JP3814190B2 - 粒径分布測定装置 - Google Patents
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- G01N2015/1014—
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ回折/散乱式の粒径分布測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、粒径分布測定装置で粒径分布を演算する際、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光または散乱光の強度分布を測定対象試料の周囲に配置された複数の検出器(各検出器は個々にチャンネルを有している)からの検出値データをもとに演算する。ところが、各検出器には個体差があり、その受光面積も検出器毎に異なるため、これを感度校正する必要がある。また、粒径分布測定装置が複数の光源を有する場合には、各光源によって生じる光の強度を校正する必要もあった。
【0003】
粒径分布測定装置の校正方法としては、例えば、ポリスチレンラテックス球(以下、PSL球という)を用いた理論値にほぼ近い散乱光および回折光を発生させる標準粒子を測定対象試料として測定し、そのとき得られた回折光または散乱光の検出値と、標準粒子の散乱光の基準値との比を校正定数として記憶し、サンプル測定時にはこの校正定数をもとにサンプルからの散乱光強度を補正していた。これによって、正確な測定を可能としている。
【0004】
また、一般的に測定対象試料に照射するレーザ光の照射方向から見て前方に配置された検出器はたとえば1mm程度の大きな粒子による回折/散乱光を検出し、後方に配置された検出器は数10nm〜数μm程度の小さな粒子による回折光や散乱光を検出するものである。このため、粒径分布の測定範囲が例えば数10nm〜数mmのように広範囲である粒径分布測定装置は、その検出器が前方から後方まであるので、これら全ての検出器による測定感度を校正するには、粒子径の異なる複数種類の標準粒子を測定する必要がある。
【0005】
前記装置校正は、例えば粒径分布測定装置の消耗部品交換や修理などのメンテナンスを行ったあとや、光学部品の位置を調整した後にも行われており、望ましくは定期的に行われる。
【0006】
図6は、従来の粒径分布測定装置における標準粒子の表示画面の一例を示している。ここで、例示する装置校正の際に標準粒子として用いられるPSL球は、その粒子径が例えば直径が1mm,100μm,10μm,1μm,80nmなどの5種類であり、それぞれ「Sample1」〜「Sample5」と表示されている。21は各検出器のチャンネルを示しており、22a〜22eは各標準粒子を測定対象試料とした場合に各検出器のチャンネルが検出する散乱光または回折光の基準値である。
【0007】
粒径分布測定装置の装置校正を行うときには、前記標準粒子を順次用いて測定対象試料として実際に測定し、各検出器のチャンネルからの検出値を基準値22a〜22eと比較することにより、各検出器によって得られる検出値の補正値を求め、これを記憶することによって行っていた。そして、粒径分布が未知の測定対象試料を測定する場合には、まず検出器の各チャンネルにおける検出値を装置校正によって求められた補正値によって補正し、補正後の検出値を用いて解析演算を行っていた。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、必要とする例えば5種類の標準粒子について各種1つの標準粒子の基準値しか記憶していなかったため、前記装置校正のために用いる標準粒子が入手困難になる場合もあり、必要とする標準粒子のうち1種類でも標準粒子が入手できなくなると、検出器の装置校正を行えないことがあった。このため、標準粒子として設定されている粒子径のPSL球が生産中止などになった場合には、検出器の校正を行う校正用のプログラムを作成しなおす必要があった。
【0009】
本発明は、上述の事柄を考慮に入れてなされたものであって、その目的は、装置校正のために様々な粒子径の標準粒子を用いることができる粒径分布測定装置を提供することである。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、第1発明は、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器からの出力に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、
一つの検出器を校正可能な所定の粒径を有する複数の標準粒子について各検出器からの出力として得られるべき値が基準値としてそれぞれの標準粒子毎にファイルにまとめて記憶部に記憶され、
前記記憶部に基準値が記憶されている標準粒子の中から校正に用いる複数の標準粒子を画面上で選択するとともに、検出器の範囲に重なりを設けて、前記選択された各標準粒子によって校正される検出器の範囲を設定して装置校正が行われるよう構成してあることを特徴としている(請求項1)。
【0011】
上記構成によれば、各検出器における検出値の校正に用いる標準粒子の粒子径に幾らかの幅を持たせることができ、一つの検出器に対して一つの粒子径の標準粒子のみに限られることなく複数の標準粒子の中から入手しやすい標準粒子を選択してこれを装置校正に用いることができる。
【0012】
第2発明は、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器と、
所定の粒径を有する標準粒子について各検出器からの出力として得られるべき値を基準値として記憶する記憶部と、
記憶した前記標準粒子を測定し、各検出器からの検出値を前記基準値と比較して各検出器毎の校正定数を求め、これを記憶する校正プログラムおよび、任意の測定対象試料を測定し、各検出器からの検出値を前記校正定数によって補正した後に解析演算することによって前記測定対象試料の粒径分布を求める演算プログラムを実行可能とする演算処理部とを備えた粒径分布測定装置において、
前記記憶部が、一つの検出器を校正可能な複数の標準粒子の基準値をそれぞれの標準粒子毎にファイルにまとめて記憶し、
前記校正プログラムが、前記記憶部に基準値が記憶されている標準粒子の中から画面上で選択された各標準粒子の基準値を用いて校正の対象として重なりを設けて設定された検出器の範囲の各検出器の校正定数を求め、それを記憶することを特徴としている(請求項2)。
【0013】
上記構成によれば、校正に用いる標準粒子は一つの検出器に対して一つの粒子径のみに限られることなく複数の標準粒子の中から入手しやすい標準粒子を選択して用いることができる。また、仮に用意された標準粒子の中に、入手可能な標準粒子がない事態が生じたとしても、校正プログラムを作りなおす必要はなく、基準値のデータのみを変更するだけで、これに対応することができる。
【0014】
そして、第1発明においては、前記基準値がそれぞれの標準粒子毎にファイルにまとめて記憶部に記憶されるとともに、校正に用いられる標準粒子が画面上で選択できるようにしてあるので、基準値の管理を容易に行うことができる。また、粒径分布測定装置の利用者は、校正時に適切な標準粒子を選択しやすくなり、適正な装置校正を行うことができる。この場合、前記標準粒子によって校正できる検出器のチャンネルの範囲に重なりを有するように設定することができるので、検出器の全体としての光強度分布の比率を求めることができる。さらに、前記選択された標準粒子により校正の対象となる検出器の範囲を設定することができるようにしてあるので、装置校正をより正確に行うことができ、標準粒子の種類によっては広範囲の検出器を一度に校正することができるので、装置校正に要する時間を短縮することができる。
【0015】
また、第2発明においては、前記記憶部が、一つの検出器を校正可能な複数の標準粒子の基準値をそれぞれの標準粒子毎にファイルにまとめて記憶し、前記校正プログラムが、前記記憶部に基準値が記憶されている標準粒子の中から校正に用いる標準粒子を画面上で選択できるようにしてあるので、基準値の管理を容易に行うことができる。また、粒径分布測定装置の利用者は、校正時に適切な標準粒子を選択しやすくなり、適正な装置校正を行うことができる。この場合、前記標準粒子によって校正できる検出器のチャンネルの範囲に重なりを有するように設定することができるので、検出器の全体としての光強度分布の比率を求めることができる。さらに、前記選択された標準粒子により校正の対象となる検出器の範囲を設定することができるようにしてあるので、装置校正をより正確に行うことができ、標準粒子の種類によっては広範囲の検出器を一度に校正することができるので、装置校正に要する時間を短縮することができる。
【0016】
さらに、上記いずれの発明においても、前記基準値を外部記憶媒体またはデータ通信手段を介して記憶部に追加可能とした場合(請求項3)には、基準値を適宜追加することにより、将来的に入手可能となる多種多様な標準粒子に対応することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】
図1は、本発明の粒径分布測定装置1の構成を概略的に示す図である。図1において、2は測定対象試料Sを散乱した状態で封入するセル、3はこのセル2にレーザ光Laを照射するHe−Neレーザ管からなる光源、4はこのレーザ光Laの径を拡大するビーム拡大器、5はセル2に平行光Lbを照射するタングステンランプからなる光源、6はこの平行光Lbから不要な波長の光を除去するフィルタ、7は測定対象試料Sによって発生した回折光または散乱光(以下、回折光も含めて散乱光Lsと表現する)を検出する検出器、8はこの散乱光Lsのうちレーザ光Laの進行方向に対して前方に生じた散乱光Lsを対応する検出器7に集光させるレンズである。
【0018】
9は各検出器7によって検出される散乱光Lsの強度を用いて測定対象試料Sの粒径分布を算出する演算処理装置であって、この演算処理装置9は、記憶部10と、記憶部10に記憶されたプログラムおよびデータを用いて各検出器7によって検出された散乱光Lsの強度を解析して測定対象試料Sの粒径分布を求める処理部11とを有している。また、9aは求められた粒径分布を表示する表示部である。
【0019】
なお、本例の装置構成は、以下の説明を容易とするための一例を示すものであって、この構成に限定されるものではない。すなわち、例えばセル2の形状は、円柱状であることに限定されるものではなく箱型であってもよい。同様に、光源3,5は、2種類あることに限定されるものではない。また、検出器7の配置や数、レンズ4,8の位置や種類なども任意に選択可能である。
【0020】
前記記憶部10は、例えばハードディスクドライブ、フロッピーディスクドライブ、CD−ROM、DVD−ROMのような外部記憶装置に加えて半導体メモリなどの記憶媒体からなり、この記憶部10には、少なくとも、所定粒子径の標準粒子Sa(本例の場合、一例として5種類の標準粒子Sa1 〜Sa5 )を測定対象試料Sとして測定したときに各検出器7によって検出されるべき散乱光Lsの基準値(ベースデータ)Dsと、このベースデータDsを用いて粒径分布測定装置1を校正する校正プログラムPaと、任意の測定対象試料Sを測定したときに得られる散乱光Lsの検出値からこの測定対象試料Sの粒径分布を求める演算プログラムPbとを記憶している。
【0021】
また、前記記憶部10には、全検出器7からの検出値を校正するために用いる必要数(本例の場合は5)より多くの標準粒子に対応できるように、少なくとも5種類より多くの標準粒子に対応する基準値を基準値ファイルとして記憶するライブラリデータDaを有している。
【0022】
前記ライブラリデータDaとして記憶される基準値ファイルの数は、多くあればあるほど粒径分布測定装置1の装置校正に用いることができる標準粒子Saの幅を広げることができ、状況に柔軟に対応することができるが、1つの検出器7に対して2種類以上の標準粒子Saの基準値をライブラリデータDa内に用意することにより、入手可能な標準粒子Saを選択して用いることができることができる。つまり、校正可能な検出器7の範囲が重複部分を有する標準粒子を複数持つことにより、1つの標準粒子が生産中止になったときに、別の標準粒子を選択して用いることを可能としている。
【0023】
なお、ライブラリデータDaに記憶される基準値ファイルは、フロッピーディスクドライブ、CD−ROM、DVD−ROMのような外部記憶媒体またはデータ通信手段を介して外部から記憶部に書き込み、追加して蓄積可能としている。すなわち、新しく生産されるようになった標準粒子Saに合わせてライブラリデータDaを増やすことができる。また、不要となった標準粒子Saに関する基準値は、削除することも可能である。
【0024】
前記ベースデータDsは、利用者が前記ライブラリデータDaとして登録されている各標準粒子Saの中から、全ての検出器7による検出値を校正できる5種類(本例の場合)の標準粒子Saを選択することにより、本装置の校正に用いる基準値として、校正プログラムPaによって作成されるものである。つまり、前記記憶部10に記録されているベースデータDsは、少なくとも装置校正に用いる標準粒子Saの数(本例では5)に測定器7のチャンネル数(本例の場合90)をかけた数の基準値のデータを有するものである。
【0025】
Dbは前記校正プログラムPaによって作成される各検出器7の校正定数データであり、各標準粒子Saを測定対象試料Sとして粒径分布測定装置1を用いて実際に測定した検出値と、ベースデータDsとして記録された基準値とを比較してその比を求めることによって得られる定数である。本例の場合、検出器7のチャンネル数が90チャンネルであるから、校正定数データDbは、各検出器7に対応する90の定数が得られる。なお、本例では、この校正定数データを校正定数ファイルDbとして記憶部10に記録する例を示す。
【0026】
Dcは粒径分布測定装置1を用いた測定対象試料Sの測定によって得られる各検出器7の検出値データであり、測定ファイルとして記憶部10に保存される。Ddは前記演算プログラムPbが検出値データDcを校正定数データDbによって補正して、解析することにより求められる粒径分布データである。したがって、前記表示部9aには、この粒径分布データDdに基づく粒径分布をグラフGなどによって表示する。
【0027】
前記検出器7は、散乱光Lsの角度に合わせた複数の検出器7a,7b,7cからなり、例えば、レーザ光Laによって生じた前方の散乱光Lsを検出するリング状に設置した複数の検出器7aにはチャンネルCh01〜Ch77が、レーザ光Laによって生じた側方または後方の散乱光Lsを検出する検出器7bの各々7b1 〜7b6 にはチャンネルCh78〜Ch83が、平行光Lbによって生じた側方または後方の散乱光Lsを検出する各検出器7cの各々7c1 〜7c6 にはチャンネルCh84〜Ch90が割り当てられている。
【0028】
なお、各検出器7の配置や数は、適宜選択可能であり、また、各検出器7に割り当てるチャンネル数も適宜選択できることはいうまでもない。しかしながら、検出器7に割り当てるチャンネル数は、前方から後方の順番、またはその逆の順番に割り当てることにより後の信号処理を容易に行うことができる。
【0029】
図2は、前記ベースデータDsの内容の一例と、その設定画面Wの一例を示す図である。そして、この設定画面Wは、所定粒子径を有する5つの標準粒子Sa1 〜Sa5 (図中には「Sample1」〜「Sample5」として表わす)を測定対象試料Sとして測定したときに前記各検出器7a,7b,7cの各チャンネルCh01〜Ch90によって出力されるべき値(検出値)を演算によって求めた理論値からなる基準値Ds(以下、各標準粒子Sa1 〜Sa5 に対応する基準値をDs1 〜Ds5 とする)の一覧を表示する。
【0030】
図2において、各基準値Ds1 〜Ds5 の各値Ds101 〜Ds590 は、Mie散乱理論に従って理論演算によって求められたものである例を示しているが、これらの基準値Ds101 〜Ds590 の値はこのような理論値に限られるものではない。すなわち、校正対象となる粒径分布測定装置1の各検出器7の配置や測定に用いる光源3,5の種類など、光学系の構造が同じである標準となる粒径分布測定装置を用意し、この標準の粒径分布測定装置において各標準粒子Sa1 〜Sa5 をそれぞれ測定したときに検出器7からの出力(検出値)に応じて求められる標準の検出値を基準値としてもよい。この場合、理論演算では求められない散乱光Lsによる影響(現時点で理解されていない現象によって生じた散乱光による影響)をも考慮に入れて粒径分布測定装置1の装置校正を行うことができるので、より正確な校正を行うことができる。
【0031】
また、Ds1min〜Ds5minは、それぞれ標準粒子Sa1 〜Sa5 を用いて校正可能な検出器7のチャンネル番号の最小値を示しており、Ds1max〜Ds5maxは、最大値を示している。したがって、図2に示す例では、標準粒子Sa1 を用いてチャンネルCh81〜90の検出器7による検出値を校正することができ、標準粒子Sa2 を用いてチャンネルCh78〜81の検出器7による検出値を校正することができる。
【0032】
以下、同様に標準粒子Sa3 は、チャンネルCh30〜57、標準粒子Sa4 はチャンネルCh8〜30、標準粒子Sa5 はチャンネルCh1〜8に対応して、その検出器7による検出値を校正する。そして、前記各標準粒子Sa1 〜Sa5 によって校正される検出器2のチャンネルの範囲は、それぞれ検出する散乱光Laが強いところ(基準値の値が大きいところ)に応じて適宜定められている。
【0033】
ここで、本例では各検出器7のチャンネルが、光La,Lbの照射方向に対して前方から順番に付けられているので、各標準粒子Sa1 〜Sa5 によってその検出値を校正できる検出器7のチャンネルの範囲(最小値Ds1min〜Ds5minおよび最大値Ds1max〜Ds5maxによって決まる範囲)を連続的に設定でき、校正処理を簡単に行うことができる。しかしながら、校正できる検出器7のチャンネルの範囲は不連続に設定されてもよく、例えば、検出器7の各チャンネルごとに校正の対象となっているかどうかを選択的に設定するようにしてもよい。この場合は、各基準値Ds101 〜Ds590 を表示するセルの横に校正対象となるチャンネルに印を付けるチェック欄を設けて任意に設定できるようにするなど種々の方法が考えられる。
【0034】
W1 〜W5 は基準値ライブラリDaの中から各標準粒子Sa1 〜Sa5 として選択したファイルの名前を示す窓である。すなわち、本例の場合は、標準粒子Sa1 〜Sa5 として、それぞれ粒子径が83nm,1μm,10μm,100μm,1000μmの標準粒子の基準値をライブラリDaの中から選択している。したがって、例えば、基準値Ds101 〜Ds190 および最小チャンネルDs1min、最大チャンネルDs1maxは、ファイル名「83nm.q01」というライブラリDa内に登録された基準値データのファイルが示す内容である。
【0035】
また、Wpはプルダウン選択メニューである。図示するように、作業者が前記プルダウンメニューWpを開いた状態で、仮に、その中から「81nm.q01」という基準値データのファイルを選択すると、前記基準値Ds101 〜Ds190 および最小チャンネルDs1min,最大チャンネルDs1maxは、全て粒子径が81nmである標準粒子に合わせて変更される。すなわち、前記校正プログラムPaがライブラリDaを構成する基準値ファイルを画面に表示し、その中から校正に用いる標準粒子を画面上で選択可能としている。したがって、操作性が向上し、操作者は極めて容易に標準粒子Saを選択することができる。
【0036】
また、Baは設定を保存するボタン、Bbは設定を取り止めるボタンである。そして、この設定画面W内の各セルに表示されている基準値Ds101 〜Ds590 および数値Ds1min〜Ds5min,Ds1max〜Ds5maxは、自在に変更可能としている。図2に示す例の場合は、基準値Ds511 を表示するセルにカーソルCが表示されており、このカーソルCを移動させて各セル内の基準値Ds101 〜Ds590 を編集可能としている。
【0037】
上述した基準値Ds101 〜Ds590 の編集は、Mie散乱理論などに基づく理論演算によって求められた基準値や、標準の粒径分布測定装置によって求められた基準値では正確な測定結果が得られないときに、各基準値Ds101 〜Ds590 を適宜変更できるようにするためのものである。また、前記最小チャンネルDs1min〜Ds5min、最大チャンネルDs1max〜Ds5maxの範囲を適宜調整できるようにするためのものである。なお、各セルに表示された基準値Ds101 〜Ds590 を変更して設定終了後に前記OKボタンBaを押すことにより、図3に示すようなポップアップウィンドウW’が開く。
【0038】
図3は、仮に図2において、基準値Ds101 〜Ds190 のどれかを変更した場合に表示されるポップアップウィンドウW’の例を示す図である。図3において、Iは新しいファイル名を入力するための入力部であり、ここに例えば「90nm」という新しい名前を入力すると、前記ライブラリDaに「90nm.q01」という新しい基準値のファイルが作成されて保存される。すなわち、もう一度図2に示す設定画面Wを表示させて、前記プルダウンメニューWpを開くと、新たに作成された「90nm」という新しい名前の標準粒子が表示される。
【0039】
図4は、本例における各標準粒子Sa1 〜Sa5 の基準値Ds1 〜Ds5 をグラフにして示す図である。図4において横軸は、各検出器7に付されたチャンネルを示しており、縦軸は、各チャンネルの検出器7に対応する基準値の大きさを示している。
【0040】
そして、横軸の下欄には、各チャンネルの検出器7からの出力(検出値Dc)を校正する標準粒子Sa1 〜Sa5 を示している。これは、図2において説明したように、標準粒子Sa1 〜Sa5 によって校正できる検出器7のチャンネルが、それぞれ81〜90,78〜81,30〜57,8〜30,1〜8であることを示しており、隣り合う数個〜数10個の検出器7のチャンネルにおいて検出値の比を求めるものである。ここで、各標準粒子Sa1 〜Sa5 によって校正できる検出器7のチャンネルの範囲に重なり(本例の場合、チャンネル8,30,81において重なっている)を設けていることが分かるが、これによって検出器7の全体としての光強度分布の比率を求めることができる。
【0041】
また、図4が示すように、粒子径が83nmの標準粒子Sa1 を測定対象試料Sとした場合における基準値Ds1 は、主に後半のチャンネルCh70以降の検出器7に散乱光Lsを検出させるものである。同様に、粒子径が1μmの標準粒子Sa2 を測定した場合は、チャンネルCh79を中心に前後15チャンネル程度、粒子径が10μmの標準粒子Sa3 を測定した場合は、チャンネルCh45を中心に前後15チャンネル程度、粒子径が100μmの標準粒子Sa4 を測定した場合は、チャンネルCh25を中心に前後15チャンネル程度、粒子径が1mmの標準粒子Sa5 を測定した場合は、チャンネルCh25以前の検出器7に散乱光Lsを検出させるものであることが分かる。
【0042】
したがって、一般的に、前記標準粒子Sa1 ,Sa2 ,…の基準値Ds1 ,Ds2 …が大きい部分に対応する検出器7のチャンネル81〜90,78〜81,…を、その標準粒子Sa1 ,Sa2 ,…を用いた校正の対象とすることによって、より正確な装置校正を行うことが可能である。そして、この点を考慮に入れて図4における基準値Ds1 ,Ds2 ,…の分布を見ると、標準粒子Sa5 によって校正できる検出器7のチャンネルはCh1〜8のみならず、Ch1〜20程度まで広げることができることが分かる。
【0043】
各標準粒子Sa1 〜Sa5 によって校正されるチャンネルの設定は、図2において説明した設定画面Wを用いて行うことが可能であり、校正プログラムPaが基準値の大きさから自動的に判断するようにプログラムされていてもよい。つまり、校正プログラムPaに各基準値Ds101 〜Ds590 の大きさから、各チャンネルの検出器7を校正するのに最も適した標準粒子Sa1 〜Sa5 を自動的に選択する選択機能を持たせてもよい。
【0044】
すなわち、図4には理解しやすいように、基準値Ds1 ,Ds2 ,…の分布が、一つのピーク値を有する緩やかな分布となる例を示しているが、現実の基準値Ds1 〜Ds5 は、多数のピークを有する分布となっているので、校正プログラムPaが各検出器7のチャンネル毎に最も適した標準粒子Sa1 〜Sa5 を自動的に選択することにより、より正確な装置校正を可能とするものである。また、これによって入手可能な標準粒子Sa1 〜Sa5 の組み合わせを用いた場合における最も効果的な粒径分布測定装置1の装置校正を行うことも可能となる。
【0045】
いずれにしても、各標準粒子Sa1 〜Sa5 によって校正の対象となる検出器7のチャンネルの範囲を設定可能としたことにより、将来的に加わるかもしれないあらゆる標準粒子Saに対応することができる。
【0046】
なお、チャンネルCh58〜77のようにリング状に設置された検出器7aの外周側に位置する検出器7による検出値はその面積が大きいので、受光面積の僅かな違いによって検出値が変わることはほとんどない。したがって、本例ではチャンネルCh58〜77に関する検出値の校正を行わないことによって、装置校正を簡略化する例を示している。しかしながら、これらのチャンネルCh58〜77に相当する検出器7から得られる検出値も校正するようにしてもよい。
【0047】
図5は、粒径分布測定装置1の校正から未知の測定対象試料Sの粒径分布を測定するまでの一連の流れを示す図である。すなわち、前記校正プログラムPaによる装置校正は、ステップS1〜S5に示す手順で行われ、演算プログラムPbによる未知資料の測定は、ステップS6〜S8に示す手順で行われる。
【0048】
S1は装置校正に用いる標準粒子Sa1 〜Sa5 を選択するステップである。このステップS1における選択方法は、既に図2を用いて説明した通りであり、このとき標準粒子Sa1 〜Sa5 の粒子径は複数用意された中から選択されるので、入手可能な標準粒子Sa1 〜Sa5 を容易に選ぶことができる。また、このステップS1において、各標準粒子Sa1 〜Sa5 によって校正する検出器のチャンネルの範囲も選択可能である。そして、基準値Daの記憶された複数の標準粒子Saを任意に組み合わせて、装置校正が可能となる。
【0049】
S2は各標準粒子Sa1 〜Sa5 を実際に用いて検出値ファイルDcの作成を行うステップである。ここで、本例では5種類の標準粒子Sa1 〜Sa5 を測定対象試料Sとして測定したときに各検出器7のチャンネルが検出する検出値からなる検出値ファイルDcが作成されて、これが記憶部10に記録される。
【0050】
S3は校正に用いる検出値ファイルDcの選択を行うステップであり、S4はステップS1によって選択された標準資料Sa1 〜Sa5 の基準値Ds101 〜Ds590 と、ステップS3によって選択された検出値ファイルDcとの比較を行ってその比を求める校正演算を行うステップである。ここで求められる比が校正定数となる。また、このステップS4による校正には各検出器7の感度校正に加えて各光源3,5から得られる光La,Lbの光量の差を含めた粒径分布測定装置1の機差の校正も含まれる。
【0051】
S5は前記ステップS4による校正演算によって求められた比である校正定数をまとめて、校正定数ファイルDbとして記憶部10に記録するステップである。この校正定数ファイルDbの作成によって校正処理は終了する。すなわち、通常の粒径分布の測定では続くステップS6から処理を行うだけでよい。
【0052】
なお、前記校正プログラムPaを用いた校正処理は、粒径分布測定装置1の製造時または出荷する前に、1台ずつ行われるものであるが、出荷後は光学系を構成する光源3,5や検出器7などの部品を交換したり調整しないかぎり、定期的に行う必要のないものである。しかしながら、所定の間隔をおいて定期的に校正処理を行うことにより、各部の経時変化による影響を補正することができ、より正確な粒径分布を測定することが可能である。
【0053】
次いで、S6は粒径分布が未知である測定対象試料Sの測定を行って、測定対象試料Sを測定したときの各検出器7の検出値を検出値ファイルDcとして前記記憶部10に記録するステップである。
【0054】
そして、S7はステップS6によって求められた検出値ファイルDcとして記録された検出値を前記校正定数ファイルDbを用いて補正するステップである。
【0055】
S8は補正された検出値ファイルDcを用いて、Mie散乱理論等を用いた粒径分布の演算を行うステップであり、これによって未知の測定対象試料Sの粒径分布が粒径分布データDdとして記憶部10に記録される。また、粒径分布データDdに従って表示部9aに粒径分布のグラフGなどが表示される。
【0056】
すなわち、本発明の粒径分布測定装置1を用いることにより、ライブラリDaに登録されている複数の標準粒子Saの中から粒径分布測定装置1の装置校正に用いる標準粒子Sa1 〜Sa5 を適宜選択できる。したがって、これまで装置校正に用いてきた標準粒子Sa1 〜Sa5 が生産中止などになって、入手困難となった場合に、別の入手可能な標準粒子を用いて装置校正を行うことができる。
【0057】
また、仮にライブラリDa内に入手可能な標準粒子がない場合が生じたとしても、このライブラリDaに入手可能な標準粒子の基準値ファイルを追加するだけで、校正プログラムPaや演算プログラムPbの内容を一切変更する必要がない。したがって、新たな標準粒子に対する対応をより速やかに行うことができる。なお、ライブラリDaに対する基準値ファイルの追加方法は、フロッピーディスクのような外部記録媒体を用いることも考えられるが、インターネットなどを介して粒径分布測定装置1の製造者側からダウンロードできるようにすることが望ましい。
【0058】
上述の例では、粒径分布測定装置1の校正に用いる標準粒子として5種類の標準粒子Sa1 〜Sa5 を用いる例を示しているが、本発明は、標準粒子の数を限定するものではない。すなわち、粒径分布測定装置1の構成、粒径分布の測定範囲および標準粒子に含まれる粒子径によっては標準粒子は4種類以下であっても、6種類以上であってもよい。
【0059】
同様に上述の例では、説明を容易に行うために、演算処理部11によって実行可能であるプログラムを校正プログラムPaと演算プログラムPbに分けて表現しているが、これらを分ける必要はない。また、各データDa〜Dd,Dsも説明のために開示しているが、本発明は各ファイルの存在を限定するものではない。
【0060】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、粒径分布測定装置の装置校正のために決められた粒子径の標準粒子が入手困難になった場合においても、標準粒子の変更を行うことにより装置校正を行うことができる。また、今後新たに生産される標準粒子にプログラムの変更などを行うことなく、基準値データの追加によって容易に対応して、装置校正を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の粒径分布測定装置の全体構成を示す図である。
【図2】 前記粒径分布測定装置を用いて標準粒子の変更を行う画面を説明する図である。
【図3】 前記標準粒子の変更を行う別の画面を示す図である。
【図4】 各標準粒子を用いた場合の検出値の基準値を示す図である。
【図5】 前記粒径分布測定装置を用いた装置校正手順および粒径分布の測定手順を説明する図である。
【図6】 従来の粒径分布測定装置における標準粒子の一覧を表示する画面を示す図である。
【符号の説明】
1…粒径分布測定装置、La,Lb…光、Ls…回折光または散乱光、7…検出器、10…記憶部、Da…基準値(ライブラリ)、Db…校正定数、Dd…粒径分布、Ds…基準値(ベースデータ)、Ds1 〜Ds5 …基準値、Ds101 〜Ds590 …基準値、Pa…校正プログラム、Pb…演算プログラム、S…測定対象試料、Sa(Sa1 ,Sa2 ,…)…標準粒子、W…画面(設定画面)。
Claims (3)
- 測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器からの出力に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、
一つの検出器を校正可能な所定の粒径を有する複数の標準粒子について各検出器からの出力として得られるべき値が基準値としてそれぞれの標準粒子毎にファイルにまとめて記憶部に記憶され、
前記記憶部に基準値が記憶されている標準粒子の中から校正に用いる複数の標準粒子を画面上で選択するとともに、検出器の範囲に重なりを設けて、前記選択された各標準粒子によって校正される検出器の範囲を設定して装置校正が行われるよう構成してあることを特徴とする粒径分布測定装置。 - 測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器と、
所定の粒径を有する標準粒子について各検出器からの出力として得られるべき値を基準値として記憶する記憶部と、
記憶した前記標準粒子を測定し、各検出器からの検出値を前記基準値と比較して各検出器毎の校正定数を求め、これを記憶する校正プログラムおよび、任意の測定対象試料を測定し、各検出器からの検出値を前記校正定数によって補正した後に解析演算することによって前記測定対象試料の粒径分布を求める演算プログラムを実行可能とする演算処理部とを備えた粒径分布測定装置において、
前記記憶部が、一つの検出器を校正可能な複数の標準粒子の基準値をそれぞれの標準粒子毎にファイルにまとめて記憶し、
前記校正プログラムが、前記記憶部に基準値が記憶されている標準粒子の中から画面上で選択された各標準粒子の基準値を用いて校正の対象として重なりを設けて設定された検出器の範囲の各検出器の校正定数を求め、それを記憶することを特徴とする粒径分布測定装置。 - 前記基準値を外部記憶媒体またはデータ通信手段を介して記憶部に追加可能としてある請求項1または2に記載の粒径分布測定装置。
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