JP3866670B2

JP3866670B2 - 液晶シャッタおよびプリントヘッド

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Publication number: JP3866670B2
Application number: JP2003057905A
Authority: JP
Inventors: 敏彦高倉
Original assignee: Rohm Co Ltd
Current assignee: Rohm Co Ltd
Priority date: 2003-03-05
Filing date: 2003-03-05
Publication date: 2007-01-10
Anticipated expiration: 2023-03-05
Also published as: CN100344457C; US7170569B2; KR20040078881A; KR100674022B1; CN1526563A; JP2004271553A; US20040207782A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶シャッタおよび液晶シャッタを備えたプリントヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】
デジタルカメラなどにより撮影した電子画像は、そのデジタルデータを用いてインクジェット方式や熱転写方式により、普通紙に対して印刷することができる。一方、感光方式により、デジタルデータとしての画像を感光フィルムに対して印刷することも考えられている。感光方式では、光プリントヘッドにより感光フィルムを露光した後に現像するというプロセスを経て画像が形成される。光プリントヘッドとしては、たとえば照明装置から進行してくる光を透過させるか否かを選択するための液晶シャッタを備えたものが使用されている（たとえば特許文献１参照）。
【０００３】
液晶シャッタとしては、たとえば図７および図８に示したように、複数の個別シャッタ部９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂが主走査方向（図中の矢印Ａ１，Ａ２方向）に並んだものが用いられている。液晶シャッタ９は、互いに対向して配置された第１および第２透明基板９１ａ，９１ｂを有している。第１および第２透明基板９１ａ，９１ｂの間には、それらの周縁部に位置するようにリブスペーサ９７ａが配置されている。このリブスペーサ９７ａは、第１および第２透明基板９１ａ，９１ｂとともに液晶９０を充填するためのセル９６を規定するためにものであり、このリブスペーサ９７ａによってセル９６の高さ、すなわちセルギャップが規定されている。セル９６には、液晶９０とともに、球状スペーサ９７ｂが充填されている。球状スペーサ９７ｂは、リブスペーサ９７ａによって規定されたセルギャップを安定化させるためのものである。
【０００４】
第１透明基板９１ａには、第２透明基板９１ｂに対向する面に、ＳｉＯ₂膜９２ａを介して第１透明電極９３ａが形成されている。ＳｉＯ₂膜９２ａは、第１透明基板９１ａに対する第１透明電極９３ａの密着性を高めるためのものである。第１透明電極９３ａは、たとえばＩＴＯ膜を形成した後に、ＩＴＯ膜にエッチィング処理を施すことにより目的とするパターンに形成されている。
【０００５】
第２透明基板９１ｂには、第１透明基板９１ａに対向する面に、開口部９４ａを備えた金属遮光膜９４が形成されている。この金属遮光膜９４は、開口部９４ａにおいて選択的に光を透過させるためのものである。開口部９４ａには、赤色光、緑色光または青色光を選択的に透過させるためのカラーフィルタ９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂが配置されている。第２透明基板９１ｂにはさらに、カラーフィルタ９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂを覆うようにして形成された平滑化膜９５およびＳｉＯ₂膜９２ｂを介して第２透明電極９３ｂが形成されている。第１透明電極９３ａと第２透明電極９３ｂとが交差する部分は、液晶シャッタ部９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを構成している。平滑化膜９５は、カラーフィルタ９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂを設けることにより生じる段差を吸収し、平滑な面を設定するためのものであり、ＳｉＯ₂膜９２ｂは、平滑化膜９５に対する第２透明電極９３ｂの密着性を高めるためのものである。第２透明電極９３ｂは、第１透明電極９３ａと同様に、たとえばＩＴＯ膜を形成した後に、ＩＴＯ膜にエッチィング処理を施すことにより目的とするパターンに形成されている。
【０００６】
第２透明基板９２ｂは、第１透明基板９２ａよりも寸法が大きくされている。第２透明電極９３ｂは、第２透明基板９２ｂにおける第１透明基板９２ａからはみ出した部分にまで延びており、第２透明基板９２ｂには、第２透明電極９２ｂに導通するようにして駆動ＩＣ９９ａが実装されている。駆動ＩＣ９９ａは、信号電極９９ｃを介してフレキシブルケーブル９９ｂと接続されている。
【０００７】
【特許文献１】
特開２０００−２８０５２７号公報
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、液晶シャッタ９では、平滑化膜９５が設けられているために、次に説明するような不具合が生じうる。
【０００９】
平滑化膜９５は、通常、透明樹脂により形成されており、比較的に軟質なものとされている。そのため、液晶９０に分散させた球状スペーサ９７ｂが平滑化膜９５に食い込んでしまうことがある。このような現象は、セル９６内における各所において生じる可能性があり、球状スペーサ９７ｂが食い込んだ部分に関しては、セルギャップが小さくなる。したがって、セルギャップが目的通りに規定されている部分と、セルギャップが小さくなった部分とでは、同一の電圧を与えたとしても、結果として与えられる電界強度が異なったものとなる。その結果、個別シャッタ部９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂ相互での透過率にバラツキが生じる。また、球状スペーサ９７ｂは、液晶９０に均一に分散されているわけではないので、そのような分散の不均一さが透過率のバラツキを助長することとなる。
【００１０】
高速印刷を達成するためには、液晶シャッタ９を高速で駆動すべく、セルギャップを小さくする必要が生じる。ところが、セルギャップを小さくすれば、球状スペーサ９７ｂが平滑化膜９５に食い込むことによるセルギャップの変化の影響が相対的に大きくなるため、セルギャップが小さく設定された液晶シャッタでは、透過率のバラツキがより大きなものとなる。
【００１１】
第２透明電極９３ｂは、ＳｉＯ₂膜９２ｂによって平滑化膜９５との密着性が高められているが、ＳｉＯ₂膜９２ｂと平滑化膜９５との密着性は十分なものとは言い難い。そのため、第２透明電極９３ｂを形成する際のエッチィング処理によりオーバーエッチが生じ、第２透明電極９３ｂが目的とするパターンに比べて小さくなってしまうことがある。この場合、オーバーエッチが生じた部分と、オーバーエッチが生じていない部分とでは、個別シャッタ部９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの大きさが異なったものとなり、またオーバーエッチが生じた部分に該当する個別シャッタ部９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂでは開口率が小さくなる結果、透過効率が低減する。また、カラーフィルタ９８Ｒ，９８Ｇ，９８Ｂにより生じた段差をより確実に吸収するためには、平滑化膜９５の厚みを比較的に大きく設定せざるを得ない。この場合、平滑化膜９５での光吸収量が大きくなり、透過効率がさらに悪化する。
【００１２】
透過効率の悪化を補償し、感光フィルムに照射される光量を十分に確保するためには、照明装置からの出射光量を大きくし、あるいは感光フィルムに対する照射時間を長く設定する必要がある。これらの対策では、消費電力が大きくなってランニングコスト的に不利であるばかりか、照射時間を長く設定する方法では印刷時間が長くなるといった問題を生じる。
【００１３】
また、ＳｉＯ₂膜９２ｂと平滑化膜９５との密着性が十分ではないために、これらの界面に応力が作用した場合に、平滑化膜９５からＳｉＯ₂膜９２ｂとともに第２透明電極９３ｂや信号電極９９ｃは剥がれてしまう虞れがある。そのため、駆動ＩＣ９９ａやフレキシブルケーブル９９ｂの実装信頼性が低くなってしまう。また、駆動ＩＣ９９ａやフレキシブルケーブル９９ｂを実装する前に第２透明電極９３ｂや信号電極９９ｃにおける実装面を物理的に擦ってクリーニングする場合や駆動ＩＣ９９ａやフレキシブルケーブル９９ｂを実装し直すときに駆動ＩＣ９９ａやフレキシブルケーブル９９ｂを除去した場合には、第２透明電極９３ｂや信号電極９９ｃが剥がれ、駆動ＩＣ９９ａやフレキシブルケーブル９９ｂが実装できないことがある。
【００１４】
このような問題を解決するためには、駆動ＩＣ９９ａやフレキシブルケーブル９９ｂが実装される部分に関しては、第２透明基板９１ｂとＳｉＯ₂膜９２ｂとの間に平滑化膜９５を介在させないようにする必要がある。このため、平滑化膜９５の形成時にパターンプロセスを追加し、平滑化膜９５を形成すべき領域を選択する必要が生じるため、作業効率が悪化し、製造コスト的に不利なものとなる。
【００１５】
本発明は、このような事情のもとに考えだされたものであって、感光性記録媒体に対して光照射を行うプリントヘッドなどに使用される液晶シャッタにおいて、シャッタ部相互の出射光量のバラツキを抑制するとともに、高速印刷の達成を阻害しないようにし、製造コストおよびランニングコストを抑制できるようにすることを課題としている。
【００１６】
【発明の開示】
上記した課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を講じている。すなわち、本発明の第１の側面により提供される液晶シャッタは、互いに対向して配置された第１および第２透明基板と、上記第２透明基板における上記第１透明基板に対向する面に、上記第１透明基板から上記第２透明基板に向けた光の入射を制限するために形成された遮光膜と、上記遮光膜に積層された透明電極と、を備えた液晶シャッタであって、上記遮光膜は、厚さが３０００Å以下に形成されており、この遮光膜には、上記第１透明基板を透過してきた光を選択的に上記第２透明基板へ入射させるための、第１の方向に所定幅で直線状に延びる１つの開口部が形成されているとともに、上記開口部の縁部がテーパ状に形成されており、かつ、上記透明電極は、それぞれが上記第１の方向と直交する第２の方向に延び、かつ上記第１の方向に並ぶ複数のものが、上記遮光膜に対して、上記開口部を上記第２の方向にまたぐようにして、単一の絶縁層を介して積層されていることを特徴としている。上記遮光膜の厚さは、好ましくは２０００〜３０００Åに形成される。遮光膜の厚さが３０００Å以下の薄膜にされることによって、遮光膜に開口部を形成することによって生じる段差を小さくすることができる。さらに、遮光膜における開口部の縁部がテーパ状に形成されることにより、遮光膜の開口部において生じる段差を平滑に覆うことができる。また、遮光膜の形成は、上述した厚さにできるのであればとくに限定されず、たとえば蒸着やスパッタにより行われる。また、上記開口部の縁部をテーパ状に形成する方法としては、たとえばリフトオフあるいはテーパエッチがあげられる。
【００１７】
好ましくは、透明電極、遮光膜および絶縁層は、無機物により形成される。
【００１８】
絶縁層は、たとえば無機酸化物により形成される。無機酸化物としては、ＳｉＯ₂あるいはＴａ₂Ｏ₅を使用するのが好ましい。
【００１９】
絶縁層は、たとえば厚さが２０００Å以下、好ましくは１０００〜２０００Åに形成される。
【００２０】
絶縁層の形成方法は、絶縁層を２０００Å以下に形成できるのであれば、とくに限定されないが、ディップコート、バイアススパッタ、あるいはプラズマＣＶＤを用いるのが好ましい。
【００２１】
遮光膜は、たとえば金属材料により形成される。金属材料としては、たとえばクロム、モリブデン、タングステン、ニッケル、ゲルマニウム、金あるいはアルミニウムが使用できる。好ましくは、少なくとも遮光膜の表面が光吸収性の高い材料により構成され、たとえば表面が酸化クロムにより形成される。
【００２４】
本発明の第２の側面においては、本発明の第１の側面に係る液晶シャッタを備えたことを特徴とする、プリントヘッドが提供される。
【００２５】
本発明のプリントヘッドは、上記第１透明基板に重ねて配置した導光部を介して赤色、緑色、青色の光を個別に出射可能な照明装置を備えていることが好ましい。これにより、カラーフィルタを使用しない液晶シャッタを用いることができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好ましい実施の形態について、図面を参照しつつ具体的に説明する。
【００２７】
図１は、本発明に係るプリントヘッドの一例を示す分解斜視図、図２は、このプリントヘッドの断面図、図３は、このプリントヘッドに用いられる照明装置の分解斜視図、図４は、このプリントヘッドに用いられる液晶シャッタの断面図、図５は、この液晶シャッタの遮光膜の構成を説明するための部分断面図、図６は、この液晶シャッタの要部平面図である。
【００２８】
図１および図２からわかるように、プリントヘッドＸは、図１の矢印Ｃ１，Ｃ２方向に線状の光を出射するための照明装置４、この照明装置４から出射される光の透過・非透過を選択するための液晶シャッタ５、この液晶シャッタ５から出射される光を図１の矢印Ｂ１方向（副走査方向）に９０度曲げるための反射部材１５、この反射部材１５において反射して進行する光を効率良く集光するためのロッドレンズアレイ２、ロッドレンズアレイ２から出射される光を矢印Ｃ２方向に９０度曲げ、たとえば感光フィルムに光を出射するためのプリズム３、およびこれらを保持するためのフレーム１を有している。このプリントヘッドＸは、反射部材１５およびプリズム３を用いることによって液晶シャッタ５から出射された進行する光の進行方向を折り曲げ、ロッドレンズアレイ２をその光軸が矢印Ｂ１、Ｂ２方向（水平方向）を向くように配置して、全体の厚さ方向寸法が短縮されるように構成されている。
【００２９】
フレーム１の上面側には、液晶シャッタ５を載置するための平面視でコの字状をした載置部１１が図１の矢印Ｂ２側に形成されており、これに隣接して矢印Ａ１，Ａ２方向（主走査方向）に延びる第１保持部１２が形成されている。さらに、矢印Ｂ１側には、第１保持部１２に近接して矢印Ａ１，Ａ２方向に延びる第２保持部１３が設けられている。
【００３０】
第１保持部１２は、矢印Ｂ１，Ｂ２方向（水平方向）に対して４５度傾斜した傾斜面１４を有しており、この傾斜面１４に密着して平面状の反射部材１５が保持されている。反射部材１５は、その表面において光を正反射できるように鏡面とするのが好ましく、たとえば表面がアルミニウムにより構成される。
【００３１】
一方、第２保持部１３は、水平状となっており、その上面にロッドレンズアレイ２が保持されている。このロッドレンズアレイ２は、照明装置４から出射され、液晶シャッタ５を透過してきた光を効率良く集光し、プリズム３へ出射するためのものであり、また複数の貫通孔２１が形成されたホルダ２２に対して、その貫通孔２１内にロッドレンズ２３を保持させた構成を有している。各ロッドレンズ２３は、その軸心が図１の矢印Ｂ１，Ｂ２方向（副走査方向）に延びるとともに、複数のロッドレンズ２３が主走査方向Ａ１，Ａ２に並ぶように配置されている。本実施の形態では、ロッドレンズ１３は、正率等倍像を形成するように構成されている。
【００３２】
フレーム１は、副走査方向Ｂ１側に開放しており、この部分に上記のプリズム３が保持される。このプリズム３は、光入射面３１、光反射面３２および光出射面３３を有している。このようなプリズム３では、反射部材１５において反射した光が光入射面３１から入射した後に光反射面３２において反射することによって進行方向が９０度変えられ、光出射面３３から出射する。このようなプリズム３は、空気よりも屈折率の大きな材料、たとえば透明なガラスやアクリル樹脂により形成される。
【００３３】
照明装置４は、線状に光を出射するためのものである。図２および図３に良く表れているように、この照明装置４は、第１および第２遮光部４０，４１、導光部４２および光源装置４３を有しており、第１および第２遮光部４０，４１によって形成される空間内に、導光部４２および光源装置４３が配置されたものである。光源装置４３から出射された光は、導光部４２を介して第１遮光部４０に形成された開口部４０１から液晶シャッタ５へ出射される。
【００３４】
光源装置４３は、絶縁基板４５上に個別に点灯・消灯可能な３つの点光源４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂが搭載されたものである。これらの点状光源４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂは、ＬＥＤのベアチップとして構成されている。点状光源４３Ｒは赤色光を発するものであり、点状光源４３Ｇは緑色光を発するものであり、点状光源４３Ｂは青色光を発するものである。これらの点状光源４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂには、上面および下面に電極（図示略）が形成されている。上面電極は、たとえばＩＴＯにより透明電極として形成されている。
【００３５】
絶縁基板４５上には、個別配線４４Ｒ，４４Ｇ，４４Ｂおよび共通配線４４Ｃが形成されている。個別配線４４Ｒ，４４Ｇ，４４Ｂ上には、各点状光源４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂの下面電極が導通接続されている。各点状光源４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂの上面電極は、たとえば導体ワイヤを介して共通配線４４Ｃと接続されている。これらにより各点状光源４３Ｒ，４３Ｇ，４３Ｂが個別に駆動可能とされている。
【００３６】
図４に良く表れているように、液晶シャッタ５は、液晶５８を挟んで対向するように配置された第１および第２透明基板５０，５１を有している。第１透明基板５０における第２透明基板５１との対向面５０１には、絶縁層５３ａが形成されている。絶縁層５３ａは、光透過性を有するものであり、その材料としては、たとえばＳｉＯ₂あるいはＴａ₂Ｏ₅が使用される。絶縁層５３ａは、たとえばディップコート、バイアススパッタあるいはプラズマＣＶＤにより形成することができる。第２透明基板５１の対向面５０１には、コモン電極５４ａが形成されており、コモン電極５４ａは矢印Ａ１，Ａ２方向に延びるように帯状に形成されている。コモン電極５４ａは、たとえばＩＴＯにより透明電極として形成されており、ＩＴＯ膜にエッチィング処理を施すことにより目的とするパターンに形成されている。
【００３７】
一方、第２透明基板５１は、第１透明基板よりも寸法が大きくされており、第１透明基板５０から矢印Ｂ１方向にはみ出した外延部５１０を有している。第２透明基板５１における第１透明基板５０との対向面５１１には、遮光膜５２が形成されている。この遮光膜５２は、たとえば厚みが３０００Å以下、より好ましくは２０００〜３０００Åの薄膜に形成されている。図４ないし図６に示したように、遮光膜５２には、矢印Ａ１，Ａ２方向に延びる開口部５２４が形成されており、この開口部５２４は照明装置４における第１遮光部４０の開口部４０１と対応している。遮光膜５２の開口部５２４における縁部５２５は、リフトオフまたはテーパエッチなどの手法によりテーパ状に形成されている。この遮光膜５２は、たとえば第２透明基板５１の対向面５１１に、酸化クロム層５２１、クロム層５２２、酸化クロム層５２３がこの順序で積層された３層構造とされている。各層５２１，５２２，５２３は、蒸着またはスパッタリングなどの手法により形成することができる。なお、この遮光膜５２は、クロムおよび酸化クロム以外の金属材料により形成されてもよく、金属材料としては、たとえばモリブデン、タングステン、ニッケル、ゲルマニウム、金またはアルミニウムが使用できる。また、遮光膜５２は、上述した金属材料以外に、遮光性を有する無機物により形成されてもよい。
【００３８】
遮光膜５２の上面には絶縁層５３ｂが形成されている。絶縁層５３ｂは、光透過性を有しており、たとえばＳｉＯ₂あるいはＴａ₂Ｏ₅などの無機酸化物を材料として、ディップコート、バイアススパッタあるいはプラズマＣＶＤにより形成することができる。上記したように、遮光膜５２は、厚さが３０００Å以下の薄膜に形成されているために、開口部５２４において生じる段差が小さくなる。さらに、開口部５２４の縁部５２５がテーパ状に形成されているために、遮光膜５２に対する絶縁層５３ｂの良好なステップカバレッジを得ることができる。そのため、絶縁層５３ｂの厚みを薄くすることができ、絶縁層５３ｂはたとえば厚みが２０００Å以下、より好ましくは１０００〜２０００Åの薄膜に形成されている。
【００３９】
絶縁層５３ｂの上面には、複数のセグメント電極５４ｂが形成されており、複数のセグメント電極５４ｂは、矢印Ａ１，Ａ２方向に等間隔をなして並ぶように形成されている。セグメント電極５４ｂは、たとえばＩＴＯにより透明電極として形成されており、ＩＴＯ膜にエッチィング処理を施すことにより目的とするパターンに形成されている。図６に示したように、複数のセグメント電極５４ｂは、コモン電極５４ａと一連に交差する部分を有している。コモン電極５４ａとセグメント電極５４ｂとが交差する部分は、複数の個別シャッタ部５５を構成している。これらのシャッタ部５５は、第１遮光部４０の開口部４０１の直下領域において、矢印Ａ１，Ａ２方向に列状に並んでいる。
【００４０】
上述したように、液晶シャッタ５において、遮光膜５２の厚みが３０００Å以下の薄膜に形成され、かつ遮光膜５２の開口部５２４における縁部５２５がテーパ状に形成されているために、絶縁層５３ｂを、厚みが２０００Å以下の薄膜に形成することができる。そのため、絶縁層５３ｂにおいて光の吸収を小さくすることができ、透過率の低下を抑制することができる。さらに、セグメント電極５４ｂと遮光膜５２との密着性は、セグメント電極５４ｂ、絶縁層５３ｂおよび遮光膜５２が無機物により形成されているために、樹脂製の平滑化膜を用いていた場合よりも高くなり、セグメント電極５４ｂが剥がれにくくなる。その結果、セグメント電極５４ｂを形成する際のエッチィング処理により生じるオーバーエッチを抑制することができる。したがって、各シャッタ部５５における大きさのバラツキおよび開口率の低減を抑制することができ、ひいては透過効率の低減を抑制することができる。さらに、液晶シャッタ５は、平滑化膜がないために、光が平滑化膜に吸収されることがない。したがって、光の透過効率が良くなるために照明装置４からの出射光量を小さくでき、ひいては消費電力が小さくなってランニングコストが有利になる、あるいは照明装置４からの照射時間を短くすることができるために、印刷時間が短くなる。
【００４１】
第１および第２透明基板５０，５１の間には、それらの周縁部に位置するようにリブスペーサ５６Ａが配置されている。このリブスペーサ５６Ａは、第１および第２透明基板５０，５１とともにセル５７を規定しており、リブスペーサ５６Ａによりセルの高さ、すなわちセルギャップが規定されている。このセル５７には、液晶５８とともに、球状スペーサ５６Ｂが充填されている。液晶５８としては、強誘電性液晶、反強誘電性液晶あるいはネマチック液晶を用いることができる。なお、液晶としてネマチック液晶を使用する場合には、コモン電極５４ａおよびセグメント電極５４ｂを個別に覆うようにして配向膜が設けられる。
【００４２】
図２に示したように、第１透明基板５０の非対向面５０２および第２透明基板５１の非対向面５１２には偏光膜５０３，５１３が設けられている。これらの偏光膜５０３，５１３は、その偏光軸がたとえば互いに直行するように配置されている。したがって、たとえば偏光膜５０３を透過して液晶５８を透過する光は、閾値以上の電圧が印加されたシャッタ部５５については偏光方向が９０度変えられて偏光膜５１３を透過することができる。これに対して、印加電圧が小さい（ゼロを含む）シャッタ部５５については、光の偏光方向が変えられないために偏光膜５１３を透過することができない。その結果、シャッタ部５５に対する電圧の印加状態を制御することにより、液晶シャッタ５において、シャッタ部５５毎に光の透過・非透過を選択することができる。
【００４３】
図４から良くわかるように、第２透明電極５４ｂは、第２透明基板５１における外延部５１０にまで延びており、第２透明基板５１の外延部５１０には、セグメント電極５４ｂに導通するようにして駆動ＩＣ５９が実装されている。駆動ＩＣ５９は、信号電極５９２を介してフレキシブルケーブル５９１が接続されている。このフレキシブルケーブル５９１により、駆動ＩＣ５９に対して電力供給や各種信号の供給が行われる。
【００４４】
上述したように、この液晶シャッタ５において、遮光膜５２と絶縁層５３ｂとの間に樹脂製の平滑化膜が介在しておらず、遮光膜５２、絶縁層５３ｂおよびセグメント電極５４ｂが無機物により形成されているために、セグメント電極５４ｂおよび信号電極５９２と遮光膜５２との密着性は高くなる。そのため、駆動ＩＣ５９およびフレキシブルケーブル５９１の第２透明基板電極５１への実装信頼性の低下を抑制することができる。また、駆動ＩＣ５９やフレキシブルケーブル５９１を実装する前にセグメント電極５４ｂや信号電極５９２における実装面を物理的に擦ってクリーニングする場合、あるいは駆動ＩＣやフレキシブルケーブル５９１を実装し直すにあたって、駆動ＩＣ５９やフレキシブルケーブル５９１をいったん取り外す場合であっても、セグメント電極５４ｂや信号電極５９２が剥がれることを抑制することができる。したがって、駆動ＩＣ５９やフレキシブルケーブル５９１を無駄にすることがなく、歩留まりが向上する。さらに、平滑化膜を形成する必要がないために、平滑化膜形成過程を省略でき、平滑化膜の形成時にパターンプロセスを追加したり、平滑化膜を形成すべき領域を選択するといったことが必要なくなる。そのため、作業効率が良くなり、製造コスト的にも有利になる。
【００４５】
プリントヘッドＸは、たとえば感光フィルムを露光する際に使用される。その場合、照明装置４に配置された光源装置４３から点状に出射された光が、導光部４２において線状の光にされ、第１遮光部４０の開口部４０１を通過して液晶シャッタ５に入射する。液晶シャッタ５では、駆動ＩＣ５９の制御により画像データに応じて複数のシャッタ部５５（図６参照）における光の透過・非透過が選択される。液晶シャッタ部５５を透過した光は、反射部材１５において正反射して、進行方向を９０度曲げられた後にロッドレンズアレイ２に入射する。ロッドレンズアレイ２１に入射した光は、各ロッドレンズ２３内に透過した後に、光入射面３１を介してプリズム３に入射する。プリズム３に入射した光は、光反射面３２において進行方向を９０度曲げられてプリズム３内を下向きに進行した後に光出射面３３を介して出射する。この光は、たとえば感光フィルム上において結像し、感光フィルムに線状光が照射される。
【００４６】
上述したように、このプリントヘッドＸでは、赤色、緑色、青色の光を個別に出射可能な光源装置４３を備えた照明装置４が具備されている。したがって、液晶シャッタ５では、従来使用されていたカラーフィルタを用いる必要がないために、平滑化膜が形成されていない。さらに、絶縁層５３ｂは、たとえば無機酸化物により形成することで比較的硬いものとすることができる。そのため、セル５７内における各所において球状スペーサ５６Ｂが絶縁層５３ｂに食い込むことを抑制することができる。その結果、セルギャップのバラツキを抑制することができる。セルギャップのバラツキが抑制されれば、液晶５８の各所に同一の電圧を印加したときに、結果として与えられる電界強度のバラツキが小さくなり、シャッタ部５５において透過率のバラツキを抑制することができる。また、セルギャップのバラツキを抑制することができるため、たとえば液晶シャッタ５を高速駆動するためにセルギャップを小さくしても、透過率にバラツキが生じることを抑制することができる。したがって、適切な画像を得つつも、高速印刷の達成を阻害しないようにすることができる。
【００４７】
プリントヘッドＸは、たとえば光源装置４３の構成を変更することによって白黒用として使用することもできる。
【００４８】
もちろん、本実施の形態に限らず、液晶シャッタ５は、プリントヘッド以外の用途に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るプリントヘッドの一例を示す分解斜視図である。
【図２】図１に示したプリントヘッドの断面図である。
【図３】照明装置の分解斜視図である。
【図４】液晶シャッタの断面図である。
【図５】液晶シャッタの遮光膜の構成を説明するための部分断面図である。
【図６】液晶シャッタの要部平面図である。
【図７】従来の液晶シャッタを示す断面図である。
【図８】従来の液晶シャッタを説明するための要部平面図である。
【符号の説明】
Ｘプリントヘッド
４照明装置
５液晶シャッタ
５０第１透明基板
５１第２透明基板
５１１対向面（第２透明基板の）
５２遮光膜
５２４開口部
５２５縁部（開口部の）
５３ｂ絶縁層
５４ｂセグメント電極（透明電極）

Claims

互いに対向して配置された第１および第２透明基板と、上記第２透明基板における上記第１透明基板に対向する面に、上記第１透明基板から上記第２透明基板に向けた光の入射を制限するために形成された遮光膜と、上記遮光膜に積層された透明電極と、を備えた液晶シャッタであって、
上記遮光膜は、厚さが３０００Å以下に形成されており、この遮光膜には、上記第１透明基板を透過してきた光を選択的に上記第２透明基板へ入射させるための、第１の方向に所定幅で直線状に延びる１つの開口部が形成されているとともに、上記開口部の縁部がテーパ状に形成されており、かつ、
上記透明電極は、それぞれが上記第１の方向と直交する第２の方向に延び、かつ上記第１の方向に並ぶ複数のものが、上記遮光膜に対して、上記開口部を上記第２の方向にまたぐようにして、単一の絶縁層を介して積層されていることを特徴とする、液晶シャッタ。
上記透明電極、上記遮光膜および上記絶縁層は、無機物により形成されている、請求項１に記載の液晶シャッタ。
上記絶縁層は、無機酸化物により形成されている、請求項１または２に記載の液晶シャッタ。
上記無機酸化物は、ＳｉＯ₂あるいはＴａ₂Ｏ₅である、請求項３に記載の液晶シャッタ。
上記絶縁層は、厚さが２０００Å以下に形成されている、請求項１ないし４のいずれかに記載の液晶シャッタ。
上記絶縁層は、ディップコート、バイアススパッタあるいはプラズマＣＶＤのうちのいずれかの方法により形成されている、請求項１ないし５のいずれかに記載の液晶シャッタ。
上記遮光膜は、金属材料により形成されている、請求項１に記載の液晶シャッタ。
上記遮光膜は、表面が酸化クロムにより形成されている、請求項１ないし７のいずれかに記載の液晶シャッタ。
請求項１ないし８のいずれかに記載の液晶シャッタを備えたことを特徴とする、プリントヘッド。
上記第１透明基板に重ねて配置した導光部を介して赤色、緑色、青色の光を個別に出射可能な照明装置を備えている、請求項９に記載のプリントヘッド。