JP3936597B2

JP3936597B2 - 粒径分布測定装置

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Publication number: JP3936597B2
Application number: JP2002029978A
Authority: JP
Inventors: 達夫伊串
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 2002-02-06
Filing date: 2002-02-06
Publication date: 2007-06-27
Anticipated expiration: 2022-02-06
Also published as: JP2003232718A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、レーザ回折／散乱式の粒径分布測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、粒径分布測定装置で粒径分布を演算する際、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光の強度分布を測定対象試料の周囲に配置された複数の検出器によって検出し、各検出器の検出値（出力データ）に基づいて、測定対象試料の粒径分布を解析する演算処理を行なっていた。
【０００３】
また、例えばレーザ回折散乱式粒径分布測定装置では、前記粒径分布を解析する演算処理に際して、装置使用者が測定対象試料の屈折率や、繰り返し演算を行なう反復回数などのパラメータを測定条件として設定することが求められる。そして、設定した測定条件が最適であったかどうかを判断するための数値としては、カイ２乗や一致度自乗の値を用いていた。
【０００４】
つまり、装置使用者が設定した測定条件に従った粒径分布の解析を行った後に、各検出器の出力データと、求められた粒径分布から逆算して算出した出力データとの間で、カイ２乗、一致度自乗、絶対値などの総和を演算して表示し、これらを歪み量として求めて、その数値が最小になる条件を前記測定条件についての最適条件としていた。
【０００５】
図６は従来の粒径分布測定装置において、粒径分布測定を終了した時点で生じされるダイアログウィンドウＷｄの例を示している。このダイアログウィンドウＷｄの最下端に表示されている「カイ２乗」および「一致度（残差）Ｒパラメータ」が前記歪み量を示している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、図６に示されるような歪み量だけでは各散乱角に対応して設置された全ての検出器の検出値（出力データ）が、設定した測定条件について逆算して算出された出力データと比して部分的にどの程度一致しているかを判断することができなかった。各検出器の検出値が部分的にずれる場合は、屈折率や反復回数の設定値が測定対象試料に適合しない場合があるため、従来の前記歪み量からは、測定対象試料の粒径分布を測定するための条件として、屈折率や反復回数などの設定された測定条件が適当であるかどうかを的確に判断できない場合がある。
【０００７】
加えて、測定対象試料が未知試料である場合には、その屈折率などの測定条件を幾らに設定する必要があるのかさえも分からない場合があり、このような場合、前記歪み量だけに基づいて屈折率や反復回数の設定値などの測定条件を設定しなおしても、その測定条件が最適にならない場合があった。
【０００８】
例えば、特定の角度に配置された検出器が汚れや経時変化などによって真の値とは異なる検出値を出力しているために測定値に誤差が含まれている場合には、測定対象試料に適合していない屈折率などの測定条件で、前記歪み量が最小となることがあり、このような場合、誤差の含まれている粒径分布の測定値が最適な測定条件の下で測定された測定結果として出力されることがあった。
【０００９】
本発明は、上述の事柄を考慮に入れてなされたものであって、その目的は、測定対象試料の粒径分布測定に用いる測定条件として設定した値が、測定した資料に対して最適かどうかを的確に判断でき、測定精度及び測定結果の信頼性向上が図れる粒径分布測定装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、第１発明の粒径分布測定装置は、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器からの出力に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、測定に先立って入力設定された測定条件に基づいて前記各検出器からの出力データを解析演算して粒径分布を求めるとともに、その求めた粒径分布から各検出器の出力データを逆算し、前記各検出器によって実測された出力データおよび前記逆算によって算出された各検出器の出力データによる複数の検出器に対応した一致度の分布及び前記の解析演算により求められる粒径分布を妥当性情報として同一画面上に同時に表示する妥当性表示機能を有することを特徴としている。（請求項１）
【００１１】
したがって、装置使用者は同一画面上に同時に表示される前記一致度の分布及び設定した測定条件に基づく各検出器からの出力データを解析演算した求められた粒径分布が示す妥当性情報を目で確認することにより各検出器の出力データがどの程度測定結果に反映されているのかを的確に判断でき、粒径分布測定に先立って設定した屈折率などの測定条件が測定対象試料に適合しているかどうかを確認することができる。すなわち、従来の歪み量のように一つの数値ではなく、測定点の全域にわたる各検出器に対応した出力データの一致度の分布及び粒径分布を目で確認するによって、選択した測定条件が測定結果に適合しているかどうかを判断できるので、測定結果の精度や信頼性が向上する。
【００１２】
また、特定の検出器の出力データに異常が生じて、これが真の値からずれた検出値を出力している場合には、この検出器に対応する部分の一致度だけにずれが生じるので、この検出器の異常を容易に発見でき、的確なメンテナンスを行うことができる。
【００１３】
第２発明の粒径分布測定装置は、測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器からの出力に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、測定に先立って入力設定された測定条件に基づいて前記各検出器からの出力データを解析演算して粒径分布を求めるとともに、その求めた粒径分布から各検出器の出力データを逆算し、前記各検出器によって実測された出力データと前記逆算によって算出された各検出器の出力データとの比または差に基づいた両データの一致度及び前記の解析演算により求められる粒径分布を妥当性情報として同一画面上に同時に表示する妥当性表示機能を有することを特徴としている。（請求項２）
【００１４】
したがって、前記妥当性情報を用いて各検出器の出力データがどの程度測定結果に反映されているのかを確認でき、粒径分布測定に先立って装置使用者が設定した屈折率や反復回数などの種々の測定条件が測定対象試料に適合しているかどうかを確認することができる。また、特定の検出器が真の値からずれた検出値を出力している場合にも、この検出器の異常を容易に発見でき的確なメンテナンスを行うことができる。
【００１５】
前記算出された各検出器の出力データが、粒径分布の算出に用いる測定条件を適宜に変えて逆算されたデータである場合（請求項３）には、前記妥当性情報から判断して最適な条件を定めることができる。すなわち、例えば屈折率などの条件が未知である測定対象試料の場合、前記妥当性情報を用いて検出器から実際に出力されたデータと算出された出力データがほぼ一致するような条件を設定することにより、より正確な粒径分布測定を行なうことができる。これは、特に粒径分布測定に必要な条件が実測不可能である測定対象試料の粒径分布を測定する場合に有用である。
【００１６】
また、第１及び第２発明共に前記妥当性情報の表示が、前記一致度の分布もしくは一致度と粒径分布を同一画面上に同時に表示されるものであるから、粒径分布測定に用いる測定条件を変更しながら、粒径分布の測定値と妥当性情報の関係から、この測定対象試料を測定する場合の最適な条件を選定することができる。とりわけ、前記条件が解析演算の反復回数に関する条件である場合、各検出器の出力データに含まれるノイズの影響を強く受けた解析演算を防ぐことができるので、妥当な範囲で解析演算の反復を行なうことができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】
図１は、本発明の粒径分布測定装置１の構成を概略的に示す図である。図１において、２は測定対象試料Ｓを散乱した状態で封入するセル、３はこのセル２にレーザ光Ｌを照射する例えばＨｅ−Ｎｅレーザ管からなる光源、４はこのレーザ光Ｌの径を拡大するビーム拡大器、５は測定対象試料Ｓによって発生した回折光および／または散乱光（以下、回折光も含めて散乱光Ｌｓと表現する）を検出する検出器、６はレーザ光Ｌを検出器５に集光させるレンズである。
【００１８】
なお、以下の説明において区別を必要とするときには、レーザ光Ｌの進行方向に対して前方および後方（小角および広角）に生じる散乱光Ｌｓを符号Ｌｓ1 およびＬｓ2 で表わし、検出器５を符号５ａおよび５ｂで表わし、レンズ６を符号６ａおよび６ｂで表わす。また、本例において検出器５ａはリングディテクタであり、検出器５ｂは個々に配置された検出器５ｂ1 〜５ｂ4 である例を示しているが、本発明はこの点を限定するものではない。
【００１９】
さらに、リングディテクタ５ａの各層および各検出器５ｂ1 〜５ｂ4 にはそれぞれ異なるチャンネルが付されており、検出器５は全体として各チャンネルごとに光量の検出値をそれぞれ出力する。したがって、以下の説明においては各チャンネル毎の検出値を各検出器５によるものとして表現する。
【００２０】
７は各検出器５によって検出される散乱光Ｌｓの強度を用いて測定対象粒子Ｓａ（測定対象試料Ｓ）の粒径分布を算出する演算処理装置であって、この演算処理装置７は、記憶部８と、記憶部８に記憶されたプログラムおよびデータを用いて各検出器５によって検出された散乱光Ｌｓの強度を解析して測定対象試料Ｓの粒径分布を求める処理部９とを有している。また、７ａは求められた粒径分布等を表示する表示部である。
【００２１】
なお、本例の装置構成は以下の説明を容易とするための一例を示すものであって、この構成に限定するものではない。すなわち、例えばセル２の形状は箱型であることを限定するものではなく円柱状であってもよい。また、光源３，検出器５の配置や数、レンズ４，６の位置や種類なども適宜に選択可能である。
【００２２】
前記記憶部８には、各検出器５の出力データＤａと、測定対象試料Ｓの粒径分布測定に用いる測定パラメータとしての屈折率や解析演算の反復回数などの各測定条件Ｄｂと、前記出力データＤａを各測定条件Ｄｂに従って解析して求められる測定対象試料Ｓの粒径分布Ｄｃと、この粒径分布Ｄｃから逆算して算出される各検出器の出力データＤｄと、前記両出力データＤａ，Ｄｄの一致度Ｄｅと、演算プログラムＰとを記憶している。
【００２３】
図２は前記演算プログラムＰの動作の一例を説明する図であり、図３は結果の表示画面の一例を示す図である。以下、図１〜３を用いて本例の粒径分布測定装置１の動作を説明する。
【００２４】
図２において、Ｓ１は粒径分布測定に先立って測定条件を入力するステップである。すなわち、装置使用者は測定対象試料Ｓの屈折率や粒径分布の解析演算の反復回数などの前記測定条件Ｄｂを設定し、これが記録される。
【００２５】
本例では、測定対象試料Ｓの屈折率が不明である場合を考慮し、ここでは、不明である測定対象試料Ｓの屈折率を仮に１．３とし、この屈折率を５％増減させた屈折率を試算するように、測定条件Ｄｂを設定しているものとする。なお、本発明は屈折率が不明であることに限定するものでも、この屈折率を５％増減させることに限定するものでもない。
【００２６】
Ｓ２は前記測定対象試料Ｓにレーザ光Ｌを照射することによって生ずる散乱光Ｌｓを所定の角度毎に配置させた各検出器５によって検出するステップである。このステップＳ２において出力データＤａが記憶部８に記録される。
【００２７】
Ｓ３は前記測定条件Ｄｂに基づいて出力データＤａを求める粒径分布Ｄｃの解析演算を行なうステップである。この粒径分布Ｄｃは前記測定条件Ｄｂに関係付けて記憶部８に記録される。すなわち、本例の場合は測定条件Ｄｂに設定されている屈折率を１．３として求めた粒径分布Ｄｃ0 （図３参照）と、この屈折率を±５％したときの粒径分布Ｄｃ+5，Ｄｃ-5をそれぞれ求めて、各粒径分布を屈折率の値に関連付けて記録する。
【００２８】
Ｓ４はステップＳ３において求められた粒径分布Ｄｃから各検出器５の出力データＤｄを逆算するステップである。このステップＳ４においても前記測定条件Ｄｂを適宜参照して出力データＤｄを算出し、これが記憶部８に記録される。また、図３に示すように、本例の場合は屈折率１．３として求めた出力データＤｄを符号Ｄｄ0 、屈折率を５％増減したときの出力データＤｄを符号Ｄｄ+5，Ｄｄ-5によって表わす。
【００２９】
Ｓ５は前記両出力データＤａ，Ｄｄを用いて一致度Ｄｅを算出し、これを記憶部８に記憶するステップである。なお、前記出力データＤａ，Ｄｄおよび一致度Ｄｅは少なくとも検出器５の粒径分布演算に用いるチャンネルの数の数値からなり、一致度Ｄｅは各出力データＤａ，Ｄｄの一致度Ｒを示すものである。
【００３０】
詳述すると、前記出力データＤａのチャンネルＩに対応する実測値をＳｍ（Ｉ）、出力データＤａの同チャンネルに対応する数値をＳｃ（Ｉ）とするとき、一致度Ｒ（Ｉ）は以下の式（１）に示すように表わされる。
Ｒ（Ｉ）＝Ｓｍ（Ｉ）／Ｓｃ（Ｉ） … 式（１）
【００３１】
すなわち、本例における一致度Ｄｅは各検出器５によって検出された出力データＤａと、この出力データＤａおよび条件Ｄｂを基に解析された粒径分布Ｄｃから逆算によって算出された各検出器の出力データＤｄの一致度を示しており、両出力データＤａ，Ｄｄの比に基づいた両データの一致度（残差を含む）を各チャンネル毎に示すものである。ここで、本発明における一致度Ｄｅは両出力データＤａ，Ｄｄの比に基づくものであるから、両出力データＤａ，Ｄｄの各チャンネル毎の大きさを考慮に入れた一致度を求めることになる。
【００３２】
しかしながら、前記一致度Ｄｅが示す一致度Ｒは両出力データＤａ，Ｄｄの比に基づくものに限られる必要はなく、両出力データＤａ，Ｄｄの差の絶対値や、この差を２乗にして得られる値など、出力データＤａ，Ｄｄの差に基づく種々の方法で求めることも可能である。
【００３３】
また、本例の場合は前記一致度Ｄｅについても、屈折率が１．３である場合の一致度Ｄｅを符号Ｄｅ0 で表わし、この屈折率を５％増減したときの一致度Ｄｅを符号Ｄｅ+5 ，Ｄｅ-5 によって表わす。
【００３４】
Ｓ６は両出力データＤａ，Ｄｄ、一致度Ｄｅ、および粒径分布Ｄｃを図３に示すように前記表示部７ａに表示するステップである。なお、本例では両出力データＤａ，Ｄｄと一致度Ｄｅを、粒径分布Ｄｃと同一画面上に同時に表示することにより、測定条件によって両出力データＤａ，Ｄｄの値にどの程度のズレが生じるかを、より一層容易に判断することができると共に、このときの粒径分布Ｄｃを確認することができる。
【００３５】
図３において、Ｗ1 は検出器５から得られた出力データＤａおよび設定した測定条件Ｄｂに合わせて求めた粒径分布Ｄｃから逆算して求められる出力データＤｄ（Ｄｄ0 ，Ｄｄ+5，Ｄｄ-5）を重ねて表示するビューウィンドウ、Ｗ2 は一致度Ｄｅ（Ｄｅ0 ，Ｄｅ+5，Ｄｅ-5）を重ねて表示するビューウィンドウ、Ｗ3 は測定条件Ｄｂに合わせて求めた粒径分布Ｄｃ（Ｄｃ0 ，Ｄｃ+5，Ｄｃ-5）を重ねて表示するビューウィンドウである。
【００３６】
前記ビューウィンドウＷ1 ，Ｗ2 における横方向は検出器５のチャンネルを示しており、ビューウィンドウＷ1 ，Ｗ2 の縦方向は出力データＤａ，Ｄｄ，Ｄｅの大きさを示している。一方、本例の場合一致度Ｄｅを出力データＤａ，Ｄｄの比から求めているので、ビューウィンドウＷ2 の縦方向の中心線Ｃは１である。また、ビューウィンドウＷ3 における横方向は粒子径を示しており、縦方向は粒子の数を示している。
【００３７】
図３に示すように、ビューウィンドウＷ1 において、出力データＤａ，Ｄｄ0 ，Ｄｄ+5，Ｄｄ-5を重ねて表示することにより、各検出器５の実測した出力データＤａと逆算した出力データＤｄを容易に比較することができる。例えば、検出器５の特定のチャンネルにおいて汚れや故障などの異常が発生し、検出データＤａに不適当なノイズが重畳している場合には、そのチャンネルにおいて実測した出力データＤａが逆算した出力データＤｄに対して大きく外れた値となるので、このチャンネルの検出データが異常であることを容易に認識できる。
【００３８】
その他にも、屈折率などの測定条件Ｄｂが測定対象試料に適合していない場合には、出力データＤｄ+5，Ｄｄ-5に示すように、実測した出力データＤａと逆算した出力データＤｄ+5，Ｄｄ-5が一致しなくなる。つまり、装置使用者は前記ビューウィンドウＷ1 を確認することによって、測定条件Ｄｂが適切であったかどうかを目視によってより確実に知ることができる。
【００３９】
また、ビューウィンドウＷ2 には、一致度Ｄｅ（Ｄｅ0 ，Ｄｅ+5，Ｄｅ-5）が前記式（１）に示すように、前記出力データＤａ，Ｄｄ（Ｄｄ0 ，Ｄｄ+5，Ｄｄ-5）の比によって表わされている。したがって、装置使用者はビューウィンドウＷ2 を見るだけで、出力データＤａの大きさに係わりなく、選択した屈折率などの測定条件Ｄｂが測定対象試料に適合しているかどうかを容易に判断することができる。
【００４０】
すなわち、逆算によって求められた各チャンネルＩに対応する出力データＤｄ〔Ｓｃ（Ｉ）〕が実測した出力データＤａ〔Ｓｍ（Ｉ）〕と同じ値である場合は、そのチャンネルの一致度Ｄｅ〔Ｒ（Ｉ）〕は１となり、中心線Ｃの位置に表示される。仮に、全てのチャンネルＩにおいて逆算した出力データＤｄが実測した出力データＤａと全く一致するなら、一致度Ｄｅは全て１となり中心線Ｃに重なって表示されるが、実際には出力データＤａに少なくとも幾らかのノイズが入ることが避けられないので、選択した屈折率などの測定条件Ｄｂが測定対象試料Ｓの特性に一致していればいるほど、一致度Ｄｅは中心線Ｃの周りに小さな振幅でランダムに分布する。
【００４１】
したがって、ビューウィンドウＷ2 に示す例における一致度Ｄｅによれば、測定対象試料Ｓの屈折率を１．３にした場合の一致度Ｄｅ0 が最も適当であることが分かる。他方、この屈折率を変動させた場合の一致度Ｄｅ+5，Ｄｅ-5は中心線Ｃに対して大きい又は小さいので、適当でないことが分かる。
【００４２】
ビューウィンドウＷ3 には屈折率をそれぞれ変えたときの粒径分布Ｄｃ（Ｄｃ0 ，Ｄｃ+5，Ｄｃ-5）の演算結果が表示されているので、装置使用者は粒径分布Ｄｃを確認して、適当な測定条件Ｄｂであったかどうかを確認することができる。すなわち、本例では屈折率を測定対象試料に適合した値１．３から少し外したときの演算を行なう例を示しているが、この場合、求められた粒径分布Ｄｃ+5，Ｄｃ-5には、屈折率が適当でないことによって生じるズレを合わせるように幾らかの不要なピーク（測定誤差）などが生じることが考えられる。
【００４３】
すなわち、装置使用者はこれらのビューウィンドウＷ1 〜Ｗ3 を同一画面上に同時に表示することにより、これらを総合的に判断して、設定した測定条件Ｄｂが適当であったかどうかを正確に判断することができる。なお、本例では測定条件Ｄｂとして屈折率の値を１．３とし、さらにこれを５％増減した場合も演算してこれらを重ねて比較できる例を示しているが、本発明はこの点を限定するものではなく、屈折率などの測定条件Ｄｂを一つだけ設定するようにしてもよい。
【００４４】
さらに、ビューウィンドウＷ1 〜Ｗ3 を全て表示することを限定するものでもなく、ビューウィンドウＷ2 に示すように、実測した出力データＤａと逆算によって算出した出力データＤｄとの比または差に基づいた一致度Ｄｅと、ビューウィンドウＷ3 に示すように、屈折率をそれぞれ変えたときの粒径分布Ｄｃ（Ｄｃ0 ，Ｄｃ+5，Ｄｃ-5）とを妥当性情報として表示してもよい。
【００４５】
次に、再び図２に戻って、Ｓ７は装置使用者に対して測定条件Ｄｂを変更するかどうかを尋ねるステップである。このステップＳ７において、装置使用者はビューウィンドウＷ1 〜Ｗ3 に表示された各情報Ｄａ〜Ｄｅを比較検討することにより、測定条件Ｄｂを任意に変更可能となる。
【００４６】
Ｓ８は前記ステップＳ７において装置使用者が測定条件Ｄｂに変更を加えたかどうかを判断するステップである。そして、測定条件Ｄｂが変更がある場合にはステップＳ３にジャンプし、変更がない場合には終了する。なお、測定条件Ｄｂを変更したときにステップＳ２に戻るなどの変更も考えられる。
【００４７】
上述した図２，３に示す説明は本発明を理解しやすくするために、一例として示しているが、本発明はこの構成を限定するものではない。例えば、前記ステップＳ２に示すような検出器５からの出力データＤａの取り込みを繰り返し行なうことにより、前記逆算による出力データＤｄと比較することも可能である。
【００４８】
図４は粒径分布Ｄｃから逆算して求めた出力データＤｄを基準にして、検出器５から得られた複数の出力データＤａを比較した例を示す図である。
図４において、Ｄａ1 〜Ｄａ3 は粒径分布Ｄｃを演算した後に、その測定条件Ｄｂの妥当性を確認するために検出器５から更に３回検出した出力データを示し、Ｄｄは前記粒径分布Ｄｃから逆算して求めた出力データを示している。
【００４９】
前記出力データＤａ1 〜Ｄａ3 は何れも逆算によって求められる出力データＤｄに対してランダムに変動していることが分かる。つまり、測定条件Ｄｂとして設定した値は適当であったことが分かる。
【００５０】
他方、チャンネルｃｈＸにおいて実測の出力データＤａが逆算した出力データＤｄに対して常に大きくなっていることが分かる。このことから、チャンネルｃｈＸに相当する検出器５に何らかの異常が発生して、これが全体的な精度の低下を招いている可能性が高いことが分かる。
【００５１】
図５はさらなる変形例を示す、表示画面の移り変わりを示す図である。
本例において、装置使用者は上述の図２におけるステップＳ１の処理において、粒径分布演算の反復回数を指定しなかった場合における表示画面の変化を示しており、Ｗ1a〜Ｗ3aは例えば５回反復計算した状態におけるそれぞれ図３におけるビューウィンドウＷ1 〜Ｗ3 である。同様に、Ｗ1b〜Ｗ3bは例えば５０回、Ｗ1c〜Ｗ3cは例えば５００回反復計算した状態におけるビューウィンドウＷ1 〜Ｗ3 である。
【００５２】
図５に示すように、粒径分布測定装置１が粒径分布演算を反復して行なうと共に、演算結果Ｄｃ〜Ｄｅを随時表示することにより、装置使用者は自らの目で確認して最も正確な測定結果が得られる反復回数を設定することが可能となる。
【００５３】
すなわち、ビューウィンドウＷ1a〜Ｗ3aに示すように反復回数が少ない場合には一致度Ｄｅが悪く、粒径分布Ｄｃは大雑把な値が出力されており、反復回数が少なすぎることが容易に判別できる。一方、ビューウィンドウＷ1c〜Ｗ3cに示すように反復回数が多すぎると、一致度Ｄｅが高くなる一方で不要なノイズを基に本来存在していない粒子があるかのような不要な出力が現れている。
【００５４】
したがって、本例の場合、５０回反復演算を行った状態が最も良い測定結果を得ることができ、装置使用者は表示画面７ａから適当なときに粒径分布演算の反復演算を終えることが可能となる。なお、本例の場合は、反復演算の回数に節目を形成して例えば３０回目、５０回目、１００回目などに一度止まって処理を続けるかどうかを尋ねるダイアログウィンドウを表示することも可能である。また、演算結果Ｄｃ〜Ｄｅの履歴を記録することにより、後から処理を戻して最適な反復回数を設定することも可能である。
【００５５】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、測定条件に基づいて各検出器によって検出された出力データの逆算によって算出された各検出器の出力データおよび前記各検出器によって実測された出力データによる複数の検出器に対応した一致度の分布若しくは一致度及び解析演算により求められる粒径分布を妥当性情報として同一画面上に同時に表示することができ、これによって測定条件として選択した条件が測定対象試料に対して最適であるかどうかを目視によって的確に判断することでき、さらなる測定精度の向上を図ることができると共に、測定結果に対する信頼性を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の粒径分布測定装置の全体構成を示す図である。
【図２】前記粒径分布測定装置における処理の流れを示す図である。
【図３】前記粒径分布測定装置の表示画面の一例を示す図である。
【図４】前記表示画面の変形例を示す図である。
【図５】前記表示画面の別の変形例を示す図である。
【図６】従来の粒径分布測定装置における演算結果データの表示例を示す図である。
【符号の説明】
１…粒径分布測定装置、Ｌ…レーザ光、Ｌｓ…回折光および／または散乱光、５…検出器、Ｄａ…出力データ（実測）、Ｄｂ…測定条件、Ｄｃ…粒径分布、Ｄｄ（Ｄｄ0 ，Ｄｄ+_５，Ｄｄ-5）…出力データ（逆算値）、Ｄｅ（Ｄｅ0 ，Ｄｅ+5，Ｄｅ-5）…一致度。

Claims

測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器からの出力に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、測定に先立って入力設定された測定条件に基づいて前記各検出器からの出力データを解析演算して粒径分布を求めるとともに、その求めた粒径分布から各検出器の出力データを逆算し、前記各検出器によって実測された出力データおよび前記逆算によって算出された各検出器の出力データによる複数の検出器に対応した一致度の分布及び前記の解析演算により求められる粒径分布を妥当性情報として同一画面上に同時に表示する妥当性表示機能を有することを特徴とする粒径分布測定装置。
測定対象試料に光を照射することによって生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各検出器からの出力に基づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、測定に先立って入力設定された測定条件に基づいて前記各検出器からの出力データを解析演算して粒径分布を求めるとともに、その求めた粒径分布から各検出器の出力データを逆算し、前記各検出器によって実測された出力データと前記逆算によって算出された各検出器の出力データとの比または差に基づいた両データの一致度及び前記の解析演算により求められる粒径分布を妥当性情報として同一画面上に同時に表示する妥当性表示機能を有することを特徴とする粒径分布測定装置。
前記算出された各検出器の出力データが、粒径分布の算出に用いる測定条件を適宜に変えて逆算されたデータである請求項１または２に記載の粒径分布測定装置。