JP2003232718A

JP2003232718A - 粒径分布測定装置

Info

Publication number: JP2003232718A
Application number: JP2002029978A
Authority: JP
Inventors: Tatsuo Igushi; 達夫伊串
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 2002-02-06
Filing date: 2002-02-06
Publication date: 2003-08-22
Anticipated expiration: 2022-02-06
Also published as: JP3936597B2

Abstract

(57)【要約】【課題】測定対象試料の粒径分布測定に用いる条
件として設定した値が、測定した資料に対して最適かど
うかを的確に判断できるようにした粒径分布測定装置を
提供する。【解決手段】測定対象試料Ｓにレーザ光Ｌを照射する
ことによって生ずる散乱光Ｌｓを所定の角度毎に検出す
る複数の検出器５を備え、各検出器からの出力データＤ
ａに基づいて、測定対象試料Ｓの粒径分布Ｄｃを求める
粒径分布測定装置１であって、求められた粒径分布Ｄｃ
から各検出器５の出力データＤｄを逆算し、各検出器５
によって検出された出力データＤａと逆算によって算出
された各検出器５の出力データＤｄ（Ｄｄ₀，Ｄｄ₊₅，
Ｄｄ_-5）との一致度Ｄｅ（Ｄｅ₀，Ｄｅ₊₅，Ｄｅ_-5）の
分布を妥当性情報として同一画面上に表示する妥当性表
示機能を有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ回折／散乱
式の粒径分布測定装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、粒径分布測定装置で粒径分布
を演算する際、測定対象試料に光を照射することによっ
て生ずる回折光および／または散乱光の強度分布を測定
対象試料の周囲に配置された複数の検出器によって検出
し、各検出器の検出値（出力データ）に基づいて、測定
対象試料の粒径分布を解析する演算処理を行なってい
た。

【０００３】また、例えばレーザ回折散乱式粒径分布測
定装置では、前記粒径分布を解析する演算処理に際し
て、装置使用者が測定対象試料の屈折率や、繰り返し演
算を行なう反復回数などのパラメータを各種条件として
設定することが求められる。そして、選んだ条件が最適
であったかどうかを判断するための数値としては、カイ
２乗や一致度自乗の値を用いていた。

【０００４】つまり、装置使用者が設定した条件に従っ
た粒径分布の解析を行った後に、各検出器の出力データ
と、求められた粒径分布から逆算して算出した出力デー
タとの間で、カイ２乗、一致度自乗、絶対値などの総和
を演算して表示し、これらを歪み量として求めて、その
数値が最小になる条件を前記各種条件についての最適条
件としていた。

【０００５】図６は従来の粒径分布測定装置において、
粒径分布測定を終了した時点で生じされるダイアログウ
ィンドウＷｄの例を示している。このダイアログウィン
ドウＷｄの最下端に表示されている「カイ２乗」および
「一致度Ｒパラメータ」が前記歪み量を示している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図６に
示されるような歪み量だけでは各散乱角に対応して設置
された全ての検出器の検出値（出力データ）が、選ばれ
た条件について逆算して算出された出力データと比して
部分的にどの程度一致しているかを判断することができ
なかった。各検出器の検出値が部分的にずれる場合は、
屈折率や反復回数の設定値が測定対象試料に適合しない
場合があるため、従来の前記歪み量からは、測定対象試
料の粒径分布を測定するための条件として、屈折率や反
復回数などの設定された条件が適当であるかどうかを的
確に判断できない場合がある。

【０００７】加えて、測定対象試料が未知試料である場
合には、その屈折率などの条件を幾らに設定する必要が
あるのかさえも分からない場合があり、このような場
合、前記歪み量だけに基づいて屈折率や反復回数の設定
値などの条件を設定しなおしても、条件が最適にならな
い場合があった。

【０００８】例えば、特定の角度に配置された検出器が
汚れや経時変化などによって真の値とは異なる検出値を
出力しているために測定値に誤差が含まれている場合に
は、測定対象試料に適合していない屈折率などの条件
で、前記歪み量が最小となることがあり、このような場
合、誤差の含まれている粒径分布の測定値が最適な条件
の下で測定された測定結果として出力されることがあっ
た。

【０００９】本発明は、上述の事柄を考慮に入れてなさ
れたものであって、その目的は、測定対象試料の粒径分
布測定に用いる条件として設定した値が、測定した資料
に対して最適かどうかを的確に判断できるようにした粒
径分布測定装置を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、第１発明の粒径分布測定装置は、測定対象試料に光
を照射することによって生ずる回折光および／または散
乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を備え、各
検出器からの出力に基づいて、測定対象試料の粒径分布
を求める粒径分布測定装置であって、求められた粒径分
布から各検出器の出力データを逆算し、各検出器によっ
て検出された出力データと逆算によって算出された各検
出器の出力データとの一致度の分布を妥当性情報として
同一画面上に表示する妥当性表示機能を有することを特
徴としている。（請求項１）

【００１１】したがって、装置使用者は前記一致度の分
布が示す妥当性情報を目で確認することにより各検出器
の出力データがどの程度測定結果に反映されているのか
を的確に判断でき、粒径分布測定に際して設定した種々
の条件が測定対象試料に適合しているかどうかを確認す
ることができる。すなわち、従来の歪み量のように一つ
の数値ではなく、測定点の全域にわたる各検出器に対応
した一致度の分布によって、選択している条件が測定結
果に適合しているかどうかが判断できるので、測定結果
の精度や信頼性が向上する。

【００１２】また、特定の検出器の出力データに異常が
生じて、これが真の値からずれた検出値を出力している
場合には、この検出器に対応する部分の一致度だけにず
れが生じるので、この検出器の異常を容易に発見でき、
的確なメンテナンスを行うことができる。

【００１３】第２発明の粒径分布測定装置は、測定対象
試料に光を照射することによって生ずる回折光および／
または散乱光を所定の角度毎に検出する複数の検出器を
備え、各検出器からの出力に基づいて、測定対象試料の
粒径分布を求める粒径分布測定装置であって、求められ
た粒径分布から各検出器の出力データを逆算し、各検出
器によって検出された出力データと逆算によって算出さ
れた各検出器の出力データの比または差に基づいた両デ
ータの一致度を妥当性情報として表示する妥当性表示機
能を有することを特徴としている。（請求項２）

【００１４】したがって、前記妥当性情報を用いて各検
出器の出力データがどの程度測定結果に反映されている
のかを確認でき、粒径分布測定に際して設定した屈折率
や反復回数などの種々の条件が測定対象試料に適合して
いるかどうかを確認することができる。また、特定の検
出器が真の値からずれた検出値を出力している場合に
も、この検出器の異常を容易に発見でき的確なメンテナ
ンスを行うことができる。

【００１５】前記算出された各検出器の出力データが、
粒径分布の算出に用いる条件を適宜に変えて逆算された
データである場合（請求項３）には、前記妥当性情報か
ら判断して最適な条件を定めることができる。すなわ
ち、例えば屈折率などの条件が未知である測定対象試料
の場合、前記妥当性情報を用いて検出器から実際に出力
されたデータと算出された出力データがほゞ一致するよ
うな条件を設定することにより、より正確な粒径分布測
定を行なうことができる。これは、特に粒径分布測定に
必要な条件が実測不可能である測定対象試料の粒径分布
を測定する場合に有用である。

【００１６】前記妥当性情報の表示を、求められた粒径
分布の表示と同時に行なう場合（請求項４）には、粒径
分布測定に用いる条件を変更しながら、粒径分布の測定
値と妥当性情報の関係から、この測定対象試料を測定す
る場合の最適な条件を選定することができる。とりわ
け、前記条件が解析演算の反復回数に関する条件である
場合、各検出器の出力データに含まれるノイズの影響を
強く受けた解析演算を防ぐことができるので、妥当な範
囲で解析演算の反復を行なうことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の粒径分布測定装
置１の構成を概略的に示す図である。図１において、２
は測定対象試料Ｓを散乱した状態で封入するセル、３は
このセル２にレーザ光Ｌを照射する例えばＨｅ−Ｎｅレ
ーザ管からなる光源、４はこのレーザ光Ｌの径を拡大す
るビーム拡大器、５は測定対象試料Ｓによって発生した
回折光および／または散乱光（以下、回折光も含めて散
乱光Ｌｓと表現する）を検出する検出器、６はレーザ光
Ｌを検出器５に集光させるレンズである。

【００１８】なお、以下の説明において区別を必要とす
るときには、レーザ光Ｌの進行方向に対して前方および
後方（小角および広角）に生じる散乱光Ｌｓを符号Ｌｓ
₁およびＬｓ₂で表わし、検出器５を符号５ａおよび５
ｂで表わし、レンズ６を符号６ａおよび６ｂで表わす。
また、本例においては検出器５ａはリングディテクタで
あり、検出器５ｂは個々に配置された検出器５ｂ₁〜５
ｂ₄である例を示しているが、本発明はこの点を限定す
るものではない。

【００１９】さらに、リングディテクタ５ａの各層およ
び各検出器５ｂ₁〜５ｂ₄にはそれぞれ異なるチャンネ
ルが付されており、検出器５は全体として各チャンネル
ごとに光量の検出値をそれぞれ出力する。したがって、
以下の説明においては各チャンネル毎の検出値を各検出
器５によるものとして表現する。

【００２０】７は各検出器５によって検出される散乱光
Ｌｓの強度を用いて測定対象粒子Ｓａ（測定対象試料
Ｓ）の粒径分布を算出する演算処理装置であって、この
演算処理装置７は、記憶部８と、記憶部８に記憶された
プログラムおよびデータを用いて各検出器５によって検
出された散乱光Ｌｓの強度を解析して測定対象試料Ｓの
粒径分布を求める処理部９とを有している。また、７ａ
は求められた粒径分布を表示する表示部である。

【００２１】なお、本例の装置構成は以下の説明を容易
とするための一例を示すものであって、この構成に限定
するものではない。すなわち、例えばセル２の形状は箱
型であることを限定するものではなく円柱状であっても
よい。また、光源３，検出器５の配置や数、レンズ４，
６の位置や種類なども適宜に選択可能である。

【００２２】前記記憶部８には、各検出器５の出力デー
タＤａと、測定対象試料Ｓの粒径分布測定に用いる測定
パラメータとしての屈折率や解析演算の反復回数などの
各測定条件Ｄｂと、前記出力データＤａを各測定条件Ｄ
ｂに従って解析して求められる測定対象試料Ｓの粒径分
布Ｄｃと、この粒径分布Ｄｃから逆算して算出される各
検出器の出力データＤｄと、前記両出力データＤａ，Ｄ
ｄの一致度Ｄｅと、演算プログラムＰとを記憶してい
る。

【００２３】図２は前記演算プログラムＰの動作の一例
を説明する図であり、図３は結果の表示画面の一例を示
す図である。以下、図１〜３を用いて本例の粒径分布測
定装置１の動作を説明する。

【００２４】図２において、Ｓ１は粒径分布測定に先立
って測定条件を入力するステップである。すなわち、装
置使用者は測定対象試料Ｓの屈折率や粒径分布の解析演
算の反復回数などの前記測定条件Ｄｂを設定し、これが
記録される。

【００２５】本例では、測定対象試料Ｓの屈折率が不明
である場合を考慮し、ここでは、不明である測定対象試
料Ｓの屈折率を仮に１．３とし、この屈折率を５％増減
させた屈折率を試算するように、測定条件Ｄｂを設定し
ているものとする。なお、本発明は屈折率が不明である
ことに限定するものでも、この屈折率を５％増減させる
ことに限定するものでもない。

【００２６】Ｓ２は前記測定対象試料Ｓにレーザ光Ｌを
照射することによって生ずる散乱光Ｌｓを所定の角度毎
に配置させた各検出器５によって検出するステップであ
る。このステップＳ２において出力データＤａが記憶部
８に記録される。

【００２７】Ｓ３は前記測定条件Ｄｂに基づいて出力デ
ータＤａを求める粒径分布Ｄｃの解析演算を行なうステ
ップである。この粒径分布Ｄｃは前記測定条件Ｄｂに関
係付けて記憶部８に記録される。すなわち、本例の場合
は測定条件Ｄｂに設定されている屈折率を１．３として
求めた粒径分布Ｄｃ₀（図３参照）と、この屈折率を±
５％したときの粒径分布Ｄｃ₊₅，Ｄｃ_-5をそれぞれ求め
て、各粒径分布を屈折率の値に関連付けて記録する。

【００２８】Ｓ４は求められた粒径分布Ｄｃから各検出
器５の出力データＤｄを逆算するステップである。この
ステップＳ４においても前記測定条件Ｄｂを適宜参照し
て出力データＤｄを算出し、これが記憶部８に記録され
る。また、図３に示すように、本例の場合は屈折率１．
３として求めた出力データＤｄを符号Ｄｄ₀、屈折率を
５％増減したときの出力データＤｄを符号Ｄｄ₊₅，Ｄｄ
_-5によって表わす。

【００２９】Ｓ５は前記両出力データＤａ，Ｄｄを用い
て一致度Ｄｅを算出し、これを記憶部８に記憶するステ
ップである。なお、前記出力データＤａ，Ｄｄおよび一
致度Ｄｅは少なくとも検出器５の粒径分布演算に用いる
チャンネルの数の数値からなり、一致度Ｄｅは各出力デ
ータＤａ，Ｄｄの一致度Ｒを示すものである。

【００３０】詳述すると、前記出力データＤａのチャン
ネルＩに対応する実測値をＳｍ（Ｉ）、出力データＤａ
の同チャンネルに対応する数値をＳｃ（Ｉ）とすると
き、一致度Ｒ（Ｉ）は以下の式（１）に示すように表わ
される。Ｒ（Ｉ）＝Ｓｍ（Ｉ）／Ｓｃ（Ｉ） … 式（１）

【００３１】すなわち、本例における一致度Ｄｅは各検
出器５によって検出された出力データＤａと、この出力
データＤａおよび条件Ｄｂを基に解析された粒径分布Ｄ
ｃから逆算によって算出された各検出器の出力データＤ
ｄの一致度を示しており、両出力データＤａ，Ｄｄの比
に基づいた両データの一致度（残差を含む）を各チャン
ネル毎に示すものである。ここで、本発明における一致
度Ｄｅは両出力データＤａ，Ｄｄの比に基づくものであ
るから、両出力データＤａ，Ｄｄの各チャンネル毎の大
きさを考慮に入れた一致度を求めることになる。

【００３２】しかしながら、前記一致度Ｄｅが示す一致
度Ｒは両出力データＤａ，Ｄｄの比に基づくものに限ら
れる必要はなく、両出力データＤａ，Ｄｄの差の絶対値
や、この差を２乗にして得られる値など、出力データＤ
ａ，Ｄｄの差に基づく種々の方法で求めることも可能で
ある。

【００３３】また、本例の場合は前記一致度Ｄｅについ
ても、屈折率が１．３である場合の一致度Ｄｅを符号Ｄ
ｅ₀で表わし、この屈折率を５％増減したときの一致度
Ｄｅを符号Ｄｅ₊₅，Ｄｅ_-5によって表わす。

【００３４】Ｓ６は両出力データＤａ，Ｄｄ、一致度Ｄ
ｅ、および粒径分布Ｄｃを図３に示すように前記表示部
７ａに表示するステップである。なお、本例では両出力
データＤａ，Ｄｄと一致度Ｄｅを、粒径分布Ｄｃと同時
に表示することにより、測定条件によって両出力データ
Ｄａ，Ｄｄの値にどの程度のズレが生じるかを、より一
層容易に判断することができると共に、このときの粒径
分布Ｄｃを確認することができる。

【００３５】図３において、Ｗ₁は検出器５から得られ
た出力データＤａおよび設定した測定条件Ｄｂに合わせ
て求めた粒径分布Ｄｃから逆算して求められる出力デー
タＤｄ（Ｄｄ₀，Ｄｄ₊₅，Ｄｄ_-5）を重ねて表示するビ
ューウィンドウ、Ｗ₂は一致度Ｄｅ（Ｄｅ₀，Ｄｅ₊₅，
Ｄｅ_-5）を重ねて表示するビューウィンドウ、Ｗ₃は測
定条件Ｄｂに合わせて求めた粒径分布Ｄｃ（Ｄｃ₀，Ｄ
ｃ₊₅，Ｄｃ_-5）を重ねて表示するビューウィンドウであ
る。

【００３６】前記ビューウィンドウＷ₁，Ｗ₂における
横方向は検出器５のチャンネルを示しており、ビューウ
ィンドウＷ₁，Ｗ₂の縦方向は出力データＤａ，Ｄｄ，
Ｄｅの大きさを示している。一方、本例の場合一致度Ｄ
ｅを出力データＤａ，Ｄｄの比から求めているので、ビ
ューウィンドウＷ₂の縦方向の中心線Ｃは１である。ま
た、ビューウィンドウＷ₃における横方向は粒子径を示
しており、縦方向は粒子の数を示している。

【００３７】図３に示すように、ビューウィンドウＷ₁
において、出力データＤａ，Ｄｄ₀，Ｄｄ₊₅，Ｄｄ_-5を
重ねて表示することにより、各検出器５の実測した出力
データＤａと逆算した出力データＤｄを容易に比較する
ことができる。例えば、検出器５の特定のチャンネルに
おいて汚れや故障などの異常が発生し、検出データＤａ
に不適当なノイズが重畳している場合には、そのチャン
ネルにおいて実測した出力データＤａが逆算した出力デ
ータＤｄに対して大きく外れた値となるので、このチャ
ンネルの検出データが異常であることを容易に認識でき
る。

【００３８】その他にも、屈折率などの測定条件Ｄｂが
測定対象試料に適合していない場合には、出力データＤ
ｄ₊₅，Ｄｄ_-5に示すように、実測した出力データＤａと
逆算した出力データＤｄ₊₅，Ｄｄ_-5が一致しなくなる。
つまり、装置使用者は前記ビューウィンドウＷ₁を確認
することによって、測定条件Ｄｂが適切であったかどう
かを目視によってより確実に知ることができる。

【００３９】また、ビューウィンドウＷ₂には、一致度
Ｄｅ（Ｄｅ₀，Ｄｅ₊₅，Ｄｅ_-5）が前記式（１）に示す
ように、前記出力データＤａ，Ｄｄ（Ｄｄ₀，Ｄｄ₊₅，
Ｄｄ _-5）の比によって表わされている。したがって、装
置使用者はビューウィンドウＷ₂を見るだけで、出力デ
ータＤａの大きさに係わりなく、選択した屈折率などの
測定条件Ｄｂが測定対象試料に適合しているかどうかを
容易に判断することができる。

【００４０】すなわち、逆算によって求められた各チャ
ンネルＩに対応する出力データＤｄ〔Ｓｃ（Ｉ）〕が実
測した出力データＤａ〔Ｓｍ（Ｉ）〕と同じ値である場
合は、そのチャンネルの一致度Ｄｅ〔Ｒ（Ｉ）〕は１と
なり、中心線Ｃの位置に表示される。仮に、全てのチャ
ンネルＩにおいて逆算した出力データＤｄが実測した出
力データＤａと全く一致するなら、一致度Ｄｅは全て１
となり中心線Ｃに重なって表示されるが、実際には出力
データＤａに少なくとも幾らかのノイズが入ることが避
けられないので、選択した屈折率などの測定条件Ｄｂが
測定対象試料Ｓの特性に一致していればいるほど、一致
度Ｄｅは中心線Ｃの周りに小さな振幅でランダムに分布
する。

【００４１】したがって、ビューウィンドウＷ₂に示す
例における一致度Ｄｅによれば、測定対象試料Ｓの屈折
率を１．３にした場合の一致度Ｄｅ₀が最も適当である
ことが分かる。他方、この屈折率を変動させた場合の一
致度Ｄｅ₊₅，Ｄｅ_-5は中心線Ｃに対して大きい又は小さ
いので、適当でないことが分かる。

【００４２】ビューウィンドウＷ₃には屈折率をそれぞ
れ変えたときの粒径分布Ｄｃ（Ｄｃ ₀，Ｄｃ₊₅，Ｄ
ｃ_-5）の演算結果が表示されているので、装置使用者は
粒径分布Ｄｃを確認して、適当な測定条件Ｄｂであった
かどうかを確認することができる。すなわち、本例では
屈折率を測定対象試料に適合した値１．３から少し外し
たときの演算を行なう例を示しているが、この場合、求
められた粒径分布Ｄｃ₊₅，Ｄｃ_-5には、屈折率が適当で
ないことによって生じるズレを合わせるように幾らかの
不要なピーク（測定誤差）などが生じることが考えられ
る。

【００４３】すなわち、装置使用者はこれらのビューウ
ィンドウＷ₁〜Ｗ₃を同一画面に表示することにより、
これらを総合的に判断して、設定した測定条件Ｄｂが適
当であったかどうかを正確に判断することができる。な
お、本例では測定条件Ｄｂとして屈折率の値を１．３と
し、さらにこれを５％増減した場合も演算してこれらを
重ねて比較できる例を示しているが、本発明はこの点を
限定するものではなく、屈折率などの測定条件Ｄｂを一
つだけ設定するようにしてもよい。

【００４４】さらに、ビューウィンドウＷ₁〜Ｗ₃を全
て表示することを限定するものでもなく、ビューウィン
ドウＷ₁に示すように、実測した出力データＤａと逆算
によって算出した出力データＤｄを重ねて表示したもの
だけを妥当性情報（両出力データＤａ，Ｄｂの一致度の
分布）として表示してもよい。あるいは、ビューウィン
ドウＷ₂に示すように、実測した出力データＤａと逆算
によって算出した出力データＤｄとの比または差に基づ
いた一致度Ｄｅだけを妥当性情報として表示してもよ
い。

【００４５】次に、再び図２に戻って、Ｓ７は装置使用
者に対して測定条件Ｄｂを変更するかどうかを尋ねるス
テップである。このステップＳ７において、装置使用者
はビューウィンドウＷ₁〜Ｗ₃に表示された各情報Ｄａ
〜Ｄｅを比較検討することにより、測定条件Ｄｂを任意
に変更可能となる。

【００４６】Ｓ８は前記ステップＳ７において装置使用
者が測定条件Ｄｂに変更を加えたかどうかを判断するス
テップである。そして、測定条件Ｄｂが変更がある場合
にはステップＳ３にジャンプし、変更がない場合には終
了する。なお、測定条件Ｄｂを変更したときにステップ
Ｓ２に戻るなどの変更も考えられる。

【００４７】上述した図２，３に示す説明は本発明を理
解しやすくするために、一例として示しているが、本発
明はこの構成を限定するものではない。例えば、前記ス
テップＳ２に示すような検出器５からの出力データＤａ
の取り込みを繰り返し行なうことにより、前記逆算によ
る出力データＤｄと比較することも可能である。

【００４８】図４は粒径分布Ｄｃから逆算して求めた出
力データＤｄを基準にして、検出器５から得られた複数
の出力データＤａを比較した例を示す図である。図４に
おいて、Ｄａ₁〜Ｄａ₃は粒径分布Ｄｃを演算した後
に、その測定条件Ｄｂの妥当性を確認するために検出器
５から更に３回検出した出力データを示し、Ｄｄは前記
粒径分布Ｄｃから逆算して求めた出力データを示してい
る。

【００４９】前記出力データＤａ₁〜Ｄａ₃は何れも逆
算によって求められる出力データＤｄに対してランダム
に変動していることが分かる。つまり、測定条件Ｄｂと
して設定した値は適当であったことが分かる。

【００５０】他方、チャンネルｃｈＸにおいて実測の出
力データＤａが逆算した出力データＤｄに対して常に大
きくなっていることが分かる。このことから、チャンネ
ルｃｈＸに相当する検出器５に何らかの異常が発生し
て、これが全体的な精度の低下を招いている可能性が高
いことが分かる。

【００５１】図５はさらなる変形例を示す、表示画面の
移り変わりを示す図である。本例において、装置使用者
は上述の図２におけるステップＳ１の処理において、粒
径分布演算の反復回数を指定しなかった場合における表
示画面の変化を示しており、Ｗ_1a〜Ｗ_3aは例えば５回反
復計算した状態におけるそれぞれ図３におけるビューウ
ィンドウＷ₁〜Ｗ₃である。同様に、Ｗ_1b〜Ｗ_3bは例え
ば５０回、Ｗ _1c〜Ｗ_3cは例えば５００回反復計算した状
態におけるビューウィンドウＷ₁〜Ｗ ₃である。

【００５２】図５に示すように、粒径分布測定装置１が
粒径分布演算を反復して行なうと共に、演算結果Ｄｃ〜
Ｄｅを随時表示することにより、装置使用者は自らの目
で確認して最も正確な測定結果が得られる反復回数を設
定することが可能となる。

【００５３】すなわち、ビューウィンドウＷ_1a〜Ｗ_3aに
示すように反復回数が少ない場合には一致度Ｄｅが悪
く、粒径分布Ｄｃは大雑把な値が出力されており、反復
回数が少なすぎることが容易に判別できる。一方、ビュ
ーウィンドウＷ_1c〜Ｗ_3cに示すように反復回数が多すぎ
ると、一致度Ｄｅが高くなる一方で不要なノイズを基に
本来存在していない粒子があるかのような不要な出力が
現れている。

【００５４】したがって、本例の場合、５０回反復演算
を行った状態が最も良い測定結果を得ることができ、装
置使用者は表示画面７ａから適当なときに粒径分布演算
の反復演算を終えることが可能となる。なお、本例の場
合は、反復演算の回数に節目を形成して例えば３０回
目、５０回目、１００回目などに一度止まって処理を続
けるかどうかを尋ねるダイアログウィンドウを表示する
ことも可能である。また、演算結果Ｄｃ〜Ｄｅの履歴を
記録することにより、後から処理を戻して最適な反復回
数を設定することも可能である。

【００５５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
検出器から実測した出力データと、演算によって求めた
粒径分布の一致度を表示することができ、これによって
測定条件として選択した条件が測定対象試料に対して最
適であるかどうかを判断することができ、さらなる精度
向上を図ると共に、測定結果に対する信頼性を向上する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の粒径分布測定装置の全体構成を示す図
である。

【図２】前記粒径分布測定装置における処理の流れを示
す図である。

【図３】前記粒径分布測定装置の表示画面の一例を示す
図である。

【図４】前記表示画面の変形例を示す図である。

【図５】前記表示画面の別の変形例を示す図である。

【図６】従来の粒径分布測定装置における演算結果デー
タの表示例を示す図である。

【符号の説明】

１…粒径分布測定装置、Ｌ…レーザ光、Ｌｓ…回折光お
よび／または散乱光、５…検出器、Ｄａ…出力データ
（実測）、Ｄｂ…測定条件、Ｄｃ…粒径分布、Ｄｄ（Ｄ
ｄ₀，Ｄｄ₊₅，Ｄｄ_-5）…出力データ（逆算値）、Ｄｅ
（Ｄｅ₀，Ｄｅ₊₅，Ｄｅ_-5）…一致度。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】測定対象試料に光を照射することによっ
て生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に
検出する複数の検出器を備え、各検出器からの出力に基
づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定
装置であって、求められた粒径分布から各検出器の出力
データを逆算し、各検出器によって検出された出力デー
タと逆算によって算出された各検出器の出力データとの
一致度の分布を妥当性情報として同一画面上に表示する
妥当性表示機能を有することを特徴とする粒径分布測定
装置。
【請求項２】測定対象試料に光を照射することによっ
て生ずる回折光および／または散乱光を所定の角度毎に
検出する複数の検出器を備え、各検出器からの出力に基
づいて、測定対象試料の粒径分布を求める粒径分布測定
装置であって、求められた粒径分布から各検出器の出力
データを逆算し、各検出器によって検出された出力デー
タと逆算によって算出された各検出器の出力データの比
または差に基づいた両データの一致度を妥当性情報とし
て表示する妥当性表示機能を有することを特徴とする粒
径分布測定装置。
【請求項３】前記算出された各検出器の出力データ
が、粒径分布の算出に用いる条件を適宜に変えて逆算さ
れたデータである請求項１または２に記載の粒径分布測
定装置。
【請求項４】前記妥当性情報の表示を、求められた粒
径分布の表示と同時に行なう請求項１〜３の何れかに記
載の粒径分布測定装置。