JP3827630B2

JP3827630B2 - 金属パターンを形成する方法

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Publication number: JP3827630B2
Application number: JP2002290197A
Authority: JP
Inventors: ポール・エス・アンドリ; ジョン・シー・フレーク; ブルーノ・ミシェル; 隆俊辻村
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 2001-10-05
Filing date: 2002-10-02
Publication date: 2006-09-27
Anticipated expiration: 2022-10-02
Also published as: JP2003218498A; US6767828B2; US20040266173A1; US20030068480A1

Description

【０００１】
（発明の属する技術分野）
本発明は、パターンを形成する方法、半導体装置および該半導体装置に使用することができる金属導電パターンに関し、より詳細には、マイクロ・コンタクト・プリント技術に使用する配線および電極に提供するのに有用なパターンを形成する方法、半導体装置および金属導電パターンに関する。
【０００２】
（従来の技術）
マイクロ・リソグラフィは、例えば、半導体分野、ディスプレイ分野、プリント分野などといった様々な分野において広く使用されている。マイクロ・リソグラフィは、それらの分野の間の、特に、半導体分野で重要な役割を果たしている。図１は、マイクロ・リソグラフィを使用するパターンを形成する典型的な方法を示す。従来の方法では、まず、図１（ａ）に示す基板上にシリコン、窒化シリコンなどといった層を付着する。基板は、典型的にはガラス、金属、その他の好適な材料を含む。次に、フォトレジスト層が付着層上に塗布され、図１（ｂ）に示すような付着層上にフォトレジスト層を形成する。典型的に使用されるフォトレジストは、ポジ型レジスト、ネガ型レジストを含み、例えば、ジアゾ・ケトン化合物と結合したノボラック・レジン、光開始剤と結合したアクリル・レジン、オニウム塩と結合したポリビニル・フェノールである。プロセスは、その後、図１（ｃ）に示すような露光ステップへと進み、フォトレジストが好適なパターン化されたマスクを通して露光される。
【０００３】
その後、露光されたフォトレジスト材料は、現像液によって現像され、図１（ｄ）において付着膜上にパターンを形成する。次に、現像されたパターンは、図１（ｅ）に示すようにポスト・ベーキング・プロセスにさらされる。プロセスは、さらに、図１（ｆ）に示すようにエッチング・ステップに進む。エッチング・ステップでは、好適なエッチャントによって付着膜をエッチングする。エッチング・ステップは、ガス雰囲気中、またはエッチャントによる液中で行うことができる。次のステップで、フォトレジスト層は、好適な剥離剤の中で剥離され、図１（ｇ）および図１（ｈ）の所望のパターンを示すように付着膜を除去し、露光する。
【０００４】
上述したように、従来のパターン化処理は、所望のパターンを形成するために、付着ステップ、レジスト塗布ステップ、露光ステップ、現像ステップ、エッチング・ステップ、剥離ステップといった多くのステップを含む。特に、多くのプロセスが、ウェット・プロセスとして実施され、その結果、多くの装置または器具が必要とされ、生産ラインを構築するために巨額の投資が必要とされる。それに加えて、プロセスが進行するにつれて、間接的に多くの廃棄物が生成され、そのことにより、液晶ディスプレイ装置アレイに限らず、半導体装置を含むものは高コストとなっている。
【０００５】
その結果、生産コストと廃棄物を削減し、半導体装置の生産を増加する方法を提供するための努力が続けられている。
【０００６】
（発明が解決しようとする課題）
本発明は、より簡便なステップによってパターンを形成する好適で、新規な方法を提供する。
【０００７】
本発明の他の目的は、本発明の方法により形成される新規な半導体装置を提供することである。
【０００８】
本発明のさらに他の目的は、本発明の方法により形成される新規な金属導電パターンを提供することである。
【０００９】
（課題を解決するための手段）
本発明によれば、パターンを形成する方法が提供される。前記方法は、
基板を与えるステップと、
前記基板上に、表面にＯＨ官能基のない非官能絶縁層（この表面を非官能表面と呼ぶ）を形成し、非官能絶縁層上に、表面にＯＨ官能基が存在する官能絶縁層（この表面を官能表面と呼ぶ）を形成するステップと、
前記官能絶縁層上にパターン化されたポリマー層を形成するステップと、
前記官能絶縁層をエッチングして前記官能絶縁層をポリマー層のパターンにパターン化し、前記非官能絶縁層を露出するステップと、
前記ポリマー層を剥離し、前記官能絶縁層を露出するステップと、
前記パターン化された官能絶縁層を、これの表面にシード層を形成するシード・プロセスにさらすステップと、
半導体装置に使用する金属導電パターンを形成する導電物質を前記層上に選択的に付着するステップとを含む。本発明の方法によれば、前記ＯＨ官能基を有する前記官能絶縁層は、ＳｉＯｘを含む。本発明の方法によれば、前記官能絶縁層は、物理蒸着、化学蒸着、またはゾル−ゲル法によって形成される。本発明の方法においては、前記官能絶縁層の厚さが、およそ１ｎｍ〜１０ｎｍとされる。
【００１０】
本発明の方法においては、前記ポリマー層は、フォトリソグラフィ、またはマイクロ・コンタクト・プリントによって形成される。本発明の方法によれば、前記ポリマー層の厚さは、およそ５０ｎｍ〜１００ｎｍである。本発明の方法によれば、前記ポリマー層は、溶媒可溶なポリイミドを含む。本発明の方法によれば、前記選択的に付着するステップは、さらに、シラン・カップリング剤により前記層を処理することに続いてＰｄ含有溶液により処理するステップを含む。本発明によれば、Ｐｄ含有溶液は、Ｐｄ／Ｓｎコロイド混合物、ＰｄＣｌ_２水溶液、これらの混合物からなる群から選択される。
【００１１】
本発明によれば、半導体装置が提供される。前記半導体装置は、基板と、前記基板上に付着され、ＯＨ官能基を有しない非官能絶縁層と、非官能絶縁層の上部に設けられＯＨ官能基を有する官能絶縁層と、前記官能絶縁層上に付着され、無電解めっきまたは付着により形成される金属導電パターンとを含み、前記金属導電パターンは、前記官能絶縁層と同じパターンで付着される。本発明の半導体装置は、前記官能絶縁層が、物理蒸着、化学蒸着、またはゾル−ゲル法によって形成されるＳｉＯｘを含む。本発明の半導体装置は、前記官能絶縁層の厚さが、およそ１ｎｍ〜１０ｎｍとされる。本発明の半導体装置では、前記半導体装置が、液晶ディスプレイ装置、有機エレクトロ・ルミネッセンス装置、または集積回路を含む。前記金属導電パターンは、配線、電極、またはそれらの組み合わせとして前記半導体装置に含まれる。
【００１２】
本発明によれば、半導体装置に使用する金属導電パターンが提供される。前記半導体装置に使用する金属導電パターンは、基板と、基板上に形成された非官能絶縁層と、非官能絶縁層上に形成された官能絶縁層と、前記官能絶縁層上に無電解めっきまたは付着により形成され、前記半導体装置に使用する金属導電パターンを形成する導電層とを含み、前記金属導電パターンは、前記官能絶縁層と同じパターンで付着される。本発明の半導体装置に使用する金属導電パターンを達成するため、前記官能絶縁層は、物理蒸着、化学蒸着、またはゾル−ゲル法によって形成されるＳｉＯｘを含む。本発明の半導体装置に使用する金属導電パターンにおいては、前記官能絶縁層の厚さは、およそ１ｎｍ〜１０ｎｍである。本発明の半導体装置に使用する金属導電パターンは、液晶ディスプレイ装置、有機エレクトロ・ルミネッセンス装置、または集積回路を含む半導体装置を製造するために使用される。
【００１３】
本発明によれば、パターンを形成する方法が提供される。前記方法は、
基板を与えるステップと、
前記基板上に非官能絶縁層を付着するステップと、
前記非官能能絶縁層上にＳｉＯｘ層を形成するステップと、
前記ＳｉＯｘ層上にポリマーをプリントするステップと、
前記ＳｉＯｘ層をエッチングし、前記非官能絶縁層を露出するステップと、
前記ポリマーを剥離し、前記ＳｉＯｘ層を露出するステップと、
シラン・カップリング剤で前記ＳｉＯｘ層を処理するステップと、
Ｐｄ含有コロイドまたは水溶液で前記シラン・カップリング剤を処理するステップと、
前記ＳｉＯｘ層上に導電物質をめっきし、半導体装置に使用する金属導電パターンを形成するステップとを含む。それゆえ、本発明の目的は、基板上にパターンを形成する方法を提供することである。
【００１４】
（発明の実施の形態）
本発明は、図面に示す本発明の代表的な実施の形態により理解されるであろう。以下に示す実施の形態は、本発明を理解する目的で説明されるが、本発明は、これに限られるものではない。
【００１５】
図２は、本発明の方法のフローチャートを示す。まず、非官能絶縁層２は、ステップ２０１において、基板１上にスパッタリング、物理蒸着、または化学蒸着によって付着される。ＳｉＯｘの薄い官能絶縁層３は、ステップ２０２において、ゾル−ゲル法といった湿式、または化学蒸着といった乾式プロセスを使用して非官能絶縁層２上に付着される。
【００１６】
ポリマーをパターン化したポリマー層４は、５０ｎｍ〜１００ｎｍの厚さで、フォトリソグラフィ、またはマイクロ・コンタクト・プリント法を使用して、ステップ２０３において官能絶縁層３上に形成される。マイクロ・コンタクト・プリントが、ステップ２０３において使用される場合、湿式プロセスがパターン形成において全く必要とされない利点を有し、加工性および処理速度を高めることができる。加えて、マイクロ・コンタクト・プリントが、ステップ２０３で実施される場合、ポリマー層４を官能絶縁層３の表面から現像により除去することはないので、その結果、化学廃棄物を削減することができ、これにより、半導体装置のコストを低減することができる。
【００１７】
次に、官能絶縁層３は、エッチングされ、露出された非官能絶縁表面によって囲まれたパターン化された官能絶縁層が形成される。
【００１８】
その後、ポリマー層４は、ステップ２０５において、ポリマーに使用する溶媒といった好適な剥離剤を使用して剥離される。その後、シラン・カップリング剤処理が、露出した表面に適用され、ステップ２０６において、官能絶縁層の表面のみを変化させる。ポリマー層が、すでにシラン・カップリング剤を含む場合、ステップ２０６を、以下に述べるように、処理シーケンスから除くことができる。
【００１９】
カップリング剤の適用にしたがって、Ｐｄシードが、カップリング剤の表面に結合し、周囲の非官能表面には結合しないように適用されて、パターン化された官能表面を触媒反応で活性にする。
【００２０】
最後に、ステップ２０７において、無電解めっきまたは付着が、触媒反応でパターン化された活性表面で起こり、めっき層は、半導体装置の配線に使用される導電パターンが得られるように、パターン化されたＳｉＯｘの官能絶縁層３上に形成される。
【００２１】
上述したように、本発明の方法は、湿式プロセスを減少することによって、パターン形成するステップが著しく削減される。それによって、半導体装置の生産コストを削減し、生産性を改善することができる。
【００２２】
図３は、ステップ２０１およびステップ２０２において、層２と、官能絶縁層３とを形成するステップを示す。図３に示す実施の形態において、基板１は、ガラスから作成され、ガラスは、溶融シリカ、ガラス質シリカ、シリカ・ガラスから選択される水晶、ソーダライム・ガラス、シリカ・バリア層でコーティングされたソーダライム・ガラス、臭化シリケート・ガラス、アルミナ臭化シリケート・ガラスといったアルカリ・ガラスまたは非アルカリ・ガラスを含むことができるが、これらに限られるものではない。本発明は、シリコン、金属、またはその他の有機材料といったいかなる物質でも用いることができる。
【００２３】
図３では、層２は、基板１上に付着され、好適な電気特性を与える。図３に示す実施の形態では、層２は、窒化シリコン（ＳｉＮｘ）によって形成されるが、これに限られるものではなく、例えば、シリコン、アルミニウムなどの金属といったいかなる材料を基板１上に付着することができ、装置の特定の利用によって層２が形成される。図３に示す実施の形態では、層２の厚さは、およそ５０ｎｍであるが、層２の厚さは、装置または半導体装置の特定の目的により変化し、典型的には、数ナノメートル（ｎｍ）から数百ナノメートル（ｎｍ）の範囲とされる。
【００２４】
図３に示すステップでは、さらに、本発明の導電パターンを形成するための層２上にＳｉＯｘの官能絶縁層３の付着を示している。図３に示す実施の形態では、絶縁層３の厚さは、およそ３ｎｍであるが、これに限られるものではなく、絶縁層３の厚さは、およそ１ｎｍ〜１００ｎｍの範囲とすることができ、本発明においては、およそ１ｎｍ〜１０ｎｍが好ましい。しかしながら、絶縁層の厚さは、より良好なパターンを形成するために、できるだけ薄くするほうが好ましい。表面にＯＨ官能性を与えるために、絶縁層３を形成する物質は、ＰＥＣＶＤ付着されたＳｉＯｘであることが好ましい。パターン化するためのエッチングは、付着された層２を劣化することなく容易に実施することができるからである。しかしながら、絶縁層３を形成するための物質は、絶縁層３のエッチングが下層２または複数の層にダメージを与えることなく実施される限り、表面にＯＨ官能性を与えるいかなる材料から選択することができる。
【００２５】
層２と絶縁層３は、膜形成プロセスによって形成される。膜形成プロセスは、例えば、スパッタリング法、物理蒸着、化学蒸着、ゾル−ゲル法、または層を形成するための物質の好適な溶液を使用してコーティングする方法といったものを含む。
【００２６】
図４は、ステップ２０３を示し、ポリマー層４が絶縁層３上にプリントされる。ポリマー層４が厚すぎないように、絶縁層３のエッチングは、充分な形状を再現することができるように実施される。ポリマー層４の厚さは、およそ数ｎｍ〜数百ｎｍの範囲とすることができ、およそ５０ｎｍ〜１００ｎｍの範囲が好ましい。所望の厚さを有するポリマー層４が得られるかぎり、本発明に使用されるポリマーに実質的に制限はない。ポリマーは、フェノール・ノボラック・レジン、アクリル・レジン、ポリビニルフェノール、ポリイミド・レジン、ポリアミック酸ポリマーといった溶媒可溶なポリイミド、ポリアミド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリカルボネート、これらのいかなる可能な混合物を含む。図４に示す実施の形態では、ポリマー層４は、溶媒可溶なポリイミドから形成され、絶縁層３上に優れたパターンが形成される。
【００２７】
上述した溶媒可溶なポリイミドは、例えば、ピロメリト酸二無水物から調製されるポリアミック酸、ジアミノ・ジフェニル・エーテルといったものを含む。溶媒可溶なポリイミドの他の例は、２，３，５−トリカルボキシ−シクロペンチル・アセチル酸二無水物およびジアミノジフェニル・メタンから調製されるポリイミドである。ポリイミドを溶解する溶媒は、例えば、γ−ブチロラクトン、Ｎ−メチル・ピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチル・ホルムアミド、これらの混合物といった高い絶縁溶媒を含むが、これらに限られるものではない。本発明は、ポリマー層４の厚さが形成されるかぎり、いかなる溶媒、いかなるポリイミドでも使用することができる。
【００２８】
本発明においては、絶縁層３上のパターンは、マイクロ・コンタクト・プリント技術によって形成することが好ましい。パターンのサイズは、上述した厚さを有する装置の特定の利用によって０．１μｍ〜１ｍｍの範囲とすることができる。パターンのサイズは、基板が液晶ディスプレイや有機エレクトロ・ルミネッセンス・ディスプレイといったディスプレイ装置に使用される場合、およそ２μｍ〜５μｍの範囲であることが好ましい。絶縁層３上のポリマー層４は、その後、およそ１８０℃に加熱および乾燥され、溶媒が除去される。
【００２９】
本発明のステップ２０３において使用されるマイクロ・コンタクト・プリント法は、絶縁層３内にポリマーを行き渡らせることなく、絶縁層３上に薄いポリマー層４をプリントする。プリントは、そのようなポリマー層４を与えるために好適である。マイクロ・コンタクト・プリントは、例えば、パターンに相当するネガ型パターンを有するベース・マスクを使用して実施することができ、絶縁層３にプリントされる。そのようなベース・マスクは、ネガ型パターンが電子ビーム、レーザ・ビーム、マイクロ・リソグラフィ、その他の好適な技術を使用して形成することができるかぎり、いかなる充分に知られた技術により形成することができる。ポリマーは、好適な溶媒に溶解され、絶縁層３上にプリントされるポリマーの溶液がネガ型パターンで保持され、その後、絶縁層３に接触される。さらに次に、ベース・マスクは、絶縁層３から剥離され、所望の特性でポリマーがプリントされる。
【００３０】
図５は、ステップ２０４のプロセスを示す。官能絶縁層３は、充分なオーバー・エッチングにより下層の非官能絶縁層２まで明確にエッチングされ、パターン化された層３が、非官能表面によっていずれからも囲まれるように保持される。図５に示すように、本発明は、絶縁層３のエッチングのためのレジストとしてポリマー層４を使用し、プリント中における絶縁層３が、そのまま残される一方、プリントされた範囲以外の絶縁層３は、半導体装置の配線や電極に必要なパターン化された絶縁層３を形成するために除去される。ステップ２０４では、上述した実施の形態の絶縁層３が、ＳｉＯｘから作成されており、ＨＦ溶液が効果的にＳｉＯｘを溶解するため、ＨＦ緩衝溶液は、絶縁層３を除去するのに効果的である。ＨＦ緩衝溶液は、水中に好適な濃度で、ＮＨ_４Ｆ・ＨＦ（アンモニウム・フッ化水素）を溶解することによって調製される。ＳｉＯｘ以外の物質が使用される場合には、もちろん、他の物質をエッチャントとして使用することができる。ポリマー層４は、好適な溶媒を使用して除去され、シラン・カップリング剤を用いた処理が行われる。
【００３１】
図６は、シラン・カップリング剤処理が層表面に実施されるステップ２０６を示す。シラン・カップリング剤処理は、導電基板の選択的めっきに対してグラフト層を与えるために必要とされる。シラン・カップリング剤は、パターン化されたＳｉＯｘ含有溶液に対して吸収層として作用する。グラフト層の表面上に保持されるＰｄは、官能ＳｉＯｘ層上にめっきをシードする。このように、ＳｉＯｘ、シラン・カップリング剤およびＰｄ混合液は、互いに、めっきまたは付着が開始する場合に、非官能表面上に選択性を与える。一般式Ｒ_ｍ−Ｓｉ−（ＯＲ’）_４−ｍを有するシラン・カップリング剤は、本発明において使用することができ、官能絶縁層３の表面を変更する。ここで、Ｒは、窒素、硫黄、リンを含む、Ｃ_１−１０アルキル基、Ｃ_１−１０アリル基およびそれらの誘導体からなる群から選択され、Ｒ’は、Ｃ_１−１０アルキル基からなる群から選択され、ｍは正の整数である。シラン・カップリング剤は、官能絶縁層３上のＯＨ官能基と反応し、無電解めっきまたは付着のためにＰｄシードを吸収するためのグラフト層を与え、これによって、プロセス中に選択性を与えることができる。本発明で好適なシラン・カップリング剤は、以下に示すようなＮ−（２−アミノエチル）−３−アミノ−プロピルトリ−メトキシシランを含む。
【００３２】
【化１】

【００３３】
シラン・カップリング剤とＯＨ官能基との間の反応は、熱力学的に室温で助長され、水溶液、非水溶液、またはガス雰囲気を含む様々な条件で行うことができる。本発明においては、シラン・カップリング剤処理は、シラン・カップリング剤の蒸気がチャンバ内に導入される雰囲気で行われることが好ましい。基板は、その処理を加速するために加熱されることが好ましい。シラン・カップリング剤が溶液中で使用される場合、溶液は、典型的には９５体積％のエタノールと、４．５体積％の水と、０．５体積％のシラン・カップリング剤とを含む。シラン・カップリング剤は、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｓｎ、Ｎｉ、またはこれらの混合物といった無電解付着に使用する触媒に強く化学吸着し、これにより、金属の選択的付着が可能となる。
【００３４】
本発明の１つの実施の形態では、シラン・カップリング剤がポリマーに添加され、絶縁層３に塗布される。シラン・カップリング剤が、ポリマーに添加された場合、シラン・カップリング剤は、ポリマー層４の加熱中、絶縁層３上のＯＨ官能基と反応し、パターニングおよびドラフティングを、１つのステップで行うことができる。
【００３５】
他の可能なシラン・カップリング剤しては、例えば、Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルメチルジメトキシ・シラン、γ―アミノプロピルトリエトキシ・シラン、Ｎ−フェニル−γ−アミノ−プロピルトリメトキシ・シラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシ・シラン、γ−クロロプロピルトリメトキシ・シラン、γ−（２−アミノエチル）−アミノ−プロピルトリメトキシ・シラン、これらの混合物を含むことができるが、これらに限られるものではなく、これら以外のシラン・カップリング剤が本発明に使用することができ、特に、硫黄やリンを含むシラン・カップリング剤も窒素含有シラン・カップリング剤と同様に効果的である。
【００３６】
図７は、基板全体が適当にＰｄ含有溶液にさらされた後、シラン・カップリング剤でコーティングされた、パターン化されたＳｉＯｘを示した図である。図７の中では、シラン・カップリング剤とＰｄ触媒の分子が、それらの間のグラフティングを説明するために拡大されている。本発明において好ましい実施の形態では、Ｐｄ／Ｓｎコロイド溶液の使用である。図７では、シラン・カップリング剤の表面は、溶液から触媒活性Ｐｄを吸収して、ＳｉＯｘに隣接するいかなるパターン化された非官能表面も、Ｐｄを遊離したまま保持する。次のステップでは、単に触媒活性表面が金属でめっきされるだけである。
【００３７】
図８は、ステップ２０７を示したもので、無電解金属層５が絶縁層３の上部にめっきされる。金属層５は、パターン化された絶縁層３上にのみ形成される。本発明においては、金属が効果的にめっきされ、例えば、銅（Ｃｕ）、銀（Ａｇ）、パラジウム（Ｐｄ）、ニッケル（Ｎｉ）、コバルト（Ｃｏ）、金（Ａｕ）、プラチナ（Ｐｔ）、これらの合金を含む。本発明では、無電解めっきは、所望の金属によって充分に良く知られた従来の方法によって行うことができる。
【００３８】
図９は、本発明により構成された半導体装置の実施の形態を示す。図９に示す半導体装置は、液晶ディスプレイ装置に使用される薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）の一部である。図９に示す装置は、基板１と、ＳｉＮｘによって典型的に形成される、絶縁層として作用する層２と、ＳｉＯｘに形成された絶縁層３とを含む。本発明において、信号配線電極６は、上述したように無電解めっきまたは付着によって形成される。酸化アノード層７は、好適な陽極酸化法により信号電極６上に与えられる。ピクセル配線電極８は、酸化されたアノード層７を被覆し、ＭＩＭ装置と呼ばれるアクティブ・マトリックス型ＴＦＴ装置を形成する。
【００３９】
図９に示すように、本発明の装置は、層２を使用して構成され、ＳｉＯｘから作成される追加の官能絶縁層３が、例えば、信号電極６といった導電層をパターン化するために付着される。
【００４０】
本発明の方法は、液晶ディスプレイ、有機エレクトロ・ルミネッセンス・ディスプレイ、集積回路に使用する金属導電パターンを形成する場合に、とても有益である。
【００４１】
上述したように、本発明は、図面に示す特定の実施の形態を用いて説明してきたが、本発明は、他の半導体装置や、配線や電極などの半導体装置に使用される金属導電パターンの可能性を事実上含むように提案される様々な変形、省略、または他の実施の形態が、本発明の精神およびその範囲から逸脱することなく実施可能であることは、当業者により理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】パターンを形成する従来の方法を示した図。
【図２】本発明の代表的な方法のフローチャートを示した図。
【図３】ＳｉＮｘおよびＳｉＯｘ層が基板上に付着されるステップを示した図。
【図４】ポリイミド・プリントがＳｉＯｘ層上に実施されるステップを示した図。
【図５】本発明の方法のエッチング・ステップを示した図。
【図６】ポリイミド・プリントが剥離され、シラン・カップリング剤による処理が実施されるステップを示した図。
【図７】シラン・カップリング剤と、Ｐｄ／ＳｎコロイドまたはＰｄＣｌ_２水溶液といった触媒成分との間のグラフト層を示した図。
【図８】本発明のＳｉＯｘパターン上に導電物質が付着されるステップを示した図。
【図９】本発明の代表的な半導体装置を示した図。

Claims

基板上に、ＯＨ官能基を有しない非官能絶縁層を形成するステップと、
前記非官能絶縁層を覆うように、ＯＨ官能基を有する官能絶縁層を形成するステップと、
前記官能絶縁層上に、パターン化されたポリマー層を形成するステップと、
前記ポリマー層により覆われていない前記官能絶縁層をエッチングすることにより、前記非官能絶縁層を露出するステップと、
前記ポリマー層を除去することにより、該ポリマー層により覆われていた前記官能絶縁層を露出するステップと、
前記露出された官能絶縁層と前記露出された非官能絶縁層をシラン・カップリング剤に曝して、該シラン・カップリング剤を前記官能絶縁層のＯＨ官能基と反応させることにより、前記官能絶縁層に前記シラン・カップリング剤を結合させるステップと、
触媒溶液に曝すことにより、前記官能絶縁層のシランカップリング材にめっき用のシードを結合させるステップと、
前記めっき用のシードに金属をめっきするステップとを含む金属パターンを形成する方法。
前記基板の材料が、ガラス、シリコン、金属及び有機材料から成る群から選択されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
前記非官能絶縁層の材料がＳｉＮｘであり、前記官能絶縁層の材料がＳｉＯｘであることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
前記ポリマー層の材料が、溶媒に可溶なポリイミドであることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
前記触媒溶液の触媒が、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｓｎ及びＮｉから成る群から選択されることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
前記触媒溶液が、Ｐｄ／Ｓｎコロイド混合物、ＰｄＣｌ _２水溶液及びこれらの混合物からなる群から選択される溶液であることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
前記めっき用シードが、Ｐｄシードであることを特徴とする、請求項１に記載の方法。
基板上に、ＯＨ官能基を有しないＳｉＮｘの非官能絶縁層を形成するステップと、
前記非官能絶縁層を覆うように、ＯＨ官能基を有するＳｉＯｘの官能絶縁層を形成するステップと、
前記官能絶縁層上に、パターン化されたポリイミド層を形成するステップと、
前記ポリイミド層により覆われていない前記官能絶縁層をエッチングすることにより、前記非官能絶縁層を露出するステップと、
前記ポリイミド層を除去することにより、該ポリイミド層により覆われていた前記官能絶縁層を露出するステップと、
前記露出された官能絶縁層と前記露出された非官能絶縁層をシラン・カップリング剤に曝して、該シラン・カップリング剤を前記官能絶縁層のＯＨ官能基と反応させることにより、前記官能絶縁層に前記シラン・カップリング剤を結合させるステップと、
Ｐｄ触媒溶液に曝すことにより、前記官能絶縁層のシランカップリング材にめっき用のＰｄシードを結合させるステップと、
前記めっき用のＰｄシードに金属をめっきするステップとを含む金属パターンを形成する方法。
前記Ｐｄ触媒溶液が、Ｐｄ／Ｓｎコロイド混合物、ＰｄＣｌ _２水溶液及びこれらの混合物からなる群から選択される溶液であることを特徴とする、請求項８に記載の方法。
基板上に、ＯＨ官能基を有しない非官能絶縁層を形成するステップと、
前記非官能絶縁層を覆うように、ＯＨ官能基を有する官能絶縁層を形成するステップと、
前記官能絶縁層上に、パターン化されたポリマー層をコンタクト・プリントにより形成するステップと、
前記ポリマー層により覆われていない前記官能絶縁層をエッチングすることにより、前記非官能絶縁層を露出するステップと、
前記ポリマー層を除去することにより、該ポリマー層により覆われていた前記官能絶縁層を露出するステップと、
前記露出された官能絶縁層と前記露出された非官能絶縁層をシラン・カップリング剤に曝して、該シラン・カップリング剤を前記官能絶縁層のＯＨ官能基と反応させることにより、前記官能絶縁層に前記シラン・カップリング剤を結合させるステップと、
触媒溶液に曝すことにより、前記官能絶縁層のシランカップリング材にめっき用のシードを結合させるステップと、
前記めっき用のシードに金属をめっきするステップとを含む金属パターンを形成する方法。
前記非官能絶縁層の材料がＳｉＮｘであり、前記官能絶縁層の材料がＳｉＯｘであることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
前記ポリマー層の材料が、溶媒に可溶なポリイミドであることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
前記触媒溶液の触媒が、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｓｎ及びＮｉから成る群から選択されることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
前記触媒溶液が、Ｐｄ／Ｓｎコロイド混合物、ＰｄＣｌ _２水溶液及びこれらの混合物からなる群から選択される溶液であることを特徴とする、請求項１０に記載の方法。
基板上に、ＯＨ官能基を有しない非官能絶縁層を形成するステップと、
前記非官能絶縁層を覆うように、ＯＨ官能基を有する官能絶縁層を形成するステップと、
前記官能絶縁層上に、シラン・カップリング剤が添加されパターン化されたポリマー層を形成し加熱することにより、前記シラン・カップリング剤を前記官能絶縁層のＯＨ官能基と反応させて、前記官能絶縁層に前記シラン・カップリング剤を結合させるステップと、
前記ポリマー層により覆われていない前記官能絶縁層をエッチングすることにより、前記非官能絶縁層を露出するステップと、
前記ポリマー層を除去することにより、該ポリマー層により覆われていた前記官能絶縁層を露出するステップと、
触媒溶液に曝すことにより、前記官能絶縁層のシランカップリング材にめっき用のシードを結合させるステップと、
前記めっき用のシードに金属をめっきするステップとを含む金属パターンを形成する方法。
前記非官能絶縁層の材料がＳｉＮｘであり、前記官能絶縁層の材料がＳｉＯｘであることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
前記ポリマー層の材料が、溶媒に可溶なポリイミドであることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
前記触媒溶液の触媒が、Ｐｄ、Ｐｔ、Ｓｎ及びＮｉから成る群から選択されることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
前記触媒溶液が、Ｐｄ／Ｓｎコロイド混合物、ＰｄＣｌ _２水溶液及びこれらの混合物からなる群から選択される溶液であることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。
前記めっき用シードが、Ｐｄシードであることを特徴とする、請求項１５に記載の方法。