300bによってPAD260aに接続されたPAD260dと、チップ内配線300cによってPAD260bに接続されたPAD260cとの間に接続されているが、PAD260aとPAD260bとの間に直接接続されていてもよい。
【0102】
次に動作について説明する。
Chip250のPAD260aおよびPAD260bは、各々、ボンディングワイヤ280aおよびボンディングワイヤ280bによってLEAD270bに接続されているので、PAD260aとLEAD270bの間およびPAD260bとLEAD270bの間では、信号の伝達(LEAD270bが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD270bが電源LEADの場合)が行われる。
【0103】
この実施の形態6で行われる電流計290による接続テストは以下のような原理に基づく。
まず、PAD260aおよびPAD260bの両方がLEAD270bに接続されている場合、電流計290によって測定される電流が流れる経路は、PAD260d−チップ内配線300b−チップ内配線300a(およびPAD260aとPAD260bの間の図示されていないその他のチップ内配線)−チップ内配線300c−PAD260cという第1の経路と、PAD260d−チップ内配線300b−PAD260a−ホンディングワイヤ280a−LEAD270b−ボンディングワイヤ280b−PAD260b−チップ内配線300c−PAD260cという第2の経路の2つの経路である。
【0104】
次に、PAD260aおよびPAD260bの何れかまたは両方がLEAD270bに接続されていない場合、電流計290によって測定される電流が流れる経路は、上述された第1の経路のみとなる。したがって、第1の経路および第2の経路の両方を電流が流れる場合(すなわち、PAD260aおよびPAD260bの両方がLEAD270bに接続されている場合)に比べて、電流が流れる経路の抵抗値が高くなり、電流値は少なくなる。
【0105】
したがって、PAD260aおよびPAD260bの両方がLEAD270bに接続されている場合の電流値を正常な値として、この正常な値よりも相対的に電流値が低い場合をPAD260aおよびPAD260bとLEAD270b間の接続が切断されていると判定することにより、接続テストが行われる。
【0106】
以上のように、この実施の形態6の半導体集積回路装置6は、複数のPAD(PAD260a〜260d)を備えた半導体集積回路チップ(Chip250)と、半導体集積回路チップ(Chip250)の周囲に配置された複数のLEAD(LEAD270a〜270d)と、複数のLEAD(LEAD270a〜270d)のうちのひとつのLEAD(LEAD270b)を、複数のPAD(PAD260a〜260d)のうちの2つのPAD(PAD260a,260b)に接続する2つのボンディングワイヤ(280a,280b)とを有する。
【0107】
更に、この実施の形態6の半導体集積回路装置6は、半導体集積回路チップ(Chip250)が、2つのボンディングワイヤ(280a,280b)によってひとつのLEAD(LEAD270b)に接続された2つのPAD(PAD260a,260b)間の電流を測定して2つのボンディングワイヤの接続テストを行うためのPAD(PAD260c,260d)を含む。
【0108】
以上のように、この実施の形態6によれば、ひとつのLEAD(LEAD270b)から2つのPAD(PAD260a,260b)にワイヤリング(配線)したので、使用するLEADの数を削減できる効果が得られる。また、ひとつのLEAD(LEAD270b)に接続された2つのPAD(PAD260a,260b)間の電流を測定して2つのボンディングワイヤの接続テストを行うためのPAD(PAD260c,260d)を含むようにしたので、両方のPADがボンディングワイヤによってLEADに接続されているか否かの接続テストを行うことができる効果が得られる。
【0109】
実施の形態7.
図11は、この発明の実施の形態7による半導体集積回路装置の平面図である。図11において、7は半導体集積回路装置であり、251は半導体集積回路チップ(Chip)である。261a〜261eはChip251のパッド(PAD)であり、271a〜271dはChip251の周囲に配置されたリード(LEAD)である。281a,281bはボンディングワイヤである。291は内部に直流電源(図示していない)を備えた電流計である。301a〜301dはChip251のチップ内配線である。
【0110】
次に接続について説明する。
Chip251のPAD261cはボンディングワイヤ281bによってLEAD271bに接続されている。PAD261aおよびPAD261bは、各々、チップ内配線301aおよびチップ内配線301bに接続されていて、PAD261bはチップ内配線301bによってPAD261cに接続されている。PAD261aおよびPAD261bは、ボディングワイヤ281aによって互いに接続されている。PAD261dおよびPAD261eは、各々、チップ内配線301dおよびチップ内配線301cによって、PAD261bおよびPAD261aに接続されている。PAD261dとPAD261eの間には、電流計291が接続されている。
【0111】
図11の半導体集積回路装置では、電流計291は、チップ内配線301dによってPAD261bに接続されたPAD261dと、チップ内配線301cによってPAD261aに接続されたPAD261eとの間に接続されているが、PAD261bとPAD261aとの間に直接接続されていてもよい。
【0112】
次に動作について説明する。
Chip251のPAD261cはボンディングワイヤ281bによってLEAD271bに接続され、PAD261bはチップ内配線301bによってPAD261cに接続され、PAD261aはボンディングワイヤ281aによってPAD261bに接続されている。したがって、PAD261aおよびPAD261bとLEAD271bとの間では、信号の伝達(LEAD271bが信号用LEADの場合)または電力の供給(LEAD271bが電源LEADの場合)が行われる。図11では、チップ内配線301aおよびチップ内配線301bが電源用のチップ内配線として、LEAD271bが電源LEADとして、各々、示されている。
【0113】
この実施の形態7で行われる電流計291による接続テストは以下のような原理に基づく。
まず、PAD261aとPAD261bがボンディングワイヤ281aによって接続されている場合、電流計291によって測定される電流が流れる経路は、PAD261e−チップ内配線301c−PAD261a−ボンディングワイヤ281a−PAD261b−チップ内配線301d−PAD261dという第1の経路と、PAD261e−チップ内配線301c−PAD261a−PAD261aとPAD261bの間の図示されていないその他のチップ内配線−PAD261b−チップ内配線301d−PAD261dという第2の経路という2つの経路である。
【0114】
次に、PAD261aおよびPAD261bがボンディングワイヤ281aによって互いに接続されていない場合、電流計291によって測定される電流が流れる経路は、上述された第2の経路のみとなる。したがって、第1の経路および第2の経路の両方を電流が流れる場合(すなわち、PAD261aおよびPAD261bがボンディングワイヤ281aによって互いに接続されている場合)に比べて、電流が流れる経路の抵抗値が高くなり、電流値は少なくなる。
【0115】
したがって、PAD261aおよびPAD261bがボンディングワイヤ281aによって互いに接続されている場合の電流値を正常な値として、この正常な値よりも相対的に電流値が低い場合をPAD261aおよびPAD261b間の接続が切断されていると判定することにより、接続テストが行われる。
【0116】
以上のように、この実施の形態7の半導体集積回路装置7は、複数のPAD(PAD261a〜261e)を備えた半導体集積回路チップ(Chip251)と、半導体集積回路チップ(Chip251)の周囲に配置された複数のLEAD(LEAD271a〜271d)と、半導体集積回路チップ(Chip251)内の電源(チップ内配線301a,301b)間を接続するボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ281a)とを有する。
【0117】
更に、この実施の形態7の半導体集積回路装置7は、半導体集積回路チップ(Chip251)が、半導体集積回路チップ(Chip251)内の電源(チップ内配線301a,301d)間の電流を測定して電源間を接続するボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ281a)の接続テストを行うためのPAD(PAD261d,261e)を含む。
【0118】
以上のように、この実施の形態7によれば、半導体集積回路チップ(Chip251)内の電源(チップ内配線301a,301b)間をボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ281a)で接続したので、電源間の電源強化が可能であり、電源配線領域の面積を削減して半導体集積回路チップの面積を削減することが可能であるという効果が得られる。また、半導体集積回路チップ(Chip251)内の電源(チップ内配線301a,301d)間の電流を測定して電源間を接続するボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ281a)の接続テストを行うためのPAD(PAD261d,261e)を含むようにしたので、電源間がボンディングワイヤによって接続されているか否かの接続テストを行うことができる効果が得られる。
【0119】
実施の形態8.
図12は、この発明の実施の形態8による半導体集積回路装置の平面図である。図12において、8は半導体集積回路装置であり、15はボンディングパッド(ボンディングPAD)である。252はボンティグPAD15の上に配置された半導体集積回路チップ(Chip)である。310a〜310d,310j〜310l,310r,310u〜310wは、Chip252のパッド(PAD)である。320k,320l,320rは、ボンディングPAD15の上に配置されたChip252の配列の周囲に配置されたリード(LEAD)である。330a,330bは、電源リード(VDD)であり、330a1はVDD330aの外向きに延在する部分であり、330a2,330a3は、VDD330aのChip252の配列の周囲に沿って延在する部分であり、330b1はVDD330bの外向きに延在する部分であり、330b2,330b3は、VDD330bのChip252の配列の周囲に沿って延在する部分である。340a,340bは、グランドリード(GND)であり、340a1はGND340aの外向きに延在する部分であり、340a2,340a3は、GND340aのChip252の配列の周囲に沿って延在する部分であり、340b1はGND340bの外向きに延在する部分であり、340b2,340b3は、GND340bのChip252の配列の周囲に沿って延在する部分である。350a〜350d,350j〜350l,350r,350u〜350w,351a,351bはボンディングワイヤである。360a,360bは、ボンディングPAD15を固定するためのボンディングPAD固定用リード(LEAD)である。
【0120】
次に接続について説明する。
Chip252のPAD310a,310c,310u,310wは、各々、ボンディングワイヤ350a,350c,350u,350wによって、VDD330bに接続されている。PAD310b,310d,310vは、各々、ボンディングワイヤ350b,350d,350vによって、GND340bに接続されている。PAD310jは、ボンディングワイヤ350jによってGND340aに接続されている。PAD310k,310l,310rは、各々、ボンディングワイヤ350k,350l,350rによって、LEAD320k,320l,320rに接続されている。VDD330aおよびVDD330bはボンディングワイヤ351aによって互いに接続されている。GND340aおよびGND340bはボンディングワイヤ351bによって互いに接続されている。
【0121】
図12の半導体集積回路装置では、VDD330aおよびVDD330bの両方が、Chip252の周囲に沿って延在する部分と、ボンディングPAD固定用LEAD360bに沿って延在する部分とを有するが、VDD330aおよびVDD330bのいずれか一方は、Chip252の周囲に沿って延在する部分のみを有するものでもよい。同様に、GND340aおよびGND340bの両方が、Chip252の周囲に沿って延在する部分と、ボンディングPAD固定用LEAD360aに沿って延在する部分とを有するが、GND340aおよびGND340bのいずれか一方は、Chip252の周囲に沿って延在する部分のみを有するものでもよい。
【0122】
次に動作について説明する。
PAD310k,310l,310rは、各々、信号用のLEAD320k,320l,320rに接続されているので、これらのPADとLEADとの間では信号の伝達が行われる。PAD310a,310c,310u,310wは、VDD330bに接続されているので、これらのPADには電源電圧が供給される。PAD310b,310d,310vはGND340bに、PAD310jはGND340aに接続されているので、これらのPADにはグランド電位が供給される。
【0123】
以上のように、この実施の形態8の半導体集積回路装置8は、複数のPAD(PAD310a〜310d,310j〜310l,310r,310u〜310w)を備えた半導体集積回路チップ(Chip252)と、半導体集積回路チップ(Chip252)の配列の周囲に配置されたひとつまたは複数のLEAD(LEAD320k,320l,320r、VDD330a,330b、GND340a,340b)と、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ350a〜350d,350j〜350l,350r,350u〜350w)とを有し、複数のLEADのうちの少なくともひとつのLEAD(VDD330b、GND340b)が、複数のボンディングワイヤのうちの対応するボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ310a,310c,310u,310w)によって、複数のPADのうちの2つ以上のPAD(PAD310a,310c,310u,310w)に接続されている。
【0124】
更に、この実施の形態8の半導体集積回路装置8は、2つ以上のPADに接続されたLEAD(VDD330b、GND340b)が、半導体集積回路チップ(Chip252)の配列の周囲に沿って延在する部分(330b2,330b3,340b2,340b3)を含む。
【0125】
以上のように、この実施の形態8によれば、複数のLEADのうちの少なくともひとつのLEAD(VDD330b、GND340b)が、複数のボンディングワイヤのうちの対応するボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ310a,310c,310u,310w)によって、複数のPADのうちの2つ以上のPAD(PAD310a,310c,310u,310w)に接続されるようにしたので、半導体集積回路チップ内の複数のPADに電源を供給することが可能であるという効果が得られる。
【0126】
また、2つ以上のPADに接続されたLEAD(VDD330b、GND340b)が、半導体集積回路チップ(Chip252)の配列の周囲に沿って延在する部分(330b2,330b3,340b2,340b3)を含むようにしたので、半導体集積回路チップ周辺のどの方向からでも、複数のPADに電源およびグランドを容易に接続できるという効果が得られる。
【0127】
実施の形態9.
図13は、この発明の実施の形態9による半導体集積回路装置の平面図である。図13において、9は半導体集積回路装置であり、16はボンディングパッド(ボンディングPAD)である。253はボンディングPAD16の上に配置された半導体集積回路チップA(Chip A)であり、254はボンディングPAD16の上に配置された半導体集積回路チップB(Chip B)である。311a〜311h,311j,311m,311n,311pは、Chip A253のパッド(PAD)であり、312h,312iはChip B254のパッド(PAD)である。321a〜321iは、ボンディングPAD16の上に配置されたChip A253およびChip B254の配列の周囲に配置されたリード(LEAD)である。331a,331b,331cは、電源LEADである。352a〜352h,352j,352m,352n,352p,353h,353i,354a,354bは、ボンディングワイヤである。361a,361bは、ボンディングPAD16を固定するためのボンディングPAD固定用リード(LEAD)である。
【0128】
次に接続について説明する。
Chip A253のPAD311a,311b,311d,311e,311g,311j,311mは、各々、ボンディングワイヤ352a,352b,352d,352e,352g,352j,352mよって、LEAD321a,321b,321d,321e,321g,321f,321cに接続されている。Chip B254のPAD312h,312iは、各々、ボンディングワイヤ353h,353iによって、LEAD321h,321iに接続されている。Chip A253のPAD311c,311f,311nは、各々、ボンディングワイヤ352c,352f,352nによって、電源LEAD331cに接続されている。Chip A253のPAD311h,311pは、各々、ボンディングワイヤ352h,352pによって、電源LEAD331a,331bに接続されている。
【0129】
図13の半導体集積回路装置では、電源LEAD331cはChip A253の周囲に沿って延在する部分のみを有するが、電源LEAD331cの両端部から半導体集積回路装置の外側に向けてその他のLEADに沿って延在する2つの部分を更に有するものでもよい。また、Chip A253の周囲に沿って延在する部分を含むもうひとつのLEADを更に設けて、電源LEAD331cを電源電圧用のLEAD(VDD)として使用し、もうひとつのLEADをグランド用のLEAD(GND)として使用するようにしてもよい。
【0130】
次に動作について説明する。
Chip A253のPAD311a,311b,311d,311e,311g,311j,311m、およびChip B254のPAD312h,312iは、各々、信号用のLEAD321a,321b,321d,321e,321g,321f,321c,321h,321iに接続されているので、これらのPADとLEADとの間では信号の伝達が行われる。PAD311c,311f,311nは、電源LEAD331cに接続されていて、電源LEAD331cは外部の電源に接続された電源LEAD331a,331bに接続されているので、これらのPADには電源電圧が供給される。PAD311h,311pは、各々、外部の電源に接続された電源LEAD331a,331bに接続されているので、これらのPADには電源電圧が供給される。
【0131】
以上のように、この実施の形態9の半導体集積回路装置9は、複数のPAD(PAD311a〜311h,311j,311m,311n,311p,312h,312i)を備えた半導体集積回路チップ(Chip A253、ChipB254)と、半導体集積回路チップ(Chip A253、Chip B254)の配列の周囲に配置されたひとつまたは複数のLEAD(LEAD321a〜321i,331a〜331c)と、複数のボンディングワイヤ(352a〜352h,352j,352m,352n,352p,353h,353i,354a,354b)とを有し、複数のLEADのうちの少なくともひとつのLEAD(LEAD331c)が、複数のボンディングワイヤのうちの対応するボンディングワイヤ(352c,352f,352n)によって、複数のPADのうちの2つ以上のPAD(PAD311c,311f,311n)に接続されている。
【0132】
更に、この実施の形態9の半導体集積回路装置9は、2つ以上のPADに接続されたLEAD(LEAD331c)が、半導体集積回路チップの配列の周囲に沿って延在する部分を含み、2つ以上のPADに接続されたLEADとは別のLEAD(LEAD331a,331b)に、ボンディングワイヤ(354a,354b)によって接続されている。
【0133】
以上のように、この実施の形態9によれば、複数のLEADのうちの少なくともひとつのLEAD(LEAD331c)が、複数のボンディングワイヤのうちの対応するボンディングワイヤ(352c,352f,352n)によって、複数のPADのうちの2つ以上のPAD(PAD311c,311f,311n)に接続されるようにしたので、半導体集積回路チップ内の複数のPADに電源を供給することが可能であるという効果が得られる。
【0134】
また、2つ以上のPADに接続されたLEAD(LEAD331c)が、半導体集積回路チップの配列の周囲に沿って延在する部分を含み、2つ以上のPADに接続されたLEADとは別のLEAD(LEAD331a,331b)に、ボンディングワイヤ(354a,354b)によって接続されるようにしたので、外部の電源に直接接続されないLEADから複数のPADに電源を供給して、従来電源用のLEADとして使用されていたLEADを信号用のLEADとして使用することができるという効果が得られる。
【0135】
実施の形態10.
図14は、この発明の実施の形態10による半導体集積回路装置の平面図である。図15は、この実施の形態10による半導体集積回路装置の模式図である。図14において、501は半導体集積回路装置であり、255は半導体集積回路チップ(Chip)である。332は、Chip255の配列の周囲に配置された電源リード(LEAD)であり、332aは、電源LEAD332の外向きに延在する部分であり、332b,332cは、電源LEAD332のChip255の配列の周囲に沿って延在する部分である。370j,370k,370p,370u〜370xは、Chip255のパッド(PAD)である。355u〜355xはボンディングワイヤである。302j,302k,302p,302u〜302xは、Chip 255のチップ内配線である。292は内部に直流電源(図示されていない)を備えた電流計である。400はセレクタであり、410はレジスタである。図15において、420aは、PAD370uとPAD370vの間の抵抗値を表す抵抗であり、420bは、PAD370vとPAD370wの間の抵抗値を表す抵抗であり、420cは、PAD370wとPAD370uの間の抵抗値を表す抵抗である。
【0136】
次に接続について説明する。
PAD370u,370v,370w,370xは、各々、ボンディングワイヤ355u,355v,355w,355xによって、電源LEAD332に接続されている。PAD370u,370v,370w,370xは、各々、チップ内配線302u,302v,302w,302xによって、セレクタ400に接続されている。PAD370j,370kは電流計292に接続されている。PAD370j,370kは、各々、チップ内配線302j,302kによってセレクタ400に接続されている。PAD370pはチップ内配線302pによってレジスタ410に接続されている。
【0137】
図14の半導体集積回路装置では、電源LEAD332に加えてもうひとつのLEADを設けて、電源LEAD332を電源電圧用のLEAD(VDD)として使用し、もうひとつのLEADをグランド用のLEAD(GND)として使用するようにしてもよい。
【0138】
次に動作について説明する。
Chip255のPAD370u〜370xは電源LEAD322に接続されているので、これらのPADには電源電圧が供給される。PAD370pはレジスタ410に接続されているので、PAD370pから入力された選択データがレジスタ410に入力されて記憶される。電流計292が接続されたPAD370jおよび370kは、各々、チップ内配線302jおよびチップ内配線302kによってセレクタ400に接続されているので、レジスタ410に記憶された選択データに基づいてセレクタ400が選択したPAD370u〜370xのうちの2つのPADの間を流れる電流が、電流計292によって測定される。
【0139】
この実施の形態10での接続テストは以下のようにして行われる。
図15に示すように、PAD370u,370v,370wの3つのPADの間の接続テストを行う場合について説明する。セレクタ400は、レジスタ410に記憶された選択データに基づいて、例えばPAD370uとPAD370vを選択して、PAD370uが接続されたチップ内配線302uをチップ内配線302kに接続し、PAD370vが接続されたチップ内配線302vをチップ内配線302jに接続する。これにより、電流計292は、PAD370uおよびPAD370vに接続されて、PAD370uおよびPAD370v間の抵抗値(抵抗420aが表す値)に応じた電流値が測定される。したがって、PAD370uおよびPAD370vが、各々、ボンディングワイヤ355uおよびボンディングワイヤ355vによって電源LEAD332に接続されている場合の電流値を正常な値として、この正常な値よりも相対的に電流値が低い場合をPAD370uおよびPAD370v間の接続が切断されていると判定することにより、接続テストが行われる。セレクタ400によってその他のPADの組み合わせが選択された場合も同様に接続テストが行われる。
【0140】
以上のように、この実施の形態10の半導体集積回路装置501は、複数のPAD(PAD370j,370k,370p,370u〜370x)を備えた半導体集積回路チップ(Chip255)と、半導体集積回路チップ(Chip255)の配列の周囲に配置されたひとつまたは複数のLEAD(電源LEAD332)と、複数のボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ355u〜355x)とを有し、複数のLEADのうちの少なくともひとつのLEAD(電源LEAD332)が、複数のボンディングワイヤのうちの対応するボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ355u〜355x)によって、複数のPADのうちの2つ以上のPAD(PAD370u,370v,370w,370x)に接続されている。
【0141】
更に、この実施の形態10の半導体集積回路装置501は、2つ以上のPADに接続されたLEAD(電源LEAD332)が、半導体集積回路チップ(Chip255)の配列の周囲に沿って延在する部分(332b,332c)を含む。
【0142】
更に、この実施の形態10の半導体集積回路装置501は、半導体集積回路チップ(Chip255)が、ひとつのLEADに接続された2つ以上のPAD(PAD370u〜370x)の各々の間の電流を測定して各PAD間を接続するボンディングワイヤ(355u〜355x)の接続テストを行うためのPAD(PAD370j,370k)を含む。
【0143】
更に、この実施の形態10の半導体集積回路装置501は、半導体集積回路チップ(Chip255)が、測定される2つのPADを選択するためのセレクタ(400)を更に有する。
【0144】
以上のように、この実施の形態10によれば、複数のLEADのうちの少なくともひとつのLEAD(電源LEAD332)が、複数のボンディングワイヤのうちの対応するボンディングワイヤ(ボンディングワイヤ355u〜355x)によって、複数のPADのうちの2つ以上のPAD(PAD370u,370v,370w,370x)に接続されるようにしたので、半導体集積回路チップ内の複数のPADに電源を供給することが可能であるという効果が得られる。
【0145】
また、2つ以上のPADに接続されたLEAD(電源LEAD332)が、半導体集積回路チップ(Chip255)の配列の周囲に沿って延在する部分(332b,332c)を含むようにしたので、半導体集積回路チップ周辺のどの方向からでも、複数のPADに電源およびグランドを容易に接続できるという効果が得られる。
【0146】
また、半導体集積回路チップ(Chip255)が、ひとつのLEADに接続された2つ以上のPAD(PAD370u〜370x)の各々の間の電流を測定して各PAD間を接続するボンディングワイヤ(355u〜355x)の接続テストを行うためのPAD(PAD370j,370k)を含むようにしたので、各PADがボンディングワイヤによってLEADに接続されているか否かの接続テストを行うことができる効果が得られる。
【0147】
また、半導体集積回路チップ(Chip255)が、測定される2つのPADを選択するためのセレクタ(400)を更に有するので、接続テストを行うPADを選択して電流の測定を行うことができる効果が得られる。
【0148】
実施の形態11.
図16は、この発明の実施の形態11による半導体集積回路装置の平面図である。図16において、502は半導体集積回路装置であり、256は半導体集積回路チップ(Chip)である。430a〜430cはChip256のパッド(PAD)であり、480a,480b,481a〜481eはチップ内配線である。440a〜440dは、温度センサーをなすダイオードである。401はセレクタであり、450は電圧計である。460はグランド(GND)である。
【0149】
次に接続について説明する。
ダイオード440a〜440dは直列接続されていて、ダイオード440aのアノード、ダイオード440bのアノード、ダイオード440cのアノード、ダイオード440dのアノード、およびダイオード440dのカソードは、各々、チップ内配線481a,481b,481c,481d,481eによってセレクタ401に接続されている。ダイオード440aのアノードはPAD430cにも接続されていて、ダイオード440dのカソードはグランド(GND)460にも接続されている。PAD430cには直列接続されたダイオード440a〜440dに電流を流すための外部電源(図示されていない)が接続される。図16に示すように、直列接続されたダイオード440a〜440dは、Chip256の平面上の一方向に沿って直線状に配置されている。セレクタ401はチップ内配線480aおよびチップ内配線480bによって、PAD430aおよびPAD430bに接続されていて、PAD430aおよびPAD430b間には電圧計450が接続されている。セレクタ401にはレジスタ(図示されていない)が接続されていて、このレジスタにはPAD(図示されていない)が接続されている。
【0150】
次に動作について説明する。
セレクタ401はレジスタ(図示されていない)に記憶された選択データに基づいて、ダイオード440a〜440dのいずれかひとつのダイオードを選択するために、チップ内配線481a〜481eのうちの一組のチップ内配線を、PAD430aおよびPAD430bに接続されたチップ内配線480aおよびチップ内配線480bに接続する。電圧計450は、セレクタ401を介してPAD430aおよびPAD430bに接続された一組のチップ内配線が接続されたダイオードのアノード・カソード間の電圧を測定する。電圧計450によって測定された電圧から、セレクタ401によって選択されたダイオードが配置された場所のChip256の温度を知ることができる。セレクタ401は、レジスタ(図示されていない)に記憶された選択データに基づいて、ダイオード440a〜440dのうちの連続して接続された2つ以上のダイオードを選択して、これら連続して接続された2つ以上のダイオードの全体の電圧を電圧計450で測定することもできる。
【0151】
以上のように、この実施の形態11の半導体集積回路装置502は、複数のPAD(PAD430a〜430c)を備えた半導体集積回路チップ(Chip256)と、半導体集積回路チップ(Chip256)内の温度分布を測定するための複数の温度センサー(440a〜440d)とを有する。
【0152】
更に、この実施の形態11の半導体集積回路装置502は、複数の温度センサー(440a〜440d)が、直列接続された複数の温度センサーからなる列として半導体集積回路チップ内に配置されている。
【0153】
更に、この実施の形態11の半導体集積回路装置502は、半導体集積回路チップ(Chip256)が、温度センサー(440a〜440d)を選択するためのセレクタ(401)を更に有する。
【0154】
以上のように、この実施の形態11によれば、半導体集積回路チップ(Chip256)内の温度分布を測定するための複数の温度センサー(440a〜440d)を有するので、半導体集積回路チップ(Chip256)内の温度分布を知ることで、半導体集積回路チップ(Chip256)内の温度分布の想定をして半導体集積回路チップのサイズを縮小化することができる効果が得られる。
【0155】
また、複数の温度センサー(440a〜440d)が、直列接続された複数の温度センサーからなる列として半導体集積回路チップ内に配置されているので、温度センサーからなる列に沿った場所の温度分布を知ることができる効果が得られる。
【0156】
また、半導体集積回路チップ(Chip256)が、温度センサー(440a〜440d)を選択するためのセレクタ(401)を更に有するので、各温度センサーが配置された場所の温度を測定できる効果が得られる。
【0157】
実施の形態12.
図17は、この発明の実施の形態12による半導体集積回路装置の平面図である。図17において、503は半導体集積回路装置であり、257は半導体集積回路チップ(Chip)である。431a〜431cはChip257のパッド(PAD)であり、482a,482b,483a〜481e,484a〜484c,485a〜485c,486はチップ内配線である。441a〜441d,442a〜442d,443a〜443dは、温度センサーをなすダイオードである。402はセレクタであり、451は電圧計である。461a〜461cはグランド(GND)である。470はスイッチである。
【0158】
次に接続について説明する。
ダイオード441a〜441dは直列接続されていて、ダイオード441aのアノード、ダイオード441bのアノード、ダイオード441cのアノード、ダイオード441dのアノード、およびダイオード441dのカソードは、各々、チップ内配線483a,483b,483c,483d,483eによってセレクタ402に接続されている。ダイオード442a〜442d、およびダイオード443a〜443dは、各々、直列接続されていて、ダイオード441a〜441dと同様にセレクタ402に接続されている。ダイオード441aのアノードはチップ内配線484aによってスイッチ470にも接続されていて、ダイオード441dのカソードはチップ内配線485aによってグランド(GND)461aにも接続されている。ダイオード442aのアノードはチップ内配線484bによってスイッチ470にも接続されていて、ダイオード442dのカソードはチップ内配線485bによってグランド(GND)461bにも接続されている。ダイオード443aのアノードはチップ内配線484cによってスイッチ470にも接続されていて、ダイオード443dのカソードはチップ内配線485cによってグランド(GND)461cにも接続されている。図17に示すように、直列接続されたダイオード441a〜441d、直列接続されたダイオード442a〜442d、および直列接続されたダイオード443a〜443dは、各々、Chip257の平面上の一方向に沿って直線状に配置された複数の温度センサーからなる列を構成し、これら複数の温度センサーからなる列が、互いに並列接続されてChip257の平面上の前記一方向と直交する方向に沿って配置されている。セレクタ402はチップ内配線482aおよびチップ内配線482bによって、PAD431aおよびPAD431bに接続されていて、PAD431aおよびPAD431b間には電圧計451が接続されている。セレクタ402にはレジスタ(図示されていない)が接続されていて、このレジスタにはPAD(図示されていない)が接続されている。スイッチ470はチップ内配線486によってPAD431cに接続されている。PAD431cには直列接続されたダイオード441a〜441d,442a〜442d,443a〜443dに電流を流すための外部電源(図示されていない)が接続される。
【0159】
次に動作について説明する。
スイッチ470はレジスタ(図示されていない)に記憶された選択データに基づいて、直列接続されたダイオードからなる列441a〜441d,442a〜442d,443a〜443dのいずれかひとつの列を選択するために、チップ内配線484a〜484cのいずれかひとつをPAD431cに接続する。セレクタ402はレジスタ(図示されていない)に記憶された選択データに基づいて、スイッチ470によって選択された直列接続されたダイオードの列のいずれかひとつのダイオードを選択するために、チップ内配線483a〜483eのうちの一組のチップ内配線を、PAD431aおよびPAD431bに接続されたチップ内配線482aおよびチップ内配線482bに接続する。電圧計451は、セレクタ402を介してPAD431aおよびPAD431bに接続された一組のチップ内配線が接続されたダイオードのアノード・カソード間の電圧を測定する。電圧計451によって測定された電圧から、セレクタ402によって選択されたダイオードが配置された場所のChip257の温度を知ることができる。セレクタ402は、レジスタ(図示されていない)に記憶された選択データに基づいて、スイッチ470によって選択された直列接続されたダイオードの列の連続して接続された2つ以上のダイオードを選択して、これら連続して接続された2つ以上のダイオードの全体の電圧を電圧計451で測定することもできる。
【0160】
以上のように、この実施の形態12の半導体集積回路装置503は、複数のPAD(PAD431a〜431c)を備えた半導体集積回路チップ(Chip257)と、半導体集積回路チップ(Chip257)内の温度分布を測定するための複数の温度センサー(441a〜441d,442a〜442d,443a〜443d)とを有する。
【0161】
更に、この実施の形態12の半導体集積回路装置503は、複数の温度センサー(441a〜441d,442a〜442d,443a〜443d)が、直列接続された複数の温度センサーからなる列が互いに並列接続された複数の列(441a〜441d,442a〜442d,443a〜443d)として半導体集積回路チップ内に配置されている
【0162】
更に、この実施の形態12の半導体集積回路装置503は、半導体集積回路チップ(Chip257)が、温度センサーからなる列を選択するためのスイッチ(470)と、各列の温度センサーを選択するためのセレクタ(402)とを更に有する。
【0163】
以上のように、この実施の形態12によれば、半導体集積回路チップ(Chip257)内の温度分布を測定するための複数の温度センサー(441a〜441d,442a〜442d,443a〜443d)を有するので、半導体集積回路チップ(Chip257)内の温度分布を知ることで、半導体集積回路チップ(Chip257)内の温度分布の想定をして半導体集積回路チップのサイズを縮小化することができる効果が得られる。
【0164】
また、複数の温度センサー(441a〜441d,442a〜442d,443a〜443d)が、直列接続された複数の温度センサーからなる列が互いに並列接続された複数の列(441a〜441d,442a〜442d,443a〜443d)として半導体集積回路チップ内に配置されているので、温度センサーからなる列の各々の列に沿った場所の温度分布を知ることができる効果が得られる。
【0165】
また、半導体集積回路チップ(Chip257)が、温度センサーからなる列を選択するためのスイッチ(470)と、各列の温度センサーを選択するためのセレクタ(402)とを更に有するので、各温度センサーが配置された場所の温度を測定できる効果が得られる。
【0166】
【発明の効果】
以上のように、この発明によれば、複数の信号用第1ボンディングワイヤは、一方の半導体集積回路チップをまたぐことがないように接続されて、もう一方の半導体集積回路チップのパッドと信号用リードと間の配線をするように構成し、かつ、一方の半導体集積回路チップには互いに交差する2本の信号用配線を含ませたので、パッドとリードとのボンディングワによる接続を容易かつ確実にするという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1による半導体集積回路装置の平面図である。
【図2】 この発明の実施の形態2による半導体集積回路装置の平面図である。
【図3】 この発明の実施の形態3による半導体集積回路装置の平面図である。
【図4】 図3の線IV−IVに沿った断面図である。
【図5】 図3の線V−Vに沿った断面図である。
【図6】 この発明の実施の形態4による半導体集積回路装置の平面図である。
【図7】 図6の線VII−VIIに沿った断面図である。
【図8】 この発明の実施の形態5による半導体集積回路装置の平面図である。
【図9】 図8の線IX−IXに沿った断面図である。
【図10】 この発明の実施の形態6による半導体集積回路装置の平面図である。
【図11】 この発明の実施の形態7による半導体集積回路装置の平面図である。
【図12】 この発明の実施の形態8による半導体集積回路装置の平面図である。
【図13】 この発明の実施の形態9による半導体集積回路装置の平面図である。
【図14】 この発明の実施の形態10による半導体集積回路装置の平面図である。
【図15】 この発明の実施の形態10による半導体集積回路装置の模式図である。
【図16】 この発明の実施の形態11による半導体集積回路装置の平面図である。
【図17】 この発明の実施の形態12による半導体集積回路装置の平面図である。
【図18】 従来のSIPの半導体集積回路装置(従来例1)の平面図である。
【図19】 従来のSIPの半導体集積回路装置(従来例2)の平面図である。
【符号の説明】
1,2,3,4,5,6,7,8,9 半導体集積回路装置、10,11,12,13,14,15,16 ボンディングPAD、20,21,22,23,24 Chip A、30,31,32,33,34,35 Chip B、40a〜40e PAD、41a〜41e PAD、42a〜42d PAD、50a〜50d LEAD、60a〜60e ボンディングワイヤ、61a〜61d ボンディングワイヤ、70a 配線素子、70b ドライバ素子、70c レシーバ素子、70d 双方向バッファ素子、80,81,82 I/F Chip、90a〜90d PAD、91a〜91d PAD、92a〜92e PAD、93a〜93e PAD、94a〜94e PAD、95a〜95e PAD、96a〜96d PAD、100a〜100d LEAD、110a〜110d ボンディングワイヤ、111a〜111e ボンディングワイヤ、112a〜112e ボンディングワイヤ、113a〜113d ボンディングワイヤ、120a,121a 配線素子、120b,121b ドライバ素子、120c,121c レシーバ素子、120d,121d 双方向バッファ素子、130 高さ調整用 Chip、140a〜140j PAD、141a〜141j PAD、142a〜142d,142f〜142j PAD、150a〜150d,150f〜150j LEAD、160a〜160j ボンディングワイヤ、161a〜161d,161f〜161j ボンディングワイヤ、170a 配線素子、170b ドライバ素子、170c レシーバ素子、170d 双方向バッファ素子、180a〜180h PAD、181a,181c,181e,181g,181h PAD、182b,182d,182f PAD、183b,183d,183f PAD、184a,184c,184e,184g PAD、190a〜190g LEAD、200a〜200h ボンディングワイヤ、201a〜201g ボンディングワイヤ、210a 配線素子、210b ドライバ素子、210c レシーバ素子、210d 双方向バッファ素子、220a〜220d PAD、221b PAD、222b PAD、230a〜230d LEAD、240a〜240d ボンディングワイヤ、241b ボンディングワイヤ、250,251,252 Chip、253 Chip A、254 Chip B、255,256,257 Chip、260a〜260d PAD、261a〜261e PAD、270a〜270d LEAD、271a〜271d LEAD、280a,280b ボンディングワイヤ、281a,281b ボンディングワイヤ、290,291,292 電流計、300a,300b,300c チップ内配線、301a〜301d チップ内配線、302j,302k,302p,302u,302v,302w,302x チップ内配線、310a,310b,310c,310d,310j,310k,310l,310r,310u,310v,310w PAD、311a〜311h,311j,311m,311n,311p PAD、312h,312i PAD、320k,320l,320r LEAD、321a〜321i LEAD、330a,330b VDD、330a1,330b1 外向きに延在する部分、330a2,330a3,330b2,330b3 周囲に沿って延在する部分、331a,331b,331c 電源LEAD、332 電源LEAD、332a 外向きに延在する部分、332b,332c 周囲に沿って延在する部分、340a,340b GND、340a1,340b1 外向きに延在する部分、340a2,340a3,340b2,340b3周囲に沿って延在する部分、350a〜350d,350j〜350l,350r,350u〜350w ボンディングワイヤ、351a,351b ボンディングワイヤ、352a〜352h,352j,352m,352n,352pボンディングワイヤ、353h,353i ボンディングワイヤ、354a,354b ボンディングワイヤ、355u〜355x ボンディングワイヤ、360a,360b ボンディングPAD固定用LEAD、361a,361b ボンディングPAD固定用LEAD、370j,370k,370p,370u〜370x PAD、400,401,402 セレクタ、410 レジスタ、420a 抵抗RA、420b 抵抗RB、420c 抵抗RC、430a〜430c PAD、431a〜431c PAD、440a〜440d ダイオード、441a〜441d ダイオード、442a〜442d ダイオード、443a〜443d ダイオード、450,451 電圧計、460 GND、461a〜461c GND、470 スイッチ、480a,480b チップ内配線、481a〜481e チップ内配線、482a,482b チップ内配線、483a〜483e チップ内配線、484a〜484c チップ内配線、485a〜485c チップ内配線、486 チップ内配線、501,502,503 半導体集積回路装置。

Claims (3)

  1. 互いに近接配置された第1の半導体集積回路チップおよび第2の半導体集積回路チップと、前記第2の半導体集積回路チップを介して前記第1の半導体集積回路チップに電気的に接続される複数の信号用リードとを備えた半導体集積回路装置であって、
    前記第2の半導体集積回路チップをまたぐことなく配置されて、前記第1の半導体集積回路チップと前記第2の半導体集積回路チップとを直接接続する複数の信号用第1ボンディングワイヤと、
    前記第2の半導体集積回路チップと前記複数の信号用リードとの間に配置されて、前記第2の半導体集積回路チップと前記複数の信号用リードとを電気的に接続する複数の信号用第2ボンディングワイヤと、
    前記第2の半導体集積回路チップに設けられて、前記複数の信号用第1ボンディングワイヤを前記複数の信号用第2ボンディングワイヤに電気的に接続する複数の信号用配線と、
    を有し、
    前記複数の信号用配線は、互いに交差した2本の信号用配線を含み、
    前記第1の半導体集積回路チップと前記複数の信号用リードとの間での信号の授受は、前記複数の信号用第1ボンディングワイヤと、前記複数の信号用配線と、前記複数の信号用第2ボンディングワイヤとを介して行われる、
    ことを特徴とする半導体集積回路装置。
  2. 前記第2の半導体集積回路チップと前記複数の信号用リードとは、前記複数の信号用第2ボンディングワイヤにより直接接続されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体集積回路装置。
  3. 前記第2の半導体集積回路チップは、前記第1の半導体集積回路チップと前記複数の信号用リードとを電気的に接続するインターフェース機能を有することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体集積回路装置。
JP2001369085A 2001-12-03 2001-12-03 半導体集積回路装置 Expired - Fee Related JP3886793B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001369085A JP3886793B2 (ja) 2001-12-03 2001-12-03 半導体集積回路装置
US10/160,189 US20030102556A1 (en) 2001-12-03 2002-06-04 Semiconductor integrated circuit device
DE10235251A DE10235251A1 (de) 2001-12-03 2002-08-01 Integrierte Halbleiterschaltungseinrichtung
KR10-2002-0045724A KR100491234B1 (ko) 2001-12-03 2002-08-02 반도체 집적 회로 장치
US11/078,585 US7148567B2 (en) 2001-12-03 2005-03-14 Semiconductor integrated circuit device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001369085A JP3886793B2 (ja) 2001-12-03 2001-12-03 半導体集積回路装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003168702A JP2003168702A (ja) 2003-06-13
JP3886793B2 true JP3886793B2 (ja) 2007-02-28

Family

ID=19178552

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001369085A Expired - Fee Related JP3886793B2 (ja) 2001-12-03 2001-12-03 半導体集積回路装置

Country Status (4)

Country Link
US (2) US20030102556A1 (ja)
JP (1) JP3886793B2 (ja)
KR (1) KR100491234B1 (ja)
DE (1) DE10235251A1 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4097613B2 (ja) * 2004-03-09 2008-06-11 三菱電機株式会社 半導体装置
JP2005300485A (ja) * 2004-04-16 2005-10-27 Renesas Technology Corp 半導体装置
JP4357344B2 (ja) * 2004-04-16 2009-11-04 株式会社ルネサステクノロジ 半導体装置
US7808115B2 (en) * 2004-05-03 2010-10-05 Broadcom Corporation Test circuit under pad
JP2006049586A (ja) * 2004-08-05 2006-02-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置
US20060157866A1 (en) * 2005-01-20 2006-07-20 Le Thoai T Signal redistribution using bridge layer for multichip module
US7443011B2 (en) * 2006-02-10 2008-10-28 Marvell International Technology Ltd. System and method for routing supply voltages or other signals between side-by-side die and a lead frame for system in a package (SIP) devices
WO2009081225A1 (en) * 2007-12-24 2009-07-02 Nokia Corporation Thermal sensors for stacked dies
JP2010010653A (ja) * 2008-05-26 2010-01-14 Panasonic Corp 回路基板、リードフレーム、半導体装置及びその製造方法
US20110108974A1 (en) * 2009-11-06 2011-05-12 Mediatek Inc. Power and signal distribution of integrated circuits
US8687378B2 (en) * 2011-10-17 2014-04-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. High-frequency module
JP2013093483A (ja) * 2011-10-27 2013-05-16 Semiconductor Components Industries Llc 半導体装置及びその製造方法
JP5752657B2 (ja) * 2012-09-10 2015-07-22 株式会社東芝 半導体装置
CN104637911B (zh) 2013-11-08 2019-07-05 恩智浦美国有限公司 具有路由基板的基于引线框架的半导体装置
JP6395304B2 (ja) 2013-11-13 2018-09-26 ローム株式会社 半導体装置および半導体モジュール
US20150221592A1 (en) * 2014-02-03 2015-08-06 Chetan Verma Semiconductor device with package-level decoupling capacitors formed with bond wires
US10135545B2 (en) * 2016-06-20 2018-11-20 Oclaro Japan, Inc. Optical receiver module and optical module
KR102455427B1 (ko) * 2017-12-20 2022-10-17 삼성전자주식회사 반도체 패키지 및 이의 제조 방법

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6030152A (ja) 1983-07-28 1985-02-15 Toshiba Corp 集積回路
JPS6173359A (ja) 1984-09-18 1986-04-15 Fujitsu Ltd 半導体装置
US5096852A (en) * 1988-06-02 1992-03-17 Burr-Brown Corporation Method of making plastic encapsulated multichip hybrid integrated circuits
JP3011510B2 (ja) * 1990-12-20 2000-02-21 株式会社東芝 相互連結回路基板を有する半導体装置およびその製造方法
JPH04273451A (ja) * 1991-02-28 1992-09-29 Nippon Steel Corp 半導体装置
JP2936799B2 (ja) 1991-05-27 1999-08-23 トヨタ自動車株式会社 樹脂封止型マルチチップパッケージ
JPH05343609A (ja) 1992-06-04 1993-12-24 Nec Corp 半導体集積回路装置
JPH06151685A (ja) * 1992-11-04 1994-05-31 Mitsubishi Electric Corp Mcp半導体装置
JP2861686B2 (ja) 1992-12-02 1999-02-24 日本電気株式会社 マルチチップモジュール
JPH0783035B2 (ja) * 1993-02-01 1995-09-06 日本電気株式会社 半導体装置
US5625235A (en) * 1995-06-15 1997-04-29 National Semiconductor Corporation Multichip integrated circuit module with crossed bonding wires
US5751015A (en) * 1995-11-17 1998-05-12 Micron Technology, Inc. Semiconductor reliability test chip
JPH1032306A (ja) 1996-05-13 1998-02-03 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置
JP2811170B2 (ja) * 1996-06-28 1998-10-15 株式会社後藤製作所 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法
US5789816A (en) * 1996-10-04 1998-08-04 United Microelectronics Corporation Multiple-chip integrated circuit package including a dummy chip
JPH10335366A (ja) * 1997-05-30 1998-12-18 Sanyo Electric Co Ltd 半導体装置
JP3191743B2 (ja) 1997-09-30 2001-07-23 富士ゼロックス株式会社 機能変更可能な半導体装置
US6159765A (en) * 1998-03-06 2000-12-12 Microchip Technology, Incorporated Integrated circuit package having interchip bonding and method therefor
JP2000068316A (ja) * 1998-08-21 2000-03-03 Sony Corp 集積回路装置
JP2000223657A (ja) 1999-02-03 2000-08-11 Rohm Co Ltd 半導体装置およびそれに用いる半導体チップ
JP3062691B1 (ja) 1999-02-26 2000-07-12 株式会社三井ハイテック 半導体装置
US6291881B1 (en) * 1999-03-04 2001-09-18 United Microelectronics Corp. Dual silicon chip package
US6777785B1 (en) 1999-08-25 2004-08-17 Winbond Electronics Corp. Lead frame containing a master and a slave IC chips and a testing circuit embedded within the master IC chip
KR20010064907A (ko) * 1999-12-20 2001-07-11 마이클 디. 오브라이언 와이어본딩 방법 및 이를 이용한 반도체패키지
US6441501B1 (en) * 2000-09-30 2002-08-27 Siliconware Precision Industries Co., Ltd. Wire-bonded semiconductor device with improved wire arrangement scheme for minimizing abnormal wire sweep
KR20030009627A (ko) * 2001-07-23 2003-02-05 삼성전자주식회사 수평 이중 실장한 반도체 칩 패키지

Also Published As

Publication number Publication date
KR20030047689A (ko) 2003-06-18
DE10235251A1 (de) 2003-06-18
JP2003168702A (ja) 2003-06-13
US20030102556A1 (en) 2003-06-05
KR100491234B1 (ko) 2005-05-25
US20050156305A1 (en) 2005-07-21
US7148567B2 (en) 2006-12-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3886793B2 (ja) 半導体集積回路装置
TWI517709B (zh) 影像感測器,主機控制器,影像感測器系統,執行包含於影像感測器系統中之邏輯之方法及其有形非暫時性機器可存取媒體
US5777383A (en) Semiconductor chip package with interconnect layers and routing and testing methods
US7233065B2 (en) Semiconductor device having capacitors for reducing power source noise
EP2053655A3 (en) Chip scale package using large ductile solder balls
US8536713B2 (en) System in package with heat sink
CA2218307A1 (en) Three dimensional packaging configuration for multi-chip module assembly
JP2005019765A (ja) 半導体装置
JP2001523400A (ja) チップ間ボンディングを有する集積回路パッケージおよびその方法
EP1580810A2 (en) A semiconductor device with a plurality of ground planes
CN110501628A (zh) 多通道封装及其测试装置和测试方法
US6777785B1 (en) Lead frame containing a master and a slave IC chips and a testing circuit embedded within the master IC chip
US5703402A (en) Output mapping of die pad bonds in a ball grid array
GB2353401A (en) An integrated circuit package incorporating a capacitive sensor probe
EP1099953B1 (en) Semiconductor device with testing capability
JP6621943B2 (ja) アクティブ・バイ・アクティブプログラマブルデバイス
JPH021148A (ja) 半導体チップパッケージ
US6657292B2 (en) Package board for multiple-pin ball grid array package, multiple-pin ball grid array package, and semiconductor device
Puttlitz et al. C-4/CBGA comparison with other MLC single chip package alternatives
US7429703B2 (en) Methods and apparatus for integrated circuit device power distribution via internal wire bonds
JPH118277A (ja) 半導体集積回路
US11959938B2 (en) Package substrate, apparatus for testing power supply noise and method for testing power supply noise
Hirt et al. Early footprint comparison for area I/O packages and first level interconnect
KR20240050033A (ko) 메모리 패키지 및 메모리 패키지를 포함하는 메모리 모듈
Gwennap Alternative packages emerge for processors

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20041124

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20060123

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060404

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060530

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060718

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060830

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060926

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20061121

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20061122

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees