JP3837181B2 - 半導体素子及びそれを用いる線状光源 - Google Patents
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- H01L2924/207—Diameter ranges
- H01L2924/20752—Diameter ranges larger or equal to 20 microns less than 30 microns
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、高密度に配置した素子に対して高密度にワイヤーボンドを行う技術分野に係わり、特に発光ダイオードアレイとその駆動用ICをワイヤーボンドする線状光源に係わる。
【0002】
【従来の技術】
表示装置や光プリンタ等の線状光源として、発光ダイオードアレイを用いたものが知られ、その発光部は400〜600dpi(ドット/インチ)程度のものが実用に供されている。発光ダイオードアレイにはその駆動用ICがワイヤーボンドによって接続されるので、発光ダイオードアレイの上面には発光部と接続したリード電極とワイヤーボンド用パッド部とが形成される。発光部の密度が高まるにしたがってこのワイヤーボンド用パッド部を1列に配置することが困難になり、発光ダイオードアレイの両側に配置したり、片側に多段に配置する工夫が行われている。しかしながら、発光部の密度を高めたり、小型化のためにリード電極を片側から引き出す構造としようとすると、必然的にリード電極の幅を更に狭くする必要がある。
【0003】
ところが、発光ダイオードアレイのリード電極の先端に設けたワイヤーボンド用パッド部の厚みは、ワイヤーボンド時の衝撃を吸収するために薄くすることができず、例えば特開平2−277274号公報に示されているように、3μm以上にすることが要求されているので、このような厚みでは微細加工することが困難で、上述のようなリード電極の幅を狭くする要求に対応できない。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、素子の高密度化に対応して高密度ワイヤーボンドを行うことができる構造を提供することを課題とする。また、本発明は、素子とその駆動用ICの高密度ワイヤーボンドを行う構造を提供することを課題とする。そして、本発明は高分解能化に適した線状光源を提供することを課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体素子は、先端にワイヤーボンド用パッド部を設けた複数本のリード電極を上面に設けた半導体素子において、前記ワイヤーボンド用パッド部を、前記リード電極の延長部によって構成した第1の層と、この第1の層よりも十分に厚くしかもこの第1の層の下に配置した前記第1の層と同じ材質であって、前記第 1 の層によって上面及び側面が覆われた第2の層を備えて構成したことを特徴とする。
【0006】
前記第2の層は、前記第1の層の厚みの1.5〜5倍の厚みに設定したことを特徴とする。
【0007】
前記第1の層と前記第2の層の合計厚みは、2.5μm以上に設定することが好ましい。
【0008】
また、本発明の線状光源は、複数の発光部とこれら発光部とリード電極を介して接続したワイヤーボンド用パッド部を有する発光ダイオードアレイと、前記ワイヤーボンド用パッド部と対応したワイヤーボンド用パッド部を有する発光ダイオードアレイの駆動回路と、第1ボンディングが前記駆動回路のワイヤーボンド用パッド部に行われ、第2ボンディングが前記アレイのワイヤーボンド用パッド部に行われるボンディングワイヤーを備える線状光源において、前記アレイ側のワイヤーボンド用パッド部を前記リード電極の延長部によって構成した第1の層と、この第1の層よりも厚くこの第1の層の下に配置した前記第1の層と同じ材質であって、前記第 1 の層によって上面及び側面が覆われた第2の層を備えて構成したことを特徴とする。
【0009】
また、本発明の線状光源は、複数の発光部とこれら発光部とリード電極を介して接続したワイヤーボンド用パッドを有する発光ダイオードアレイと、前記ワイヤーボンド用パッドと対応したワイヤーボンド用パッドを有する発光ダイオードアレイの駆動用ICと、第1ボンディングが前記駆動用ICのワイヤーボンド用パッドに行われ、第2ボンディングが前記アレイのワイヤーボンド用パッドに行われるボンディングワイヤーを備える線状光源において、前記アレイ側と前記IC側のワイヤーボンド用パッド部をそれぞれ多段構成とし、前記アレイ側の段数を前記IC側の段数よりも多くするとともに、前記ボンディングワイヤーは、ワイヤーボンド間隔が短くなるにしたがって、その高さが順次低くなるようにボンディングされ、さらに、前記発光ダイオードアレイのワイヤーボンド用パッド部を、前記リード電極の延長部によって構成した第1の層と、この第1の層よりも十分に厚くしかもこの第1の層の下に配置した前記第1の層と同じ材質であって、前記第 1 の層によって上面及び側面が覆われた第2の層を備えて構成したことを特徴とする。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施例について光プリンタ用の線状光源を例にとって図面を参照して説明する。
【0011】
図1は光プリンタ用の線状光源として用いる記録ヘッドユニット1を示し、このユニット1は、基板2の上面に半導体素子としての発光ダイオードアレイ3とその駆動回路を構成する駆動用IC4を複数個備えている。発光ダイオードアレイ3は、基板2の一側に沿って直線的に配置固定しているとともに、駆動用IC4は、発光ダイオードアレイ3の片側に沿って直線的に複数個配置固定し、それらをボンディングワイヤー線5を介して図2,3に示すように接続している。
【0012】
ボンディングワイヤー線5は、直径23μm,純度99.99%以上の金線を用いてボ−ルボンディング装置によって図3に示すように、立ち上がり角度が急な側を駆動用IC4側に位置させ、立ち上がり角度が緩やかな側を発光ダイオードアレイ3側に位置させてボンディングしている。これは、発光ダイオードアレイ3から出力される光が傾斜の急な側の線によって反射されるのを防止するためで、これを達成するために、ボールの付いた第1ボンディングを駆動用IC4側に行い、ボールのない第2ボンディングを発光ダイオードアレイ3側に行っている。また、ワイヤー線5の折曲がりなどに起因する短絡事故を防ぐために、各ワイヤー線5は、ワイヤーボンド間隔が短くなるにしたがって、その高さが順次低くなるようにボンディングされる。
【0013】
発光ダイオードアレイ3は、図4に断面図を示すように、GaAsP/GaAs等の化合物半導体基板31の表面に選択的拡散法により発光部32を複数形成し、発光部32を除いて絶縁層33を設け、絶縁層33の上に基端を発光部32に接続した金属製のリード電極34を設けている。前記複数個の発光部32は、図2に示すように、直線的に等間隔で配置して発光領域35を形成している。この例では600dpiを実現するために42.3μmピッチで配置している。
【0014】
リード電極34は、厚みが0.5〜1.5μmのアルミニウム(Al)によって構成するのが好ましくこの例では1μmの厚みに設定している。そして、この例ではリード電極34の幅は12μm、隣接するリード電極34との最小間隔(スペース)は14μmに設定している。
【0015】
リード電極34の各先端には、ワイヤーボンド用パッド部36が設けられ、これを多段に配置してボンディング領域37を形成している。
【0016】
ワイヤーボンド用パッド部36は、図4に示すように前記リード電極34を用いて構成した第1の層36aと、この第1の層36aの厚みよりも十分に厚く設定した第2の層36bを備えている。第2の層36bは、リード電極34と同じ材質(アルミニウム製)で、第1の層36aとこの第2の層36bの合計厚みが2.5μm以上、好ましくは3μm以上になるように厚肉(第1の層の厚さの1.5〜5倍の厚み)に設定するのが好ましく、この例では第1の層36aの厚みの2倍の2μmに設定し、第1の層36aの下側に配置している。
【0017】
リード電極34とワイヤーボンド用パッド部36は、先に第2の層36bを構成する厚肉のAl層を成膜し、これをワイヤーボンド用パッド部36の形状を残すようにエッチング処理し、次にワイヤーボンド用パッド部36上を含む領域に第1の層36aを構成する薄肉のAl層を成膜し、これをリード電極34並びにパッド部36の形状を残すようにエッチング処理することによって形成される。ここで、ワイヤーボンド用パッド部36として、第1層36aすなわちリード電極34の上に第2層36bを形成することもできるが、第2層用のAl層を成膜するためには、リード電極34の上にワイヤーボンド用パッド部36に対応する領域を残して絶縁膜を設ける必要があり、製造工程が複雑になるので、上記のように第1層36aの下に第2層36bを設けるのが製造工程を簡素化できる点で好ましい。
【0018】
ワイヤーボンド用パッド領域37は、図2,図5(a)に示すように、そのワイヤーボンド用パッド部36を発光領域35からもっとも遠い側に第1段37a、発光領域35に近づくにしたがって第2段37b,第3段37c,第4段37dと配列した千鳥状の多段(4段)構成とし、ワイヤーボンド用パッド部36の幅はワイヤーボンド(直径23μmの金線をワイヤー線として用いる場合)に必要な70〜80μmに設定している。各ワイヤーボンド用パッド部36の千鳥を無視した基礎ピッチは40μmに設定している。そして、第1段37aならびに第2段37bに位置するワイヤーボンド用パッド部36は、その初期位置を基礎ピッチ分ずらして千鳥状に配置し、その各々のピッチを120μmに設定している。第3段37cならびに第4段37dに位置するワイヤーボンド用パッド部36は、その初期位置を基礎ピッチの3倍ずらして千鳥状に配置し、その各々のピッチを第1段並びに第2段におけるピッチの2倍の240μmに設定している。このように配置することによって、ワイヤーボンド用パッド部36の間を通過するリード電極34の本数の多い第3段37c,第4段37dにおいて、ワイヤーボンド用パッド部36の間隔を広く設定でき、そこを通過するリード電極34の幅を広く設定することができる。
【0019】
例えば、ワイヤーボンド用パッド部36間を通過するリード電極数が最も多い第4段37dについて述べると、ワイヤーボンド用パッド部36の間隔が160μmとすると、そこを通過するリード電極数は5本であるから、各リード電極とその両側の各スペースの幅を同じ値に設定するとして160μmを11で割ってラインアンドスペース(L/S)値を求めれば、その値は14.5μmになり、後述する駆動ICにおける10μmという値に比べて大きな値に設定することができる。尚、この例では、リード電極34の幅(ライン)は12μm,最小スペースは14μmに設定している。
【0020】
駆動用IC4は、図2,図5(b)に示すように、その表面の片側に前記発光ダイオードアレイ3との接続用のワイヤーボンド用領域41を設けている。このワイヤーボンド領域41は、基端を駆動用素子に接続した複数のリード電極42と、このリード電極42の先端に設けた複数のワイヤーボンド用パッド部43を備える。リード電極42とワイヤーボンド用パッド部43は、アルミニウム(Al)等の金属層をエッチングして形成し、その厚さを0.8μm前後に設定している。
【0021】
ワイヤーボンド用パッド領域41は、そのワイヤーボンド用パッド部43を多段に配列し、発光ダイオードアレイ3に近い側を第1段41a,発光ダイオードアレイ3から遠ざかるにしたがって第2段41b,第3段41cと設定し、発光ダイオードアレイ3よりも段数が少ない3段に設定している。そして、各ワイヤーボンド用パッド43を、第1段41a,第2段41b,第3段41c,第1段41aの順に繰り返して千鳥状に配列している。各ワイヤーボンド用パッドの千鳥を無視した基礎ピッチは、前記発光ダイオードアレイ3の基礎ピッチと同じ40μmに設定している。各ワイヤーボンド用パッド部43の幅は、発光ダイオードアレイ3のワイヤーボンド用パッド部36と同じ70〜80μmに設定している。そして、各段に位置するワイヤーボンド用パッド43は、その初期位置を基礎ピッチ分ずらして千鳥状に配置し、その各段におけるピッチを120μmに設定している。
【0022】
このような配置において、ワイヤーボンド用パッド部43の間を通過するリード電極数の多い第3段41cに注目すると、ワイヤーボンド用パッド部43の間が50μmに設定されているとすると、そこを通過するリード電極数は2本であるから、各リード電極42とその両側の各スペースの幅を同じ値に設定するとして50μmを5で割ってL/S値を求めれば、その値は10μmになる。尚、この例では、リード電極42の幅(ライン)は10μm,最小スペースは10μmに設定している。
【0023】
駆動用IC4側は、図3に示すようにボールボンディングの第1ボンディングが行われ、ワイヤーボンド用パッド部43に加わる衝撃がボール部によって吸収されるので、リード電極42やワイヤーボンド用パッド部43を構成するAl層の厚みを薄くできる。よって、微細加工が容易になり、リード電極42部分のL/S値を小さくしても対応することができるので、上記のようにワイヤーボンド用パッド部43の3段配置を行うことができる。
【0024】
これに対して、発光ダイオードアレイ3側は、ボールボンディングの第2ボンディング(ボール部がない状態)が行われ、ワイヤーボンド用パッド部34に加わる衝撃が大きいので、ワイヤーボンド用パッド部34を構成するAl層の厚みを厚くする必要がある。そこで、上述のように衝撃吸収用の第2層36bを設けたが、この第2層36bは厚みを厚くする必要があるので、エッチングなどによる微細加工が困難になり、それに伴って各段のワイヤーボンド用パッド部36の間の間隔も比較的広く確保して置く必要があるので、駆動用IC4側のワイヤーボンド領域41と同じようにワイヤーボンド用パッド部36を3段に配置することが困難になる。また、第2層36bを別途設けたとしても、第1ボンディング側よりも第2ボンディング側の方が、ワイヤー線5の立ち上がり角度が小さい関係上、ワイヤー線5の短絡事故が発生しやすいので、これを防ぐためにワイヤーボンド領域37の段数を多くした方がよい。よって、ワイヤーボンド領域37の段数は、駆動用IC4のワイヤーボンド領域41の段数よりも増加させて4段配置もしくはそれ以上の段数にするのが望ましい。
【0025】
以上のように、発光ダイオードアレイ3のワイヤーボンド用パッド36は、リード電極34の延長部によって構成した第1の層36aと、この第1の層36aの厚みよりも1.5〜5倍の厚みを有する第2の層36bを備えて構成したので、ボールボンディングの第2ボンディングのようなボンディング時に加わる衝撃が大きな場合であっても、その衝撃を第2の層36bによって効果的に吸収でき、その下に位置する絶縁層33や半導体層31に与えるダメージを抑制することができるとともに、絶縁層33の破損に伴う短絡事故の発生を防止して素子の品質を良好に維持することができる。
【0026】
また、ワイヤーボンド用パッド部36をリード電極34の延長部によって構成した第1の層36sと、この第1の層36aよりも厚くこの第1の層の下に配置した第2の層36bを備えて構成したことによって、肉厚の第2の層36bの加工を容易に行うことができる。
【0027】
また、リード電極34の延長部である第1の層36aの厚みを0.5〜1.5μmにすることによって、その加工性を良好にでき、リード電極34の微細加工性を高めて素子の高密度化に対応した高密度ボンディングを容易に行うことができる。
【0028】
また、発光ダイオードアレイ3と、その駆動用IC(駆動回路)4を備える記録ヘッドユニット1(線状光源)においては、発光ダイオードアレイ3の発光部31の高密度化(高分解能化)に対応して高密度のワイヤーボンディングを行うことができる。特に、600dpi前後ないしそれ以上の発光ダイオードアレイ3に対してその片側のみに駆動用ICを配置することができ、両側に駆動用ICを配置する場合に比べて、駆動用ICの使用個数の低減によるコストダウンと基板幅の細幅化による小型化を達成することができる。
【0029】
尚、上記実施例は、駆動回路のワイヤーボンド用パッド部43を駆動用IC4の上面に設け、発光ダイオードアレイ3と駆動用IC4のワイヤーボンディングを直接行う場合を例示したが、本発明はこれに限らず、例えば駆動回路と発光ダイオードアレイ3を接続するための配線を基板2の上面に設け、この配線ないしそれに設けたワイヤーボンド用パッド部と発光ダイオードアレイ3のワイヤーボンド用パッド部36とをワイヤーボンディングする場合にも適用することができる。
【0030】
【発明の効果】
以上のように本発明によれば、ワイヤーボンディングされる半導体素子を有効に保護し、半導体素子の品質を良好に維持することができる。
【0031】
また、衝撃に強いワイヤーボンド用パッド部を容易に得ることができ、高密度ボンディングに対応した線状光源を提供することができる。
【0032】
また、駆動用ICの使用個数の低減によるコストダウンと基板幅の細幅化による小型化を達成することができる線状光源を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例に係わる線状光源の平面図である。
【図2】図1の要部を拡大した平面図である。
【図3】図1の側面図である。
【図4】本発明の一実施例に係わる半導体素子(発光ダイオードアレイ)の拡大断面図である。
【図5】ワイヤーボンド用パッド部の拡大平面図を示し、(a)は発光ダイオードアレイ3側、(b)は駆動用IC4側における拡大平面図である。
【符号の説明】
1 記録ヘッドユニット
3 発光ダイオードアレイ
32 発光部
34 リード電極
36 ワイヤーボンド用パッド部
36a 第1層
36b 第2層
37 ワイヤーボンド領域
4 駆動用IC
41 ワイヤーボンド領域
42 リード電極
43 ワイヤーボンド用パッド部
5 ボンディングワイヤー線
Claims (6)
- 先端にワイヤーボンド用パッド部を設けた複数本のリード電極を上面に設けた半導体素子において、前記ワイヤーボンド用パッド部を、前記リード電極の延長部によって構成した第1の層と、この第1の層よりも十分に厚くしかもこの第1の層の下に配置した前記第1の層と同じ材質であって、前記第 1 の層によって上面及び側面が覆われた第2の層を備えて構成したことを特徴とする半導体素子。
- 前記第2の層は、前記第1の層の厚みの1.5〜5倍の厚みに設定したことを特徴とする請求項1記載の半導体素子。
- 前記第1の層と前記第2の層の合計厚みを2.5μm以上に設定したことを特徴とする請求項1〜2記載の半導体素子。
- 複数の発光部とこれら発光部とリード電極を介して接続したワイヤーボンド用パッド部を有する発光ダイオードアレイと、前記ワイヤーボンド用パッド部と対応したワイヤーボンド用パッド部を有する発光ダイオードアレイの駆動回路と、第1ボンディングが前記駆動回路のワイヤーボンド用パッド部に行われ、第2ボンディングが前記アレイのワイヤーボンド用パッド部に行われるボンディングワイヤーを備える線状光源において、前記アレイ側のワイヤーボンド用パッド部を前記リード電極の延長部によって構成した第1の層と、この第1の層よりも厚くこの第1の層の下に配置した前記第1の層と同じ材質であって、前記第 1 の層によって上面及び側面が覆われた第2の層を備えて構成したことを特徴とする線状光源。
- 前記駆動回路のワイヤーボンド用パッド部は、駆動用ICの上面に形成したことを特徴とする請求項4記載の線状光源。
- 複数の発光部とこれら発光部とリード電極を介して接続したワイヤーボンド用パッドを有する発光ダイオードアレイと、前記ワイヤーボンド用パッドと対応したワイヤーボンド用パッドを有する発光ダイオードアレイの駆動用ICと、第1ボンディングが前記駆動用ICのワイヤーボンド用パッドに行われ、第2ボンディングが前記アレイのワイヤーボンド用パッドに行われるボンディングワイヤーを備える線状光源において、前記アレイ側と前記IC側のワイヤーボンド用パッド部をそれぞれ多段構成とし、前記アレイ側の段数を前記IC側の段数よりも多くするとともに、前記ボンディングワイヤーは、ワイヤーボンド間隔が短くなるにしたがって、その高さが順次低くなるようにボンディングされ、さらに、前記発光ダイオードアレイのワイヤーボンド用パッド部を、前記リード電極の延長部によって構成した第1の層と、この第1の層よりも十分に厚くしかもこの第1の層の下に配置した前記第1の層と同じ材質であって、前記第 1 の層によって上面及び側面が覆われた第2の層を備えて構成したことを特徴とする線状光源。
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