JP3832556B2 - キャンド・リニアモータ - Google Patents
キャンド・リニアモータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3832556B2 JP3832556B2 JP2000049726A JP2000049726A JP3832556B2 JP 3832556 B2 JP3832556 B2 JP 3832556B2 JP 2000049726 A JP2000049726 A JP 2000049726A JP 2000049726 A JP2000049726 A JP 2000049726A JP 3832556 B2 JP3832556 B2 JP 3832556B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- armature
- linear motor
- mover
- winding
- refrigerant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K5/00—Casings; Enclosures; Supports
- H02K5/04—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof
- H02K5/12—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas
- H02K5/128—Casings or enclosures characterised by the shape, form or construction thereof specially adapted for operating in liquid or gas using air-gap sleeves or air-gap discs
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K9/00—Arrangements for cooling or ventilating
- H02K9/19—Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil
- H02K9/197—Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil in which the rotor or stator space is fluid-tight, e.g. to provide for different cooling media for rotor and stator
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Linear Motors (AREA)
- Motor Or Generator Cooling System (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明はリニアモータに関するもので、特に、低温度上昇と一定速送り精度を要求される例えば電子部品検査装置や工作機の送り等に使われるリニアモータに関する。
【0002】
【従来の技術】
固定子に3相の電機子巻線を備え、可動子に界磁とする永久磁石を備えたキャンド・リニアモータは、電機子巻線を冷媒によって直接冷却するものであり、リニアモータの表面温度上昇を低く抑えることができるものである。
ところで、この従来技術によれば、可動子と固定子を入れ替えた構造としても何ら問題は無いので、ストロークが長い用途では、一般に、可動子に電機子巻線を備えたものが多く用いられている。
ここでは、複数のコイル群を成形してなる電機子巻線を可動子とし、界磁とする交互に極性が異なる複数の永久磁石を固定子に隣りあわせに並べて備えたキャンド・リニアモータを中心に、以下に説明するが、もちろんこれに限定されるものではない。
図8に従来技術におけるリニアモータ全体を示す斜視図が示されている。
図8において、80が可動子、81が可動子ベース、84がキャン、31が冷媒出口、32が冷媒入口、33がケーブル、90が固定子、91が固定子ベース、92が界磁ヨーク、93が永久磁石である。
可動子80は後述するようにT字形の形状を成しており、その縦部材(電機子)部分を固定子90の界磁ヨーク92,92間に配置された永久磁石93の間を、図示しないリニアガイド、エアスライダ、滑り案内等によって支持され、所定の電流を電機子巻線に流すことにより、永久磁石93の作る磁界と作用し、可動子80に推力を発生して矢印で示す進行方向に移動可能となっている。
図1(b)に図8の従来のリニアモータを正面から見た断面図が示されている。
図において、可動子80はT字形の形状を成している。可動子80は、可動子ベース81と、可動子ベース81の窪みに下向けに支持されているキャン84と、このキャン84を密封しているヘッダ84’(図5参照)と、このキャン84およびヘッダ84’で作られる空間内に配備される巻線固定枠82およびこの巻線固定枠82に固定されるコアレス型の3相の電機子巻線83およびキャン84の中を通過する冷媒通路87と、より構成されている。
図5(a)に可動子の側面図、図6に可動子側面から見た電機子巻線の配置図が示されている。電機子巻線83はここでは図6に示すような、三相の薄型平板状のものを用いて、これを巻線固定枠82の左右両側に貼り付けることにより、電機子巻線全体を構成しかつその強度を向上させている。また、巻線固定枠82はそれ自身の強度を要求されるため、ステンレスがよく使われている。
キャン84は、ステンレス製の薄板を曲げコの字形としたものを溶接して筒状としている。同じくステンレスの鋳物で形成された2個のヘッダ84’、84’(図5)は、冷媒を通すための、冷媒供給口32と冷媒排出口31を各々備えている。キャン84とヘッダ84’は接合面で溶接によって接合されている。
また、冷媒を冷媒供給口32より供給して冷媒排出口31より排出することにより、冷媒は電機子巻線83とキャン84の間にある冷媒通路87(図1(b))を流れる。
一方、固定子90の形状は、図1(b)に示すように、可動子80の電機子部を挟み込むようにして凹字形を成している。固定子90は、可動子80のキャン84とヘッダ84’の両側にギャップを介して配置された永久磁石93、永久磁石93の作る磁束を通すために磁性体で作られた界磁ヨーク92、それらを支持する固定子ベース91とより構成されている。また、移動方向に並ぶ複数の永久磁石93は、極ピッチλ(図8)ごとに隣と異極になるように配置されている。
このように構成されたキャンド・リニアモータは、可動子自身の位置にあった所定の電流を電機子巻線に流すことにより、固定子の永久磁石の作る磁界と作用し、可動子に推力を発生し、そして、銅損によって発熱した電機子巻線を冷媒により冷却し、可動子表面の温度上昇を低く抑えている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが従来技術によると次のような問題があった。
キャン84、巻線固定枠82、ヘッダ84’等は前述のようにステンレスで構成されている。これらのステンレスで構成された部材は、固定子90の永久磁石93間を通過することにより、極ピッチλごとに1個の渦電流ieが発生する。渦電流ieの発生図を図5(b)に示している。図5(b)からわかるように、従来装置の渦電流ieは、その流路がキャン84およびヘッダ84’の上下方向いっぱいに大きなループを描いて流れている。そして、この渦電流ieの上下方向成分によって粘性制動力が発生する。この粘性制動力は、渦電流ieと永久磁石93の作る磁束と鎖交して可動子80の進行方向とは逆方向に発生する。その大きさは、ステンレスの厚さや幅、可動子80の移動速度、渦電流ieの発生個数、磁束密度の2乗におおよそ比例する。このような粘性制動力の発生により次のような問題があった。
(1) ある推力を得ようとする場合、所定の電機子電流を流しても、粘性制動力分だけ小さくなるので、それ以上の電機子電流を流さなければならない。その結果、電機子巻線の銅損が増加し、キャンやヘッダ表面の温度上昇が高くなった。
(2) 渦電流はいわゆる渦電流損として発生場所で熱に変換される。つまり、発生場所であるキャン、巻線固定枠、ヘッダが発熱し、さらなる温度上昇を引き起こした。非常に温度上昇を制限される用途では、この発熱によって仕様を満足できない場合があった。
(3) 近年、速度アップが要求されつつあり、ますます粘性制動力が増加する傾向にあり、しかもこの粘性制動力は可動子の進行方向とは逆方向に発生し、粘性制動力が変動することによりリニアモータの速度変動を生じさせる。粘性制動力によるリニアモータの速度変動への影響は、発生推力に対し比較的小さいものであるため、これまで重要視されていなかったが、近年、各種精密機械装置等の急速な、高精度、高精密化に伴い、速度変動の低減要求が高まってきている。そこで、構成部品の材質等を変更することなく、機械強度を維持したまま粘性制動力の変動を抑え、リニアモータの速度変動を低減させることが要求された。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、可動子の温度上昇を抑え、粘性制動力を低減し、かつその変動率を抑えることができ、キャン強度劣化のない、キャンド・リニアモータを提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、 請求項1記載の発明によると、交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されると共に、電機子巻線を有する電機子とを備え、前記電機子には、前記電機子の長手方向に沿って前記電機子巻線を両面に装着した巻線固定枠と、前記電機子巻線と前記巻線固定枠を収納し両部材の周囲に冷媒を流すための冷媒通路を有したキャンと、前記キャンの両端のうち、何れか一方端に冷媒供給口を、他方端に冷媒排出口を配置したヘッダとが設けてあり、前記界磁ヨークと前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたキャンド・リニアモータにおいて、
前記キャンに細長いスリットを複数設けてあり、前記キャンの内側に前記スリットを覆うように、シート状の漏れ防止シートを張り付けると共に、前記スリットに樹脂を流し込んだことを特徴としている。
また、請求項2記載の発明によると、請求項1記載のキャンド・リニアモータにおいて、前記複数の細長いスリットは互いに平行に進行方向に延びていることを特徴としている。
さらに、請求項3記載の発明によると、請求項1記載のキャンド・リニアモータにおいて、複数の細長いスリットは互いに平行にかつ進行方向に分割されていることを特徴としている。
そして、請求項4記載の発明によると、請求項1または3記載のキャンド・リニアモータにおいて、複数の細長いスリットは、進行方向に3×λ(λ=極ピッチ)ごとに並んでいることを特徴としている。
【0005】
また、請求項5記載の発明によると、請求項1、3または4記載のキャンド・リニアモータにおいて、複数の細長いスリットは互いに平行でかつ進行方向に分割されており、進行方向と直角な方向に隣接するスリットとの間に1.5×λ(λ=極ピッチ)のずれがあることを特徴としている。
さらに、請求項6記載の発明によると、請求項1〜5のいずれか1項記載のキャンド・リニアモータにおいて、前記ヘッダに、互いに平行に進行方向に延びている細長いスリットを複数設けてあり、前記ヘッダの内側には、前記スリットを覆うようにシート状の漏れ防止シートを貼り付けると共に、前記スリットに樹脂を流し込んだことを特徴としている。
そして、請求項7記載の発明によると、請求項1〜6のいずれか1項記載のキャンド・リニアモータにおいて、前記巻線固定枠に互いに平行に延びている細長いスリットを設けたことを特徴としている。
さらに、請求項8記載の発明によると、交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されると共に、電機子巻線を有する電機子とを備え、前記電機子には、前記電機子の長手方向に沿って前記電機子巻線を両面に装着した巻線固定枠と、前記電機子巻線と前記巻線固定枠を収納し両部材の周囲に冷媒を流すための冷媒通路を有したキャンと、前記キャンの両端のうち、何れか一方端に冷媒供給口を、他方端に冷媒排出口を配置したヘッダとが設けてあり、前記界磁ヨークを固定子に、前記電機子巻線を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたキャンド・リニアモータにおいて、キャン全長Lを以下に規定したことを特徴としている。
キャン全長:L、
永久磁石極ピッチ:λ、
整数:n、としたとき、L=(n+1/2)λ
以上のような構成により、渦電流発生箇所の数が一定となり、粘性制動力の変動が大幅に低減するので、リニアモータの速度変動を低減させることが可能となる。
【0006】
【発明の実施形態】
以下、本発明の第1の実施の形態を図1〜図3を用いて説明する。
図1(a)は、本発明におけるキャンド・リニアモータを正面から見た断面図、図2(a)は可動子の側面図、(b)は可動子の側面における渦電流の発生図である。
固定子20の形状は、可動子10の電機子部を挟み込むようにして凹字形を成している。固定子20は、可動子10のキャン14とヘッダ14’の両側に磁気的空隙を介して配置された複数の永久磁石23、永久磁石23の作る磁束を通すために磁性体で作られた界磁ヨーク22、それらを支持する固定子ベース21とより構成されている。また、移動方向に並ぶ複数の永久磁石23は、極ピッチλごとに隣と異極になるように配置されている(図9)。
可動子10は、従来技術と同様に、図1(a)において、T字形の形状を成している。可動子10は、3相の薄型平板状電機子巻線13(図6)、巻線固定枠12、冷媒通路17、それらを覆うキャン14、このキャン14を密封しているヘッダ14’(図2)、キャン14を支持している可動子ベース11より構成されている。
巻線固定枠12の左右両側に電機子巻線13を貼り付けることにより、電機子巻線全体の強度を向上させている。また、巻線固定枠12はそれ自身の強度を要求されるため、ステンレスが使われている。
キャン14は、ステンレス製の薄板を曲げコの字形としたものを溶接し筒状としている。同じくステンレスの鋳物で形成された2個のヘッダ14’、14’(図2)は、冷媒を通すための、冷媒供給口32と冷媒排出口31を各々備えている。キャン14とヘッダ14’は接合面で溶接によって接合されている。
このように構成された可動子10は、図示しないリニアガイド、エアスライダ、滑り案内等によって支持され、進行方向に移動可能となっている。
また、冷媒を冷媒供給口32より供給して冷媒排出口31より排出することにより、冷媒は電機子巻線13とキャン14の間にある冷媒通路17を流れる。これにより、冷媒供給口32より注入された冷媒は、電機子巻線13からの熱量を奪いながら冷媒通路17を通り、冷媒排出口31より排出されるため、リニアモータ表面の温度上昇を低く抑えることが可能である。排出された冷媒は、図示しない冷却装置により再冷却され循環される。
従来技術と異なる点は、図2(a)に示すように、互いに平行にかつ進行方向に延びる細長いスリット151,152をキャン14に複数本設けたことである。 また、ヘッダ14’にも互いに平行にかつ進行方向に延びる細長いスリット15をキャン14におけるスリット数よりも多く設けている。
さらに、このスリット15、151,152から冷媒が漏出しないように、シート状の漏れ防止シート16(図3)を用い、接着剤18でキャン14に固着したり、スリット内に樹脂19を埋めたりしている。なお、接着剤18および樹脂19は同じものであってもよい。
スリット15は可動子10の進行方向に細長く抜き取った穴である。キャン14には高さ方向2段に分けてスリット151、152を施している。薄板のキャン14にスリット151,152を多数施すことは、渦電流ieを低減できる反面、強度劣化を招く。端面が存在し強度的に余裕があるヘッダ14’は、高さ方向4段にスリット15を施している。
また、漏れ防止シート16は、図3(a)に示すように、キャン14のヘッダ筒内である冷媒通路17に面した二面(図ではその片面を示している。)に貼り付けることにより、冷媒通路17を流れる冷媒がスリット15から漏れ出すことが無いようにしている。
また、スリット15を穿ったことにより機械的強度が低下するのを防止するため、図3(b)に示すように、スリット15に接着材19等の樹脂を埋め込んでいる。さらに、漏れ防止シート16に亀裂が生じたとしても、冷媒がスリット15から漏れ出ないようにしている。
図2(b)は、このように構成された可動子にどのように渦電流ieが発生するかを示している。従来技術による渦電流の発生図である図5(b)と比較してわかるように、本発明により発生する渦電流ieは、その流路がスリット151,152によって断たれるため、渦電流ieが細分化される。これによって渦電流ieの上下方向成分も分断されるので、粘性制動力も小さくなる。
【0007】
従来技術と本発明による粘性制動力の比較を図7に示す。
図7は、おおよそ推力400N(ニュートン)、速度0.2m/sのキャンド・リニアモータにおける可動子位置−粘性制動力特性(単位、N)を示している。これによると、従来技術のものは粘性制動力が略9N前後で推移しているのに対して、本発明のものは粘性制動力が略3N前後で推移し、従来技術のものと比べて約1/3も低減されることがわかる。
以上の実施の形態ではキャン14やヘッダ14’のみスリット15を設けたものとして説明したが、巻線固定枠12(図1(a))にも同様にスリットを多数施しても良い。
また、可動子10に電機子巻線13、固定子20に界磁である永久磁石23を備えた構造としたが、逆の構造としても良い。さらには、固定子20の形状を凹の字形としたが、片側に永久磁石23を並べるだけの構造としても良い。
【0008】
次に、本発明の第2の実施の形態について、説明する。
図4は、本発明の第2の実施の形態における可動子を表しており、(a)が可動子の側面図、(b)が可動子の側面における渦電流の発生図である。
第1の実施の形態と違う点はスリットの入れ方である。すなわち、図4(a)に示すように、互いに平行にかつ進行方向に延びる細長いスリットが、第1の実施の形態では進行方向に連続していたが、ここでは分割されている。その他の点は第1の実施の形態と同様である。
同図において、スリット151の端部とスリット153の対応端部との間隔は、永久磁石の極ピッチを図9のようにλとすると、3×λであり、スリット151およびスリット153の全長は、それぞれ進行方向に3×λより若干短めとなっており、その差が互いの不連続部分となっている。また、進行方向と直角な方向に隣接するスリット152との間に1.5×λのずれがある。
図4(b)は、このようなスリットの形成された可動子にどのように渦電流ieが発生するかを示している。
同図からわかるように、渦電流ieは、その流路がスリット151,152、153によって断たれるため、渦電流ieが細分化される。これによって渦電流ieの上下方向成分も分断されるので、従来と比べて粘性制動力も著しく小さくなる。
ただ、スリットの不連続部分には渦電流ieとは上下方向にやや長めの渦電流ie’が生じるので、渦電流ieのみの第1の実施の形態と比較すると粘性制動力低減の点では若干劣るが、その分この不連続部分によって機械的強度が著しく増加し、総合的には第1の実施の形態を凌ぐものとなる。
その他は、第1の実施の形態と同様である。すなわち、ヘッダ14’や巻線固定枠12(図1(a))にも、スリットを設けること、キャン14およびヘッダ14’の内側に漏れ防止シート16または絶縁物の薄板を貼り付け、かつスリット15に樹脂19を流し込むのことは第1の実施の形態と同様である。
以上の説明では、永久磁石を備えた方を固定子とし前記電機子巻線を備えた方を可動子としたが、逆に、永久磁石を備えた方を可動子とし電機子巻線を備えた方を固定子としても本発明が成立することは言うまでもない。
【0009】
次に、本発明の第3の実施の形態を図9〜図12に基づいて説明する。
図9に本発明の第3の実施の形態における冷却キャンを有するリニアモータ全体の斜視図を示す。 第3の実施の形態においては、可動子10のキャン14の全長Lを式(1)のように規定するものである。
L=(n+1/2)λ ・・・・(1)
ここで、n:整数、
λ:永久磁石極ピッチ
このような規定以外は、構造的には従来装置と何ら変わらないため説明は省く。また、固定子20も、その形状や構造は従来装置と何ら変わらない。
図10は第3の実施の形態におけるリニアモータを上(可動子側)から見た状態を模式的に示すもので、可動子キャン14の位置(A,B,C,D)によって渦電流の発生箇所(破線の丸)の様子を表わした概略図である。
同図において、可動子キャン14が位置Aにおいて渦電流の発生箇所は4カ所であることがわかる。同様にして、可動子キャン14が位置Bにおいても渦電流の発生箇所は4カ所であり、位置Cおよび位置Dにおいても渦電流の発生箇所は4カ所であることがわかる。すなわち、可動子キャン14の全長Lを式(1)のように規定したことにより、可動子キャン14がどの位置にあっても渦電流発生箇所が常に4箇所に安定している。キャン全長Lが長くなれば、渦電流発生箇所の数は多くなるが、その数が変動することはない。
一方、図11は従来のリニアモータにおける可動子位置での渦電流発生箇所の様子を模式的に表している。図11は可動子キャン14の全長LをL=nλにした場合である。同図において、可動子キャン14が位置Aにおいて渦電流の発生箇所は3カ所であるが、位置Bにおいては4カ所であり、位置Cにおいては再び3カ所となり、位置Dではまた4カ所となる。すなわち、可動子キャン14の全長LをL=nλに規定したことにより、可動子キャン14が置かれる位置によって渦電流発生箇所が変動することとなる。
【0010】
従来技術と本発明による粘性制動力変動の比較を図12に示す。
図12は、定格推力が約450Nのリニアモータにおける、速度0.2m/s時の粘性制動力の変動を示したものである。従来品は可動子キャン全長がほぼ永久磁石極ピッチの整数倍である当社製リニアモータである。同図において、従来品の場合は、粘性制動力の最低値が略11Nであり、最大値が略13Nであるから、変動は2Nであることがわかる。一方、本発明品の場合は、粘性制動力の最低値が略11Nであり、最大値が略12Nであるから、変動は1Nである。したがって、本発明により粘性制動力の変動は2Nから1Nになり、約1/2に低減されたこととなる。
また、可動子を界磁側とした可動磁石型リニアモータでは、キャンが常に磁束内に存在しており、渦電流の発生量が変化しないため、粘性制動力の変動は起こらない。したがって、本発明には影響されない。
【0011】
【発明の効果】
以上のような第1および第2の実施の形態のキャンド・リニアモータにより、以下のような効果がある。
(1) 渦電流の流れを細分化することにより、粘性制動力を1/3に低減することができる。
(2) 粘性制動力分の推力を発生させる必要が無いため、銅損が低下し、可動子の温度上昇を低減することができる。
(3) 渦電流損が小さくなるため、その発生場所であるキャン、ヘッダ、巻線固定枠の発熱を低減することができる。
また、第3の実施の形態のキャンド・リニアモータにより、以下のような効果がある。
(4)リニアモータのキャンから発生する粘性制動力の変動を低減することができる。また、
(5)その粘性制動力変動の低減により、リニアモータの重要な特性である速度変動を低減する効果がある。
(6)また、本発明では構成部品の材料等は一切変更していないため、従来の機械強度特性を低下させることがない。
【図面の簡単な説明】
【図1】キャンド・リニアモータを正面から見た断面図で、(a)が本発明によるもの、(b)が従来技術によるものを表している。
【図2】本発明の第1の実施の形態における可動子を表しており、(a)が可動子の側面図、(b)が可動子の側面における渦電流の発生図である。
【図3】本発明のキャンを表しており、(a)が第1の実施の形態におけるキャン断面の拡大図、(b)が第3の実施の形態におけるキャン断面の拡大図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態における可動子を表しており、(a)が可動子の側面図、(b)が可動子の側面における渦電流の発生図である。
【図5】従来技術による可動子を表しており、(a)が可動子の側面図、(b)が可動子の側面における渦電流の発生図である。
【図6】従来技術による側面から見た可動子内部を示す図である。
【図7】本発明の第1の実施の形態と従来技術の粘性制動力を比較した図である。
【図8】従来技術によるキャンド・リニアモータの斜視図である。
【図9】本発明の第3の実施の形態における冷却キャンを有するリニアモータの全体斜視図である。
【図10】本発明における渦電流発生箇所の様子を表わした概略図である。
【図11】従来技術における渦電流発生箇所の様子を表わした概略図である。
【図12】本発明の第3の実施の形態と従来技術の粘性制動力を比較した図である。
【符号の説明】
10.可動子
11.可動子ベース
12.巻線固定枠
13.電機子巻線
14.キャン
14’.ヘッダ
15、151,152 スリット
16 漏れ防止シート
17 冷媒通路
18 接着材(樹脂)
19.スリット内接着材(樹脂)
20.固定子
21.固定子ベース
22.界磁ヨーク
23.永久磁石
31.冷媒排出口
32.冷媒供給口
33.ケーブル
Claims (8)
- 交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されると共に、電機子巻線を有する電機子とを備え、前記電機子には、前記電機子の長手方向に沿って前記電機子巻線を両面に装着した巻線固定枠と、前記電機子巻線と前記巻線固定枠を収納し両部材の周囲に冷媒を流すための冷媒通路を有したキャンと、前記キャンの両端のうち、何れか一方端に冷媒供給口を、他方端に冷媒排出口を配置したヘッダとが設けてあり、前記界磁ヨークと前記電機子の何れか一方を固定子に、他方を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたキャンド・リニアモータにおいて、
前記キャンに細長いスリットを複数設けてあり、
前記キャンの内側に前記スリットを覆うように、シート状の漏れ防止シートを張り付けると共に、前記スリットに樹脂を流し込んだことを特徴とするキャンド・リニアモータ。 - 前記複数の細長いスリットは互いに平行に進行方向に延びていることを特徴とする請求項1記載のキャンド・リニアモータ。
- 前記複数の細長いスリットは互いに平行にかつ進行方向に分割されていることを特徴とする請求項1記載のキャンド・リニアモータ。
- 前記複数の細長いスリットは、進行方向に3×λ(λ=極ピッチ)ごとに並んでいることを特徴とする請求項1または3記載のキャンド・リニアモータ。
- 前記複数の細長いスリットは互いに平行でかつ進行方向に分割されており、進行方向と直角な方向に隣接するスリットとの間に1.5×λ(λ=極ピッチ)のずれがあることを特徴とする請求項1、3または4記載のキャンド・リニアモータ。
- 前記ヘッダに、互いに平行に進行方向に延びている細長いスリットを複数設けてあり、
前記ヘッダの内側には、前記スリットを覆うようにシート状の漏れ防止シートを貼り付けると共に、前記スリットに樹脂を流し込んだことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項記載のキャンド・リニアモータ。 - 前記巻線固定枠に互いに平行に延びている細長いスリットを設けたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項記載のキャンド・リニアモータ。
- 交互に極性が異なる複数の永久磁石を隣り合わせに並べて配置した界磁ヨークと、前記永久磁石列と磁気的空隙を介して対向配置されると共に、電機子巻線を有する電機子とを備え、前記電機子には、前記電機子の長手方向に沿って前記電機子巻線を両面に装着した巻線固定枠と、前記電機子巻線と前記巻線固定枠を収納し両部材の周囲に冷媒を流すための冷媒通路を有したキャンと、前記キャンの両端のうち、何れか一方端に冷媒供給口を、他方端に冷媒排出口を配置したヘッダとが設けてあり、前記界磁ヨークを固定子に、前記電機子巻線を可動子として、前記界磁ヨークと前記電機子を相対的に走行するようにしたキャンド・リニアモータにおいて、
キャン全長Lを以下に規定したことを特徴とするリニアモータ。
キャン全長:L、
永久磁石極ピッチ:λ、
整数:n、としたとき、L=(n+1/2)λ
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000049726A JP3832556B2 (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | キャンド・リニアモータ |
TW090104218A TW529227B (en) | 2000-02-25 | 2001-02-23 | Sealed linear motor |
CNB018083161A CN1255929C (zh) | 2000-02-25 | 2001-02-23 | 密封线性电动机 |
KR1020027011002A KR100729404B1 (ko) | 2000-02-25 | 2001-02-23 | 캔화 리니어 모터 |
PCT/JP2001/001391 WO2001063733A1 (en) | 2000-02-25 | 2001-02-23 | Canned linear motor |
US10/203,651 US6731029B2 (en) | 2000-02-25 | 2001-02-23 | Canned linear motor |
EP01908115A EP1258970A4 (en) | 2000-02-25 | 2001-02-23 | LINEAR CANNED MOTOR |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000049726A JP3832556B2 (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | キャンド・リニアモータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001238428A JP2001238428A (ja) | 2001-08-31 |
JP3832556B2 true JP3832556B2 (ja) | 2006-10-11 |
Family
ID=18571622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000049726A Expired - Fee Related JP3832556B2 (ja) | 2000-02-25 | 2000-02-25 | キャンド・リニアモータ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6731029B2 (ja) |
EP (1) | EP1258970A4 (ja) |
JP (1) | JP3832556B2 (ja) |
KR (1) | KR100729404B1 (ja) |
CN (1) | CN1255929C (ja) |
TW (1) | TW529227B (ja) |
WO (1) | WO2001063733A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240016196A (ko) | 2022-07-28 | 2024-02-06 | 가부시키가이샤 소딕 | 전기자, 냉각 유닛 및 리니어 모터 |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3870413B2 (ja) * | 2002-08-20 | 2007-01-17 | 株式会社安川電機 | コアレスリニアモータ |
JP4216046B2 (ja) | 2002-11-05 | 2009-01-28 | 株式会社ソディック | コアレス交流リニアモータ |
JP4266740B2 (ja) * | 2003-07-28 | 2009-05-20 | 株式会社ソディック | コアレス交流リニアモータ |
JP4517278B2 (ja) * | 2004-01-20 | 2010-08-04 | 株式会社安川電機 | コアレスリニアモータおよびキャンド・リニアモータ |
EP1758231A4 (en) * | 2004-05-18 | 2010-11-10 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk | LINEAR MOTOR SHAFT WITH STATOR SHIRT AND LINEAR MOTOR WITH STATOR SHIRT ARMATURE |
JP2006033910A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | リニアモータ及びこのリニアモータを用いたステージ装置 |
JP2006121813A (ja) * | 2004-10-21 | 2006-05-11 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ電機子およびリニアモータ |
US7635929B2 (en) * | 2005-10-18 | 2009-12-22 | Kabushiki Kaisha Yaskawa Denki | Canned linear motor armature and canned linear motor |
US7830046B2 (en) * | 2007-03-16 | 2010-11-09 | Nikon Corporation | Damper for a stage assembly |
CN101641200B (zh) * | 2007-03-29 | 2013-02-06 | 住友重机械工业株式会社 | 合模装置 |
JP5423392B2 (ja) | 2007-06-13 | 2014-02-19 | 株式会社安川電機 | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ |
US7478921B1 (en) * | 2007-10-03 | 2009-01-20 | Irwin Kotovsky | Method and apparatus for lighting |
DE102007058821A1 (de) * | 2007-12-05 | 2009-06-10 | Ina - Drives & Mechatronics Gmbh & Co. Ohg | Elektromotor mit Teilentladungsschutz und Verfahren zu dessen Herstellung |
JP5404029B2 (ja) * | 2008-12-25 | 2014-01-29 | 株式会社東芝 | リニア電動機 |
US20110115309A1 (en) * | 2009-11-14 | 2011-05-19 | Alexei Stadnik | Method of sizing, selection and comparison of electrical machines |
DE102010039397A1 (de) * | 2010-08-17 | 2012-02-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Elektrische Maschine mit Ölkapselung um ein Aktivteil |
DE102010035395B4 (de) * | 2010-08-25 | 2015-02-12 | Siemens Aktiengesellschaft | Medizinische Untersuchungs- oder Behandlungseinrichtung |
JP5859360B2 (ja) * | 2012-03-27 | 2016-02-10 | 住友重機械工業株式会社 | リニアモータ冷却構造 |
TWI454025B (zh) * | 2012-10-11 | 2014-09-21 | Hiwin Mikrosystem Corp | 線性馬達之冷卻機構 |
CN111035364A (zh) | 2014-09-24 | 2020-04-21 | 泰克宣技术有限公司 | 用于向用户的皮肤施加运动的设备 |
CN105591514A (zh) * | 2014-10-24 | 2016-05-18 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 线性马达 |
US10573139B2 (en) | 2015-09-16 | 2020-02-25 | Taction Technology, Inc. | Tactile transducer with digital signal processing for improved fidelity |
EP3695495B1 (en) * | 2017-10-10 | 2023-09-27 | MTS Systems Corporation | Linear motor with armature cooling channels |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS591058B2 (ja) | 1979-04-16 | 1984-01-10 | 富士通株式会社 | リニアインダクシヨンモ−タの磁気回路 |
JPS60131068A (ja) * | 1983-12-16 | 1985-07-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | リニアモ−タ |
JPH01190250A (ja) | 1988-01-22 | 1989-07-31 | Sintokogio Ltd | 円筒状リニア誘導モータ |
US5032746A (en) * | 1988-03-22 | 1991-07-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Linear motor with driving device |
JP3082397B2 (ja) | 1992-02-26 | 2000-08-28 | 三菱電機株式会社 | 超電導装置 |
JP3170055B2 (ja) | 1992-08-17 | 2001-05-28 | 株式会社東芝 | 超電導磁石装置 |
JPH06275873A (ja) | 1993-03-18 | 1994-09-30 | Toshiba Corp | 超電導磁石装置 |
US5723917A (en) * | 1994-11-30 | 1998-03-03 | Anorad Corporation | Flat linear motor |
JPH08168229A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Yaskawa Electric Corp | リニアモータ |
JP3475973B2 (ja) * | 1994-12-14 | 2003-12-10 | 株式会社ニコン | リニアモータ、ステージ装置、及び露光装置 |
US5642088A (en) * | 1995-10-06 | 1997-06-24 | Sunpower, Inc. | Magnet support sleeve for linear electromechanical transducer |
US5998889A (en) * | 1996-12-10 | 1999-12-07 | Nikon Corporation | Electro-magnetic motor cooling system |
JPH11206099A (ja) * | 1997-12-29 | 1999-07-30 | Minolta Co Ltd | シャフト型リニアモータ |
US6140734A (en) * | 1998-04-03 | 2000-10-31 | Nikon Corporation Of Japan | Armature with regular windings and having a high conductor density |
US6160327A (en) * | 1998-04-06 | 2000-12-12 | Kollmorgen Corporation | Winding for linear motors without slots |
JP3448005B2 (ja) * | 1999-05-27 | 2003-09-16 | ミラエ・コーポレーション | リニアモーターの冷却装置 |
TW533656B (en) * | 2000-04-07 | 2003-05-21 | Mirae Corp | Cooling control system of linear motor |
-
2000
- 2000-02-25 JP JP2000049726A patent/JP3832556B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-02-23 KR KR1020027011002A patent/KR100729404B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2001-02-23 US US10/203,651 patent/US6731029B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-02-23 EP EP01908115A patent/EP1258970A4/en not_active Withdrawn
- 2001-02-23 CN CNB018083161A patent/CN1255929C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-02-23 TW TW090104218A patent/TW529227B/zh active
- 2001-02-23 WO PCT/JP2001/001391 patent/WO2001063733A1/ja active Application Filing
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20240016196A (ko) | 2022-07-28 | 2024-02-06 | 가부시키가이샤 소딕 | 전기자, 냉각 유닛 및 리니어 모터 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2001063733A1 (en) | 2001-08-30 |
US6731029B2 (en) | 2004-05-04 |
TW529227B (en) | 2003-04-21 |
KR100729404B1 (ko) | 2007-06-15 |
US20030020340A1 (en) | 2003-01-30 |
CN1441988A (zh) | 2003-09-10 |
KR20020086565A (ko) | 2002-11-18 |
EP1258970A4 (en) | 2007-06-06 |
EP1258970A1 (en) | 2002-11-20 |
CN1255929C (zh) | 2006-05-10 |
JP2001238428A (ja) | 2001-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3832556B2 (ja) | キャンド・リニアモータ | |
US6946755B2 (en) | Linear motor | |
JP3870413B2 (ja) | コアレスリニアモータ | |
US7839030B2 (en) | Linear motor | |
US8198760B2 (en) | Linear motor | |
US20140292110A1 (en) | Linear motor | |
JP5135898B2 (ja) | リニアアクチュエータ | |
CN110476340B (zh) | 直线电动机 | |
JP4517278B2 (ja) | コアレスリニアモータおよびキャンド・リニアモータ | |
JP4556229B2 (ja) | コアレスリニアモータ | |
JP2016059117A (ja) | リニアモータ用電機子 | |
JP5413641B2 (ja) | コアレスリニアモータ | |
JP3539493B2 (ja) | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ | |
JP3694821B2 (ja) | リニアモータ | |
JP3944766B2 (ja) | 永久磁石形同期リニアモータ | |
JP3818342B2 (ja) | リニアモータ | |
JP2010213546A (ja) | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ | |
JPH1127926A (ja) | リニアモータ | |
JP6677048B2 (ja) | 可動コイル型リニアモータ | |
JPH11127569A (ja) | リニアモータ | |
JP2002096233A (ja) | リニアスライダ | |
JP7287205B2 (ja) | 磁気回路ユニット、及び前記磁気回路ユニットを有する可動コイル型ボイスコイルモータ | |
JP2005117831A (ja) | 可動磁石形リニアアクチュエータ | |
US20220263358A1 (en) | Rotating electric machine | |
JP6764797B2 (ja) | リニアモータ及びリニアモータの冷却方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050426 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060324 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060628 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060711 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090728 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100728 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110728 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120728 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130728 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140728 Year of fee payment: 8 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |