JPH1127926A - リニアモータ - Google Patents
リニアモータInfo
- Publication number
- JPH1127926A JPH1127926A JP19313797A JP19313797A JPH1127926A JP H1127926 A JPH1127926 A JP H1127926A JP 19313797 A JP19313797 A JP 19313797A JP 19313797 A JP19313797 A JP 19313797A JP H1127926 A JPH1127926 A JP H1127926A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- armature
- linear motor
- yoke
- section
- refrigerant
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電機子部からテーブルに伝達する熱を少なく
し、かつヨーク部の変形を防いで、高精度のリニアモー
タを提供する。 【解決手段】 平板状のヨーク部２と、ヨーク部２の長
手方向に交互に異極が現れるように配置した複数の永久
磁石３と、永久磁石３に空隙を介して対向する電機子部
６とを備えたリニアモータにおいて、ヨーク部２は長手
方向が平板状のベース部１１に沿って伸びるように固定
してあり、永久磁石３はヨーク部２の両側面２１ａ，２
１ｂに互いに背中合わせに固定し、電機子部６はベース
部１１に平行に設けたテーブル５１に固定し、電機子部
６の電機子コイル６２ａ，６２ｂの表面に近接して冷媒
通路８を設けたものである。したがって、電機子部から
テーブルに伝達される熱が減少し、熱影響によるテーブ
ルの位置決め精度の誤差が少なくなるとともに、ヨーク
部の変形は少なくなる。
し、かつヨーク部の変形を防いで、高精度のリニアモー
タを提供する。 【解決手段】 平板状のヨーク部２と、ヨーク部２の長
手方向に交互に異極が現れるように配置した複数の永久
磁石３と、永久磁石３に空隙を介して対向する電機子部
６とを備えたリニアモータにおいて、ヨーク部２は長手
方向が平板状のベース部１１に沿って伸びるように固定
してあり、永久磁石３はヨーク部２の両側面２１ａ，２
１ｂに互いに背中合わせに固定し、電機子部６はベース
部１１に平行に設けたテーブル５１に固定し、電機子部
６の電機子コイル６２ａ，６２ｂの表面に近接して冷媒
通路８を設けたものである。したがって、電機子部から
テーブルに伝達される熱が減少し、熱影響によるテーブ
ルの位置決め精度の誤差が少なくなるとともに、ヨーク
部の変形は少なくなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工作機械のテーブ
ルの駆動用等に用いられるリニアモータに関する。
ルの駆動用等に用いられるリニアモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、テーブルの駆動用等に用いられる
リニアモータは、例えば図９に示すように構成されてい
るものが開示されている（例えば、特開平５−４９２３
０号公報）。すなわち、固定部１０は、断面がＵ字形で
所定の長さを有する磁性体からなるヨーク部２０と、ヨ
ーク部２０の両方の脚部２１０、２２０の内側面２１０
ａ，２２０ａに取り付けられて、界磁を構成する永久磁
石３０と、ヨーク部２０の両脚部２１０、２２０の上面
に長手方向に伸びるガイドレール４０とから構成されて
いる。可動部５０は、ガイドレール４０の上に長手方向
に沿って移動し得るように軸受部５１０によって支持さ
れたテーブル５２０と、テーブル５２０の下面に取り付
けられ、ヨーク部２０の脚部２１０と２２０の間の空間
に配置された磁性体からなる電機子固定部５３０と、電
機子固定部５３０の側面に固定され、かつ両方の永久磁
石３０に対して空隙を介して対向する電機子部６０によ
って構成されている。
リニアモータは、例えば図９に示すように構成されてい
るものが開示されている（例えば、特開平５−４９２３
０号公報）。すなわち、固定部１０は、断面がＵ字形で
所定の長さを有する磁性体からなるヨーク部２０と、ヨ
ーク部２０の両方の脚部２１０、２２０の内側面２１０
ａ，２２０ａに取り付けられて、界磁を構成する永久磁
石３０と、ヨーク部２０の両脚部２１０、２２０の上面
に長手方向に伸びるガイドレール４０とから構成されて
いる。可動部５０は、ガイドレール４０の上に長手方向
に沿って移動し得るように軸受部５１０によって支持さ
れたテーブル５２０と、テーブル５２０の下面に取り付
けられ、ヨーク部２０の脚部２１０と２２０の間の空間
に配置された磁性体からなる電機子固定部５３０と、電
機子固定部５３０の側面に固定され、かつ両方の永久磁
石３０に対して空隙を介して対向する電機子部６０によ
って構成されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来技
術では、電機子部６０が磁性体からなる電機子固定部５
３０を介してテーブル５２０に取り付けられているた
め、電機子部６０で発生した熱がテーブル５２０に伝わ
り易く、半導体製造設備などの熱影響によるテーブルの
位置決め精度の誤差が問題となる設備では使用が難しい
という問題があった。また、永久磁石３０と電機子部６
０との間の空隙の磁気吸引力により、ヨーク部２０の脚
部２１０、２２０が撓み、空隙の機械的精度が低下し、
磁気的特性が変化するという問題があった。本発明は、
電機子部からテーブルに伝達する熱を少なくし、かつヨ
ーク部の変形を防いで、高精度のリニアモータを提供す
ることを目的とする。
術では、電機子部６０が磁性体からなる電機子固定部５
３０を介してテーブル５２０に取り付けられているた
め、電機子部６０で発生した熱がテーブル５２０に伝わ
り易く、半導体製造設備などの熱影響によるテーブルの
位置決め精度の誤差が問題となる設備では使用が難しい
という問題があった。また、永久磁石３０と電機子部６
０との間の空隙の磁気吸引力により、ヨーク部２０の脚
部２１０、２２０が撓み、空隙の機械的精度が低下し、
磁気的特性が変化するという問題があった。本発明は、
電機子部からテーブルに伝達する熱を少なくし、かつヨ
ーク部の変形を防いで、高精度のリニアモータを提供す
ることを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、平板状のヨーク部と、前記ヨーク部の長
手方向に交互に異極が現れるように配置した複数の永久
磁石と、前記永久磁石に空隙を介して対向する複数の電
機子鉄心に電機子コイルを巻回して形成した電機子部と
を備えたリニアモータにおいて、前記ヨーク部は長手方
向が平板状のベース部に沿って伸びるように固定してあ
り、前記永久磁石は前記ヨーク部の両側面に互いに背中
合わせに固定し、前記電機子部は前記ベース部に平行に
設けたテーブルに固定し、前記電機子部の電機子コイル
の表面に近接して冷媒通路を設けたものである。また、
前記電機子部は、一方の側面に凹部を反対側の側面に凸
部を設けた電機子鉄心に巻回した電機子コイルからなる
複数の単位電機子を形成し、一方の前記単位電機子の前
記凹部と他方の前記単位電機子の前記凸部を係合させ
て、順次複数の単位電機子を一体に形成したものであ
る。また、前記冷媒通路は、前記テーブルの前記電機子
コイルに対向する面に設けた冷却用溝の中に冷媒導管を
装着して形成したものである。また、前記冷媒通路は、
前記冷却用溝の開口部をシール板で覆い、前記シール板
と前記テーブルの間にＯリングを装着したものである。
また、前記冷媒通路は、前記電機子コイルのテーブル側
と反対側に接触させて設けた冷媒導管からなるものであ
る。また、前記冷媒通路は、前記電機子鉄心の前記永久
磁石と対向する面に固定した冷媒導管からなるものであ
る。また、前記冷媒導管と前記電機子コイルとの間の空
間に熱伝導性の高い樹脂を充填したものである。
め、本発明は、平板状のヨーク部と、前記ヨーク部の長
手方向に交互に異極が現れるように配置した複数の永久
磁石と、前記永久磁石に空隙を介して対向する複数の電
機子鉄心に電機子コイルを巻回して形成した電機子部と
を備えたリニアモータにおいて、前記ヨーク部は長手方
向が平板状のベース部に沿って伸びるように固定してあ
り、前記永久磁石は前記ヨーク部の両側面に互いに背中
合わせに固定し、前記電機子部は前記ベース部に平行に
設けたテーブルに固定し、前記電機子部の電機子コイル
の表面に近接して冷媒通路を設けたものである。また、
前記電機子部は、一方の側面に凹部を反対側の側面に凸
部を設けた電機子鉄心に巻回した電機子コイルからなる
複数の単位電機子を形成し、一方の前記単位電機子の前
記凹部と他方の前記単位電機子の前記凸部を係合させ
て、順次複数の単位電機子を一体に形成したものであ
る。また、前記冷媒通路は、前記テーブルの前記電機子
コイルに対向する面に設けた冷却用溝の中に冷媒導管を
装着して形成したものである。また、前記冷媒通路は、
前記冷却用溝の開口部をシール板で覆い、前記シール板
と前記テーブルの間にＯリングを装着したものである。
また、前記冷媒通路は、前記電機子コイルのテーブル側
と反対側に接触させて設けた冷媒導管からなるものであ
る。また、前記冷媒通路は、前記電機子鉄心の前記永久
磁石と対向する面に固定した冷媒導管からなるものであ
る。また、前記冷媒導管と前記電機子コイルとの間の空
間に熱伝導性の高い樹脂を充填したものである。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施例を図
に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示
す正断面図、図２はＡ−Ａ断面に沿う平断面図、図３は
Ｂ−Ｂ断面に沿う側断面図、図４は外観平面図である。
図において、１は固定部で、平面状のベース部１１とベ
ース部１１に垂直に設けられ、ベース部１１に沿って伸
びる棒状の磁性体のヨーク部２とからなり、断面が逆Ｔ
字形に形成されている。３（３ａ，３ｂ）は永久磁石
で、ヨーク部２の反対側の両側面２１ａ，２１ｂに背中
合わせに複数個、長手方向に所定の間隔を開けてそれぞ
れ取り付けられて、界磁を構成している。４はヨーク部
２の長手方向に沿って伸びるガイドレールで、ヨーク部
２の両側のベース部１１の上面に設けられている。５は
可動部、５１は平面状のテーブル、６はテーブル５１の
下面に取り付けられた電機子部、６１（６１ａ，６１
ｂ）はＴ字状の薄板鋼板を積層して形成した電機子鉄心
で、両側に突出した部分の先端の一方側に凹部６１１
を、他方側に凸部６１２を形成してある。６２（６２
ａ，６２ｂ）は３相交流（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）の各相毎
に複数個設けられた電機子コイルで、各電機子コイル毎
にボビン６２１に巻回され、それぞれ電機子鉄心６１
ａ，６１ｂにボビン６２１と共に装着して単位電機子６
Ｘを形成してある。テーブル５１の電機子コイル６２に
対向する面にはヨーク部２の長手方向に沿って伸びる冷
却用溝５２を設けてある。
に基づいて説明する。図１は本発明の第１の実施例を示
す正断面図、図２はＡ−Ａ断面に沿う平断面図、図３は
Ｂ−Ｂ断面に沿う側断面図、図４は外観平面図である。
図において、１は固定部で、平面状のベース部１１とベ
ース部１１に垂直に設けられ、ベース部１１に沿って伸
びる棒状の磁性体のヨーク部２とからなり、断面が逆Ｔ
字形に形成されている。３（３ａ，３ｂ）は永久磁石
で、ヨーク部２の反対側の両側面２１ａ，２１ｂに背中
合わせに複数個、長手方向に所定の間隔を開けてそれぞ
れ取り付けられて、界磁を構成している。４はヨーク部
２の長手方向に沿って伸びるガイドレールで、ヨーク部
２の両側のベース部１１の上面に設けられている。５は
可動部、５１は平面状のテーブル、６はテーブル５１の
下面に取り付けられた電機子部、６１（６１ａ，６１
ｂ）はＴ字状の薄板鋼板を積層して形成した電機子鉄心
で、両側に突出した部分の先端の一方側に凹部６１１
を、他方側に凸部６１２を形成してある。６２（６２
ａ，６２ｂ）は３相交流（Ｕ相、Ｖ相、Ｗ相）の各相毎
に複数個設けられた電機子コイルで、各電機子コイル毎
にボビン６２１に巻回され、それぞれ電機子鉄心６１
ａ，６１ｂにボビン６２１と共に装着して単位電機子６
Ｘを形成してある。テーブル５１の電機子コイル６２に
対向する面にはヨーク部２の長手方向に沿って伸びる冷
却用溝５２を設けてある。
【０００６】各単位電機子６Ｘは互いに凹部６１１と凸
部６１２とを係合させてダブテール結合させ、複数磁極
が一体になるように電機子部６を形成してあり、永久磁
石３ａ，３ｂに対してそれぞれ空隙を介して対向させて
ある。各電機子コイル６２は樹脂モールド６３により一
体に形成してある。なお、界磁磁極数をＰ、電機子極数
をＮ、総数をｍとしたとき、ｑ＝Ｎ／ｍ・Ｐ ＝１／
２，３／８，１／４，１／５ のいずれかになるよう
に、永久磁石３ａ，３ｂと電機子６の構成を決めてあ
る。５３は複数の単位電機子６Ｘを一体に形成した電機
子部６の両端に設けたフランジである。７は電機子鉄心
６１の下面に取り付けられた軸受部で、ガイドレール４
上に可動部５を長手方向に沿って移動し得るように支持
してあり、ボルト５４によって電機子鉄心６１と共にテ
ーブル５１に固定されている。８ａ，８ｂは冷却用溝５
２の中に装着した冷媒を通す２本の冷媒導管で、冷媒通
路８を形成し、電機子コイル６２の上側表面に接近して
設けられ、それぞれ両端をフランジ５３に取り付けてあ
る。冷媒導管８ａ，８ｂの両端には、フランジ５３に設
けた供給口５３１ａ、５３１ｂ，排出口５３２ａ，５３
２ｂに連通する開口部８１を設けてある。８２は、図４
に示すように、冷媒導管８ａの排出口５３２ａと冷媒導
管８ｂの供給口５３１ｂとを連絡する連結導管である。
部６１２とを係合させてダブテール結合させ、複数磁極
が一体になるように電機子部６を形成してあり、永久磁
石３ａ，３ｂに対してそれぞれ空隙を介して対向させて
ある。各電機子コイル６２は樹脂モールド６３により一
体に形成してある。なお、界磁磁極数をＰ、電機子極数
をＮ、総数をｍとしたとき、ｑ＝Ｎ／ｍ・Ｐ ＝１／
２，３／８，１／４，１／５ のいずれかになるよう
に、永久磁石３ａ，３ｂと電機子６の構成を決めてあ
る。５３は複数の単位電機子６Ｘを一体に形成した電機
子部６の両端に設けたフランジである。７は電機子鉄心
６１の下面に取り付けられた軸受部で、ガイドレール４
上に可動部５を長手方向に沿って移動し得るように支持
してあり、ボルト５４によって電機子鉄心６１と共にテ
ーブル５１に固定されている。８ａ，８ｂは冷却用溝５
２の中に装着した冷媒を通す２本の冷媒導管で、冷媒通
路８を形成し、電機子コイル６２の上側表面に接近して
設けられ、それぞれ両端をフランジ５３に取り付けてあ
る。冷媒導管８ａ，８ｂの両端には、フランジ５３に設
けた供給口５３１ａ、５３１ｂ，排出口５３２ａ，５３
２ｂに連通する開口部８１を設けてある。８２は、図４
に示すように、冷媒導管８ａの排出口５３２ａと冷媒導
管８ｂの供給口５３１ｂとを連絡する連結導管である。
【０００７】このような構成により、冷媒を供給口５３
１ａから供給すると、冷媒導管８ａを通り、電機子コイ
ル６２ａの表面から熱を奪い、排出口５３２ａから連結
導管８２を通り冷媒導管８ｂに入る。冷媒導管８ｂでは
電機子コイル６２ｂの熱を奪い、排出口５３２ｂから外
部に排出される。したがって、電機子コイル６２は効果
的に冷却され、電機子部６で発生した熱がテーブル５１
に伝わらずに外部に排出されるので、半導体製造設備な
どの熱影響によるテーブルの位置決め精度の誤差が少な
くなる。また、永久磁石３がヨーク部２の反対側の両側
面２１ａ，２１ｂに取り付けられているので、ヨーク部
２に作用する電機子部６と界磁を構成する永久磁石３と
の間の吸引力は相殺される。したがって、ヨーク部２の
変形は少なくなり、空隙の機械的精度が向上し、磁気的
特性が安定する。また、電機子部６は、単位電機子６Ｘ
毎に各電機子コイル６２を各電機子鉄心６１に整列巻き
することによって形成してあるので、電機子コイル６２
の占積率を高めることができる。
１ａから供給すると、冷媒導管８ａを通り、電機子コイ
ル６２ａの表面から熱を奪い、排出口５３２ａから連結
導管８２を通り冷媒導管８ｂに入る。冷媒導管８ｂでは
電機子コイル６２ｂの熱を奪い、排出口５３２ｂから外
部に排出される。したがって、電機子コイル６２は効果
的に冷却され、電機子部６で発生した熱がテーブル５１
に伝わらずに外部に排出されるので、半導体製造設備な
どの熱影響によるテーブルの位置決め精度の誤差が少な
くなる。また、永久磁石３がヨーク部２の反対側の両側
面２１ａ，２１ｂに取り付けられているので、ヨーク部
２に作用する電機子部６と界磁を構成する永久磁石３と
の間の吸引力は相殺される。したがって、ヨーク部２の
変形は少なくなり、空隙の機械的精度が向上し、磁気的
特性が安定する。また、電機子部６は、単位電機子６Ｘ
毎に各電機子コイル６２を各電機子鉄心６１に整列巻き
することによって形成してあるので、電機子コイル６２
の占積率を高めることができる。
【０００８】次に、本発明の第２の実施例について説明
する。図５は本発明の第２の実施例を示す正断面図であ
る。この場合、テーブル５１に設けた冷媒通路８は、上
記第１の実施例で用いた冷媒導管８ａ，８ｂの代わり
に、テーブル５１に設けた冷却用溝５２の開口部を塞ぐ
シール板５５を設けて冷却用溝５２とシール板５５によ
り冷媒を通すジャケット８３（８３ａ，８３ｂ）を形成
したものである。８４は冷却用溝５２の両側に設けたＯ
リングで、シール板５５とテーブル５１との間から冷媒
が漏れないようにしてある。これにより、冷媒の通路の
形成が容易となる。
する。図５は本発明の第２の実施例を示す正断面図であ
る。この場合、テーブル５１に設けた冷媒通路８は、上
記第１の実施例で用いた冷媒導管８ａ，８ｂの代わり
に、テーブル５１に設けた冷却用溝５２の開口部を塞ぐ
シール板５５を設けて冷却用溝５２とシール板５５によ
り冷媒を通すジャケット８３（８３ａ，８３ｂ）を形成
したものである。８４は冷却用溝５２の両側に設けたＯ
リングで、シール板５５とテーブル５１との間から冷媒
が漏れないようにしてある。これにより、冷媒の通路の
形成が容易となる。
【０００９】次に、本発明の第３の実施例について説明
する。図６は本発明の第３の実施例を示す正断面図であ
る。この場合、上記第１の実施例に、電機子コイル６２
ａ，６２ｂの下面に接触させて冷媒導管８５（８５ａ，
８５ｂ）設け、その両端をフランジ５３に固定したもの
で、冷媒導管８５は冷媒導管８と連通するようにしてあ
る。冷媒導管８５と電機子コイル６２ａ，６２ｂとの間
に生じる隙間に熱伝導性の高い樹脂を充填し、電機子コ
イル６２ａ，６２ｂと冷媒導管８５との熱伝導度が高く
なるようにしてある。これにより、電機子コイル６２は
両面から冷却されるので、電機子コイル６２はさらに効
果的に冷却され、半導体製造設備などの熱影響によるテ
ーブルの位置決め精度の誤差が少なくなる。
する。図６は本発明の第３の実施例を示す正断面図であ
る。この場合、上記第１の実施例に、電機子コイル６２
ａ，６２ｂの下面に接触させて冷媒導管８５（８５ａ，
８５ｂ）設け、その両端をフランジ５３に固定したもの
で、冷媒導管８５は冷媒導管８と連通するようにしてあ
る。冷媒導管８５と電機子コイル６２ａ，６２ｂとの間
に生じる隙間に熱伝導性の高い樹脂を充填し、電機子コ
イル６２ａ，６２ｂと冷媒導管８５との熱伝導度が高く
なるようにしてある。これにより、電機子コイル６２は
両面から冷却されるので、電機子コイル６２はさらに効
果的に冷却され、半導体製造設備などの熱影響によるテ
ーブルの位置決め精度の誤差が少なくなる。
【００１０】次に、本発明の第４の実施例について説明
する。図７は本発明の第４の実施例を示す正断面図であ
る。この場合、上記第１の実施例の電機子鉄心６１ａ，
６１ｂの永久磁石３ａ，３ｂに対向する面に冷媒導管８
６ａ，８６ｂを設けると共に、その両端をフランジ５３
に固定し、かつ冷媒導管８ａ、８ｂと連通するようにし
たものである。これにより、電機子部６から永久磁石３
を通ってテーブル５１に伝わる熱が少なくなり、更に熱
影響によるテーブルの位置決め精度の誤差が少なくな
る。
する。図７は本発明の第４の実施例を示す正断面図であ
る。この場合、上記第１の実施例の電機子鉄心６１ａ，
６１ｂの永久磁石３ａ，３ｂに対向する面に冷媒導管８
６ａ，８６ｂを設けると共に、その両端をフランジ５３
に固定し、かつ冷媒導管８ａ、８ｂと連通するようにし
たものである。これにより、電機子部６から永久磁石３
を通ってテーブル５１に伝わる熱が少なくなり、更に熱
影響によるテーブルの位置決め精度の誤差が少なくな
る。
【００１１】次に、本発明の第５の実施例について説明
する。図８は本発明の第５の実施例を示す正断面図であ
る。この場合、上記第３の実施例の電機子鉄心６１と永
久磁石３との間に、冷媒導管８６を設けて、電機子鉄心
６１に固定すると共に、その両端をフランジ５３に固定
し、かつ冷媒導管８、８５と連通するようにしたもので
ある。これにより、電機子部６から永久磁石３を通って
テーブル５１に伝わる熱が極めて少なくなり、更に熱影
響によるテーブルの位置決め精度の誤差が極めて少なく
なる。
する。図８は本発明の第５の実施例を示す正断面図であ
る。この場合、上記第３の実施例の電機子鉄心６１と永
久磁石３との間に、冷媒導管８６を設けて、電機子鉄心
６１に固定すると共に、その両端をフランジ５３に固定
し、かつ冷媒導管８、８５と連通するようにしたもので
ある。これにより、電機子部６から永久磁石３を通って
テーブル５１に伝わる熱が極めて少なくなり、更に熱影
響によるテーブルの位置決め精度の誤差が極めて少なく
なる。
【００１２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、電
機子コイルの周囲に冷媒導管を配置して、電機子コイル
から発生する熱を直接冷却するようにしてあるので、電
機子コイルは効果的に冷却され、電機子部で発生した熱
がテーブルに伝わらずに外部に排出される。また、永久
磁石がヨーク部の両側面に取り付けられているので、ヨ
ーク部に作用する電機子部と界磁を構成する永久磁石と
の間の吸引力は相殺される。また、電機子部は、単位電
機子毎に各電機子コイルを各電機子鉄心に整列巻きして
あるので、電機子コイルの占積率を高め、相対的に銅損
を低減することができる。したがって、電機子部からテ
ーブルに伝達される熱が減少し、熱影響によるテーブル
の位置決め精度の誤差が少なくなるとともに、ヨーク部
の変形は少なくなり、空隙の機械的精度が向上し、安定
した磁気的特性を備えた高精度のリニアモータを提供で
きる効果がある。
機子コイルの周囲に冷媒導管を配置して、電機子コイル
から発生する熱を直接冷却するようにしてあるので、電
機子コイルは効果的に冷却され、電機子部で発生した熱
がテーブルに伝わらずに外部に排出される。また、永久
磁石がヨーク部の両側面に取り付けられているので、ヨ
ーク部に作用する電機子部と界磁を構成する永久磁石と
の間の吸引力は相殺される。また、電機子部は、単位電
機子毎に各電機子コイルを各電機子鉄心に整列巻きして
あるので、電機子コイルの占積率を高め、相対的に銅損
を低減することができる。したがって、電機子部からテ
ーブルに伝達される熱が減少し、熱影響によるテーブル
の位置決め精度の誤差が少なくなるとともに、ヨーク部
の変形は少なくなり、空隙の機械的精度が向上し、安定
した磁気的特性を備えた高精度のリニアモータを提供で
きる効果がある。
【図１】 本発明の第１の実施例を示す正断面図であ
る。
る。
【図２】 本発明の第１の実施例を示す平断面図であ
る。
る。
【図３】 本発明の第１の実施例を示す側断面図であ
る。
る。
【図４】 本発明の第１の実施例を示す平面図である。
【図５】 本発明の第２の実施例を示す正断面図であ
る。
る。
【図６】 本発明の第３の実施例を示す正断面図であ
る。
る。
【図７】 本発明の第４の実施例を示す正断面図であ
る。
る。
【図８】 本発明の第５の実施例を示す正断面図であ
る。
る。
【図９】 従来例を示す正断面図である。
１：固定部、１１：ベース部、２：ヨーク部、２１ａ，
２１ｂ：側面、３、３ａ，３ｂ：永久磁石、４：ガイド
レール、５：可動部、５１：テーブル、５２：冷却用
溝、５３：フランジ、５３１ａ、５３１ｂ：供給口、５
３２ａ，５３２ｂ：排出口、５４：ボルト、５５：シー
ル板、６：電機子部、６Ｘ：単位電機子、６１、６１
ａ，６１ｂ：電機子鉄心、６１１：凹部、６１２：凸
部、６２，６２ａ，６２ｂ：電機子コイル、６２１：ボ
ビン、６３：樹脂モールド、７：軸受部、８：冷媒通
路、８ａ，８ｂ、８５ａ，８５ｂ，８６ａ，８６ｂ：冷
媒導管、８１：開口部、８２：連結導管、８３：ジャケ
ット、８４：Ｏリング
２１ｂ：側面、３、３ａ，３ｂ：永久磁石、４：ガイド
レール、５：可動部、５１：テーブル、５２：冷却用
溝、５３：フランジ、５３１ａ、５３１ｂ：供給口、５
３２ａ，５３２ｂ：排出口、５４：ボルト、５５：シー
ル板、６：電機子部、６Ｘ：単位電機子、６１、６１
ａ，６１ｂ：電機子鉄心、６１１：凹部、６１２：凸
部、６２，６２ａ，６２ｂ：電機子コイル、６２１：ボ
ビン、６３：樹脂モールド、７：軸受部、８：冷媒通
路、８ａ，８ｂ、８５ａ，８５ｂ，８６ａ，８６ｂ：冷
媒導管、８１：開口部、８２：連結導管、８３：ジャケ
ット、８４：Ｏリング
Claims (7)
- 【請求項１】 平板状のヨーク部と、前記ヨーク部の長
手方向に交互に異極が現れるように配置した複数の永久
磁石と、前記永久磁石に空隙を介して対向する複数の電
機子鉄心に電機子コイルを巻回して形成した電機子部と
を備えたリニアモータにおいて、 前記ヨーク部は長手方向が平板状のベース部に沿って伸
びるように固定してあり、前記永久磁石は前記ヨーク部
の両側面に互いに背中合わせに固定し、前記電機子部は
前記ベース部に平行に設けたテーブルに固定し、前記電
機子部の電機子コイルの表面に近接して冷媒通路を設け
たことを特徴とするリニアモータ。 - 【請求項２】 前記電機子部は、一方の側面に凹部を反
対側の側面に凸部を設けた電機子鉄心に巻回した電機子
コイルからなる複数の単位電機子を形成し、一方の前記
単位電機子の前記凹部と他方の前記単位電機子の前記凸
部を係合させて、順次複数の単位電機子を一体に形成し
たことを特徴とする請求項１記載のリニアモータ。 - 【請求項３】 前記冷媒通路は、前記テーブルの前記電
機子コイルに対向する面に設けた冷却用溝の中に冷媒導
管を装着して形成したことを特徴とする請求項１記載の
リニアモータ。 - 【請求項４】 前記冷媒通路は、前記冷却用溝の開口部
をシール板で覆い、前記シール板と前記テーブルの間に
Ｏリングを装着したことを特徴とする請求項１記載のリ
ニアモータ。 - 【請求項５】 前記冷媒通路は、前記電機子コイルのテ
ーブル側と反対側の側面に接触させて設けた冷媒導管か
らなることを特徴とする請求項３または４に記載のリニ
アモータ。 - 【請求項６】 前記冷媒通路は、前記電機子鉄心の前記
永久磁石と対向する面に固定した冷媒導管からなること
を特徴とする請求項３から５までのいずれか１項に記載
のリニアモータ。 - 【請求項７】 前記冷媒導管と前記電機子コイルとの間
の空間に熱伝導性の高い樹脂を充填したことを特徴とす
る請求項４から６までのいずれか１項に記載のリニアモ
ータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19313797A JP3856057B2 (ja) | 1997-07-02 | 1997-07-02 | リニアモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19313797A JP3856057B2 (ja) | 1997-07-02 | 1997-07-02 | リニアモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1127926A true JPH1127926A (ja) | 1999-01-29 |
| JP3856057B2 JP3856057B2 (ja) | 2006-12-13 |
Family
ID=16302902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19313797A Expired - Fee Related JP3856057B2 (ja) | 1997-07-02 | 1997-07-02 | リニアモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3856057B2 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002142433A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Toshiba Mach Co Ltd | リニアモータによる駆動装置 |
| JP2002315297A (ja) * | 2001-04-11 | 2002-10-25 | Shinko Electric Co Ltd | リニアモータシステムおよび移動体システム |
| JP2003047229A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-14 | Ichinomiya Denki:Kk | 巻線コイルユニット、直線コアユニット、リニアモータ、及び直線コアユニット組立方法 |
| EP1617546A3 (en) * | 2004-07-16 | 2006-04-05 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Linear motor for use in machine tool |
| JP2010226834A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Sinfonia Technology Co Ltd | リニアモータ |
| JP2016059117A (ja) * | 2014-09-08 | 2016-04-21 | 住友重機械工業株式会社 | リニアモータ用電機子 |
| US10050508B2 (en) | 2015-05-27 | 2018-08-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Electric motor having a field element and an armature with a carrier |
| US20190109501A1 (en) * | 2017-10-10 | 2019-04-11 | Mts Systems Corporation | Linear motor with armature cooling channels |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2010047129A1 (ja) | 2008-10-23 | 2010-04-29 | 株式会社ソディック | 冷却装置を有するリニアモータコイル組立体 |
-
1997
- 1997-07-02 JP JP19313797A patent/JP3856057B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002142433A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-05-17 | Toshiba Mach Co Ltd | リニアモータによる駆動装置 |
| JP4533525B2 (ja) * | 2000-10-31 | 2010-09-01 | 東芝機械株式会社 | リニアモータによる駆動装置 |
| JP2002315297A (ja) * | 2001-04-11 | 2002-10-25 | Shinko Electric Co Ltd | リニアモータシステムおよび移動体システム |
| JP2003047229A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-14 | Ichinomiya Denki:Kk | 巻線コイルユニット、直線コアユニット、リニアモータ、及び直線コアユニット組立方法 |
| EP1617546A3 (en) * | 2004-07-16 | 2006-04-05 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Linear motor for use in machine tool |
| JP2010226834A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Sinfonia Technology Co Ltd | リニアモータ |
| JP2016059117A (ja) * | 2014-09-08 | 2016-04-21 | 住友重機械工業株式会社 | リニアモータ用電機子 |
| US10050508B2 (en) | 2015-05-27 | 2018-08-14 | Mitsubishi Electric Corporation | Electric motor having a field element and an armature with a carrier |
| US20190109501A1 (en) * | 2017-10-10 | 2019-04-11 | Mts Systems Corporation | Linear motor with armature cooling channels |
| US10992193B2 (en) * | 2017-10-10 | 2021-04-27 | Mts Systems Corporation | Linear motor with armature cooling channels |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3856057B2 (ja) | 2006-12-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11283332B2 (en) | Rotating electric machine | |
| US20130278091A1 (en) | Rotary machine | |
| WO2010100742A1 (ja) | リニアモータ用電機子 | |
| WO2001063733A1 (en) | Canned linear motor | |
| JP3856057B2 (ja) | リニアモータ | |
| CN110476340B (zh) | 直线电动机 | |
| JP3478084B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP2000217334A (ja) | リニアモ―タ | |
| JP3694821B2 (ja) | リニアモータ | |
| US6800968B1 (en) | Linear motor | |
| JP3539493B2 (ja) | キャンド・リニアモータ電機子およびキャンド・リニアモータ | |
| JP3791428B2 (ja) | 回転電機のステータ構造 | |
| JP2820531B2 (ja) | 流体冷却式の電気機械 | |
| US6946761B2 (en) | Actuator coil cooling system | |
| JP5369265B2 (ja) | リニアモータ及びリニア移動ステージ装置 | |
| WO2019074931A1 (en) | LINEAR MOTOR WITH INDUCTION COOLING CHANNELS | |
| JP2004304932A (ja) | リニアモータの冷却構造 | |
| JP3818342B2 (ja) | リニアモータ | |
| JP2524103Y2 (ja) | 同期リニアモータ | |
| JP4048557B2 (ja) | リニアモータの冷却装置 | |
| JP2001231246A (ja) | キャンド・リニアモータ | |
| JP7349540B1 (ja) | 電機子、冷却ユニットおよびリニアモータ | |
| JPH11127569A (ja) | リニアモータ | |
| JP2004236475A (ja) | コイルジャケット及びそれを用いたリニアモータ | |
| JP2001224159A (ja) | リニアスライダ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040618 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050414 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050602 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050729 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060823 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060905 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100922 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110922 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110922 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120922 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120922 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130922 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 8 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |