JP3869938B2 - ステージ装置、露光装置、およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、設計パターンを基板上のレジストに露光して半導体デバイス等を製造するために用いられる露光装置、それに好ましく用いられるステージ装置、およびその露光装置を用い得るデバイス製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、このような露光装置としては、ウエハ等の基板をステップ移動させながら基板上の複数の露光領域に原版のパターンを投影光学系を介して順次露光するステッパや、投影光学系に対し相対的にマスク等の原版と基板とを同期走査させて原版のパターンを基板上に露光する走査型の露光装置等が知られている。
【0003】
また、近年、より高精度で微細なパターンの露光が行えるように、前記ステップ移動と走査露光とを繰り返すことにより、基板上の複数の領域に高精度で微細なパターンの露光を行なう、ステップ・アンド・スキャン型の露光装置が提案されている。この露光装置では、スリットにより制限して投影光学系の比較的光軸に近い部分のみを使用しているため、より高精度且つ広画角な微細パターンの露光が可能となっている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このようなステップ・アンド・スキャン型の露光装置等の高精細な露光を目的とする露光装置において、投影光学系の性能を十分に引き出し、真に露光精度を向上させるためには、さらに、原版と基板間の位置的整合性を向上させる必要がある。
【0005】
そこで本発明の目的は、露光装置およびこれを用い得るデバイス製造方法において、原版と基板間の位置的整合性の向上を図るための新たな技術を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するため本発明では、移動可能なステージと、このステージを所定の移動方向に案内するガイド機構と、このガイド機構の剛性を向上させるために磁気吸引力による予圧力を付与する手段を有するステージ装置において、前記ガイド機構の、前記予圧力を付与するために前記磁気吸引力により吸引される部分は、そのヒステリシス曲線における、保持力Hcと、残留磁束密度Brとの積が100J/m3以下である材料で構成されていることを特徴とする。これにより、磁気吸引力により順次位置を変えて吸引される部分との間で作用するヒステリシスによる力(残留磁気による抵抗力)が小さくなり、ステージの位置決め精度の向上が図られる。
【0007】
また、本発明の露光装置は、被露光基板を搭載して移動させるためのこのようなステージ装置と、該被露光基板に露光を行なう手段とを有することを特徴とする。
【0008】
また、本発明のデバイス製造方法は、このような露光装置を用意する工程と、該露光装置を用いて露光を行なう工程を含む製造工程によってデバイスを製造することを特徴とする。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の好ましい実施形態においては、図1に示すように、ガイド機構は、前記磁気吸引力により吸引される部分を有するガイド面126と、このガイド面とステージ123との間に設けた空気軸受124とを有し、前記予圧力付与手段は、前記磁気吸引力を発生してガイド面126上の被吸引部分を吸引するためにステージ123に固定した磁石125を有する。
【0010】
また、被吸引部分の材料は、好ましくは、パーマロイを含むNiが30重量%以上のNi−Fe合金、珪素が1重量%以上のSi−Fe合金、または純鉄である。これにより、ヒステリシスによる力が予圧のための吸引力の1/1000以下になり、ステージの高精度な位置決めが図られる。
【0011】
なお、被吸引部分の材料としては、この他、ガイド機構としての機能上、ガイド面26の平面度を高精度な加工により実現する必要があるため、加工性においても優れているものが好ましい。
【0012】
【実施例】
以下、図面を用いて本発明の実施例を説明する。図2は本発明の一実施例に係る露光装置を模式的に示す図であり、この露光装置は、レチクルステージ1上に保持される原版のパターンの一部を投影光学系を介してX・Yステージ3上の微動ステージ(不図示)に保持される被露光基板であるウエハに投影し、投影光学系に対し相対的にレチクルとウエハをY方向に同期走査することによりレチクルのパターンをウエハに露光するとともに、この走査露光を、ウエハ上の複数領域に対して、繰り返し行なうためのウエハのステップ移動を介在させながら行なうステップ・アンド・スキャン型の露光装置である。
【0013】
レチクルステージ1はリニアモータ4によってY方向へ駆動し、X・Yステージ3のXステージ3aはリニアモータ5によってX方向に駆動し、Yステージ3bはリニアモータ6によってY方向へ駆動するようになっている。レチクルおよびウエハの同期走査は、レチクルステージ1およびYステージ3bをY方向へ一定の速度比率(例えば4:1)で駆動させることにより行なう。また、X方向へのステップ移動はXステージ3aにより行なう。
【0014】
X・Yステージ3は、ステージベース7のガイド面上で二次元的に移動可能であり、ステージ定盤7は、ダンパを介して床等の上に支持されている。X・Yステージ3のより詳細は後述するが、Xステージ3aの上にはさらに微動ステージ(不図示)が載っている。
【0015】
レチクルステージ1および投影光学系は鏡筒定盤9で支持され、鏡筒定盤9はベースフレーム10上に3つのダンパ11および支柱12を介して支持されている。
【0016】
図3は、ダンパ11あるいは支柱12、走査露光時の走査方向、投影光学系2および露光光間の、装置の上から見たときの位置的関係を示す。同図に示すように、ダンパ11および支柱12による鏡筒定盤9の3つの支持点は二等辺三角形を構成しており、その二等辺14、15が交わる点16と重心とを結ぶ直線17に対して走査方向Yは平行であり、かつその重心18と投影光学系2の重心19とはほぼ一致している。図4中の20は、スリット状に成形された露光光の断面である。そのスリット形状の長手方向は走査方向に垂直な方向(X方向)である。3つのダンパ11のうち2つは装置の前部に位置し、残りの1つは装置の奥側に位置している。そして、装置へのウエハの搬入経路は、装置の前側より、装置前部に配置した2つの支柱12の間を経て設定されている。
【0017】
図4はX・Yステージ3のより詳細な構成を説明する斜視図である。同図において、ステージベース7の上にガイド面が形成され、この上にリニアモータ6を介してYステージ3bがY方向に移動可能に設けられている。33はステージベース7上に固定されたY方向のヨーイング・ガイドであり、Yステージ3bをY方向のヨーイング方向についてガイドしている。35はYステージ3bの側面に形成されたX方向のヨーイング・ガイドであり、Yステージ3bの上にリニアモータ5を介して設けられたXステージ3aをX方向のヨーイング方向に案内している。37はXステージ3a上に設けられた微動ステージ、39は微動ステージ37上に設けられ、ウエハ38を保持するウエハチャック、41、43は微動ステージ37上に固定されたY方向位置計測用のミラーおよびX方向位置計測用のミラー、45は微動ステージ37をXステージ3aに対して微動するためのアクチュエータである。47はステージベース7のガイド面に対向するXステージ3a下面に設けられ、ステージベース7上面との間で空気軸受を構成している空気パッドである。49はステージベース7のガイド面に対向するYステージ3b下面に設けられ、ステージベース7上面との間で空気軸受を構成している空気パッドである。
【0018】
また、先の図7の概念図で示したように、Xステージ3aおよびYステージ3bの下面には、これらがステージベース7上面によってガイドされる際の剛性を向上させるために磁気吸引力による予圧力を付与するための磁石が、空気軸受のパッドに挟まれる位置に固定されている。そして、ステージベース7の少なくとも表面のガイド面はこの磁石によって吸引される材料で構成されており、その材料は、そのヒステリシス曲線における、保持力Hcと、残留磁束密度Br(図5参照)との積が100J/m3以下である材料で構成されている。この材料は、例えば、パーマロイを含むNiが30重量%以上のNi−Fe合金、珪素が1重量%以上のSi−Fe合金、または純鉄である。
【0019】
上記構成の露光装置において、不図示の搬送手段により、装置前部の2つの支柱12間の搬送経路を経てX・Yステージ3上にウエハが搬入され、所定の位置合せが終了すると、露光装置は、走査露光およびステップ移動を繰り返しながら、ウエハ上の複数の露光領域に対してレチクルのパターンを露光転写する。走査露光に際しては、レチクルステージ1およびYステージ3bをY方向(走査方向)へ、所定の速度比で移動させて、スリット状の露光光でレチクル上のパターンを走査するとともに、その投影像でウエハを走査することにより、ウエハ上の所定の露光領域に対してレチクル上のパターンを露光する。1つの露光領域に対する走査露光が終了したら、Xステージ3aをX方向へ駆動してウエハをステップ移動させることにより、他の露光領域を走査露光の開始位置に対して位置決めし、走査露光を行なう。なお、このX方向へのステップ移動と、Y方向への走査露光のための移動との組合せにより、ウエハ上の複数の露光領域に対して、順次効率良く露光が行なえるように、各露光領域の配置、Yの正または負のいずれかへの走査方向、各露光領域への露光順等が設定されている。
【0020】
図6(a)および(b)は、それぞれステップ移動および走査露光におけるXステージ3aおよびYステージ3bの移動速度の時間的変化の一例を示すグラフである。Yステージの加速を開始すると、Yステージは0.051秒の加速期間および0.05秒の整定時間を経た後、100mm/秒の一定速度で0.375秒間移動する。この一定速度の移動期間において露光を行なう。この露光期間の後、Yステージを減速させるとともにXステージの加速を開始し、ステップ移動を行なう。ステップ移動が終了したら、再度Yステージの加速を同様にして開始する。このようにして、XおよびYステージの移動を繰り返して、ステップアンドスキャン方式で複数の露光領域に対してレチクルのパターンを順次走査露光してゆく。
【0021】
このようなXステージおよびYステージの移動に際しては、ステージベース7が上述の材料で構成されているため、ヒステリシスによる力が与圧のための吸引力の1/1000以下であり、したがって、高精度でXおよびYステージの移動が行われる。したがって、レチクルとウエハ間の位置の整合性を良好に維持して走査露光を行なうことができる。
【0022】
次に上記説明した露光装置を利用したデバイスの生産方法の実施例を説明する。
【0023】
図7は微小デバイス(ICやLSI等の半導体チップ、液晶パネル、CCD、薄膜磁気ヘッド、マイクロマシン等)の製造のフローを示す。ステップ1(回路設計)では半導体デバイスの回路設計を行なう。ステップ2(マスク製作)では設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。一方、ステップ3(ウエハ製造)ではシリコン等の材料を用いてウエハを製造する。ステップ4(ウエハプロセス)は前工程と呼ばれ、上記用意したマスクとウエハを用いて、リソグラフィ技術によってウエハ上に実際の回路を形成する。次のステップ5(組み立て)は後工程と呼ばれ、ステップ4によって作製されたウエハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)ではステップ5で作製された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テスト等の検査を行なう。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、これを出荷(ステップ7)する。
【0024】
図8は上記ウエハプロセスの詳細なフローを示す。ステップ11(酸化)ではウエハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)ではウエハ表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)ではウエハ上に電極を蒸着によって形成する。ステップ14(イオン打込み)ではウエハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)ではウエハに感光剤を塗布する。ステップ16(露光)では上記説明した露光装置によってマスクの回路パターンをウエハに焼付露光する。ステップ17(現像)では露光したウエハを現像する。ステップ18(エッチング)では現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)ではエッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行なうことによって、ウエハ上に多重に回路パターンを形成する。
【0025】
本実施例の製造方法を用いれば、従来は製造が難しかった高集積度の半導体デバイスを低コストに製造することができる。
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように本発明のステージ装置によれば、ガイド機構の、予圧力を付与するために磁気吸引力により吸引される部分を、そのヒステリシス曲線における、保持力Hcと、残留磁束密度Brとの積が100J/m3以下である材料で構成するようにしたため、磁気吸引力により順次位置を変えて吸引される部分との間で作用するヒステリシス力(残留磁気による抵抗力)が小さくなり、ステージの位置決め精度を向上させることができる。
【0027】
また、前記材料を、パーマロイを含むNiが30重量%以上のNi−Fe合金、珪素が1重量%以上のSi−Fe合金、または純鉄とすることにより、ヒステリシスによる力を予圧のための吸引力の1/1000以下とすることができ、さらに位置決め精度を向上させることができる。
【0028】
したがって、このようなステージ装置を有する露光装置により露光を行なうことにより、原版と基板間の位置整合性を良好に維持して、高精度な露光を行なうことができる。特に走査露光においては、ステージを走査移動させながら露光を行なうため、ステージ精度の向上が露光転写精度に直接反映し、本発明の効果は大きい。
【0029】
したがって、このような露光装置により被露光基板を露光してデバイスを製造することにより、高精度なデバイスを製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の好ましい実施形態に係るステージ装置の側面図である。
【図2】 本発明の一実施例に係る露光装置を模式的に示す図である。
【図3】 図2の装置のダンパあるいは支柱、走査露光時の走査方向、投影光学系および露光光間の、装置の上から見たときの位置的関係を示す図である。
【図4】 図2の装置のX・Yステージ部分の斜視図である。
【図5】 ヒステリシス曲線における、保持力Hcと、残留磁束密度Brを示す図である。
【図6】 図2の装置におけるステップ移動および走査露光でのXステージおよびYステージの移動速度の時間的変化の一例を示すグラフである。
【図7】 微小デバイスの製造の流れを示す図である。
【図8】 図7におけるウエハプロセスの詳細なフローを示す図である。
【符号の説明】
1:レチクルステージ、2:投影光学系、3:X・Yステージ、4:リニアモータ、3a:Xステージ、3b:Yステージ、6:リニアモータ、7:ステージヘルス、8:ダンパ、9:鏡筒定盤、10:ベースフレーム、11:ダンパ、12:支柱、18,19:重心、20:露光光の断面、33:Y方向のヨーイング・ガイド、35:X方向のヨーイング・ガイド、37:微動ステージ、39:ウエハチャック、41:Y方向位置計測用のミラー、43:X方向位置計測用のミラー、45:アクチュエータ、47,49:空気パッド、121:ステージベース、123:ステージ、124:空気軸受、125:磁石、126:ガイド面。
Claims (10)
- 移動可能なステージと、このステージを所定の移動方向に案内するガイド機構と、このガイド機構の剛性を向上させるために磁気吸引力による予圧力を付与する手段を有するステージ装置において、前記ガイド機構の、前記予圧力を付与するために前記磁気吸引力により吸引される部分は、そのヒステリシス曲線における、保持力Hcと、残留磁束密度Brとの積が100J/m3以下である材料で構成されていることを特徴とするステージ装置。
- 前記ガイド機構は、前記磁気吸引力により吸引される部分を有するガイド面と、このガイド面と前記ステージとの間に設けた空気軸受とを有し、前記予圧力付与手段は、前記ステージ側から前記磁気吸引力を発生して前記ガイド面を吸引するための磁石を有することを特徴とする請求項1に記載のステージ装置。
- 前記材料は、パーマロイを含むNiが30重量%以上のNi−Fe合金、珪素が1重量%以上のSi−Fe合金、または純鉄であることを特徴とする請求項1または2に記載のステージ装置。
- 前記ステージはステージベースのガイド面上に支持され、該ガイド面上で2次元的に移動可能であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のステージ装置。
- 前記ステージは、それぞれが前記ガイド面上に支持される、X方向に移動するXステージとY方向に移動するYステージを有し、各々がガイド面との間で予圧力を付与する機構を備えていることを特徴とする請求項4に記載のステージ装置。
- 前記XステージをX方向に駆動するリニアモータと、前記YステージをY方向に駆動するリニアモータを有することを特徴とする請求項5に記載のステージ装置。
- 被露光基板を搭載して移動させるための請求項1〜6のいずれかのステージ装置と、該被露光基板に露光を行なう手段とを有することを特徴とする露光装置。
- 前記ステージによって被露光基板を移動させながら走査露光を行なうことを特徴とする請求項7に記載の露光装置。
- ステップアンドスキャン方式で順次露光を行なうことを特徴とする請求項7または8に記載の露光装置。
- 請求項7〜9のいずれかの露光装置を用意する工程と、該露光装置を用いて露光を行なう工程を含む製造工程によってデバイスを製造することを特徴とするデバイス製造方法。
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